WO2005073775A1 - 顕微鏡および顕微鏡の静電気放電対策方法 - Google Patents

顕微鏡および顕微鏡の静電気放電対策方法 Download PDF

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    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/0016—Technical microscopes, e.g. for inspection or measuring in industrial production processes

Definitions

  • the present invention relates to a microscope.
  • Discharge of an electronic circuit or semiconductor element from a charged conductive object causes serious problems such as malfunction of the electronic circuit or damage to the semiconductor element. For this reason, in the inspection process of semiconductor devices, floors, work tables, chairs, tools, etc. are used as countermeasures against static electricity, the charge level is controlled by using a humidity control ionizer, and workers are required to use special clothing and Wearing footwear and wrist straps to prevent electrostatic discharge.
  • ESD electro-static discharge
  • Japanese Patent No. 3359035 discloses that an electrostatic charge is quickly dissipated through a metal conductive member by grounding an injection-molded plastic member that also has a combined force of a metal conductive member and a conductive polymer. Suggest a microscope.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-350097 discloses an electrostatic countermeasure for securing conductivity between units by forming a film of each unit of a microscope by a plating method, a chemical conversion method, and a coating method. Has been disclosed.
  • a silicone rubber eyeshade conventionally mounted on an eyepiece has a conductive type.
  • the fit to the worker during observation and the effect of preventing stray light are impaired.
  • knobs and levers used for switching between various microscopy, the handle of the focusing unit, the light control volume, and the like are made of silicone rubber having elasticity and surface friction that are easy for operators to operate. Changed to “fat” metal. As a result, excellent operational feeling is impaired.
  • the conventional countermeasures against electrostatic discharge sacrifice the advantages that were commonplace in conventional microscopes.
  • the user has the following disadvantages, such as not being able to obtain an excellent operation feeling and having to purchase an expensive microscope.
  • the present invention has been made in view of such a situation, and a purpose thereof is to provide a microscope provided with an electrostatic discharge countermeasure that does not sacrifice an advantage that was commonplace in a conventional microscope. It is to provide.
  • the present invention is directed, in part, to a microscope.
  • a portion expected to be directly touched by an observer of the microscope at the time of observation is made of conductive rubber or provided with a conductive rubber coating.
  • the present invention is directed, in part, to a method for preventing electrostatic discharge of a microscope.
  • the electrostatic discharge countermeasure method according to the present invention is configured such that a portion that a microscope observer is expected to directly touch at the time of observation is made of conductive rubber, or a portion that a microscope observer is expected to directly touch at the time of observation is conductive. Provide a coating of conductive rubber.
  • FIG. 1 is a side view of a semiconductor inspection microscope according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a front view of the microscope for semiconductor inspection shown in FIG. 1.
  • FIG. 3 is a top view of the semiconductor inspection microscope shown in FIG. 1.
  • FIG. 4 is a perspective view of an eyepiece of the microscope for semiconductor inspection shown in FIG. 1.
  • FIG. 1 is a side view of a semiconductor inspection microscope according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a front view of the semiconductor inspection microscope shown in FIG. 1
  • FIG. FIG. 3 is a top view of the inspection microscope.
  • the microscope for semiconductor inspection is attached to an eyepiece 2, a lens barrel 3 holding the eyepiece 2, a body 4 holding the lens barrel 3, and a body 4. It includes a lamp house 5, a revolver 6 held by a main body 4, an objective lens 7 mounted on the revolver 6, and a stage 8 mounted on the main body 4.
  • the semiconductor wafer specimen 9 is placed on the stage 8.
  • the main body 4 includes an optical path switching knob 4a which is inserted and removed in the direction of arrow A to switch between bright and dark field observation, and a focusing handle 4b for focusing the specimen.
  • the main body 4 is provided with a plurality of rubber feet 4d on its rear surface mainly for stable installation of the microscope and vibration prevention.
  • the main body 4 is provided on a side surface of the light projecting unit that projects the light of the lamp house 5 with a filter that allows the observation light to be more easily observed. It has an opening for the tar slider. When the filter slider is inserted into the opening, the gap between the two is very small, but when the filter is inserted, the opening becomes a large opening. Therefore, in order to prevent harmful light from leaking or external light or dust from entering the inside of the light emitting portion, a slider one cap 4c which is a member for closing the opening is attached to the opening.
  • the slider cap 4c is made of a rubber material and has an outer shape slightly larger than the opening. For this reason, it is possible to reliably close the opening without any gap and to shut off the outside by insertion using soft elastic deformation.
  • a rubber plate 4e is provided to ensure the safety of workers and prevent damage to the mechanism.
  • This rubber plate 4e is used for the operator's fingers and tools on the internal mechanism of the microscope. Functions as a protective film to prevent inadvertent touching, and also functions to prevent finger pinching between the lower part of the stage 8 and the body 4 during focusing.
  • the rubber plate 4e has an opening necessary for the stage to move up and down, and the gap is extremely small.
  • the stage 8 has an XY operation handle 8a for aligning the specimen.
  • Light path switching which is a part that the observer of the microscope is expected to directly touch during observation, is provided with a conductive member 4a, a focusing handle 4b, a slider cap 4c, a rubber foot 4d, a rubber plate 4e, and an XY operation handle 8a. It is made of conductive rubber and is electrically connected to the metal parts of the internal mechanism, and finally is electrically connected to the outside.
  • the conductive rubber is made of, for example, a conductive silicone rubber having little sensitization to human skin.
  • the conductive silicone rubber contains carbon, for example, and has conductive performance.
  • the conductive silicone rubber desirably has a conductivity that can quickly dissipate the charge. Specifically, the surface resistance value is 10 5 to 10 9 ( ⁇ / port). Good to be.
  • the conductive silicone rubber has the same performance, and the description is omitted.
  • the eyepiece lens 2 includes an eye shade 2a.
  • the eye shade 2a is also a part that the observer of the microscope is expected to directly touch at the time of observation, is made of conductive silicone rubber, and is electrically connected to the external part of the metal part. Like the other units, the eyepiece lens 2 is assured of conduction by metal parts.
  • the operator's skin may touch the eye shade 2a when performing observation.
  • Ade 2a is not charged because it is conductive to the outside. Therefore, the worker is not charged from the eye shade 2a.
  • the microscope of the present embodiment has the following advantages due to the above configuration and operation.
  • the operation unit provides a countermeasure against electrostatic discharge to the microscope, and gives an excellent operation feeling by rubber elasticity and surface friction.
  • the slider cap 4c is used to take measures against electrostatic discharge to the microscope, to prevent harmful light from leaking to the outside of the light emitting unit, and to prevent external light and dust from entering the inside of the light emitting unit.
  • the slider cap 4c can be configured at low cost. This is an advantage peculiar to a rubber member having a large elastic deformation, and it is difficult to form a low cost using other materials.
  • the rubber feet 4d can release the charging of the microscope to the outside without the necessity of grounding to the outside by using a separate ground wire for the body 4 force.
  • the rubber plate 4e is protected against electrostatic discharge while ensuring safety, such as preventing injuries to workers due to careless access to the internal mechanism, preventing damage to the internal mechanism, and preventing finger pinching. Is done. Even if a finger is pinched, the worker is not injured because of the flexible rubber material. This is also incompatible with other materials at a low cost.
  • the eyeshade 2a of the eyepiece lens provides a countermeasure against electrostatic discharge to the microscope, and also provides a fitting feeling during observation and a stray light preventing effect. Eyeshade 2a has the power to touch workers' weak skin. It has little sensitization to human skin, so there is no fear of rash.
  • the rubber plate is applied to the mechanism of the focusing unit in order to ensure the safety of the worker and prevent the mechanism from being damaged.
  • the present invention may be similarly applied to a precision mechanism such as an electric manipulation, an electric stage, an electric revolver, or an electric mechanism.
  • conductive silicone rubber is not limited to this, and may be applied to components of microscopes utilizing elastic deformation.
  • the portion that is expected to be directly touched by the observer of the microscope during observation is made of conductive rubber, but is not limited thereto, and may be replaced by conductive rubber.
  • a conductive rubber coating may be provided. In other words, it is sufficient that at least a part of the part expected to be in direct contact with the observer of the microscope at the time of observation is provided with conductive rubber.
  • conductive silicone rubber conductive may be combined with a conductive material such as conductive plating, conductive coating, or conductive resin.
  • the force of adding carbon to the conductive silicone-based rubber to impart conductivity is not limited to this.
  • the material is less sensitizing to human skin. It may contain other substances!
  • the conductive silicone rubber may be applied not only to a microscope for semiconductor inspection but also to a microscope or a measuring instrument that requires measures against electrostatic discharge, such as a stereomicroscope. Of course, it may be applied to microscopes and measuring instruments that require measures against electrostatic discharge.
  • a microscope which is provided with an electrostatic discharge countermeasure without sacrificing an advantage which was commonplace in a conventional microscope.

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Abstract

　顕微鏡の本体（４）は、明暗視野の観察を切り換えるための光路切り換えツマミ（４ａ）、標本のピント合わせのための焦準ハンドル（４ｂ）、主に顕微鏡の安定設置と振動防止のための複数のゴム足（４ｄ）を備えている。本体（４）は投光部の側面にフィルタースライダー用の開口部を備えており、この開口部にはスライダー用キャップ（４ｃ）が取り付けられる。ステージ（８）の直下には、作業者の安全性の確保や機構の破損防止のために、ゴム板（４ｅ）が設けられている。ステージ（８）は、標本の位置合わせのためのＸＹ操作ハンドル（８ａ）を備えている。光路切り換えツマミ（４ａ）と焦準ハンドル（４ｂ）とスライダー用キャップ（４ｃ）とゴム足（４ｄ）とゴム板（４ｅ）とＸＹ操作ハンドル（８ａ）は、導電性ゴムで構成されている。

Description

明 細 書
顕微鏡および顕微鏡の静電気放電対策方法
技術分野
[0001] 本発明は、顕微鏡に関する。
背景技術
[0002] 帯電した導電性の物体から電子回路や半導体素子に放電が起こると電子回路の 誤動作や半導体素子の損傷などの重大な問題を引き起こす。そのため、半導体デ バイスの検査工程においては、床、作業台、椅子、工具などを静電気対策用のものと し、湿度管理ゃィオナイザの使用によって帯電レベルを制御し、また作業者は専用 の衣服や履物、そしてリスト'ストラップを着用して静電放電対策を行なっている。
[0003] 実際、この静電気放電（ESD： electro-static discharge)は、それほど大き!/、もので なくとも電子回路の誤動作や半導体素子の損傷などを十分に引き起こし得るため、 作業者が知覚できな 、まま ESDが発生し、不具合を生じることがある。
[0004] このような不具合を回避するため、特許第 3359035号は、金属導電部材と導電性 ポリマーの組合せ力もなる射出成形プラスチック部材を接地することによって静電荷 が金属導電部材を通して迅速に消散される顕微鏡を提案している。
[0005] また、特開 2001— 350097号公報は、顕微鏡の各ユニットの被膜をめつき法、化成 処理法、塗装法によって形成することによって、各ユニット間の導通性を確保する静 電気対策を開示している。
発明の開示
[0006] 一般的に顕微鏡では、操作感の向上、有害光線の漏光防止、外部光や塵の混入 防止のための部材は、人体の皮膚に対して感作性が少な 、シリコーン系ゴムで構成 されて 、る。シリコーン系ゴムは静電気放電問題を解決できるほどの導電性能を有し ていない。このため、静電気放電対策が必要な顕微鏡 (例：半導体検査用顕微鏡)で は、特許第 3359035号に記載されるように、シリコーン系ゴムを採用しない構成を取 ることによる静電気放電対策が施されて ヽる。
[0007] 例えば、従来接眼レンズに装着されていたシリコーン系ゴムのアイシェードは、導電 性榭脂でできたアイシェードに変更される力、アイシェードのな 、接眼レンズに変更さ れる。その結果、作業者に対する観察時のフィット感ゃ迷光防止効果が損なわれて しまう。
[0008] また、各種検鏡時の切り換えに使用するッマミやレバー、焦準部のハンドル、調光 ボリュームなども、作業者が操作しやすい弾力性や表面摩擦を持つシリコーン系ゴム から、滑りやすい榭脂ゃ金属に変更される。その結果、優れた操作感が損なわれて しまう。
[0009] さらに、検鏡に、赤外線、紫外線、レーザー光などを使用する場合、これらの有害 光が顕微鏡力 漏れるのを防止する有害光の漏れ防止機構は、各ユニットの開口部 の隙間を、これまでは柔軟な弾力性を持つシリコーン系ゴムで完全に遮光して 、たも のを、榭脂ゃ金属で完全に遮光しなければならない。その結果、構成が複雑になる ため、安価に構成することができない。同様のことは、外部光や塵の混入防止機構に ついても言える。
[0010] 以上に述べたとおり、これまでの静電気放電対策は、従来の顕微鏡で当たり前であ つた利点を犠牲にしている。その結果、ユーザーは、優れた操作感を得られない、高 価な顕微鏡を購入しなければならな 、、などと 、つたデメリットが生じて 、る。
[0011] 本発明は、このような実状を考慮して成されたものであり、その目的は、従来の顕微 鏡で当たり前であった利点を犠牲にすることなぐ静電気放電対策が施された顕微鏡 を提供することである。
[0012] 本発明は、ひとつには、顕微鏡に向けられている。本発明による顕微鏡は、顕微鏡 の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、導電性ゴムで構成されて いるか、導電性ゴムの被膜を備えている。
[0013] 本発明は、ひとつには、顕微鏡の静電気放電対策方法に向けられている。本発明 による静電気放電対策方法は、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想さ れる部位を導電性ゴムで構成するか、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが 予想される部位に導電性ゴムの被膜を設ける。
図面の簡単な説明
[0014] [図 1]図 1は、本発明の実施形態による半導体検査用顕微鏡の側面図である。 [図 2]図 2は、図 1に示された半導体検査用顕微鏡の正面図である。
[図 3]図 3は、図 1に示された半導体検査用顕微鏡の上面図である。
[図 4]図 4は、図 1に示された半導体検査用顕微鏡の接眼レンズの斜視図である。 発明を実施するための最良の形態
[0015] 以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
[0016] 図 1は、本発明の実施形態による半導体検査用顕微鏡の側面図、図 2は、図 1に示 された半導体検査用顕微鏡の正面図、図 3は、図 1に示された半導体検査用顕微鏡 の上面図である。
[0017] 図 1一図 3に示されるように、半導体検査用顕微鏡は、接眼レンズ 2と、接眼レンズ 2 を保持する鏡筒 3、鏡筒 3を保持する本体 4、本体 4に取り付けられたランプハウス 5、 本体 4に保持されたレボルバー 6、レボルバー 6に取り付けられた対物レンズ 7、本体 4に取り付けられたステージ 8とを備えている。半導体ウェハ標本 9は、ステージ 8の上 に載置される。
[0018] 本体 4は、明暗視野の観察を切り換えるために矢印 Aの方向に挿脱される光路切り 換えツマミ 4aと、標本のピント合わせのための焦準ハンドル 4bとを備えている。本体 4 は、その裏面に、主に顕微鏡の安定設置と振動防止のための複数のゴム足 4dを備 えている。
[0019] 本体 4は、ランプハウス 5の光を投影する投光部の側面に、観察光をより観察しやす Vヽ照明に変えるための例えば色温度変換フィルターなどの揷脱を可能にするフィル タースライダー用の開口部を備えている。この開口部は、フィルタースライダーが挿入 されて 、るときは両者間の隙間は非常に小さ 、が、フィルターが挿入されて 、な!/、と きは大きな開口となってしまう。そのため、有害光が漏れたり、外部光や塵が投光部 内部に混入したりするのを防ぐため、開口部には、開口部を塞ぐ部材であるスライダ 一用キャップ 4cが取り付けられる。スライダー用キャップ 4cは、ゴム材質でできており 、開口部よりも若干大きい外形形状をしている。このため、柔軟な弾性変形を利用し た挿入によって、開口部を隙間なく確実に塞いで外部と遮断することができる。
[0020] ステージ 8の直下には、作業者の安全性の確保や機構の破損防止のために、ゴム 板 4eが設けられている。このゴム板 4eは、顕微鏡の内部機構に作業者の指や工具 が不用意に触れるのを防止する保護膜として機能するとともに、ピント合わせ時のス テージ 8の下部と本体 4との間との指挟み防止機能も兼ねている。ゴム板 4eは、ステ ージの上下動に必要な開口部を有しており、隙間は極小である。
[0021] ステージ 8は、標本の位置合わせのための XY操作ハンドル 8aを備えている。
[0022] 顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位である光路切り換え ッマミ 4aと焦準ハンドル 4bとスライダー用キャップ 4cとゴム足 4dとゴム板 4eと XY操作 ハンドル 8aは、導電性ゴムで構成されており、内部機構の金属部品に導通しており、 最終的に外部に導通して 、る。
[0023] 導電性ゴムは、例えば、人体の皮膚に対して感作性が少ない導電性のシリコーン 系ゴムで構成されている。導電性のシリコーン系ゴムは、例えば、カーボンなどを含 有していて導電性能を有している。導電性のシリコーン系ゴムは、望ましくは、帯電を 速やかに消散させることができる導電性を有しているとよぐ具体的には、表面抵抗 値が 105— 109 ( Ω /口）であるとよい。以下、導電性のシリコーン系ゴムは、同様の性 能を有するものとし、説明を省略する。
[0024] 接眼レンズ 2は、図 4に示されるように、アイシェード 2aを備えている。アイシェード 2 aもまた、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位であり、導電 性のシリコーン系ゴムで構成されており、金属部品の外観部と導通している。接眼レ ンズ 2も他のユニット同様、金属部品による導通が確保されている。
[0025] 以上のような構成によって、作業者が操作部 (光路切り換えッマミ 4aと焦準ハンドル 4bと XY操作ノヽンドル 8a)を操作する場合、繰り返し操作によって摩擦による静電気 が発生しやすい状態になるが、操作部（光路切り換えッマミ 4aと焦準ハンドル 4bと X Y操作ノヽンドル 8a)は外部に導通しているため、帯電することはない。このため、操作 部（光路切り換えッマミ 4aと焦準ハンドル 4bと XY操作ノヽンドル 8a)カゝら作業者に帯 電することちない。
[0026] スライダー用キャップ 4cとゴム足 4dとゴム板 4eは、作業者が頻繁に触れる個所では ないが、作業者がそれらに不用意に触れた場合でも、それらは外部に導通している ため帯電しない。このため、それら力 作業者に帯電することはない。
[0027] 観察を行なう場合に作業者の皮膚がアイシェード 2aに触れる場合があるが、ァイシ エード 2aは外部に導通しているため帯電しない。このため、アイシェード 2aから作業 者に帯電することはない。
[0028] 本実施形態の顕微鏡は、以上のような構成と作用によって、次のような利点を有し ている。
[0029] 操作部は、顕微鏡に静電気放電対策を施すとともに、ゴムの弾性と表面摩擦によつ て優れた操作感を与える。
[0030] スライダー用キャップ 4cは、顕微鏡に静電気放電対策を施すとともに、投光部外部 への有害光の漏れ、投光部内部への外部光や塵などの混入を確実に防止する上に 、スライダー用キャップ 4cは安価に構成することができる。これは、弾性変形の大きい ゴム部材特有の利点であり、他の材質では安価に構成することは難し 、。
[0031] ゴム足 4dは、本体 4力 別のアース線を利用して外部に接地する必要なしで、顕微 鏡の帯電を外部に逃がすことができる。
[0032] ゴム板 4eは、内部機構への不用意なアクセスによる作業者の怪我の防止と内部機 構の破損の防止、さらに指挟み防止という安全性を確保した上で、静電気放電対策 が施される。万が一、指を挟むことがあっても柔軟なゴム材質であるため、作業者は 怪我をすることはな 、。これも他の材質では安価な構成で容易に両立できな 、。
[0033] また、接眼レンズのアイシェード 2aは、顕微鏡に静電気放電対策を施すとともに、 観察時のフィット感と確実な迷光防止効果を与える。アイシェード 2aは、作業者の皮 膚の弱いところに触れる力 人体の皮膚に対して感作性が少ないので、かぶれなど の心配がない。
[0034] これまで、図面を参照しながら本発明の実施形態を述べた力 本発明は、これらの 実施形態に限定されるものではなぐその要旨を逸脱しない範囲において様々な変 形や変更が施されてもよい。
[0035] 例えば、本実施形態では、作業者の安全性の確保や機構の破損防止のために、ゴ ム板が焦準部の機構に対して適用された例をあげたが、これに限らず、電動マニピュ レーシヨンや電動ステージ、電動レボルバーなどの精密機構、電動機構に対しても同 様に適用されてもよい。また、導電性のシリコーン系ゴムは、これに限らず、弾性変形 を利用した顕微鏡の構成部品に適用されてもょ ヽ。 [0036] また、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位は、本実施形 態では導電性ゴムで構成されているが、これに限らず、導電性ゴムで構成される代わ りに、導電性ゴムの被膜を備えていてもよい。つまり、顕微鏡の観察者が観察時に直 接触れることが予想される部位が少なくとも表面に導電性ゴムを備えて 、ればよ 、。
[0037] また、導電性のシリコーン系ゴム力もの導通は、導電性めつきや導電性塗装、導電 性榭脂などの導通性能を有するものと組み合わされてもよい。
[0038] また、本実施形態では、導電性のシリコーン系ゴムに、導電性を与えるためにカー ボンを含有させている力 これに限らず、人体の皮膚への感作性が少ない物質であ れば他の物質を含有させてもよ!、。
[0039] 導電性のシリコーン系ゴムは、半導体検査用顕微鏡に限らず、実体顕微鏡など、静 電放電対策が必要な顕微鏡や測定器に適用されてもよい。もちろん、静電放電対策 が必要な 、顕微鏡や測定器に適用されても構わな ヽ。
産業上の利用可能性
[0040] 本発明によれば、従来の顕微鏡で当たり前であった利点を犠牲にすることなぐ静 電気放電対策が施された顕微鏡が提供される。

Claims

請求の範囲
[I] 顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、導電性ゴムで構 成されているか、導電性ゴムの被膜を備えている、顕微鏡。
[2] 顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、顕微鏡の操作部 である、請求項 1に記載の顕微鏡。
[3] 顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、顕微鏡の開口部 を塞ぐ部材である、請求項 1に記載の顕微鏡。
[4] 顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、顕微鏡の内部機 構に作業者の指や工具が不用意に触れるのを防止する保護膜である、請求項 1に 記載の顕微鏡。
[5] 顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、顕微鏡を安定配 置するためのゴム足である、請求項 1に記載の顕微鏡。
[6] 導電性ゴムは、人体の皮膚に対して感作性が少ない導電性のシリコーン系ゴムで ある、請求項 1に記載の顕微鏡
[7] 導電性ゴムは、表面抵抗値が 105— 109( Ω /口）である、請求項 1に記載の顕微鏡
[8] 顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が接眼レンズのアイ シェードであり、アイシェードは表面抵抗値が 105— 109 ( Ω /口）である人体の皮膚 に対して感作性が少な 、導電性のシリコーン系ゴムで構成されて 、る、請求項 1に記 載の顕微鏡。
[9] 顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位を導電性ゴムで構成 するか、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位に導電性ゴム の被膜を設ける、顕微鏡の静電気放電対策方法。
[10] 顕微鏡の操作部を導電性ゴムで構成するか、顕微鏡の操作部に導電性ゴムの被 膜を設ける、請求項 9に記載の静電気放電対策方法。
[II] 顕微鏡の開口部を塞ぐ部材を導電性ゴムで構成するか、顕微鏡の開口部を塞ぐ部 材に導電性ゴムの被膜を設ける、請求項 9に記載の静電気放電対策方法。
[12] 顕微鏡の内部機構に作業者の指や工具が不用意に触れるのを防止する保護膜を 導電性ゴムで構成するか、顕微鏡の内部機構に作業者の指や工具が不用意に触れ るのを防止する保護膜に導電性ゴムの被膜を設ける、請求項 9に記載の静電気放電 対策方法。
[13] 顕微鏡を安定配置するためのゴム足を導電性ゴムで構成するか、顕微鏡を安定配 置するためのゴム足に導電性ゴムの被膜を設ける、請求項 9に記載の静電気放電対 策方法。
[14] 導電性ゴムに、人体の皮膚に対して感作性が少ない導電性のシリコーン系ゴムを 選択する、請求項 9に記載の静電気放電対策方法
[15] 導電性ゴムに、表面抵抗値が 105— 109( ΩΖ口）である導電性ゴムを選択する、請 求項 9に記載の静電気放電対策方法
[16] 接眼レンズのアイシェードを、表面抵抗値が 105— 109 ( Ω /口）である人体の皮膚 に対して感作性が少な 、導電性のシリコーン系ゴムで構成する、請求項 9に記載の 静電気放電対策方法。
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