GEÄNDERTE ANSPRÜCHE [beim Internationalen Büro am 20 April 2006 (20.04.06) eingegangen] AMENDED CLAIMS [received at the International Bureau on 20 April 2006 (20.04.06)]
1. Gasgelagerte Anordnung von relativ zueinander bewegbaren Körpern mit einem inneren Lagerkörper (1; 101; 201; 301; 401) mit einer zumindest abschnittsweise gekrümmt verlaufenden Lagerfläche (14 '; 114 •; 214'; 314'; 414') und einem zumindest den gekrümmten Abschnitt der Lagerfläche (14 '; 114'; 214'; 314'; 414') des inneren Lagerkörpers (1; 101; 201; 301; 401) zumindst teilweise umgebenden äußeren Körper (3; 203; 303; 403) , wobei der innere Lagerkörper (1; 101; 201) einen Tragkörper (10; 210) aufweist, der an seinem Außenumfang mit einer Lagerhülse (14; 114) oder Lagerschale (214) versehen ist, wobei die Lagerhülse (14; 114) oder Lagerschale (214) zumindest bereichsweise mit Mikrolöchern (140, 141, 142, 143; 140'; 240) versehen ist, die die Wandung der Lagerhülse (14; 114) oder Lagerschale (214) durchdringen und in Umfangs-Ausnehmungen (120, 121, 122, 123; 220) einer Gaszufuhr-Versorgungsstruktur des Tragkörpers (10; 210) münden, um Gasaustrittsdüsen eines Gaslagers zu bilden, und wobei die Mikrolöcher (140, 141, 142, 143; 140'; 240) von der Seite der Lagerfläche (14'; 114'; 214') aus mittels einer hochenergetischen Strahlungsquelle in die Lagerhülse (14; 114) eingebracht sind. ( ';414' 14 '; 114 •;; 214' 314) 1. Gas bearing arrangement of relatively movable bodies having an inner bearing body (1; 101; 201;; 301,401) having a curved at least in sections extending bearing surface and an at least the curved portion of the bearing surface (14 ';114'; 214 ';314'; 414 ') of the inner bearing body (1; 101; 201; 301; 401) at least partially surrounding the outer body (3; 203; 303; 403); wherein the inner bearing body (1; 101; 201) has a support body (10; 210) provided on its outer circumference with a bearing sleeve (14; 114) or bearing shell (214), wherein the bearing sleeve (14; 114) or bearing shell (214) is at least partially provided with microholes (140, 141, 142, 143, 140 ', 240) which penetrate the wall of the bearing sleeve (14, 114) or bearing shell (214) and in circumferential recesses (120, 121, 122, 123, 220) of a gas supply structure of the support body (10, 210) open to gas outlet nozzles of a gas store, and wherein the microholes (140, 141, 142, 143; 140 '; 240) are introduced from the side of the bearing surface (14 ';114'; 214 ') into the bearing sleeve (14; 114) by means of a high-energy radiation source.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Lagerhülse (14; 114; 314; 414) oder Lagerschale (214) drehfest und axialfest auf dem Tragkörper (10; 210; 310; 410) angebracht ist.2. Arrangement according to claim 1, characterized in that the bearing sleeve (14; 114; 314; 414) or bearing shell (214) is mounted non-rotatably and axially fixed on the support body (10; 210; 310; 410).
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Lagerhülse (14; 114; 314; 414) oder Lagerschale (214) auf ihrem Außenumfang im Bereich der Lagerfläche (14 '; 114'; 214'; 314'; 414') mit einer reibungsreduzierenden Beschichtung versehen ist.3. Arrangement according to claim 1 or 2, characterized in that the bearing sleeve (14; 114; 314; 414) or bearing shell (214) on its outer circumference in the region of the bearing surface (14 '; 114'; 214 '; 314'; 414 ') is provided with a friction-reducing coating.
4. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß das Gaslager ein aerostatisches Lager ist.4. Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that it e e e c e e n e that the gas bearing is an aerostatic bearing.
5. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Mikrolöcher (140, 141, 142, 143; 140'; 240; 350, 351, 352, 353; 450, 451, 452, 453) von einer hochenergetischen Strahlungsquelle gebohrte Mikrolöcher sind.An assembly according to any one of the preceding claims, characterized in that the microholes (140, 141, 142, 143, 140 ', 240; 350, 351, 352, 353; 450, 451, 452, 453) are bored by a high energy radiation source Microholes are.
6. Anordnung nach Anspruch 5, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Mikrolöcher (140, 141, 142, 143; 140'; 240; 350, 351, 352, 353; 450, 451, 452, 453) lasergebohrte Mikrolöcher sind.6. Arrangement according to claim 5, characterized in that the microholes (140, 141, 142, 143; 140 '; 240; 350, 351, 352, 353; 450, 451, 452, 453) are laser drilled microholes.
7. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Mikrolöcher (140') in einer Radialebene nicht exakt radial ausgerichtet sind, sondern in einem Winkel (α) zur Radialrichtung (R) geneigt sind. 7. Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the microholes (140 ') are not exactly aligned radially in a radial plane, but at an angle (α) to the radial direction (R) are inclined.
8. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß der innere Lagerkörper (1) eine Achse ist und daß der äußere Körper (3) ein Rotationskörper (30) ist, der auf der Achse drehbar gelagert ist.8. Arrangement according to one of the preceding claims, characterized in that the inner bearing body (1) is an axis and that the outer body (3) is a rotary body (30) which is rotatably mounted on the axis.
9. Anordnung nach Anspruch 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß der äußere Rotationskörper (30) bezüglich des inneren Lagerkörpers (1) in Axialrichtung festgelegt ist.9. Arrangement according to claim 8, characterized g e k e n e z e i c h e s that the outer rotational body (30) with respect to the inner bearing body (1) is fixed in the axial direction.
10. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß der innere Lagerkörper (1) eine Achse ist, wobei die Lagerhülse (114) nur über einen Teilabschnitt ihres Umfangs mit Mikrolöchern (140) versehen ist, und daß der äußere Köper (4) eine über den Teiabschnitt des inneren Lagerkörpers (1) umgelenkte und relativ zum inneren Lagerkörper (1) bewegte Materialbahn ist.10. Arrangement according to one of claims 1 to 7, characterized in that the inner bearing body (1) is an axis, wherein the bearing sleeve (114) is provided only over a portion of its circumference with micro-holes (140), and that the outer body (4) is a material over the teiabschnitt of the inner bearing body (1) deflected and relative to the inner bearing body (1) moving web.
11. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß der innere Lagerkörper (201) ein mit der Lagerhülse (214) versehener Balken ist, daß der äußere Körper (204) von einer Materialbahn gebildet ist, die über die Lagerfläche (214 ') der Lagerhülse (214) verläuft und die sich bezüglich des inneren Lagerkörpers (201) bewegt.11. Arrangement according to one of claims 1 to 7, characterized in that the inner bearing body (201) is provided with the bearing sleeve (214) bars, that the outer body (204) is formed by a material web, which over the bearing surface ( 214 ') of the bearing sleeve (214) and which moves with respect to the inner bearing body (201).
12. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß der innere Lagerkörper (301; 401) ein Rotationskörper ist und daß der äußere Körper (303; 403) stationär angeordnet ist.12. Arrangement according to one of claims 1 to 7, characterized in that the inner bearing body (301; 401) is a rotational body and that the outer body (303; 403) is arranged stationary.
21 21
13. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß der äußere Körper (303) in seiner dem inneren Lagerkörper (301) gegenüber gelegenen Lagerfläche (313') mit einer Innenumfangsnut (342) versehen ist, daß zumindest ein mit einer Druckgasquelle verbundener Gaszuführkanal (340) in die Innenumfangsnut (342) mündet, und daß der innere Lagerkörper (301) in einem axial mittleren Abschnitt der dem äußeren Körper (303) gegenüber gelegenen Lagerfläche (314') mit zumindest einer Gaseintrittsbohrung (311 ') der13. Arrangement according to claim 12, characterized in that the outer body (303) in its the inner bearing body (301) opposite the bearing surface (313 ') with an inner circumferential groove (342) is provided that at least one connected to a compressed gas source Gaszuführkanal ( 340) opens into the inner circumferential groove (342), and that the inner bearing body (301) in an axially central portion of the outer body (303) opposite bearing surface (314 ') with at least one gas inlet bore (311') of the
Gasversorgungsstruktur (311) versehen ist, wobei die Gaseintrittsbohrung (311 ') der Innenumfangsnut (342) gegenüberliegt.Gas supply structure (311) is provided, wherein the gas inlet bore (311 ') of the inner circumferential groove (342) opposite.
14. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß der innere Lagerkörper (401) in seiner dem äußeren Körper (403) gegenüber gelegenen Lagerfläche (414') mit einer Außenumfangsnut (442) versehen ist, daß zumindest eine Gaseintrittsbohrung (411') der Gasversorgungsstruktur (411) in die Außenumfangsnut (442) mündet, und - daß der äußere Körper (403) in einem axial mittleren Abschnitt der dem inneren Lagerkörper (401) gegenüber gelegenen Lagerfläche (413 ' ) mit zumindest einem in diese Lagerfläche (413') mündenden Gaszuführkanal (440) versehen ist, der mit einer Druckgasquelle verbunden ist, wobei der zumindest eine14. The arrangement according to claim 12, characterized in that the inner bearing body (401) in its outer body (403) opposite bearing surface (414 ') with an outer circumferential groove (442) is provided that at least one gas inlet bore (411') of Gas supply structure (411) in the Außenumfangsnut (442) opens, and - that the outer body (403) in an axially central portion of the inner bearing body (401) opposite bearing surface (413 ') with at least one in this bearing surface (413') opening gas supply channel (440) is provided, which is connected to a compressed gas source, wherein the at least one
Gaszuführkanal (440) der Außenumfangsnut (442) gegenüberliegt.Gas supply channel (440) of the outer circumferential groove (442) opposite.
15. Verfahren zur Herstellung eines Gaslagers für eine Anordnung von relativ zueinander bewegbaren Körpern mit den Schritten:15. A method for producing a gas bearing for an arrangement of relatively movable bodies with the steps:
22 a) Bereitstellen eines mit einer Gaszufuhr-Versorgungsstruktur versehenen Tragkörpers22 a) providing a provided with a gas supply supply structure support body
(10; 210; 310; 410) , wobei die Gaszufuhr-Versorgungsstruktur in einem Außenumfangsabschnitt des Tragkörpers (10; 210; 310; 410) vorgesehene Ausnehmungen (120, 121, 122, 123; 220) aufweist; b) gasdichtes Aufbringen einer Lagerhülse (14; 114; 314; 414) oder einer zumindest abschnittsweise gekrümmt verlaufenden Lagerschale (214) auf den Tragkörper (10; 210; 310; 410) zur Bildung eines inneren Lagerkörpers (1; 101; 201; 301; 401) im Bereich der Ausnehmungen (120, 121, 122, 123; 220) der Gaszufuhr-Versorgungsstruktur, wobei der innere Lagerkörper (1; 101; 201; 301; 401) einen inneren(10; 210; 310; 410), wherein the gas supply supply structure has recesses (120, 121, 122, 123; 220) provided in an outer peripheral portion of the support body (10; 210; 310; 410); b) gas-tight application of a bearing sleeve (14; 114; 314; 414) or a bearing shell (214) extending at least in sections to the support body (10; 210; 310; 410) to form an inner bearing body (1; 101; 201; 401) in the region of the recesses (120, 121, 122, 123, 220) of the gas feed supply structure, wherein the inner bearing body (1; 101; 201; 301; 401) has an inner
Körper bildet, der von einem äußeren Körper zumindest teilweise umfaßt ist; c) Einbringen von die Wandung der Lagerhülse (14; 114) beziehungsweise Lagerschale (214) durchdringenden Mikrolöchern (140, 141, 142, 143; 140' ; 240; 350,Body formed, which is at least partially covered by an outer body; c) introducing microholes (140, 141, 142, 143, 140 ', 240, 350, 143) penetrating the wall of the bearing sleeve (14, 114) or bearing shell (214),
351, 352, 353; 450, 451, 452, 453) in die Lagerhülse (14; 114; 314; 414) beziehungsweise Lagerschale (214) mittels einer hochenergetischen Strahlungsquelle, wobei sich die Strahlungsquelle radial außerhalb des inneren Lagerkörpers (1; 101; 201; 301; 401) befindet und das Einbringen der Mikrolöcher (140, 141, 142, 143; 14O1; 240; 350, 351, 352, 353; 450, 451, 452, 453) von der Seite der Lagerfläche (14 ' ; 114'; 214' ; 314'; 414') aus erfolgt.351, 352, 353; 450, 451, 452, 453) into the bearing sleeve (14; 114; 314; 414) or bearing shell (214) by means of a high-energy radiation source, the radiation source being located radially outside the inner bearing body (1; 101; 201; 301; 401). and introducing the microholes (140, 141, 142, 143, 14O 1 , 240, 350, 351, 352, 353, 450, 451, 452, 453) from the side of the bearing surface (14 ', 114', 214 '). 314 ', 414').
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß der Außenumfang der Lagerhülse (14) durch hochpräzises Abformen des Innenumfangs eines die Lagerhülse (14) umgebenden äußeren, als Rotationskörper ausgebildeten Körpers (3) gebildet wird.16. Method according to claim 15, characterized in that the outer circumference of the bearing sleeve (14) is formed by high-precision molding of the inner circumference of an outer body (3) surrounding the bearing sleeve (14).
23 23
17. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die hochenergetische Strahlungsquelle eine Lasereinrichtung ist.17. Method according to claim 15, characterized in that the high-energy radiation source is a laser device.
18. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß vor dem Schritt c) ein spanendes und/oder schleifendes Bearbeiten des Außenumfangs der Lagerhülse18. Method according to claim 15, characterized in that prior to step c) a machining and / or grinding of the outer circumference of the bearing sleeve
(14; 114; 314; 414) beziehungsweise der Lagerschale (214) zur Erzielung eines vorgegebenen Außendurchmessers beziehungsweise Krümmungsradius1 der Lagerschale (214) durchgeführt wird.(14, 114, 314, 414) or the bearing shell (214) to achieve a predetermined outer diameter or radius of curvature 1 of the bearing shell (214) is performed.
24 24