WO2006012893A1 - Vorrichtung zum aufnehmen einer messprobe - Google Patents

Vorrichtung zum aufnehmen einer messprobe Download PDF

Info

Publication number
WO2006012893A1
WO2006012893A1 PCT/DE2005/001395 DE2005001395W WO2006012893A1 WO 2006012893 A1 WO2006012893 A1 WO 2006012893A1 DE 2005001395 W DE2005001395 W DE 2005001395W WO 2006012893 A1 WO2006012893 A1 WO 2006012893A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
support
cover
measuring
opening
vessel wall
Prior art date
Application number
PCT/DE2005/001395
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Olaf SÜNWOLDT
Detlef Knebel
Original Assignee
Jpk Instruments Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jpk Instruments Ag filed Critical Jpk Instruments Ag
Priority to EP05775864.1A priority Critical patent/EP1774389B1/de
Priority to JP2007524176A priority patent/JP2008508533A/ja
Priority to DE112005002510T priority patent/DE112005002510A5/de
Priority to US11/659,374 priority patent/US8506909B2/en
Publication of WO2006012893A1 publication Critical patent/WO2006012893A1/de

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01QSCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q30/00Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
    • G01Q30/08Means for establishing or regulating a desired environmental condition within a sample chamber
    • G01Q30/12Fluid environment
    • G01Q30/14Liquid environment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y35/00Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03Cuvette constructions
    • G01N21/0303Optical path conditioning in cuvettes, e.g. windows; adapted optical elements or systems; path modifying or adjustment
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03Cuvette constructions
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03Cuvette constructions
    • G01N21/0332Cuvette constructions with temperature control

Definitions

  • the invention relates to a device for receiving a test sample, in particular sample holder, for a combined examination of the Mel3probe with a measuring method and another measuring method, which is different from the measuring method.
  • Scanning probe microscopy is a method for measuring surface properties, for example the topology, and it is also possible to determine bulk properties near the surface, such as the elasticity of a test sample
  • optical methods are very useful as supplementary examination methods: For example, fluorescence microscopy can make a statement as to where a molecule or a group of molecules resides if the sample is prepared appropriately The lateral resolution of this optical method is much lower than in scanning probe microscopy, but should be set at least as high as is technically possible.
  • SNOM Near-field microscopy
  • the test sample In order to optimize the fluorescence microscopy, the test sample must be prepared on a standard coverslip, since then the standard lenses used for microscopy are optimized. In addition to fluorescence microscopy, there are other optical methods which offer a high resolution and require a coverslip as Proben ⁇ carrier for optimal use. All of these methods are generally referred to as "optical metal / 5y methods".
  • a very simple and generally recognized implementation of a device for Auf ⁇ acquisition of a test sample to be examined, which is also referred to as a liquid cell is to glue a cover slip from below to a Petri dish with a hole, so that the test sample from the top of the coverslip prepared for scanning probe (10) microscopy, without any limitation in terms of simultaneous
  • the object of the invention is a device which is simple in construction and easy to use when in use for taking a test sample, in particular sample holder, for a combined examination of the test sample with a measuring method and another measuring method which is different from the measuring method , to accomplish. Furthermore, a slight drift path between the test sample and in particular a probe of a scanning probe microscope should also be ensured if the test sample is imaged in a liquid medium whose temperature can be adjusted.
  • the test sample can be examined with two different measuring methods, wherein with the aid of the support and cover element, an area area of the preparation component originally available for disposal is limited to a size necessary for the examination. Outside of the limiting opening, the preparation component is supported by the support and cover element, so that as free as possible vibration-free support of the test sample is conveyed. In particular, a vibration of the procurpa ⁇ rationsbauteils in the direction of the support and cover is minimized or even under ⁇ tied.
  • the surface of a coverslip used as a preparation component is limited, because a resonance frequency of the cover glass, if it is clamped only at the edge, is too low and thus restricts the control loop of a scanning probe microscope during the examination of the test sample. In this case, it is preferred to use commercially available diameters of the cover glass, for example 24 mm. Other diameters, which still allow the adaptation of a lens for optical examination, are of course also possible.
  • the resonance frequency of the coverslip is further reduced when a column of water rests on the coverslip as an additional mass.
  • a closer fit of the coverslip from both sides is not advantageous since this would make access to the optical examination methods, in particular with high-resolution commercial lenses, no longer possible.
  • a limitation of the surface from above, however, is possible and achieves a sufficient stability. The reason for this is a restriction of the free vibration upwards, whereby the oscillation of the fundamental mode of the cover glass is prevented. It can also be provided a socket from below, when a sufficiently thin sheet is used ver ⁇ , which is thinner than a working distance. However, this design is rela ⁇ tively consuming and more expensive.
  • three components are provided: a shell which is formed, for example, by means of a trough, a seal and a cover glass, a support and a temperature element which can, for example, heat and cool. It can also be provided that the temperature element only heats or only cools.
  • the connections between these components are preferably carried out as follows:
  • the shell as a central element is heat-conducting connected to the temperature element and heat-insulating with the support.
  • the connection between the support and the temperature element is heat-insulating. This ensures that the support, which produces the mechanical connection to the rest of the construction of the measuring apparatus, does not heat appreciably and thus shows no thermal drift.
  • the lowest part of the shell is formed by the coverslip on which the sample is prepared.
  • a drift of the preparation component preferably in the form of a cover slip in the sample plane can be prevented in one embodiment in particular in that the connection between the shell and the temperature element is effected by means of a plate joint. This allows the temperature element to drift without transferring this movement to the trough and thus the entire shell. Although the trough itself also heats up, it is essentially symmetrical with respect to the central axis and therefore drifts radially to it. A Meß ⁇ sample in the middle of the coverslip thus shows only a small drift in the sample plane.
  • the seal which is preferably formed of silicone, still prevents a direct transfer of the movement of the trough to the coverslip, so that the functionality of a floating mounting is formed.
  • connection between the temperature element and the support may be designed in one embodiment as a folding mechanism and then comprises two elements, a hinge and a snapper. These are preferably poor heat conductors.
  • the hinge and / or the snapper can also be heat-conducting and thus belong to the temperature element or the support. The thermal insulation must then take place via separate components.
  • the folding mechanism as an embodiment of the connection between the heating element and the support has the advantage that a simple and safe operation is possible. In particular, it allows the rapid removal of the parts from which the shell is formed. These come into contact with liquid, for example physiological buffer, and must therefore be removable from the structure for cleaning or replacement.
  • a further advantage of the folding mechanism is that a temperature sensor can be immersed in the liquid when it is folded down. The sensor is thus always brought exactly to the same place and it is certain that it does not touch the wall of the shell, for example. This malfunction would be expected if the user himself would have to attach the temperature sensor after each assembly. By means of the exact positioning, a more precise control can also be implemented, for example via a calibration.
  • FIG. 1 shows a device for receiving a test sample in cross section
  • FIG. 2 shows a schematic representation for explaining a drift minimization achieved
  • FIG. 3 shows a further device for receiving a test sample with a Klappmecha ⁇ mechanism in cross section.
  • FIG. 4 shows the device for receiving a test sample according to FIG. 3, wherein the folding mechanism is folded down.
  • Fig. 1 shows components of a device for receiving a sample in cross section.
  • the device is integrated to examine the test sample in a measuring apparatus, in particular a scanning probe microscope, and allows the measurement of the test sample by means of various measuring methods.
  • a preparation component designed as cover slip 1 is arranged on a support 10.
  • the support 10 has a support opening 11, which is bounded by support sections 12, 13.
  • the cover slip 1 is preferably a commercially available article.
  • the cover slip 1 forms, together with a seal 2, which is made of silicone for example, and a trough 3, a shell which can be called a liquid measuring cell and into which a liquid medium which forms the test sample itself or at least partially surrounds it, can be filled, for example, a buffer.
  • the seal 2 and the trough 3 are each provided with an opening 5, which are preferably made of the same size.
  • the trough 3 has a covering part 3 a supporting the covering glass 1 and a vessel wall 3b and is preferably made of stainless steel, but may also be made of another heat-conducting material such as tantalum.
  • a space formed in the opening 5 for receiving a test sample is expanded.
  • Teflon for example. It can then be used inside Teflon and outside steel. If only Teflon is used, no suitable temperature control is possible.
  • a seal is made by pressing the trough 3 against the seal 2 with a lug 4 formed in the region of the bottom part 3a.
  • the trough 3 it is possible to design the trough 3 as a thin hollow cylinder, but a significantly higher stability of the scanning probe microscope is achieved if the opening 5 in the bottom part 3a of the trough 3 is so minimized that an approximation is achieved along a measuring path extending therethrough the Raster ⁇ probe microscope is allowed from above and a reasonable range for the displacement of the sample is available.
  • the trough 3 has in the region of the vessel wall 3b tubes 7, via which a fluid exchange can take place.
  • the height of a recess 14 in the support 10 is suitably so be ⁇ true that all three components of the device by a circumferential side wall of Vertie ⁇ tion 14 are included, so that they can not slip laterally during assembly.
  • test sample (not shown) to be examined is arranged for measurement on the preparation component 1 in the region of the opening 5 and is thus accessible from above and from below for different measuring methods.
  • FIG. 2 shows a schematic view from the side with the device according to FIG. 1, where only elements are shown which are necessary for explaining a drift minimization achieved.
  • the shell 6 On the support 10 is the shell 6. At least a portion 15 of the support 10 is made of a thermally insulating material. The entire overlay 10 can also be heat-insulating; However, this is usually more expensive from the production and in the Materi ⁇ al Stahl.
  • a temperature element 20 for heating and / or cooling the test sample is also connected to the support 10 via heat-insulating components 21.
  • a connection 25 between the temperature element 20 and the shell 6 is a good heat-conducting connection, which can be designed, for example, as a plate joint.
  • the structure may be structurally solved so that a sufficient pressure from the temperature element 20 is exerted on the shell 6. This is ensured by the fact that the seal 2 is compressed and thus acts as a spring element. By means of the pressure on the seal 2, the tightness mentioned in connection with the explanations to FIG. 1 is also achieved.
  • the support 10 essentially remains at room temperature because it is thermally decoupled.
  • FIG. 3 shows a further device for receiving a test sample in cross-section, in which the connection between the temperature element 20 and the support 10 is designed as a folding mechanism.
  • a hinge 22 and a snapper 23 in this case correspond to the heat-insulating components 21 from FIG. 2.
  • the heat-insulating part 15 of the support 10 is connected to the support 10, for example via an adhesive, and is shaped so that the access to the Measuring sample for a lens 30 along another Meßweges on the Untersei ⁇ te the shell 6 is possible.
  • an optical examination of the test sample on the coverslip 1 is made possible (see Fig. 1).
  • a temperature sensor 40 which dips into the liquid with the test sample when it is lowered. Additional or alternatively other sensors can be attached, for example the measurement of the pH. It may be vorgese ⁇ hen to install several sensors at the same time.
  • the temperature sensor 40 is connected via a heat-insulating member 41 with the rest of the structure, so that it does not lead to Ver ⁇ falsifications of the measurement result.
  • the cover glass 1 with a test sample 50 and a liquid medium 51 are also shown in FIG.
  • Fig. 4 shows the further apparatus for receiving a measuring sample according to Fig. 3, wherein the temperature element 20 is folded down.
  • the pressure on the shell 6 is exerted in this Aus ⁇ leadership example on the compression of the seal 2.
  • the Schar ⁇ nier is formed so that the temperature element 20 even before snapping on a Surface 26 touches the shell 6 and when snapping the seal 2 compresses.
  • the surface 26 thus forms the above-mentioned plate hinge, that movement of the shell 6 limited only in the vertical direction. This is ensured if a distance 27, which represents the difference of the different radii, is greater than all expected drift paths.
  • the temperature sensor 40 now dips into the liquid medium 51.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Aufnehmen einer Messprobe, insbesondere Probenhalter, für eine kombinierte Untersuchung der Messprobe mit einem Messverfahren und einem anderen Messverfahren, welches von dem Messverfahren verschieden ist, mit einem flächigen Präpartionsbauteil (1) aus einem transparenten Material mit einer Präparationsfläche, auf die die Messprobe aufpräparierbar ist, wobei auf einer Seite des Präparationsbauteils (1) ein Messweg zum heranführen einer das Messverfahren ausführenden Messeinrichtung und auf einer gegenüberliegenden Seite des Präparationsbauteils (1) ein anderer Messweg zum Heranführen einer das andere Messverfahren ausführenden anderen Messeinrichtung an die Messprobe gebildet sind und wobei auf der einen Seite gegen das Präparationsbauteil (1) ein Stütz- und Abdeckelement (3a) gedrückt ist, welches eine Öffnung (5) aufweist, durch die hindurch der Messweg gebildet ist.

Description

Vorrichtung zum Aufnehmen «einer Meßprobe
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aufnehmen einer Meßprobe, insbesondere Pro¬ benhalter, für eine kombinierte Untersuchung der Mel3probe mit einem Meßverfahren und einem anderen Meßverfahren, welches von dem Meßverfahren verschieden ist.
Stand der Technik
Die Rastersondenmikroskopie (SPM - „scanning probe rnicroscopy") ist eine Methode zur Messung von Oberflächeneigenschaften, beispielsweise der Topologie. Es können auch Vo¬ lumeneigenschaften nahe der Oberfläche ermittelt werden wie zum Beispiel die Elastizität einer Meßprobe. Vielfach leidet die Rastersondenmikroskopie darunter, daß keine chemi¬ schen Eigenschaften der Meßprobe ermittelt werden können. Deshalb sind zum Beispiel opti¬ sche Methoden als ergänzende Untersuchungsmethoden sehr nützlich. Die Fluoreszenzmikro- skopie kann zum Beispiel bei geeigneter Präparation der Meßprobe eine Aussage treffen, wo sich ein Molekül oder eine Gruppe von Molekülen aufhält. Die laterale Auflösung dieser opti¬ schen Methode ist viel geringer als in der Rastersondenmikroskopie, sollte aber zumindest so hoch eingestellt werden, wie es technisch möglich ist. Die Nahfeldmikroskopie (SNOM - „scanning nearfield optical microscopy" eine Unterart des Rastersondenmikroskopie, wäre hierzu zwar prinzipiell auch in der Lage, aber die Anwendung ist doch vielfach noch kompli¬ zierter und zudem liefert die optische Lösung auch Informationen aus tieferen Probenschich¬ ten.
Für eine Kombination der Untersuchungsmethoden ist es oft geeignet, eine Entkopplung der- art vorzunehmen, daß ein inverses Mikroskop genommen wird und das SPM von oben adap¬ tiert wird. Hierdurch können beide Methoden wie gewohnt betrieben werden. Es ist von gro¬ ßem Vorteil, wenn ein Sondenscanner verwendet wird, nämlich ein Gerät, daß in allen drei zu bewegenden Raumrichtungen eine Sonde bewegt, wobei die zu untersuchende Meßprobe in Ruhe ist. Die Meßprobe selbst und ihre Umgebung, beispielsweise der Probenträger, bilden eine Schnittstelle.
Um die Fluoreszenzmikroskopie zu optimieren, muß die Meßprobe auf einem Standard Deckgläschen präpariert sein, da hierauf die zur Mikroskopie genutzten Standard-Objektive optimiert sind. Neben der Fluoreszenzmikroskopie gibt es noch andere optische Methoden, die eine hohe Auflösung bieten und fiir den optimalen Einsatz ein Deckgläschen als Proben¬ träger benötigen. Alle diese Methoden werden ganz allgemein im folgenden „optische Me- / 5j thoden" genannt.
Eine sehr einfache und allgemein anerkannte Implementierung einer Vorrichtung zur Auf¬ nahme einer zu untersuchenden Meßprobe, die auch als Flüssigkeitszelle bezeichnet wird, besteht darin, ein Deckgläschen von unten an eine Petrischale mit einem Loch zu kleben, so daß die Meßprobe von oben auf das Deckgläschen präpariert ist und so für die Rastersonden- (10) mikroskopie zugänglich ist, ohne das eine Einschränkung hinsichtlich der gleichzeitigen
Nutzbarkeit der optischen Methode zur Untersuchung der Meßprobe besteht.
Neben der optischen Zugänglichkeit über ein Deckgläschen ist es für die meisten Experimente interessant, daß in Wasser gemessen werden kann, wobei hier die Einstellung der Temperatur ( 15) und der Austausch von Flüssigkeit, beispielsweise zur Einstellung des pH- Wertes, sehr wich¬ tig ist. Sollen Zellen untersucht werden, so ist zudem die Zugabe von CO2 als Puffer sehr wichtig, um zumindest für einen gewissen Zeitraum lebensfähige Bedingungen zu schaffen.
Für alle diese Anforderungen gibt es bekannte Lösungen, die teilweise auch in kommerziellen ( 20) Geräten vereint sind. Der Aufbau einer solchen Vorrichtung zur Aufnahme der Meßprobe ist aber aufwendig, weil zum Beispiel mehrere Bauteile in geeigneter Weise anzuordnen und zusammenzuschrauben sind. Der Zugang mit einem Rastersondenmikroskop von oben ist möglich, allerdings gibt es Einschränkungen, die nicht akzeptabel sind. So ist es nicht mög¬ lich, die potentiell hohe laterale und vertikale Auflösung des Rastersondenmikroskops auf ( 25) einem kommerziellen Gerät zu erzielen; insbesondere bei der Messung in einem flüssigen Medium wie zum Beispiel Wasser oder Puffer. Ein weiteres sehr großes Problem ist die ther¬ mische Drift, wobei insbesondere eine zur Meßprobe vertikale Drift dazu führen kann, daß der relativ kleine Scanbereich eines Rastersondenmikroskops, welcher zum Beispiel 15μm beträgt, überschritten wird und die zur Messung verwendete Sonde entweder den Kontakt zur (30) Meßprobe verliert oder sogar mit der Meßprobe kollidiert. Die thermische Drift in der Pro¬ benebene ist auch problematisch, denn es ist insbesondere dann schwierig eine Probenstelle wiederzufinden, wenn sich die Meßprobe durch eine Temperaturänderung stark verändert. Die Erfindung
Aufgabe der Erfindung ist es, eine im Aufbau einfache und bei der Nutzung bequem zu hand¬ habende Vorrichtung zum Aufnehmen einer Meßprobe, insbesondere Probenhalter, für eine kombinierte Untersuchung der Meßprobe mit einem Meßverfahren und einem anderen Me߬ verfahren, welches von dem Meßverfahren verschieden ist, zu schaffen. Des weiteren soll eine geringe Driftstrecke zwischen der Meßprobe und insbesondere einer Sonde eines Raster¬ sondenmikroskops auch gewährleistet sein, wenn die Meßprobe in einem flüssigen Medium abgebildet wird, dessen Temperatur eingestellt werden kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung nach dem unabhängigen An¬ spruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von abhängigen Unteransprüchen.
Nach einem Aspekt der Erfindung ist eine Vorrichtung zum Aufnehmen einer Meßprobe, ins¬ besondere Probenhalter, für eine kombinierte Untersuchung der Meßprobe mit einem Me߬ verfahren und einem anderen Meßverfahren, welches von dem Meßverfahren verschieden ist, mit einem flächigen Präparationsbauteil aus einem transparenten Material mit einer Präparati- onsfläche geschaffen, auf die die Meßprobe aufpräparierbar ist, wobei auf einer Seite des Prä- parationsbauteils ein Meßweg zum Heranführen einer das Meßverfahren ausführenden Me߬ einrichtung und auf einer gegenüberliegenden Seite des Präparationsbauteils ein anderer Meßweg zum Heranführen einer das andere Meßverfahren ausführenden anderen Meßeinrich¬ tung an die Meßprobe gebildet sind und wobei auf der einen Seite gegen das Präparationsbau¬ teil ein Stütz- und Abdeckelement gedrückt ist, welches eine Öffnung aufweist, durch die hindurch der Meßweg gebildet ist.
Mit Hilfe der Vorrichtung kann die Meßprobe mit zwei unterschiedliche Meßverfahren unter¬ sucht werden, wobei mit Hilfe des Stütz- und Abdeckelementes ein ursprünglich zur Verfü¬ gung stehender Flächenbereich des Präparationsbauteils auf eine für die Untersuchung not- wendige Größe begrenzt wird. Außerhalb der begrenzenden Öffnung wird das Präparations¬ bauteil durch das Stütz- und Abdeckelement unterstützt, so daß eine möglichst schwingungs¬ freie Lagerung der Meßprobe gefördert wird. Insbesondere wird eine Schwingung des Präpa¬ rationsbauteils in Richtung des Stütz- und Abdeckelementes minimiert oder sogar ganz unter¬ bunden. Bei einer Ausführungsform ist die Fläche eines als Präparationsbauteil verwendeten Deckglä¬ schens eingeschränkt, denn eine Resonanzfrequenz des Deckgläschens, wenn es nur am Rand eingespannt ist, ist zu niedrig und schränkt somit den Regelkreis eines Rastersondenmikros- kops bei der Untersuchung der Meßprobe ein. Hierbei wird bevorzugt von handelsüblichen Durchmessern des Deckgläschens ausgegangen, beispielsweise 24mm. Andere Durchmesser, die noch die Anpassung eines Objektivs für eine optische Untersuchung erlauben, sind natür¬ lich ebenfalls möglich.
Die Resonanzfrequenz des Deckgläschens wird noch weiter gesenkt, wenn eine Wassersäule als zusätzliche Masse auf dem Deckgläschen ruht. Eine engere Fassung des Deckgläschens von beiden Seiten ist nicht vorteilhaft, da hierdurch der Zugang für die optischen Untersu¬ chungsmethoden, insbesondere mit hochauflösenden kommerziellen Objektiven, nicht mehr möglich wäre. Eine Einschränkung der Fläche von oben ist jedoch möglich und erzielt eine genügende Stabilität. Der Grund hierfür liegt in eine Einschränkung der freien Schwingung nach oben, wodurch die Schwingung der Grundmode des Deckgläschens verhindert wird. Es kann auch eine Fassung von unten vorgesehen sein, wenn ein hinreichend dünnes Blech ver¬ wendet wird, welches dünner als ein Arbeitsabstand ist. Allerdings ist diese Ausführung rela¬ tiv aufwendig und kostenintensiver.
In einer Ausführung sind drei Bauteile vorgesehen: eine Schale, die zum Beispiel mittels ei¬ nes Trogs, einer Dichtung und eines Deckgläschens gebildet ist, eine Auflage und ein Tempe¬ raturelement, daß zum Beispiel heizen und kühlen kann. Es kann auch vorgesehen sein, daß das Temperaturelement nur heizt oder nur kühlt. Die Verbindungen zwischen diesen Bautei- len sind bevorzugt wie folgt ausgeführt: Die Schale als zentrales Element ist wärmeleitend mit dem Temperaturelement und wärmeisolierend mit der Auflage verbunden. Die Verbin¬ dung zwischen der Auflage und dem Temperaturelement ist wärmeisolierend. Hierdurch wird gewährleistet, daß die Auflage, die die mechanische Verbindung zum übrigen Aufbau der Meßapparatur herstellt, sich nicht nennenswert erwärmt und somit keine thermische Drift zeigt. Der unterste Teil der Schale wird von dem Deckgläschen gebildet, auf dem die Probe präpariert ist. Dieses liegt nun auf einem wärmeisolierenden Teil der Auflage. Da die Auflage nicht oder nur sehr wenig in den drei Raumrichtungen driftet, wird auch der Teil, auf dem das Deckgläschen liegt, nur sehr wenig driften. Die vertikale Drift des Deckgläschens ist somit nahezu auf die eigene thermische Ausdehnung aufgrund des Ausdehnungskoeffizienten von Glas reduziert. Eine Temperaturänderung der übrigen Schale und des Temperaturelements und eine hierdurch hervorgerufene vertikale Drift findet relativ zu den nicht driftenden Bau¬ teilen statt und ist daher für das Deckgläschen nicht von Belang.
Eine Drift des bevorzugt als Deckgläschen ausgeführten Präparationsbauteils in der Proben¬ ebene kann bei einer Ausführung insbesondere dadurch verhindert werden, daß die Verbin¬ dung zwischen der Schale und dem Temperaturelement mittels eines Plattengelenkes ausge¬ führt ist. Hierdurch kann das Temperaturelement driften, ohne diese Bewegung auf den Trog und damit die gesamte Schale zu übertragen. Der Trog selbst erwärmt sich zwar auch, ist aber im wesentlichen symmetrisch zur Mittelachse und driftet daher radial zu dieser. Eine Me߬ probe in der Mitte des Deckgläschens zeigt somit nur eine geringe Drift in der Probenebene. Zudem verhindert die bevorzugt aus Silikon gebildete Dichtung noch eine direkte Übertra¬ gung der Bewegung des Troges auf das Deckgläschen, so daß die Funktionalität einer schwimmenden Lagerung gebildet ist.
Die Verbindung zwischen dem Temperaturelement und der Auflage kann in einer Ausführung als ein Klappmechanismus gestaltet sein und umfaßt dann zwei Elemente, ein Scharnier und einen Schnapper. Diese sind bevorzugt schlechte Wärmeleiter. Das Scharnier und / oder der Schnapper können natürlich auch wärmeleitend sein und so zum Temperaturelement oder zur Auflage gehören. Die Wärmeisolierung muß dann über gesonderte Bauelemente stattfinden.
Der Klappmechanismus als Ausführung der Verbindung zwischen dem Heizelement und der Auflage hat den Vorteil, daß eine einfache und sichere Bedienung möglich ist. Insbesondere erlaubt sie die rasche Entfernung der Teile, aus denen die Schale gebildet wird. Diese kom- men nämlich mit Flüssigkeit, zum Beispiel physiologischem Puffer, in Berührung und müssen deshalb für eine Reinigung oder einen Austausch aus dem Aufbau entfernbar sein. Ein weite¬ rer Vorteil des Klappmechanismus besteht darin, daß ein Temperatursensor beim Herunter¬ klappen in die Flüssigkeit getaucht werden kann. Der Sensor wird somit immer genau an die¬ selbe Stelle gebracht und es ist sicher, daß er zum Beispiel nicht die Wand der Schale berührt. Diese Fehlfunktion wäre dann zu erwarten, wenn der Benutzer selbst den Temperatursensor jeweils nach einem Zusammenbau anbringen müßte. Mittels der genauen Positionierung kann außerdem eine genauere Regelung zum Beispiel über eine Kalibrierung implementiert wer¬ den. Bevorzugte Ausfuhrungsbeispiele der Erfindung
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf Figuren einer Zeichnung näher erläutert. Hierbei zeigen: Fig. 1 eine Vorrichtung zum Aufnehmen einer Meßprobe im Querschnitt;
Fig. 2 eine schematische Darstellung zur Erläuterung einer erreichten Driftminimierung; Fig. 3 eine weitere Vorrichtung zum Aufnehmen einer Meßprobe mit einem Klappmecha¬ nismus im Querschnitt; und
Fig. 4 die Vorrichtung zum Aufnehmen einer Meßprobe nach Fig. 3, wobei der Klappme- chanismus heruntergeklappt ist.
Fig. 1 zeigt Bauteile einer Vorrichtung zum Aufnehmen einer Meßprobe im Querschnitt. Die Vorrichtung wird zum Untersuchen der Meßprobe in eine Meßapparatur, insbesondere ein Rastersondenmikroskop, integriert und ermöglicht das Vermessen der Meßprobe mittels ver- schiedener Meßverfahren. Gemäß Fig. 1 wird ein als Deckgläschen 1 ausgeführtes Präparati¬ onsbauteil auf einer Auflage 10 angeordnet. Die Auflage 10 weist eine Auflagenöffnung 11 auf, die von Auflageabschnitten 12, 13 begrenzt wird.
Bei dem Deckgläschen 1 handelt es sich bevorzugt um einen kommerziell verfügbaren Arti- kel. Das Deckgläschen 1 formt zusammen mit einer Dichtung 2, die zum Beispiel aus Silikon ist, und einem Trog 3 eine Schale, die als Flüssigkeitsmeßzelle bezeichnet werden kann und in die ein flüssiges Medium, welches die Meßprobe selbst bildet oder diese zumindest teilwei¬ se umgibt, eingefüllt werden kann, beispielsweise ein Puffer. Die Dichtung 2 und der Trog 3 sind hierfür jeweils mit einer Öffnung 5 versehen, die vorzugsweise mit gleicher Größe aus- geführt sind.
Der Trog 3 weist ein das Deckgläschen 1 stützendes / abdeckendes Bodenteil 3 a und eine Ge¬ fäßwand 3b auf und ist bevorzugt aus rostfreiem Stahl, kann aber auch aus einem anderen wärmeleitenden Material wie zum Beispiel Tantal sein. Mit Hilfe der Gefäßwand 3b wird ein in der Öffnung 5 gebildeter Raum zur Aufnahme einer Meßprobe erweitert. Es kann auch vorgesehen sein, den Trog 3 aus mehreren Materialien zu bilden, wenn zum Beispiel gefor¬ dert wird, daß der mit der Flüssigkeit in Berührung kommende Teil zum Beispiel aus Teflon sein soll. Es können dann innen Teflon und außen Stahl verwendet werden. Wenn nur Teflon verwendet wird, ist keine geeignete Temperaturregelung möglich. Eine Abdichtung erfolgt, indem der Trog 3 mit einem im Bereich des Bodenteils 3a gebilde¬ ten Ansatz 4 gegen die Dichtung 2 gedrückt wird. Prinzipiell ist es möglich, den Trog 3 als dünnen Hohlzylinder auszuführen, allerdings ist eine wesentlich höhere Stabilität des Raster- sondenmikroskops zu erreichen, wenn die Öffnung 5 im Bodenteil 3a des Trogs 3 derart mi¬ nimiert ist, daß entlang eines hierdurch verlaufenden Meßweges eine Annäherung des Raster¬ sondenmikroskops von oben erlaubt ist und ein sinnvoller Bereich für die Verschiebung der Meßprobe zur Verfügung steht.
Der Trog 3 weist im Bereich der Gefäßwand 3b Röhrchen 7, über die eine Fluidaustausch stattfinden kann. Die Höhe einer Vertiefung 14 in der Auflage 10 ist zweckmäßig so be¬ stimmt, daß alle drei Bauteile der Vorrichtung von einer umlaufenden Seitenwand der Vertie¬ fung 14 umfaßt werden, so daß sie beim Zusammenbau nicht seitlich verrutschen können. Die drei Bauteile, nämlich das Deckgläschen 1, die Dichtung 2 und der Trog 3, bilden eine Schale 6 (vgl. Fig. 2).
Eine zu untersuchende Meßprobe (nicht dargestellt) wird zum Vermessen auf dem Präparati¬ onsbauteil 1 im Bereich der Öffnung 5 angeordnet und ist so von oben und von unten für un¬ terschiedliche Meßverfahren zugänglich.
Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung von der Seite mit der Vorrichtung nach Fig. 1, wo¬ bei nur Elemente dargestellt sind, die zur Erläuterung einer erreichten Driftminimierung not¬ wendig sind. Auf der Auflage 10 steht die Schale 6. Zumindest ein Teil 15 der Auflage 10 ist aus einem wärmeisolierendem Material. Es kann auch die gesamte Auflage 10 wärmeisolie- rend sein; allerdings ist dies üblicherweise aufwendiger von der Fertigung und in den Materi¬ alkosten. Ein Temperaturelement 20 zum Heizen und / oder Kühlen der Meßprobe ist mit der Auflage 10 ebenfalls über wärmeisolierende Bauteile 21 verbunden. Eine Verbindung 25 zwi¬ schen dem Temperaturelement 20 und der Schale 6 ist eine gut wärmeleitende Verbindung, die zum Beispiel als Plattengelenk ausgeführt sein kann.
Um eine gute wärmeleitende Verbindung zu gewährleisten, kann der Aufbau konstruktiv so gelöst sein, daß eine ausreichender Druck von dem Temperaturelement 20 auf die Schale 6 ausgeübt wird. Dies wird dadurch gewährleistet, daß die Dichtung 2 zusammengepreßt wird und somit als Federelement wirkt. Mittels des Drucks auf die Dichtung 2 wird auch die in Verbindung mit den Erläuterungen zu Fig.1 angesprochene Dichtigkeit erreicht.
Wie schon oben beschrieben, bleibt aufgrund dieser Anordnung die Auflage 10 im wesentli- chen auf Raumtemperatur, da sie thermisch entkoppelt ist. Die Oberfläche, auf der die Schale
6 aufliegt, driftet somit in keiner Raumrichtung. Das Deckgläschen 1 , das als unterster Teil der Schale 6 im mechanischen Kontakt mit der Auflage 10 ist, driftet somit in der vertikalen
Richtung nur soviel, wie es der thermische Ausdehnungskoeffizient von Glas und die Dicke des Glases erlaubt. Die Drift in der Probenebene wird, wie schon oben beschrieben, im we- sentlichen durch das Plattengelenk minimiert, da eine Bewegung des Temperaturelements 20 in möglichst geringem Umfang auf die Schale 6 übertragen wird.
Fig. 3 zeigt eine weitere Vorrichtung zum Aufnehmen einer Meßprobe im Querschnitt, bei dem die Verbindung zwischen dem Temperaturelement 20 und der Auflage 10 als Klappme- chanismus gestaltet ist. Ein Scharnier 22 und ein Schnapper 23 entsprechen hierbei den wär¬ meisolierenden Bauteilen 21 aus Fig. 2. Der wärmeisolierende Teil 15 der Auflage 10 ist mit der Auflage 10 zum Beispiel über eine Klebung verbunden und ist so geformt, daß der Zu¬ gang zu der Meßprobe für ein Objektiv 30 entlang eines weiteren Meßweges auf der Untersei¬ te der Schale 6 möglich ist. Mit Hilfe des Objektivs 30 ist in Ergänzung zu einer von oben durchführbaren rastersondenmikroskopischen Untersuchung eine optische Untersuchung der Meßprobe auf dem Deckgläschen 1 ermöglicht (vgl. Fig. 1).
An dem Klappmechanismus ist ein Temperatursensor 40 angebracht, der beim Herunterklap¬ pen in die Flüssigkeit mit der Meßprobe eintaucht. Es können ergänzend oder alternativ ande- re Sensoren angebracht sein wie zum Beispiel die Messung des pH- Wertes. Es kann vorgese¬ hen sein, mehrere Sensoren gleichzeitig anzubringen. Der Temperatursensor 40 ist über ein wärmeisolierendes Bauteil 41 mit dem restlichen Aufbau verbunden, so daß es nicht zu Ver¬ fälschungen des Meßergebnisses kommt. Der Übersicht halber sind in Fig. 3 auch das Deck¬ gläschen 1 mit einer Meßprobe 50 und einem flüssigen Medium 51 gezeigt.
Fig. 4 zeigt die weitere Vorrichtung zum Aufnehmen einer Meßprobe nach Fig. 3, wobei das Temperaturelement 20 heruntergeklappt ist. Der Druck auf die Schale 6 wird in diesem Aus¬ führungsbeispiel über das Zusammenpressen der Dichtung 2 ausgeübt. Hierzu ist das Schar¬ nier so ausgebildet, daß das Temperaturelement 20 schon vor dem Einschnappen an einer Fläche 26 die Schale 6 berührt und beim Einschnappen die Dichtung 2 zusammenpreßt. Die Fläche 26 formt somit das oben genannte Plattengelenk, daß eine Bewegung der Schale 6 nur in der vertikalen Richtung beschränkt. Dies ist dann gewährleistet, wenn ein Abstand 27, der die Differenz der unterschiedlichen Radien darstellt, größer ist als alle zu erwartenden Drift- strecken. Der Temperatursensor 40 taucht nun in das flüssige Medium 51 ein.
Die in der vorstehenden Beschreibung, den Ansprüchen und den Zeichnungen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungsformen von Bedeutung sein.

Claims

Ansprüche
1. Vorrichtung zum Aufnehmen einer Meßprobe, insbesondere Probenhalter, für eine kom¬ binierte Untersuchung der Meßprobe mit einem Meßverfahren und einem anderen Meß- verfahren, welches von dem Meßverfahren verschieden ist, mit einem flächigen Präpara¬ tionsbauteil (1) aus einem transparenten Material mit einer Präparationsfläche, auf die die Meßprobe aufpräparierbar ist, wobei auf einer Seite des Präparationsbauteils (1) ein Meßweg zum Heranführen einer das Meßverfahren ausführenden Meßeinrichtung und auf einer gegenüberliegenden Seite des Präparationsbauteils (1) ein anderer Meßweg zum Heranführen einer das andere Meßverfahren ausführenden anderen Meßeinrichtung an die Meßprobe gebildet sind und wobei auf der einen Seite gegen das Präparationsbauteil (1) ein Stütz- und Abdeckelement (3a) gedrückt ist, welches eine Öffnung (5) aufweist, durch die hindurch der Meßweg gebildet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (5) des Stütz- und Abdeckelementes (3a) die Präparationsfläche umgibt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mittels der Öffnung (5) des Stütz- und Abdeckelementes (3 a) eine verminderte Präparationsfläche gebildet ist, die von der Öffnung (5) begrenzt ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in der Öffnung (5) des Stütz- und Abdeckelementes (3a) ein Probeaufnahmeraum ge¬ bildet ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Präparationsbauteil (1) und dem Stütz- und Abdeckelement (3a) ein Dichtungselement (2) angeordnet ist, um das Präparationsbauteil (1) und das Stütz- und Abdeckelement (3 a) fluiddicht zu verbinden.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Dichtungs¬ element (2) eine Dichtungsöffnung mit einem Durchmesser gebildet ist, der im wesentli- chen gleich dem Durchmesser der Öffnung in dem Stütz- und Abdeckelement (3 a) ist, wobei die Öffnung und die Dichtungsöffnung überlappend angeordnet sind.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Präparati- onsbauteil (1) und das Stütz- und Abdeckelement (3 a) mittels des Dichtungselementes (2) thermisch entkoppelt sind.
8. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Stütz- und Abdeckelement (3a) eine umlaufende Gefäßwand (3b) angeord- net ist, die einen erweiterten Probeaumahmeraum umgibt.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß in der Gefäßwand (3b) ein oder mehrere Zuführungen (7) zum Einbringen / Abführen eines Fluids in / aus dem erweiterten Probeaufnahmeraum gebildet sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Gefäßwand (3b) einstückig mit dem Stütz- und Abdeckelement (3a) ausgeführt ist, wobei mit dem Stütz- und Abdeckelement (3 a) ein Bodenteil gebildet ist.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Stütz- und Abdeckelement (3a) und / oder die Gefäßwand (3b) zumindest auf einer dem erweiterten Probeaufnahmeraum zugewandten Oberfläche eine Beschichtung aufweisen.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Präparationsbauteil (1), dem Stütz- und Abdeckelement (3 a) und der Gefäßwand
(3b) eine Meßzelle mit dem erweiterten Probeaufnahmeraum gebildet ist.
13. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Präparationsbauteil (1) aus einem Glasmaterial oder einem transparenten Kunst- Stoffmaterial ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Präparationsbau¬ teil (1) ein Deckgläschen mit standardisierten Abmessungen ist.
15. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Präparationsbauteil (1) auf einem Auflagebauteil (10) gelagert ist, welches eine Ausnehmung (11) mit einer Ausnehmungsfläche aufweist, die größer als eine Öffnungs- fläche der Öffnung (5) ist.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das Auflagebauteil (10) zumindest in einem Abschnitt (15), in welchem das Präparationsbauteil (1) zur Auf¬ lage kommt, aus einem wärmeisolierenden Material ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Auf¬ lagebauteil (10) eine Vertiefung (14) zur Aufnahme des Präparationsbauteils (1) und des Stütz- und Abdeckelementes (3a) und wahlweise der Gefäßwand (3b) gebildet ist.
18. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Präparationsbauteil (1) und / oder die Gefäßwand (3b) an ein Temperaturelement (20) zum Heizen und / oder Kühlen der Meßprobe thermisch gekoppelt sind.
19. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Präparationsbauteil (1) und / oder die Gefäßwand (3b) mittels einer schwenkba¬ ren Halterung fixiert sind, die zwischen einer geöffneten Stellung und einer geschlosse¬ nen Stellung schwenkbar ist.
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung in der geschlossenen Stellung mittels eines Schnappverschlusses gehalten wird.
21. Vorrichtung nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, daß an der Halte¬ rung ein oder mehrere Sensoreinrichtungen (40) angeordnet sind, mit denen in der ge¬ schlossenen Stellung Meßbedingungen in dem Probenraum / erweiterten Probenraum er- faßbar sind.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die eine oder alle Sensoreinrichtungen (40) von der Halterung, der Gefäßwand (3b) und / oder dem Stütz- und Abdeckbauteil (3 a) thermisch entkoppelt sind.
23. Vorrichtung nach Anspruch 18 und einem der Ansprüche 19 bis 22, dadurch gekenn¬ zeichnet, daß das Temperaturelement (20) in die Halterung integriert ist und in der geschlossenen Stellung an das Präparationsbauteil (1) und / oder die Gefäßwand (3b) thermisch gekoppelt ist.
24. Vorrichtung nach Anspruch 18 oder 23, dadurch gekennzeichnet, daß das Tempe¬ raturelement (20) mittels eines Plattengelenkes an das Präparationsbauteil (1) und / oder die Gefäßwand (3b) thermisch gekoppelt ist.
25. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßweg ein Rastersondenmikroskop-Meßweg ist zum Heranführen eines Raster¬ sondenmikroskops ist.
26. Vorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der andere Meßweg ein optischer Meßweg zum Heranführen einer optischen Meßein- richtung ist.
PCT/DE2005/001395 2004-08-05 2005-08-04 Vorrichtung zum aufnehmen einer messprobe WO2006012893A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP05775864.1A EP1774389B1 (de) 2004-08-05 2005-08-04 Vorrichtung zum aufnehmen einer messprobe
JP2007524176A JP2008508533A (ja) 2004-08-05 2005-08-04 検査試料の収容装置
DE112005002510T DE112005002510A5 (de) 2004-08-05 2005-08-04 Vorrichtung zum Aufnehmen einer Messprobe
US11/659,374 US8506909B2 (en) 2004-08-05 2005-08-04 Device for receiving a test sample

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE202004012394 2004-08-05
DE202004012394.0 2004-08-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2006012893A1 true WO2006012893A1 (de) 2006-02-09

Family

ID=35159957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2005/001395 WO2006012893A1 (de) 2004-08-05 2005-08-04 Vorrichtung zum aufnehmen einer messprobe

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8506909B2 (de)
EP (1) EP1774389B1 (de)
JP (1) JP2008508533A (de)
DE (1) DE112005002510A5 (de)
WO (1) WO2006012893A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1950764A1 (de) * 2007-01-23 2008-07-30 Nambition GmbH Fluidzelle für die Rastersondenmikroskopie oder Kraftsprektroskopie
JP2014513297A (ja) * 2011-04-27 2014-05-29 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ 交換可能なカートリッジと読み取り装置を有するセンサシステム
EP2821796A1 (de) * 2013-07-05 2015-01-07 Universität Basel Probenhalter für ein Rasterkraftmikroskop
CN107850620A (zh) * 2015-06-25 2018-03-27 布鲁克纳米公司 用于扫描探针显微镜的样本容器保持器

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9075225B2 (en) 2009-10-28 2015-07-07 Alentic Microscience Inc. Microscopy imaging
US20140152801A1 (en) 2009-10-28 2014-06-05 Alentic Microscience Inc. Detecting and Using Light Representative of a Sample
CN105974571B (zh) 2009-10-28 2019-05-28 阿兰蒂克微科学股份有限公司 显微成像
JP6227536B2 (ja) * 2011-09-30 2017-11-08 ライフ テクノロジーズ コーポレーション 生物学的分析のためのシステムおよび方法
US9110093B2 (en) * 2011-11-15 2015-08-18 National University Corporation Kanazawa University Sealed AFM cell
US10502666B2 (en) 2013-02-06 2019-12-10 Alentic Microscience Inc. Sample processing improvements for quantitative microscopy
CA2953620C (en) * 2013-06-26 2020-08-25 Alentic Microscience Inc. Sample processing improvements for microscopy
EP3792613A1 (de) 2016-04-08 2021-03-17 Alentic Microscience Inc. Probenverarbeitung für die mikroskopie
WO2018220742A1 (ja) * 2017-05-31 2018-12-06 株式会社島津製作所 Pesiイオン源用サンプルプレート及び該サンプルプレートを用いた質量分析装置
US10539776B2 (en) 2017-10-31 2020-01-21 Samantree Medical Sa Imaging systems with micro optical element arrays and methods of specimen imaging
US10928621B2 (en) 2017-10-31 2021-02-23 Samantree Medical Sa Sample dishes for use in microscopy and methods of their use

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3602596A (en) 1968-04-05 1971-08-31 Barnes Eng Co Roughness testing meters
US3620596A (en) * 1970-09-18 1971-11-16 Aerojet General Co Microscope slides
US4441793A (en) * 1983-01-10 1984-04-10 Elkins Carlos D Microscopic evaluation slide
US4974952A (en) 1988-03-31 1990-12-04 Focht Daniel C Live cell chamber for microscopes
EP0436338A2 (de) 1990-01-05 1991-07-10 National Research Council of Canada Druckunabhängige Probezelle zur Aufnahme von Infrarotabsorptionsspektren
US5173261A (en) * 1990-04-14 1992-12-22 Boehringer Mannheim Gmbh Test carrier for the analysis of fluids
US5675154A (en) * 1995-02-10 1997-10-07 Molecular Imaging Corporation Scanning probe microscope
JPH11206366A (ja) 1998-01-27 1999-08-03 Matsunami Glass Kogyo Kk 培養ディッシュ
US6153426A (en) * 1998-12-22 2000-11-28 Mwg Biotech Ag Thermocycler apparatus
US6233093B1 (en) 1997-11-25 2001-05-15 The Goodyear Tire & Rubber Company Temperature control for microscopy
WO2002084210A1 (en) 2001-04-12 2002-10-24 Zakrytoe Aktsionernoe Obschestvo 'nt-Mdt' Scanning probe microscope provided with a liquid cell
US20020154399A1 (en) * 1999-02-17 2002-10-24 Eastman Jay M. Cassette for facilitating optical sectioning of a retained tissue specimen

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5281516A (en) * 1988-08-02 1994-01-25 Gene Tec Corporation Temperature control apparatus and method
US5181382A (en) * 1991-08-02 1993-01-26 Middlebrook Thomas F Heating/cooling or warming stage assembly with coverslip chamber assembly and perfusion fluid preheater/cooler assembly
JP3371135B2 (ja) 1993-07-29 2003-01-27 独立行政法人産業技術総合研究所 蛍光走査型プローブ顕微鏡
JP2001108595A (ja) * 1999-10-04 2001-04-20 Seiko Instruments Inc 微小領域走査装置
IL145136A0 (en) * 2001-08-27 2002-06-30 Multiple plate tip or sample scanning reconfigurable scanning probe microscope with transparent interfacing of far-field optical microscopes

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3602596A (en) 1968-04-05 1971-08-31 Barnes Eng Co Roughness testing meters
US3620596A (en) * 1970-09-18 1971-11-16 Aerojet General Co Microscope slides
US4441793A (en) * 1983-01-10 1984-04-10 Elkins Carlos D Microscopic evaluation slide
US4974952A (en) 1988-03-31 1990-12-04 Focht Daniel C Live cell chamber for microscopes
EP0436338A2 (de) 1990-01-05 1991-07-10 National Research Council of Canada Druckunabhängige Probezelle zur Aufnahme von Infrarotabsorptionsspektren
US5173261A (en) * 1990-04-14 1992-12-22 Boehringer Mannheim Gmbh Test carrier for the analysis of fluids
US5675154A (en) * 1995-02-10 1997-10-07 Molecular Imaging Corporation Scanning probe microscope
US6233093B1 (en) 1997-11-25 2001-05-15 The Goodyear Tire & Rubber Company Temperature control for microscopy
JPH11206366A (ja) 1998-01-27 1999-08-03 Matsunami Glass Kogyo Kk 培養ディッシュ
US6153426A (en) * 1998-12-22 2000-11-28 Mwg Biotech Ag Thermocycler apparatus
US20020154399A1 (en) * 1999-02-17 2002-10-24 Eastman Jay M. Cassette for facilitating optical sectioning of a retained tissue specimen
WO2002084210A1 (en) 2001-04-12 2002-10-24 Zakrytoe Aktsionernoe Obschestvo 'nt-Mdt' Scanning probe microscope provided with a liquid cell

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1999, no. 13 30 November 1999 (1999-11-30) *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1950764A1 (de) * 2007-01-23 2008-07-30 Nambition GmbH Fluidzelle für die Rastersondenmikroskopie oder Kraftsprektroskopie
WO2008089889A1 (de) * 2007-01-23 2008-07-31 Nambition Gmbh Fluidzelle für die rastersondenmikroskopie oder kraftspektroskopie
JP2014513297A (ja) * 2011-04-27 2014-05-29 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ 交換可能なカートリッジと読み取り装置を有するセンサシステム
EP2821796A1 (de) * 2013-07-05 2015-01-07 Universität Basel Probenhalter für ein Rasterkraftmikroskop
WO2015001119A1 (en) * 2013-07-05 2015-01-08 Universität Basel Sample holder for an atomic force microscope
US9746493B2 (en) 2013-07-05 2017-08-29 University Of Basel Sample holder for an atomic force microscope
CN107850620A (zh) * 2015-06-25 2018-03-27 布鲁克纳米公司 用于扫描探针显微镜的样本容器保持器
EP3314271A4 (de) * 2015-06-25 2019-01-23 Bruker Nano, Inc. Probengefässhalterung für rastersondenmikroskop
CN107850620B (zh) * 2015-06-25 2020-11-17 布鲁克纳米公司 用于扫描探针显微镜的样本容器保持器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008508533A (ja) 2008-03-21
DE112005002510A5 (de) 2007-07-12
EP1774389B1 (de) 2014-06-18
US8506909B2 (en) 2013-08-13
US20080163702A1 (en) 2008-07-10
EP1774389A1 (de) 2007-04-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2006012893A1 (de) Vorrichtung zum aufnehmen einer messprobe
DE19947495C2 (de) Mikrofluidischer Mikrochip
DE4109908C2 (de) Anordnung zur Prüfung von Halbleiter-Wafern
DE3511700C2 (de)
DE102009020663A1 (de) Mikroskopie eines Objektes mit einer Abfolge von optischer Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie
EP1430485A2 (de) Vorrichtung und verfahren für ein rastersondenmikroskop
EP0648536A1 (de) Mehrgefässanordnung zur Instrumental-Analyse
EP2169391B1 (de) Probenkammerhalter zum Haltern einer Probenkammer und System bestehend aus der Probenkammer und dem Probenkammerhalter
EP2217894A1 (de) Laborgerät mit einem geschützten arbeitsraum
WO2003029788A2 (de) Flusskammer
EP3069188A1 (de) Optisches übertragungssystem und mikroskop mit einem solchen übertragungssystem
DE102010052674A1 (de) Probenträger mit Justiermarkierung
EP2176607A2 (de) Tieftemperaturvorrichtung
DE102009029078B4 (de) Halterung für eine Fangeinrichtung
EP2067016A1 (de) Einrichtung zum abtasten einer von einer flüssigkeit bedeckten probenoberfläche
DE102010031189B4 (de) ATR-Objektiv für ein IR-Mikroskop und Verfahren zu dessen Betrieb
DE10246282B4 (de) Prober zum Testen von Substraten bei tiefen Temperaturen
DE102004046685B3 (de) Messzelle und Verfahren für die Flüssigkeitsanalyse
DE102007014155A1 (de) Optikfassung und optisches Bauelement mit einer derartigen Optikfassung
EP2463703A1 (de) Mikroskoptisch mit verschwenkbarer Objektivhalterung
EP0822435A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Rasternahfeldmikroskopie an Probekörpern in Flüssigkeiten
DE102019219096A1 (de) Abstimmbare schallgradientenlinse mit axialem konformitätsabschnitt
DE112012001688B4 (de) Balgbetätigter Infrarot-Tisch
WO2006056178A1 (de) Objektiv-tisch-system für mikroskope
EP1950764A1 (de) Fluidzelle für die Rastersondenmikroskopie oder Kraftsprektroskopie

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KM KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NG NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SM SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): BW GH GM KE LS MW MZ NA SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2005775864

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2007524176

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1120050025101

Country of ref document: DE

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2005775864

Country of ref document: EP

REF Corresponds to

Ref document number: 112005002510

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20070712

Kind code of ref document: P

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11659374

Country of ref document: US