WO2004109711A1 - Semiconductor memory having booster circuit for redundant memory - Google Patents

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    • G11C29/846Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved access time or stability by choosing redundant lines at an output stage

Definitions

  • Non-volatile memory such as flash memory among semiconductor memories retains the storage state even when the power of the memory cell is turned off, so that the redundant memory is also composed of the same storage element as a normal cell.
  • the redundant memory is also configured by the same cell transistor.
  • the first and second booster drive signals ATD1 and ATD2 alternately go to the H level. This operation continues while the address change detection signal ATD remains at the H level. That is, the first and second booster drive signals ATD1 and ATD2 are alternately generated until the address is determined, and the booster circuit 36 generates the boosted read voltage VRG without delaying the equalize signal EQ. . Therefore, even if the address changes continuously, a part of the redundant memory can perform the read operation at the timing when the address is finally determined.

Abstract

A semiconductor memory wherein a read circuit for a redundant memory is small in size and wherein the redundant memory can be appropriately read for a determined address. A semiconductor memory, which has both ordinary cells and redundant cells, comprises a plurality of redundant memories for storing redundant information related to the redundant cells; a redundant memory selection circuit for selecting, in response to an address, a part of the plurality of redundant memories to enable a reading operation; a redundant information hold circuit for holding the redundant information read from the selected redundant memory; and first and second booster circuits for generating voltages for reading the redundant memories. The first and second booster circuits alternately repeat a boost operation and a reset operation in response to address changes. Even if those address changes successively occur in a short time period, one of the first and second booster circuits generates a reading voltage each time, whereby the redundant information can be appropriately read from the selected redundant memory when the address is eventually determined.

Description

明細書 冗長メモリのブースタ回路を有する半導体メモリ 技術分野  TECHNICAL FIELD A semiconductor memory having a redundant memory booster circuit
本発明は、 冗長セルに関する情報を記憶する冗長メモリを有する半導体メモリ に関し、 特に、 アドレス確定時に昇圧電圧を発生するブースタ回路を有する半導 体メモリに関する。 背景技術  The present invention relates to a semiconductor memory having a redundant memory for storing information about a redundant cell, and more particularly to a semiconductor memory having a booster circuit that generates a boosted voltage when an address is determined. Background art
大容量の半導体メモリは、 歩留まりを向上するために通常セルアレイに加えて 冗長セルアレイを有し、 通常セルアレイに不良ビットが含まれる場合は、 その不 良ビットを有する通常セルアレイが冗長セルアレイに置き換えられる。 この冗長 セルへの置き換えに関する情報(以下冗長情報)、例えば置き換え対象の通常セル のアドレスなどが、 冗長メモリに記憶される。 そして、 半導体メモリは、 ァクセ ス要求時のアドレス変化に応答して、 冗長メモリ内の冗長情報を読み出し、 アド レス先に応じて冗長セル側への切り換えを行う。  A large-capacity semiconductor memory has a redundant cell array in addition to the normal cell array in order to improve the yield. If the normal cell array includes a defective bit, the normal cell array having the defective bit is replaced with the redundant cell array. Information on the replacement with the redundant cell (hereinafter, redundant information), for example, the address of the normal cell to be replaced is stored in the redundant memory. Then, the semiconductor memory reads the redundant information in the redundant memory in response to the address change at the time of the access request, and switches to the redundant cell side according to the address destination.
半導体メモリのうち、 フラッシュメモリなどの不揮発性メモリは、 メモリセル が電源オフでも記憶状態を保持するため、 冗長メモリも通常セルと同等の記憶素 子で構成される。 例えば、 通常セルがフローティングゲートやトラップゲートを 有するセルトランジスタで構成される場合は、 冗長メモリも同じセルトランジス タで構成される。  Non-volatile memory such as flash memory among semiconductor memories retains the storage state even when the power of the memory cell is turned off, so that the redundant memory is also composed of the same storage element as a normal cell. For example, when a normal cell is configured by a cell transistor having a floating gate or a trap gate, the redundant memory is also configured by the same cell transistor.
一方、 半導体メモリの電源電圧は、 低消費電力化の要請からますます低くなる 傾向にある。 それに伴い、 プログラム動作時には電源電圧を昇圧してプログラム 電圧が生成される (例えば特許文献 1 )。 同様の理由から、冗長メモリの情報を読 み出す時にも、 セルトランジスタのゲートに電源電圧以上に昇圧された読み出し 電圧を印加することが求められる。 そのために、 冗長メモリに読み出し電圧を供 給するブースタ回路が設けられる。  On the other hand, the power supply voltage of semiconductor memory tends to be lower due to the demand for lower power consumption. Accordingly, during a program operation, a power supply voltage is boosted to generate a program voltage (for example, Patent Document 1). For the same reason, when reading information from the redundant memory, it is necessary to apply a read voltage boosted to a power supply voltage or higher to the gate of the cell transistor. For this purpose, a booster circuit for supplying a read voltage to the redundant memory is provided.
この冗長メモリ用のブースタ回路は、 了ドレスが切り換えられたことを検出し て生成されるアドレス ' トランジッシヨン'ディテクシヨン信号 (ATD) に応答 して 1回だけ昇圧動作を行い、 それにより生成された昇圧読み出し電圧により冗 長メモリの情報が読み出され、 冗長セルへの切り換え制御が行われる。 The booster circuit for the redundant memory responds to the address 'transition' detection signal (ATD) generated by detecting that the end address has been switched. Then, the boost operation is performed only once, and the information in the redundant memory is read by the boost read voltage generated by the boost operation, and the switching to the redundant cell is controlled.
【特許文献 1】  [Patent Document 1]
特開平 6— 2 2 3 5 8 8号公報  Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6—2 2 3 5 8 8
メモリの大容量化に伴って冗長セルの構成も複雑化し、 冗長メモリに記憶され る冗長情報の量も多くなつてきている。 そのため、 従来のようにアドレス変化時 にブースタ回路が 1回だけ昇圧動作を行って読み出し電圧を生成し、 その読み出 し電圧により冗長メモリの冗長情報を読み出すという'従来の方法では、 冗長メモ リの大容量化に伴ってその読み出し動作による消費電力が増大するという課題が ある。 更に、 アドレス変ィ匕時に 1回だけ生成された昇圧読み出し電圧によって冗 長メモリの全てのデータを読み出し、 確定したァドレスにしたがうアクセス先に 対応した冗長情報を選択するために、 全ての冗長メモリから読み出されたデ タ を検出し保持する回路を設けることが必要になる。 そのため、 データ検出回路と データ保持回路の回路規模が大きくなるという課題がある。 発明の開示  As the capacity of the memory increases, the configuration of the redundant cells becomes more complicated, and the amount of redundant information stored in the redundant memory is increasing. Therefore, as in the conventional method, the booster circuit performs a boosting operation only once at the time of an address change to generate a read voltage, and reads the redundant information of the redundant memory based on the read voltage. There is a problem that the power consumption by the read operation increases with the increase of the capacity. Further, in order to read all data in the redundant memory with the boosted read voltage generated only once at the time of the address change and select redundant information corresponding to an access destination according to the determined address, all the redundant memories are used. It is necessary to provide a circuit that detects and holds the read data. Therefore, there is a problem that the circuit scale of the data detection circuit and the data holding circuit increases. Disclosure of the invention
そこで、 本発明の目的は、 アクセス先に対応する一部の冗長メモリの記憶デー タを適切に読み出すことができる半導体メモリを提供することにある。  Therefore, an object of the present invention is to provide a semiconductor memory capable of appropriately reading stored data of a part of redundant memories corresponding to an access destination.
上記の目的を達成するために、 本発明の一つの側面によれば、 通常セルと冗長 セルとを有する半導体メモリにおいて、 前記冗長セルに関する冗長情報を記憶す る複数の冗長メモリと、 前記複数の冗長メモリのうち、 アドレスに応じて一部の 冗長メモリを選択して読み出し動作させる冗長メモリ選択回路と、 当該選択され た冗長メモリから読み出された冗長情報を保持する冗長情報保持回路と、 前記冗 長メモリの読み出し電圧を生成する第 1及び第 2のブースタ回路とを有し、 ァド レス変化に応答して、 前記第 1及び第 2のブースタ回路が交互に昇圧動作とリセ ット動作とを繰り返すことを特徴とする。  In order to achieve the above object, according to one aspect of the present invention, in a semiconductor memory having a normal cell and a redundant cell, a plurality of redundant memories for storing redundant information related to the redundant cell; A redundant memory selection circuit that selects a part of the redundant memories according to an address among the redundant memories and performs a read operation; a redundant information holding circuit that holds redundant information read from the selected redundant memory; First and second booster circuits for generating a read voltage of the redundant memory, wherein the first and second booster circuits alternately perform a boost operation and a reset operation in response to an address change. And is repeated.
上記の発明の側面によれば、 アドレス変化が短時間に連続して発生しても、 そ の都度第 1または第 2のブースタ回路の一方が読み出し電圧を生成するので、 ァ ドレスが最終的に確定した時に選択された冗長メモリの冗長情報を適切に読み出 すことができる。 According to the above aspect of the invention, even if the address change occurs continuously in a short time, one of the first and second booster circuits generates the read voltage each time, so that the address is finally Appropriately read the redundant information of the selected redundant memory when confirmed Can be
上記の目的を達成するために、 本発明の第 2の側面によれば、 通常セルと冗長 セルとを有する半導体メモリにおいて、 前記冗長セルに関する冗長情報を記憶す る複数の冗長メモリと、 前記複数の冗長メモリのうち、 アドレスが確定したタイ ミングで当該確定したァドレスに応じて一部の冗長メモリを選択して読み出し動 作させる冗長メモリ選択回路と、 当該選択された冗長メモリから読み出された冗 長情報を保持する冗長情報保持回路と、 了ドレスの変化後の当該ァドレスが確 定するタイミングで前記冗長メモリの読み出し電圧を生成するブースタ回路とを 有することを特徴とする。  To achieve the above object, according to a second aspect of the present invention, in a semiconductor memory having a normal cell and a redundant cell, a plurality of redundant memories storing redundant information on the redundant cell; A redundant memory selection circuit for selecting and performing a read operation by selecting a part of the redundant memories according to the determined address at the time when the address is determined, and reading from the selected redundant memory. A redundant information holding circuit for holding redundancy information, and a booster circuit for generating a read voltage of the redundant memory at a timing at which the address is determined after the change of the end address.
上記の発明の側面によれば、 アドレス力確定するタイミングでブースタ回路が 読み出し電圧を生成するので、 連続してァドレス変化が発生しても冗長メモリを 確定したァドレスにより選択して読み出すことができる。 図面の簡単な説明  According to the aspect of the present invention, since the booster circuit generates the read voltage at the timing when the address force is determined, the redundant memory can be selected and read based on the determined address even if the address changes continuously occur. BRIEF DESCRIPTION OF THE FIGURES
図 1は、 本実施の形態における半導体メモリの全体構成図である。  FIG. 1 is an overall configuration diagram of a semiconductor memory according to the present embodiment.
図 2は、 本実施の形態における冗長メモリと選択回路及びセンスアンプ'ラッ チ回路を示す図である。  FIG. 2 is a diagram illustrating a redundant memory, a selection circuit, and a sense amplifier latch circuit according to the present embodiment.
図 3は、 ァドレス変化に伴うブースタ回路の問題点を説明するタイミングチヤ 一ト図である。  FIG. 3 is a timing chart illustrating a problem of the booster circuit due to a change in address.
図 4は、 本実施の形態におけるブースタ回路の具体例を示す図である。  FIG. 4 is a diagram illustrating a specific example of the booster circuit according to the present embodiment.
図 5は、 ブースタ回路の動作を示すタイミングチャート図である。  FIG. 5 is a timing chart showing the operation of the booster circuit.
図 6は、 第 1のブースタ回路の構成と動作を示す図である。  FIG. 6 is a diagram illustrating the configuration and operation of the first booster circuit.
図 7は、 ブースタ駆動信号生成回路及ぴ動作タィミングチヤ一トを示す図であ る。 発明を実施するための最良の形態  FIG. 7 is a diagram showing a booster drive signal generation circuit and an operation timing chart. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
以下、 図面を参照して本発明の実施の形態例を説明する。 しかしながら、 本発 明の保護範囲は、 以下の実施の形態例に限定されるものではなく、 特許請求の範 囲に記載された発明とその均等物にまで及ぶものである。 図 1は、 本実施の形態における半導体メモリの全体構成図である。 この半導体 メモリは、 フラッシュメモリを例にしている。 メモリコアは、 通常セルアレイ 1 0と冗長セルァレイ 1 2とを有し、 通常セルァレイ 1 0は 4つのセクタ SEC0〜 SEC4を有し、冗長セルアレイ 1 2は 1つの冗長セクタ RSECを有する。そして、 通常セルアレイ内の不良ビットを有するセクタが冗長セクタに置き換え可能に構 成されている。 外部から供給されるアドレス ADDは、 アドレスバッファ 1 8に 入力され、その入力されたァドレスが各デコーダに供給される。 Xァドレス ADDx は Xデコーダ XDECに供給され、 Yアドレス ADDy及びセクタアドレス ADDs は Yデコーダ YDECに供給され、 冗長メモリの選択に必要なァドレス ADDrは 冗長デコーダに供給される。 通常セルアレイ 1 0側と冗長セルアレイ 1 2側には それぞれ Yゲート 1 4, 1 6が設けられ、 それぞれ対応するデコーダからの選択 信号によってコラム選択が行われる。 また、 Yゲート 1 4 , 1 6の出力は読み出 し回路 2 0にて検出され、 外部に出力される。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the scope of protection of the present invention is not limited to the following embodiments, but extends to the inventions described in the claims and their equivalents. FIG. 1 is an overall configuration diagram of a semiconductor memory according to the present embodiment. This semiconductor memory is exemplified by a flash memory. The memory core has a normal cell array 10 and a redundant cell array 12. The normal cell array 10 has four sectors SEC0 to SEC4, and the redundant cell array 12 has one redundant sector RSEC. The sector having a defective bit in the normal cell array is configured to be replaced with a redundant sector. The address ADD supplied from the outside is input to the address buffer 18, and the input address is supplied to each decoder. The X address ADDx is supplied to the X decoder XDEC, the Y address ADDy and the sector address ADDs are supplied to the Y decoder YDEC, and the address ADDr required for selecting the redundant memory is supplied to the redundant decoder. Y gates 14 and 16 are provided on the normal cell array 10 side and the redundant cell array 12 side, respectively, and column selection is performed by selection signals from the corresponding decoders. The outputs of the Y gates 14 and 16 are detected by the read circuit 20 and output to the outside.
冗長メモリ 2 2には、 置き換え対象のセクタァドレスなどの冗長情報が記憶さ れ、 ブースタ回路 3 6により生成される昇圧された読み出し電圧 VRGにより読 み出し可能状態になる。 また、 冗長メモリには、 確定した冗長アドレス ADDrに したがって冗長デコーダ 2 6により選択された冗長メモリを選択し駆動する選択 回路 2 4が設けられている。 選択回路 2 4により選択された冗長メモリのデータ は、 センスアンプ.ラッチ回路 2 8により検出されラッチされる。 従って、 冗長 メモリ 2 2のうち、 一部の冗長メモリのみが選択され、 読み出し駆動されて、 読 み出されたデータがラッチ回路 2 8に保持される。 ラッチ回路 2 8に保持された 置き換え対象のセクタァドレスとァドレスバッファ 1 8からのセクタァドレス ADDsとが比較回路 3 0にて比較され、一致するときは、冗長信号 S 3 0により、 通常セルァレイの Yデコーダ YDECが非活性にされ、冗長セルァレイの Yデコー ダ DECrが活性化される。 これにより、 通常セルアレイのセクタは非選択にな り、 冗長セルアレイの冗長セクタが選択される。 比較回路 3 0が不一致を検出す ると、 通常セルアレイのセクタが選択状態になる。  Redundant information such as a sector address to be replaced is stored in the redundant memory 22 and becomes readable by the boosted read voltage VRG generated by the booster circuit 36. The redundant memory is provided with a selection circuit 24 for selecting and driving the redundant memory selected by the redundant decoder 26 according to the determined redundant address ADDr. The data of the redundant memory selected by the selection circuit 24 is detected and latched by the sense amplifier / latch circuit 28. Therefore, only some of the redundant memories 22 are selected, read-driven, and the read data is held in the latch circuit 28. The replacement target sector address held in the latch circuit 28 and the sector address ADDs from the address buffer 18 are compared by the comparison circuit 30. When they match, the redundancy signal S30 outputs the Y signal of the normal cell array. The decoder YDEC is deactivated, and the Y decoder DECr in the redundant cell array is activated. As a result, the sector of the normal cell array is not selected, and the redundant sector of the redundant cell array is selected. When the comparison circuit 30 detects a mismatch, the normal cell array sector is selected.
ATD生成回路 3 2は、外部ァドレス ADDの変化を検出して所定時間 Hレベル になるァドレス変化検出パルス ATDを'生成する。外部ァドレス ADDが変化して 所定時間ァドレス変化がなければァドレスが確定したものとみなされ、 ァドレス 変化検出パルス ATD の Lレベルに応答してィコライズ信号生成回路 3 8がィコ ライズ信号 EQを生成する。 このィコライズ信号 EQに応答して、 メモリのコア 部分の動作が開始する。 従って、 ィコライズ信号は、 各デコーダに供給されてい る。 つまり、 ィコライズ信号 EQが Hレベルになるタイミングがアドレス碓定タ イミングである。 The ATD generation circuit 32 detects the change of the external address ADD and generates an address change detection pulse ATD which becomes H level for a predetermined time. External address ADD changes If there is no address change for a predetermined time, it is considered that the address has been determined, and the equalize signal generation circuit 38 generates the equalize signal EQ in response to the L level of the address change detection pulse ATD. In response to the equalizing signal EQ, the operation of the memory core starts. Therefore, the equalize signal is supplied to each decoder. That is, the timing when the equalize signal EQ becomes H level is the address setting timing.
また、 ATD生成回路 3 2が全てのァドレス変化に応答して生成する短パルスの 検出パルス ATDxに応答して、 ブースト駆動信号生成回路 3 4は、 ブースタ回路 3 6の昇圧動作とリセット動作を制御する第 1及び第 2のブース ト駆動信号 ATD1,ATD2を生成する。 ブースタ回路 3 6は、 後述するとおり、 第 1及び第 2 のブースト駆動信号 ATD1,ATD2に応答して昇圧動作とリセット動作を交互に行 う第 1及び第 2のブースタ回路を有する。  Also, in response to the short pulse detection pulse ATDx generated by the ATD generation circuit 32 in response to all address changes, the boost drive signal generation circuit 34 controls the boost operation and reset operation of the booster circuit 36 The first and second boost drive signals ATD1 and ATD2 are generated. The booster circuit 36 has first and second booster circuits that alternately perform a boosting operation and a reset operation in response to first and second boost drive signals ATD1 and ATD2, as described later.
図 2は、 本実施の形態における冗長メモリと選択回路及びセンスアンプ'ラッ チ回路を示す図である。 冗長メモリ 22-0 は、 フローティングゲートまたはトラ ップゲートを有する冗長メモリ トランジスタ RM0を有し、 そのコントロールゲ 一トには読み出し電圧 VRGが印加される。 また、 ドレイン側にはプログラム動 作のためのインバータ 5 0とレベルシフト回路 5 1とが設けられ、 プログラム時 の選択信号 S 0が Hレベルの時に、 冗長メモリ トランジスタ RM0 のドレインに プログラム電圧 VPRGMが印加される。 更に、 ソース側には消去動作のための消 去電圧 VERが印加され、 プログラム動作、 読み出し動作時においてこのソ一ス 電圧 VERはグランドレべノレになり、消去動作時においてこのソース電圧 VERは 高いレベルに制御される。 もう一つの冗長メモリ 22-1 も上記と同様の構成であ る。  FIG. 2 is a diagram illustrating a redundant memory, a selection circuit, and a sense amplifier latch circuit according to the present embodiment. The redundant memory 22-0 has a redundant memory transistor RM0 having a floating gate or a trap gate, and a read voltage VRG is applied to its control gate. On the drain side, an inverter 50 and a level shift circuit 51 for program operation are provided. When the selection signal S0 at the time of programming is at the H level, the program voltage VPRGM is applied to the drain of the redundant memory transistor RM0. Applied. Further, an erase voltage VER for an erase operation is applied to the source side, and the source voltage VER becomes ground level during a program operation and a read operation, and the source voltage VER is high during an erase operation. Controlled by level. Another redundant memory 22-1 has the same configuration as above.
冗長メモリ 2 4に冗長情報を書き込むときは、選択信号 S0,S1により冗長メモリ トランジスタのゲートにプログラム電圧 VPRGMを印加して、フローティングゲ ートまたはトラップゲートに電子を注入する。 これにより冗長メモリ トランジス 夕の閾値電圧が高くなる。 When writing redundant information into the redundant memory 24, the program voltage VPRGM is applied to the gate of the redundant memory transistor by the selection signals S0 and S1, and electrons are injected into the floating gate or trap gate. This increases the threshold voltage of the redundant memory transistor.
選択回路 2 4は、 それぞれトランジスタ 24-0,24-1からなり、 それぞれのゲー トには冗長デコーダ 2 6からの選択信号 SEL0、 SEL1が供給され、 導通状態に される。 そして、 センスアンプ'ラッチ回路 2 8は、 冗長メモリに共通の負荷ト ランジスタ 4 0を有する。 The selection circuit 24 is composed of transistors 24-0 and 24-1, respectively, and each gate is supplied with the selection signals SEL0 and SEL1 from the redundant decoder 26 and is turned on. Is done. The sense amplifier's latch circuit 28 has a load transistor 40 common to the redundant memories.
冗長メモリの読み出し動作では、 ァドレスが確定した時点でィコライズ信号 EQに応答して冗長デコーダ 2 6が選択信号 SEL0.SEL1を供給し、 選択回路 2 4のいずれかのトランジスタを導通状態にする。 この時、 各冗長メモリ トランジ スタのゲートには、 ブーストされた読み出し電圧 VKGが供給されている。 従つ て、冗長メモリ トランジスタ RM0,RM1の閾値状態に応じてドレイン電流が発生 し、電圧比較回路 4 1がそのドレイン電圧とレファレンス電圧 REFとを比較し、 その検出した冗長データをラッチ回路 4 2がラッチする。  In the read operation of the redundant memory, when the address is determined, the redundant decoder 26 supplies the selection signal SEL0.SEL1 in response to the equalize signal EQ, and turns on one of the transistors of the selection circuit 24. At this time, the boosted read voltage VKG is supplied to the gate of each redundant memory transistor. Therefore, a drain current is generated in accordance with the threshold state of the redundant memory transistors RM0 and RM1, and the voltage comparison circuit 41 compares the drain voltage with the reference voltage REF, and the detected redundant data is latched by the latch circuit 4 2 Latches.
従って、 この冗長メモリ トランジスタ RM0,RM1には、選択回路 2 4で選択さ れたトランジスタにのみドレイン電流が発生して読み出し駆動され、 全ての冗長 メモリ トランジスタにドレイン電流が発生することはなく、 低消費電力化されて いる。 し力 も、選択回路 2 4は、ァドレスが確定した時点で選択動作を行うので、 冗長メモリに供給される読み出し電圧 VRGは、 ァドレス確定時において確実に 昇圧されたレベルにされている必要がある。  Therefore, in the redundant memory transistors RM0 and RM1, a drain current is generated only in the transistor selected by the selection circuit 24 and read-out is performed, and no drain current is generated in all the redundant memory transistors. Power consumption has been reduced. In addition, since the selection circuit 24 performs the selection operation when the address is determined, the read voltage VRG supplied to the redundant memory needs to be set to a level that is surely boosted when the address is determined. .
図 3は、 ァドレス変化に伴うブースタ回路の問題点を説明するタイミングチヤ ート図である。 図 1で説明したとおり、 ATD生成回路 3 2はァドレスが変化する とアドレス変化検出信号 ATD を Hレベルにし、 ァドレス変化後所定の時間 T 0 経過するまでその Hレベル状態を維持する。 そして、 所定時間 T O経過した時点 でァドレス確定とみなし、 ATD生成回路 3 2はァドレス変化検出信号 ATDを L レベルにする。 それに応答して、 ィコライズ信号 E Qが Hレベルに変化する。 この動作で問題となるのは、 了ドレスが所定期間 T O経過する前に再度変化し た場合である。 このアドレスの再度の変化に応答して、 アドレス変化検出信号 ATDの Hレベル期間は延びて、ァドレスが確定するタイミングが遅れることにな る。 しかし、 ブースタ回路がアドレス変化検出信号 ATD の Hレベルに応答して 昇圧動作を行って、 ブースタ出力 BOOSTと読み出し電圧 VKGが昇圧されても (図中 B l )、 その昇圧状態は短時間でなくなり、 リセッ ト期間 RSTを経て再度 昇圧動作を行う必要がある。 このリセット期間 RST を経て再度昇圧された場合 (図中 B 2 )、メモリコアの動作開始を制御するィコライズ信号 E Qの Hレベルの タイミングに間に合わないケースが発生する。 FIG. 3 is a timing chart illustrating a problem of the booster circuit due to a change in address. As described with reference to FIG. 1, when the address changes, the ATD generation circuit 32 changes the address change detection signal ATD to the H level, and maintains the H level state until a predetermined time T 0 elapses after the address change. When the predetermined time TO elapses, the address is determined to be fixed, and the ATD generation circuit 32 sets the address change detection signal ATD to the L level. In response, the equalize signal EQ changes to the H level. A problem with this operation is that the end address changes again before the predetermined period TO has elapsed. In response to the change of the address again, the H level period of the address change detection signal ATD is extended, and the timing for determining the address is delayed. However, even if the booster circuit performs the boosting operation in response to the H level of the address change detection signal ATD, and the booster output BOOST and the read voltage VKG are boosted (Bl in the figure), the boosting state does not occur in a short time. Then, the boost operation needs to be performed again after the reset period RST. When the voltage is boosted again after this reset period RST (B 2 in the figure), the H level of the equalize signal EQ that controls the operation start of the memory core There are cases where the timing cannot be met.
このようなブースタ回路の問題は、 ブースタ回路が 1回の昇圧動作しか行わな いことによるが、 アクセスされるたびに冗長メモリが読み出されるので、 そのた めの読み出し電圧を生成するブースタ回路はできるだけ簡単な回路構成であるこ とが好ましく、 長い時間にわたり昇圧された読み出し電圧のレべノレを維持する回 路構成は消費電力の観点から採用することは好ましくない。  The problem of such a booster circuit is that the booster circuit performs only one boosting operation.However, since the redundant memory is read each time the booster circuit is accessed, the booster circuit that generates the read voltage for that is as little as possible. A simple circuit configuration is preferable, and a circuit configuration that maintains the level of the read voltage boosted for a long time is not preferable from the viewpoint of power consumption.
図 4は、 本実施の形態におけるブースタ回路の具体例を示す図である。 ブース タ回路 3 6は、 第 1のブースタ回路 6 0と第 2のブースタ回路 7 0とを有する。 第 1のブースタ回路 6 0は、第 1のブースタ駆動信号 ATD1が Hレベルになると きに昇圧動作を行い、 Lレベルになるときリセッ ト動作を行う。 同様に、 第 2の ブースタ回路 7 0は、第 2のブースタ駆動信号 ATD2が Hレベルになるときに昇 圧動作を行い、 Lレベルになるときリセット動作を行う。 第 1及び第 2のブース タ駆動信号 ATD1,2は、 交互に生成されるので、 第 1及び第 2のブースタ回路 6 0, 7 0は交互に昇圧動作とリセット動作を繰り返す。  FIG. 4 is a diagram illustrating a specific example of the booster circuit according to the present embodiment. The booster circuit 36 has a first booster circuit 60 and a second booster circuit 70. The first booster circuit 60 performs a boosting operation when the first booster drive signal ATD1 goes to H level, and performs a reset operation when it goes to L level. Similarly, the second booster circuit 70 performs a boosting operation when the second booster drive signal ATD2 goes to H level, and performs a reset operation when it goes to L level. Since the first and second booster drive signals ATD1 and ATD2 are generated alternately, the first and second booster circuits 60 and 70 alternately repeat the boosting operation and the reset operation.
レベルシフト回路 6 1、 7 1は、第 1及び第 2のブースタ駆動信号 ATD1,ATD2 の Hレベルに応答して、制御信号 S61,S71を Lレベルにし、 Pチャネルトランジ スタ 6 2, 6 3及び 7 2, 7 3を導通し、 第 1及び第 2のブースタ回路 6 0, 7 0が昇圧したブースト信号 BOOSTl,2を読み出し電圧 VRGとして出力する。つ まり、第 1及び第 2のブースタ駆動信号 ATD 1,2の電源レベル Vccが昇圧レべノレ にレベルシフトされる。  The level shift circuits 61 and 71 set the control signals S61 and S71 to L level in response to the H level of the first and second booster drive signals ATD1 and ATD2, and the P-channel transistors 62, 63 and The first and second booster circuits 60 and 70 output the boosted signal BOOST1,2 as the read voltage VRG. In other words, the power supply level Vcc of the first and second booster drive signals ATD1,2 is level-shifted to the boost level.
このブースタ回路 3 6により生成された読み出し電圧 VEGは、 複数の冗長メ モリ 2 2に供給され、冗長デコーダ 2 6により生成された選択信号 SELO— SELn に対応する冗長メモリ トランジスタ RM0_RMnがセンスアンプ 28Aに接続され、 データ読み出し動作が行われる。  The read voltage VEG generated by the booster circuit 36 is supplied to the plurality of redundant memories 22 and the redundant memory transistor RM0_RMn corresponding to the selection signal SELO—SELn generated by the redundant decoder 26 is supplied to the sense amplifier 28A. Connected and the data read operation is performed.
図 5は、 ブースタ回路の動作を示すタイミングチャート図である。 時刻 t lで アドレス変化が発生すると、 ATD生成回路 3 2がアドレス変化検出信号 ATDを Hレべノレにする。 このアドレス変化に応答して検出パルス ATDxが生成され、 第 1のブースタ駆動信号 ATD1が Hレベルになる。 それに応答して、 第 1のブース タ回路 6 0が昇圧動作を開始し、選択信号 S61が Lレベルになり、昇圧されたプ ースト電圧 BOOST1が読み出し電圧 VRGとして冗長メモリ 2 2に供給される。 更に、 最初のァドレス変化からァドレス確定に必要な所定時間 TO以内の時刻 t 2で再度ァドレス変化が発生すると、 ァドレス変化検出信号 ATD の Hレベル は維持され、検出パルス ATDxに応答して第 2のブースタ駆動信号 ATD2が Hレ ベルになる。 それに応答して、 第 2のブースタ回路 7 0が昇圧動作を開始し、 選 択信号 S71が Lレベルになり、 昇圧されたブースト電圧 BOOST2が読み出し電 圧 VRGに加えられ、読み出し電圧 VRGは昇圧レベルを維持する。 この時、第 1 のブースタ回路 6 0はリセット動作され、 次の昇圧動作に備える。 FIG. 5 is a timing chart showing the operation of the booster circuit. When an address change occurs at time tl, the ATD generation circuit 32 changes the address change detection signal ATD to H level. In response to this address change, a detection pulse ATDx is generated, and the first booster drive signal ATD1 becomes H level. In response, the first booster circuit 60 starts the boosting operation, the selection signal S61 goes to the L level, and the boosted The boost voltage BOOST1 is supplied to the redundant memory 22 as the read voltage VRG. Further, when an address change occurs again at time t2 within a predetermined time TO required for address determination from the first address change, the H level of the address change detection signal ATD is maintained, and the second level is responded to the detection pulse ATDx. The booster drive signal ATD2 becomes H level. In response, the second booster circuit 70 starts the boost operation, the select signal S71 goes to the L level, the boosted boost voltage BOOST2 is applied to the read voltage VRG, and the read voltage VRG becomes the boost level. To maintain. At this time, the first booster circuit 60 is reset, and prepares for the next boosting operation.
2番目のアドレス変化から所定時間 TO経過すると、 アドレス確定となり、 ァ ドレス変化検出信号 ATD は Lレベルになり、 ィコライズ信号 E Qが Hレベルに なり、 デコーダがデコード信号を確定し、 メモリコアが動作を開始する。 このタ ィミングで読み出し電圧 VKGは昇圧レベルにされているので、 複数の冗長メモ リ 2 2のうちアドレス確定により選択された一部の冗長メモリ トランジスタが読 み出し動作を行い、 センスアンプ 2 8 Aで検出され、 ラッチ回路 2 8 Bにラッチ される。 従って、 アドレス確定時に必要な冗長メモリのみ読み出し動作を行うこ とができ、 更に、 センスアンプ回路とラッチ回路を全ての冗長メモリに対して設 ける必要はない。  When a predetermined time TO elapses from the second address change, the address is determined, the address change detection signal ATD becomes L level, the equalize signal EQ becomes H level, the decoder determines the decode signal, and the memory core operates. Start. At this timing, the read voltage VKG is set to the boosted level, so that some of the redundant memory transistors selected from the plurality of redundant memories 22 by address determination perform a read operation, and the sense amplifier 28 A And is latched by the latch circuit 28B. Therefore, it is possible to perform the read operation only for the redundant memory necessary when the address is determined, and it is not necessary to provide the sense amplifier circuit and the latch circuit for all the redundant memories.
図 6は、 第 1のブースタ回路の構成と動作を示す図である。 第 2のブースタ回 路の構成と動作も同じである。 第 1のブースタ回路 6 0は、 第 1のブースタ駆動 信号 ATD1を入力して制御信号 1 B、 2 Bを生成する制御信号生成部 60Aと、 インバータ 6 5 , 6 6と、 ィンバータ 6 7と、 Pチヤネノレトランジスタ 6 8と、 キャパシタ 6 9とを有する。図 6 (B)のタイミングチャートに示されるとおり、 第 1のブースタ駆動信号 ATD1の Hレベルに応答して、第 1の制御信号 1 Bが L レベルになり、 インバータ 6 7がトランジスタ 6 8を介して出力 BOOST1 を電 源電圧 Vccまで上昇させる。 そして、 その直後に第 2の制御信号 2 Bが Lレベル になり、 インバータ 6 5, 6 7のトランジスタ 6 5を介してキャパシタ 6 9の電 極が電源電圧 Vccまで駆動される。 それにより、 キャパシタ 6 9の力ップリング 動作により出力 BOOST1が電源電圧 Vccよりも高い昇圧レベル Vppまで上昇す る。 そして、 第 1のブースタ,駆動信号 ATD1の Lレベルに応答して、 第 1、 第 2 の制御信号 1 B , 2 Bが Hレベルになり、第 1のブースタ回路がリセットされる。 つまり、 リセット動作では、 トランジスタ 6 6を介してキャパシタ 6 9の一方の 電極がグランドレベルに引き下げられ、 一方、 キャパシタの反対電極である出力 BOOST1がインバータ 6 7によりグランドレベルに維持される。 このように、 こ のリセット動作には所定の時間を要する。 FIG. 6 is a diagram illustrating the configuration and operation of the first booster circuit. The configuration and operation of the second booster circuit are the same. The first booster circuit 60 receives a first booster drive signal ATD1 and generates control signals 1B and 2B, a control signal generation unit 60A, inverters 65 and 66, and an inverter 67. It has a P channel transistor 68 and a capacitor 69. As shown in the timing chart of FIG. 6 (B), in response to the H level of the first booster drive signal ATD1, the first control signal 1B goes to the L level, and the inverter 67 is turned on via the transistor 68. Raises the output BOOST1 to the power supply voltage Vcc. Immediately thereafter, the second control signal 2B becomes L level, and the electrode of the capacitor 69 is driven to the power supply voltage Vcc via the transistor 65 of the inverters 65 and 67. As a result, the output BOOST1 rises to the boosting level Vpp higher than the power supply voltage Vcc due to the force pulling operation of the capacitor 69. Then, in response to the L level of the first booster and drive signal ATD1, the first and second Control signals 1 B and 2 B go to H level, and the first booster circuit is reset. That is, in the reset operation, one electrode of the capacitor 69 is pulled down to the ground level via the transistor 66, while the output BOOST1, which is the opposite electrode of the capacitor, is maintained at the ground level by the inverter 67. Thus, this reset operation requires a predetermined time.
図 7は、 ブースタ駆動信号生成回路及び動作タィミングチヤ一トを示す図であ る。 図 7 (A) に示されるとおり、 ブースタ,駆動信号生成回路 3 4は、 アドレス 変化検出信号 ATDと検出パルス ATDxから、 ァドレスが変化するたびに第 1、 第 2のブースタ駆動信号 ATD1,ATD2を交互に Hレベルにする。 ブースタ駆動信 号生成回路 3 4は、 前段と後段の回路からなり、 前段は、 トランスファゲート 8 0と、 Pチャネルトランジスタ 8 2と、 インバータ 8 4 , 8 5によるラッチ回路 で構成され、 後段は、 トランスファーゲート 8 1 と、 Pチャネルトランジスタ 8 3と、 インバータ 8 7, 8 8によるラッチ回路で構成され、 前段と後段はインバ ータ 8 6を介して接続されている。  FIG. 7 is a diagram showing a booster drive signal generation circuit and an operation timing chart. As shown in FIG. 7A, the booster and drive signal generation circuit 34 generates the first and second booster drive signals ATD1 and ATD2 every time the address changes from the address change detection signal ATD and the detection pulse ATDx. Alternately set to H level. The booster drive signal generation circuit 34 is composed of a front stage circuit and a rear stage circuit. The front stage is configured by a latch circuit including a transfer gate 80, a P-channel transistor 82, and inverters 84 and 85. It is composed of a latch circuit composed of a transfer gate 81, a P-channel transistor 83, and inverters 87, 88, and the preceding and succeeding stages are connected via an inverter 86.
図 7 (B ) のタイミングチャートに従って動作を説明すると、 時刻 t l前にお いてァドレス変化検出信号 ATDが Lレベルにあり、ノード N82,N83が共に Hレ ベルにあり、 その結果、 両駆動信号 ATD1,ATD2は Lレベルになっている。 時刻 t 1でァドレス変化が発生すると、 了ドレス変化検出信号 ATDが Hレべノレにな り、 トランジスタ 8 2 , 8 3は非導通状態になり、 2つのトラスファーゲート 8 0, 8 1により、 前段と後段とが交互に駆動信号 ATD1,ATD2を生成する。 時刻 t 1のアドレス変化で、 トランスファーゲート 8 0が短時間導通して信号 ATD1の Lレベルに応答してノード N82が Lレベルになり、 トランスファーゲー ト 8 0が閉じた時にラッチ回路 8 4, 8 5が反転して、 第 1のブースタ駆動信号 ATD1が Hレベルになる。 この時、 トランスファーゲート 8 1も短時間導通する ィンバータ 8 6の出力が未だ Hレベルであり第 2のブースタ駆動信号 ATD2 は変ィ匕しない。 伹し、 第 1のブースタ駆動信号 ATD1が Hレベルになることによ りィンバータ 8 6の出力は Lレベルになる。  The operation will be described with reference to the timing chart of FIG. 7B. Before the time tl, the address change detection signal ATD is at the L level, and the nodes N82 and N83 are both at the H level. As a result, both drive signals ATD1 , ATD2 is at L level. When an address change occurs at time t1, the end address change detection signal ATD becomes H level, the transistors 82 and 83 become non-conductive, and the two transfer gates 80 and 81 cause The first and second stages generate drive signals ATD1 and ATD2 alternately. At the address change at time t1, the transfer gate 80 conducts for a short time, the node N82 becomes L level in response to the L level of the signal ATD1, and the latch circuits 84, 8 are closed when the transfer gate 80 is closed. 5 is inverted, and the first booster drive signal ATD1 becomes H level. At this time, the transfer gate 81 also conducts for a short time. The output of the inverter 86 is still at the H level, and the second booster drive signal ATD2 does not change. However, when the first booster drive signal ATD1 goes high, the output of the inverter 86 goes low.
次に、 時刻 t 2でァドレスが変化すると、 トランスファーグート 8 1が短い間 導通して、 ラッチ回路 8 7 , 8 8を反転し、 第 2のブースタ駆動信号 ATD2が H レベルになる。 同時に、 トランスファーゲート 8 0が導通して、 ノード N82が H レベルにされ、 第 1のブースタ駆動信号 ATD1は Lレベルにされる。 Next, when the address changes at time t2, the transfer gate 81 conducts for a short time, inverting the latch circuits 87, 88, and the second booster drive signal ATD2 becomes high. Become a level. At the same time, the transfer gate 80 conducts, the node N82 goes high, and the first booster drive signal ATD1 goes low.
以上の動作が繰り返されることにより、ァドレス変化が発生するたびに、第 1、 第 2のブースタ駆動信号 ATD1,ATD2が交互に Hレベルになる。 この動作は、 ァ ドレス変化検出信号 ATD が Hレベルに間継続する。 つまり、 ァドレスが確定す るまで、 第 1及び第 2のブースタ駆動信号 ATD1,ATD2が交互に生成され、 ブー スタ回路 3 6が昇圧された読み出し電圧 VRGをィコライズ信号 EQに遅れるこ となく生成する。 従って、 アドレスが連続して変化しても最終的にアドレスが確 定するタイミングで冗長メモリの一部のメモリが読み出し動作を行うことができ る。  By repeating the above operation, each time the address change occurs, the first and second booster drive signals ATD1 and ATD2 alternately go to the H level. This operation continues while the address change detection signal ATD remains at the H level. That is, the first and second booster drive signals ATD1 and ATD2 are alternately generated until the address is determined, and the booster circuit 36 generates the boosted read voltage VRG without delaying the equalize signal EQ. . Therefore, even if the address changes continuously, a part of the redundant memory can perform the read operation at the timing when the address is finally determined.
上記の実施の形態では、 第 1及び第 2のブースタ回路が交互に昇圧動作とリセ ット動作を行っている。 本発明はそれに限定されず、 ブースタ回路が 3個以上の ブースタ回路を有していても良い。 その場合は、 各ブースタ回路は、 アドレス変 化に応答して昇圧動作を開始し、一定期間昇圧した後リセット状態に戻る。但し、 複数のブースタ回路は、 連続するァドレス変化に応答して順次昇圧動作を開始す る。 そして、 連続するアドレス変化の最初のアドレス変化後、 複数のブースタ回 路が昇圧動作を順次行い、最後のァドレス変化後にァドレス確定タイミングでは、 最後に昇圧動作したブースタ回路からの昇圧電圧が読み出し電圧として利用され る。 このようにすることで、 常にアドレス変化に応答して昇圧電圧を生成するこ とができ、 後続するアドレス変化に応答して次々に昇圧電圧を生成することで、 どのタイミングでァドレスが確定しても昇圧された読み出し電圧を供給すること が可能になる。  In the above embodiment, the first and second booster circuits alternately perform the boosting operation and the reset operation. The present invention is not limited to this, and the booster circuit may have three or more booster circuits. In that case, each booster circuit starts the boosting operation in response to the address change, returns to the reset state after boosting for a certain period of time. However, the plurality of booster circuits start boosting operation sequentially in response to successive address changes. Then, after the first address change of the successive address changes, the plurality of booster circuits sequentially perform the boosting operation, and after the last address change, at the address determination timing, the boosted voltage from the booster circuit that last performed the boosting operation is used as the read voltage. Used. In this way, a boosted voltage can always be generated in response to an address change, and a boosted voltage is generated one after another in response to a subsequent address change. It is also possible to supply a boosted read voltage.
以上のとおり、 本実施の形態によれば、 ァドレス確定のタイミングで冗長メモ リの一部のメモリを読み出し動作させて、 冗長情報を読み出すことができ、 省電 力化と小回路規模ィ匕を図ることができる。 産業上の利用の可能性  As described above, according to the present embodiment, it is possible to read out the redundant information by reading out a part of the memory of the redundant memory at the timing of determining the address, thereby achieving power saving and small circuit scale reduction. Can be planned. Industrial potential
以上、本発明によれば、冗長メモリの読み出し回路を小規模にすることができ、 確定したァドレスに対する冗長メモリを適切に読み出すことができる半導体メモ リを提供する。 As described above, according to the present invention, the readout circuit of the redundant memory can be reduced in size, and the semiconductor memory capable of appropriately reading the redundant memory for the determined address can be obtained. To provide

Claims

請求の範囲 The scope of the claims
1 . 通常セルと冗長セルとを有する半導体メモリにおいて、 1. In a semiconductor memory having normal cells and redundant cells,
前記冗長セルに関する冗長情報を記憶する複数の冗長メモリと、  A plurality of redundant memories for storing redundant information on the redundant cells;
前記複数の冗長メモリのうち、 アドレスに応じて一部の冗長メモリを選択して 読み出し動作させる冗長メモリ選択回路と、  A redundant memory selection circuit that selects a part of the redundant memories according to an address among the plurality of redundant memories and performs a read operation;
当該選択された冗長メモリから読み出された冗長情報を保持する冗長情報保持 回路と、  A redundant information holding circuit for holding redundant information read from the selected redundant memory;
前記冗長メモリの読み出し電圧を生成する第 1及び第 2のブースタ回路とを有 し、  A first and a second booster circuit for generating a read voltage of the redundant memory,
了ドレス変化に応答して、 前記第 1及び第 2のブースタ回路が交互に昇圧動作と リセット動作とを繰り返すことを特徴とする半導体メモリ。 A semiconductor memory, wherein the first and second booster circuits alternately repeat a boosting operation and a reset operation in response to a change in the address change.
2 . 請求項 1において、 2. In Claim 1,
連続するァドレス変化に対して最初のァドレス変化に応答して、前記第 1また は第 2のブースタ回路が昇圧動作を開始し、 最後のァドレス変化に応答して前記 第 1または第 2のブースタ回路が昇圧動作を行って、 その後昇圧動作を停止する ことを特徴とする半導体メモリ。  In response to a first address change in response to successive address changes, the first or second booster circuit starts a boost operation, and in response to a last address change, the first or second booster circuit. Performing a boosting operation and thereafter stopping the boosting operation.
3 . 請求項 2において、 3. In Claim 2,
前記最後のァドレス変化後にァドレスの確定タイミングでメモリの動作開始 信号が生成されることを特徴とする半導体メモリ。  A semiconductor memory, wherein a memory operation start signal is generated at a timing of determining an address after the last address change.
4 . 請求項 1において、 4. In claim 1,
連続するァドレス変化に対して最後のァドレス変化後にァドレスの確定タイ ミングでメモリの動作開始信号が生成され、 当該動作開始信号に応答して、 前記 冗長メモリ選択回路が選択動作を行うことを特徴とする半導体メモリ。  A memory operation start signal is generated at a fixed timing of the address after the last address change with respect to a continuous address change, and the redundant memory selection circuit performs a selection operation in response to the operation start signal. Semiconductor memory.
5 . 請求項 1において 前記読み出された冗長情報に基づいて、通常セルまたは冗長セルのいずれかが 選択されることを特徴とする半導体メモリ。 5. In Claim 1 A semiconductor memory, wherein one of a normal cell and a redundant cell is selected based on the read redundant information.
6 . 請求項 1において、 6. In Claim 1,
前記第 1のブースタ回路が昇圧動作を行う間、 Ιίί記第 2のブースタ回路がリセ ット動作を行い、 前記第 1のブースタ回路がリセット動作を行う間、 前記第 2の ブースタ回路が昇圧動作を行うことを特徴とする半導体メモリ。  While the first booster circuit performs a boost operation, the second booster circuit performs a reset operation, and while the first booster circuit performs a reset operation, the second booster circuit performs a boost operation. A semiconductor memory.
7 . 請求項 1において、 7. In Claim 1,
連続するアドレス変化に対して最初のアドレス変化に応答して、 アドレス変化 検出信号が生成され、 当該アドレス変化検出信号が活性状態の間、 前記第 1及び 第 2のブースタ回路が動作状態になり、 更に、 アドレス変化に応答して第 1及び 第 2のブースタ駆動信号が交互に生成され、 当該第 1及び第 2のブースタ駆動信 号に応答して、 前記第 1及び第 2のブースタ回路が昇圧動作を行うことを特徴と する半導体メモリ。  In response to the first address change in response to successive address changes, an address change detection signal is generated, and while the address change detection signal is active, the first and second booster circuits are activated, Further, the first and second booster drive signals are generated alternately in response to the address change, and the first and second booster circuits are boosted in response to the first and second booster drive signals. A semiconductor memory characterized by performing operations.
8 . 通常セルと冗長セルとを有する半導体メモリにおいて、 8. In a semiconductor memory having normal cells and redundant cells,
前記冗長セルに関する冗長情報を記憶する複数の冗長メモリと、  A plurality of redundant memories for storing redundant information on the redundant cells;
前記複数の冗長メモリのうち、 ァドレスが確定したタイミングで当該確定した ァドレスに応じて一部の冗長メモリを選択して読み出し動作させる冗長メモリ選 択回路と、  A redundancy memory selection circuit for selecting and performing a read operation on a part of the plurality of redundant memories at a timing when the address is determined according to the determined address,
当該選択された冗長メモリから読み出された冗長情報を保持する冗長情報保持 回路と、  A redundant information holding circuit for holding redundant information read from the selected redundant memory;
ァドレスの変化後の当該ァドレスが確定するタイミングで前記冗長メモリの読み 出し電圧を生成するブースタ回路とを有することを特徴とする半導体メモリ。 A booster circuit for generating a read voltage of the redundant memory at a timing when the address is determined after the address is changed.
9 . 請求項 8において、 9. In Claim 8,
前記ブースタ回路は、複数のブースタ回路を有し、当該複数のブースタ回路が、 前記ァドレス変化のたびに順次昇圧動作を行うことを特徴とする半導体メモリ。  A semiconductor memory, wherein the booster circuit has a plurality of booster circuits, and the plurality of booster circuits sequentially perform a boosting operation every time the address changes.
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