Capteur optoélectronique à haute dynamique avec faible bruit d'offset
Introduction
A ce jour deux technologies de capteurs optoélectroniques sont largement répandues. Des capteurs intégrés en technologie CCD (Charge Coupled Device) et des capteurs intégrés en technologie CMOS (Complementary Métal Oxyde Semiconductor). La majorité des capteurs utilisés fournit une réponse optoélectronique essentiellement linéaire par rapport à l'intensité optique entrant au capteur. Typiquement ces capteurs peuvent traiter un rapport maximal de contraste (intensité du point image avec la plus haute intensité détectable avant saturation divisée par intensité du point image avec intensité la plus faible détectable) d'environ 1000/1. Comme des scènes naturelles facilement montrent des contrastes de 1 Mio/1 et plus (par exemple lors de la prise d'image de la sortie d'un tunnel un jour ensoleillé) il y a un besoin de capteurs avec une réponse optoélectronique non linéaire. Pour les capteurs optoélectronique en technologie CMOS il y a une grande variété de réalisations de tels capteurs (voir références [1-3] ). Toutes ces approches utilisent la fonction non linéaire de transfert courent-tension d'un transistor MOS pour obtenir une compression non linéaire de la réponse optoélectronique. Ainsi il est possible de réaliser des capteurs optoélectronique permettant d'observer des contrastes d'image excédant 10Mio/l. [2]. Ces approches ont tous un grand désavantage. La fonction de transfert du capteur optoélectronique dépend de la tension de seuil de ces transistors MOS, utilisés pour obtenir la compression non linéaire. Due à des tolérances de fabrication cette tension peut montrer des variations considérables par rapport au signal. Ceci est particulièrement gênant pour des matrices de capteurs (capteurs images) car à une intensité d'exposition homogène la matrice peut délivrer une valeur différente pour chaque point image. (Bruit Fixe)
Etat de l'art
L'architecture la plus connue pour réaliser des capteurs optoélectroniques capables de mesurer des intensités optiques avec des hautes dynamiques qui soit adapté à l'intégration dans des matrices de capteurs (capteurs d'image), utilise l'architecture du pixel logarithmique. Un schéma de ce pixel se trouve dans la Figure 1. Dans ce type de détecteur une photodiode est connectée à la source d'un transistor mos, dont le drain et la grille sont fixé à un potentiel de référence, typiquement la tension d'alimentation (VDD) du détecteur.
Le courant créé par la radiation entrant sur la photodiode crée une chute de tension entre la grille et la source avec une dépendance logarithmique du courant créé par la photodiode. Cette architecture permet de mesurer l'intensité optique entrant sur le capteur avec une dynamique très haute. Mais cette architecture a le désavantage que la valeur initiale (correspondant au noire) ainsi que le gain dépendent de la tension « treshold » de ce transistor, ceci fait que cette architecture souffre d'un grand bruit « d'offset » fixe et d'un bruit de gain fixe. En plus cette architecture montre le désavantage que la réponse temporelle du détecteur est limitée, surtout si l'intensité optique est faible, ce qui mène au phénomène de « image lag ». Une autre approche pour obtenir un capteur d'image à haute dynamique a été proposé par Thomas F. Knight [3]. L'idée correspond à fixer un seuil de décharge maximale dans un détecteur de principe intégrateur comme il est esquissé dans la Figure 2. Le seuil de décharge est réduit au cours du temps de pose (temps d'intégration). Voire la figure 3. Ceci permet d'obtenir une courbe de réponse du détecteur qui nécessite plus d'intensité par unité de signale pour les intensités fortes que pour les intensités faibles. (Courbe de réponse non linéaire). Ainsi d'images à haut contraste peuvent être acquises avec une matrice de tels détecteurs, en obtenant un bon contraste pour les parties de faible intensité sans que les parties avec une haute intensité soient saturées. Néanmoins, comme le seuil de décharge est fixe par un transistor MOS, ce seuil varie d'un détecteur à l'autre dû aux variations de la tension de seuil (Vth) du transistor MOS, menant à un bruit fixe dans une matrice de capteurs. Quant un simple offset d'un détecteur à l'autre peut être facilement corrigé avec des techniques de double échantillonnage (CDS) qui soustraient la valeur de « reset » (signaux du noir) de la valeur signale, le bruit fixe engendré par la variation du seuil de décharge, se manifeste seulement à partir d'une certaine valeur de décharge, elle ne peut donc pas être corrigé facilement.
Description de l'invention :
La description de l'invention est faite pour le cas de l'implémentation du détecteur optoélectronique dans une technologie CMOS dont la matière de base est dotée de porteurs de charge positive (p-materiel) est dont ce matériel de basé est connecté au potentiel le plus négatif (terre) du circuit. Dans le cas décrit le capteur collectionne des électrons crées par la radiation électromagnétique entrant au capteur. Pour le lecteur doué il est cependant facile d'adapter l'invention au cas d'un capteur ou les porteurs de charges positives sont collectionnés, en inversant toutes les polarités des tensions et l'orientation des éléments.
Les figures ajoutées à la description de l'invention sont des exemples inclus afin d'aider l'explication de l'invention, ils ne limitent pas l'invention. Le lecteur maîtrisant le sujet va facilement trouver des combinaisons et implémentations des principes selon l'invention dans des circuits autres que ceux ajoutés.
Dans la figure 4, une possible implémentation du capteur optoélectronique selon l'invention est esquissée. Dans le capteur optoélectronique selon l'invention, la cathode d'une photodiode (1) (zone de matériel semi-conducteur dotée de façon appropriée afin de collectionner des charges électriques crées dans le matériel semi-conducteur par la radiation électromagnétique) est connectée à un circuit de détection de tension (2). D'ailleurs la cathode de la photodiode
(1) est connectée à la cathode d'une deuxième diode (3) dont l'anode est connectée à un potentiel de référence (6).
L'opération du capteur selon l'invention ce fait d'après le schéma suivant. Dans une première phase, la phase du « reset », le potentiel de référence est mis à ça valeur la plus haute. A travers la diode (3) il s'établit sur la photodiode (1) donc une tension de polarisation inverse ou tension de reset, défini par le seuil de conduction de la diode de limitation de décharge(3). Le potentiel de référence est choisit tel que cette tension soit proche de la limite supérieure d'entrée du circuit de détection de tension (2). Dans une variation de l'utilisation du capteur selon l'invention cette tension de reset est détectée à travers le circuit de détection de tension
(2) et est mémorisée afin de pouvoir corriger des effet d' « offset » en faisant une soustraction de cette tension de la tension qui sera détectée lors de la lecture à la fin de l'intégration. Dans une autre variation de l'utilisation du capteur selon l'invention cette tension de « reset » est détectée et est soustrait de la valeur de lecture détectée lors de l'intégration avant la phase de reset. Dans une deuxième phase, la phase de l'intégration, la tension de référence est réduite suivant une fonction désirée. De préférence cette fonction est une fonction d'escalier avec plusieurs pas, et de préférence la fonction est choisie tel que la tension de référence reste à ça nouvelle valeur plus que la moitié du temps restant jusqu'à la fin de l'intégration. Figure 5. Comme la tension de référence c'est réduit, la diode de limitation (3) devient polarisée à l'inverse, donc la cathode de la photodiode devient flottante. Le potentiel de la cathode se réduit en fonction de l'intensité de la radiation électromagnétique entrant au capteur. Cependant si dû à une radiation entrant relativement forte le potentiel de la cathode de la photodiode (1) est déchargée plus bas que la tension de
référence moins la tension de seuil de la diode limitant (3) celle devient polarisé direct et compense le courant de décharge de la photodiode, tel que le potentiel de la photodiode reste constant jusqu'à ce que le potentiel de référence soit réduit de nouveau. Dès que la tension de référence est de nouveau réduite, le potentiel de la cathode de la photodiode est de nouveau déterminé par le courant de décharge créé par la radiation électromagnétique. Ces pas peuvent être répètes à volonté, afin d'obtenir une fonction de réponse désirée. Dans une dernière, et troisième phase la tension sur la photodiode est détectée à travers le circuit de détection de tension (2). Un exemple d'une fonction de réponse obtenu avec le capteur selon l'invention et la fonction de la tension de référence indiquée dans figure 5 est dessiné en figure 6.
L'avantage du montage selon l'invention est que la limite de décharge est définie par le potentiel de référence et la tension de seuil de la diode (3). Typiquement la variation de la tension de seuil d'une diode est très petite, <l mV tandis qu'au cas de l'utilisation d'un transistor MOS la tension de « treshold » ou tension de seuil du transistor MOS souffre d'une forte variation. Typiquement > lOmV. Donc le montage proposé peut substantiellement réduire le bruit fixe ou bruit d'offset entre différents détecteurs.
En utilisant un procède de fabrication standard CMOS l'implémentation de la photodiode (1) est typiquement réalisée avec une diode N-Well vers P-Substrat dans le cas d'une technologie de substrat dopé avec des donneurs de charges positives, soit substrat P. (Dans le cas opposé une diode P-Well vers N-Substrat sera utilisé et tous les courants et polarités des éléments seront inversés comme paraît évidant au lecteur maîtrisant la matière). La diode limitant la décharge de la photodiode (3) peut être réalisée en utilisant les implémentations de drain/source de transistor P-Mos, soit des zones dopées P-plus. Néanmoins il faut éviter que le transistor bipolaire vertical du type pnp soit enclenché lors de l'opération du détecteur et cause un court circuit entre le potentiel de référence, et le potentiel de terre. Pour éviter ceci une variation du détecteur selon l'invention réalise la diode limitant la décharge de la photodiode (3) en utilisant une diode du type Schotky, réalisé avec une jonction métal N- Well. La zone de charge-espace crée par la diode du type Schotky est très mince, donc la base du transistor parasite pnp verticale devient plus large, permettant une planche plus large de condition de biais pour l'opération du détecteur. Dans une autre variation de la réalisation du détecteur selon l'invention la diode limitant la décharge (3) est réalisée en utilisant des implantations moins fortes, et restant à la surface, comme les implantations pldd respectivement nldd, utilisées dans des technologies CMOS submicrometriques ou des
implémentations pbase utilisé dans des technologies Bi-CMOS. La coupe à travers la photodiode (1) et la diode limitant las décharge de la photodiode est esquissée en Figure 1 1. Dans encore une variation de la réalisation du détecteur selon l'invention las diode limitant la décharge (3) est implémenté en forme de diode en poly-silicium. Une telle diode est fabrique en utilisant les couches de poly-silicium et des zones de dopage p et n. L'utilisation de la diode poly-silicium a comme avantage d'éviter la formation d'un transistor bipolaire parasite. Une possible implémentation physique d'un tel dispositif est indique en figure 12.
Pour des intensités de radiation électromagnétiques entrant très importantes un courant fort doit être compensé à travers la diode de limitation de décharge (3). Dans le cas d'une matrice de détecteurs selon l'invention le potentiel de référence peut localement être réduit dû aux résistances en série avec le routage de ce potentiel. Pour éviter des modifications de la fonction de réponse du détecteur localisé selon une ligne ou une colonne, le routage du potentiel de référence peut être fait en grille utilisant des pistes connecteurs autant le long des lignes que des colonnes de la matrice. Ainsi d'une part la résistance en série du routage pour le potentiel de referance est réduite, est d'autre part si localement le potentiel de référence varie, cette variation sera distribuée autant le long des lignes que des colonnes, réduisant la visibilité d'une alternance de la fonction de réponse.
La figure 7 montre une variation du détecteur selon l'invention. Parallèle à la diode limitant la décharge (3) un interrupteur (4), connectant la cathode de la photodiode au potentiel de reset est implémenté. Cet interrupteur (4) permet de fixer le potentiel de la cathode de la photodiode lors de la phase de « reset » (première phase) exactement au potentiel de « reset ». D'ailleurs cet interrupteur permet de réinstaller le potentiel de « reset » sur la cathode de la photodiode sans que le potentiel de référence doive monter au-delà du potentiel de « reset ». En plus si cet interrupteur est entièrement fermé lors de la phase de reset le potentiel de reset s'établi sur la cathode de la photodiode immédiatement est pour des intensités de radiation entrant modérés indépendamment le l'intensité entrant. Ceci permet d'effectuer un reset complet de l'information d'intensité acquise lors de la phase précédente d'intégration précédante, (no image lag)
Figure 8 montre une autre variation du détecteur selon l'invention. Entre la cathode de la photodiode (1) et le circuit de détection de tension (2) un interrupteur (5) est intégré. Cet interrupteur permet d'effectuer une opération de « sample and hold » de la valeur de tension
sur la cathode de la photodiode à la fin de la phase d'intégration. Ainsi pour une matrice de détecteurs selon l'invention, un schéma d'opération peut être réalisé dans lequel tous les détecteurs terminent la phase de l'intégration (phase 2) simultanément, mais les valeurs de tensions des cathodes des photodiodes, obtenus à la fin de cette phase d'intégration sont transmis seulement séquentiellement. « Global shutter opération ». Figure 9 montre une possible implémentation de la variation du détecteur selon l'invention décrite dans la figure 8 en utilisant des transistors MOS pour réaliser les interrupteurs (4) et (5). Si l'interrupteur (5) est réalisé en transistor NMOS au cas d'une photodiode (1) Ntype en substrat P (PMOS au cas de photodiode (1) Ptype en substrat N) le transistor MOS (5) peut être utilisé en mode d'amplificateur à grille commun. Dans ce cas lors de la phase de reset (première phase) le potentiel de référence moins la tension de seuil de la diode limitant la décharge (3) reste au- dessous du potentiel de grille du transistor MOS (5) moins sa tension de seuil (Vth). L'interrupteur (4) cependant est fermé afin d'établir le potentiel de « reset » sur l'entrée du circuit de détection de tension. Ce potentiel de « reset » est choisit plus haute que le potentiel de grille du MOS (5) moins la tension de seuil de ce transistor. Typiquement le potentiel de reset est choisi à être le potentiel d'alimentation du détecteur. Lors de la deuxième phase, la phase de l'intégration, l'interrupteur (4) est ouvert. Le potentiel sur l'entré du circuit de détection de tension (2) reste donc flottant. Toute charge électrique détectée par la photodiode est compensé à travers le transistor (5) et réduit le potentiel sur l'entrée du circuit de détection de tension (2). Si la capacité parasite de l'entre du détecteur de tension (2) est inférieure à la capacité parasite de la photodiode (1), une amplification de signaux de tension équivalent au rapport de ces deux capacités parasites est obtenue jusqu'à ce que le potentiel sur l' entre du détecteur de tension (2) ce soit déchargé au potentiel de grille du transistor (5) moins ça tension de seuil. A partir de là, le transistor (5) devient un interrupteur fermé, et la cathode de la photodiode et l'entré du détecteur de tension se déchargent, restant au même potentiel. Afin d'obtenir une fonction de réponse courbée le potentiel de référence peut être réduit d'après une fonction similaire à celle esquissé en figure 10. De cette manière une sensibilité plus haute pour de petites intensités, et une sensibilité réduite pour des hautes intensités peut être obtenue. A la fin de la phase d'intégration la lecture peut se faire directement ou le potentiel de grille du transistor (5) peut être réduit à terre, afin d'utiliser le transistor (5) comme interrupteur de « sample and hold ».
List des Références :
[1] United States Patent Appl. No.: 373972 Sawas. G. Chamberlain Sept 25 1984
[2] Oliver Vietze "Active pixel image sensors with application spécifie performance based on standard silicon CMOS processes" p.97ff Dissertation submitted to the Swiss fédéral institute of technology Zurich, Switzerland. Diss. ETH No. 12038 1997
[3] Thomas F. Knight, Jr. "Design of an Integrated Optical Sensor with On-Chip Preprocessing" PHD Thesis for Doctor of Philosophy, Massachusetts Institute of Technology, June, 1983