JP2001148192A - Semiconductor memory and word line drive method - Google Patents

Semiconductor memory and word line drive method

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JP2001148192A
JP2001148192A JP33238199A JP33238199A JP2001148192A JP 2001148192 A JP2001148192 A JP 2001148192A JP 33238199 A JP33238199 A JP 33238199A JP 33238199 A JP33238199 A JP 33238199A JP 2001148192 A JP2001148192 A JP 2001148192A
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semiconductor memory
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such problems that hitherto, when a selection word line is continued, that is, as capability cannot help being decided supposing a case in which a load is maximum, a boosting circuit is operated exceeding actual word line current consumption and a current is consumed excessively, and also it is hard to apply the device to a memory LSI operated at high speed. SOLUTION: Word line transition is detected by an address latch 11, an EX-OR circuit 12, and an OR circuit 13 instead of boosting circuit voltage, and an output counter value of a counter 14 is varied. A boosting circuit 15 has such capability that the circuit receives the counter output value of the counter 14 and varies current capability supplied to a word driver 17, corresponding to the counter output value. As optimum current capability just enough is set to the boosting circuit 15 according to the magnitude of the load, power consumption can be suppressed. Also, the device is easily applied to the memory LSI which operates at a high speed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置及び
ワード線駆動方法に係り、特に大規模半導体集積回路
(LSI)化された半導体記憶装置及びワード線駆動方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device and a word line driving method, and more particularly to a large-scale semiconductor integrated circuit.
The present invention relates to an (LSI) semiconductor memory device and a word line driving method.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、LSI化された半導体記憶装
置(いわゆるメモリLSI)に限らず、LSIは電源電
圧の低電圧、低消費電力化と高速動作の両立が強く求め
られている。一般に、電源電圧の低電圧化は動作速度の
低下を招くが、特にメモリLSIの場合、ワードドライ
バの電圧振幅低下が、動作速度を著しく低下させる。
2. Description of the Related Art Conventionally, not only semiconductor memory devices (so-called memory LSIs) formed into LSIs but also LSIs are strongly required to have both low power supply voltage, low power consumption and high-speed operation. In general, lowering the power supply voltage causes a decrease in the operation speed. In particular, in the case of a memory LSI, a decrease in the voltage amplitude of the word driver significantly reduces the operation speed.

【0003】それは以下の理由による。メモリを構成す
るメモリセルトランジスタは、チップ内で最も小さいた
め、他のトランジスタより閾値Vtは高くなる。すなわ
ち、狭チャネル効果や基板効果によって、あるいは高濃
度のチャネルストッパが近接している影響を受けて閾値
Vtは高くなる。更には、小型の分だけ寸法など製造ば
らつきの影響を受けやすく、閾値Vtのばらつきも大き
くなる。ワードドライバは、この最大の閾値Vt以上の
高い電圧が要求される。言い換えれば、ワードドライバ
の電圧振幅は、動作速度に大きな影響を与え、ワードド
ライバの電圧振幅低下は動作速度を著しく低下させるこ
とになる。
[0003] It is for the following reason. Since the memory cell transistor constituting the memory is the smallest in the chip, the threshold value Vt is higher than the other transistors. That is, the threshold value Vt is increased by the narrow channel effect or the substrate effect, or by the influence of the close proximity of the high concentration channel stopper. Further, the small size is liable to be affected by manufacturing variations such as dimensions, and the variation of the threshold value Vt is also increased. The word driver is required to have a voltage higher than the maximum threshold Vt. In other words, the voltage amplitude of the word driver greatly affects the operation speed, and a decrease in the voltage amplitude of the word driver significantly lowers the operation speed.

【0004】そこで、この問題を解決するため、昇圧回
路を利用することで、ワードドライバの高レベル出力電
圧を電源電圧から昇圧した高い電圧にする方式が提案さ
れている。この方法は、電源電圧が低くても、選択ワー
ド線電位を高く維持することができ、高速化には有効な
方法である。この昇圧回路には2種類の電流が流される。
1つは負荷のpn接合部に流れる微小で、ほぼ一定の逆
バイアスリーク電流である。2つ目はメモリが選択さ
れ、ワードドライバが動作することによって流れる、大
きな過渡電流である。前者は、微小かつほぼ一定値のD
C電流であるので、問題にならないが、後者は電流値が
大きく、かつ、変動するAC電流であるので、昇圧回路
設計時には十分考慮しなくてはならない。
In order to solve this problem, a method has been proposed in which a high-level output voltage of a word driver is boosted from a power supply voltage to a high voltage by using a booster circuit. This method can maintain the potential of the selected word line high even if the power supply voltage is low, and is an effective method for speeding up. Two types of currents flow through this booster circuit.
One is a minute, almost constant reverse bias leak current flowing through the pn junction of the load. The second is a large transient current that flows when the memory is selected and the word driver operates. The former is a small and almost constant value of D
This is not a problem because it is a C current, but the latter has a large current value and a fluctuating AC current, and therefore must be sufficiently considered when designing a booster circuit.

【0005】このAC電流は、一定時間内にどれだけ選
択ワード線遷移が起きるかに依存する。例えば、100
回アドレスが変化したうち、選択ワード線遷移の伴う変
化が、50回か100回かで、AC消費電流は大きく異
なる。しかし、アドレスの変化の仕方は予測することが
できないので、連続して異なるワード線が選択される負
荷最大の場合を想定して、それを上回るように昇圧回路
の供給能力を設定せざるを得ない。
The AC current depends on how much the selected word line transition occurs within a certain time. For example, 100
The AC current consumption greatly differs depending on whether the change accompanied by the selected word line transition is 50 or 100 times among the address changes. However, since the manner in which the address changes cannot be predicted, it is necessary to set the supply capacity of the booster circuit so as to exceed the maximum load, assuming the case where the load is selected in which different word lines are continuously selected. Absent.

【0006】もし、電流能力が不足し、ワードドライバ
の高レベル出力電圧が低下すると、選択されたワード線
電位が低下する。その場合、読み出し速度低下だけでは
なく、誤読み出しを起こす可能性もある。以上から、負
荷回路はその負荷の大小によらず、常に大きな電流を消
費することになり、低消費電力化の大きな妨げになって
きた。
If the current capability is insufficient and the high level output voltage of the word driver decreases, the potential of the selected word line decreases. In this case, not only the reading speed is reduced but also there is a possibility that an erroneous reading may occur. As described above, the load circuit always consumes a large current irrespective of the size of the load, which greatly hinders reduction in power consumption.

【0007】この問題を解決するために、昇圧電圧のレ
ベルをモニタし、昇圧回路の電流出力能力を可変にする
半導体記憶装置が従来より提案されている(R.C.Foss e
t al.,"Application of a High-Voltage Pumped Supply
for Low-Power DRAM" 1992Symposium on VLSI Circui
ts Digest of Technical Papers,pp.106-107)。
In order to solve this problem, a semiconductor memory device that monitors the level of the boosted voltage and varies the current output capability of the booster has been proposed (RCFosse).
t al., "Application of a High-Voltage Pumped Supply
for Low-Power DRAM "1992Symposium on VLSI Circui
ts Digest of Technical Papers, pp. 106-107).

【0008】図4はこの従来の半導体記憶装置の一例の
回路図を示す。同図に示すように、この従来の半導体記
憶装置は、レベルモニタ1、リングオシレータ2及び昇
圧部3より構成される。VDDは電源電圧、VPPは昇
圧された電源電圧である。この従来装置では、ダイナミ
ック・ランダム・アクセス・メモリ(DRAM)のワー
ド線(図示せず)に印加されるVPPが、レベルモニタ
1で監視され、電圧が低下すると、リングオシレータ2
が動作し、昇圧部3でVPPを昇圧する構成である。
FIG. 4 is a circuit diagram showing an example of the conventional semiconductor memory device. As shown in FIG. 1, the conventional semiconductor memory device includes a level monitor 1, a ring oscillator 2, and a booster 3. VDD is a power supply voltage, and VPP is a boosted power supply voltage. In this conventional device, VPP applied to a word line (not shown) of a dynamic random access memory (DRAM) is monitored by a level monitor 1, and when the voltage drops, a ring oscillator 2
Operate and the booster 3 boosts VPP.

【0009】次に、この従来装置の動作について詳細に
説明する。イネーブル信号は、図示の回路の動作/非動
作を決める信号であり、そのイネーブル信号が低レベル
から高レベルに変化すると、ノードaは高レベルにな
り、トランジスタQMのゲート電圧はVPPになる。ト
ランジスタQMはメモリセルと同一の形状、寸法で、閾
値Vtのモニタ用トランジスタである。
Next, the operation of the conventional device will be described in detail. The enable signal is a signal that determines the operation / non-operation of the illustrated circuit. When the enable signal changes from a low level to a high level, the node a goes high and the gate voltage of the transistor QM becomes VPP. The transistor QM is a monitoring transistor having the same shape and dimensions as the memory cell and having a threshold value Vt.

【0010】電源電圧VPPが十分に高く、VPP>
(VDD+Vt)であれば、ソースにVDDが印加され
ているトランジスタQMは導通し、トランジスタQ1、
Q2によるカレントミラー回路が形成される。トランジ
スタQ2の電流駆動能力がトランジスタQ0、Q0‘に
比べて十分に大きく、またノードaの高レベル電圧によ
って、トランジスタQ2に電流が流れ始めるまでのVP
P検出回路が十分に早ければ、トランジスタQ0のドレ
インのノードbの電圧はほぼ高レベルに保持される。従
って、インバータINVの出力電圧OSCENは低レベ
ルに保持され、リングオシレータ2は起動されない。
When power supply voltage VPP is sufficiently high, VPP>
If (VDD + Vt), the transistor QM to which VDD is applied to the source conducts and the transistor Q1,
A current mirror circuit is formed by Q2. The current driving capability of the transistor Q2 is sufficiently larger than that of the transistors Q0 and Q0 ', and the VP voltage until the current starts flowing through the transistor Q2 due to the high level voltage of the node a.
If the P detection circuit is fast enough, the voltage at the node b at the drain of the transistor Q0 is maintained at a substantially high level. Therefore, the output voltage OSCEN of the inverter INV is kept at a low level, and the ring oscillator 2 is not started.

【0011】しかし、電源電圧VPPが、VPP<(V
DD+Vt)まで低下すると、ノードbの電荷はトラン
ジスタQ0、Q0‘を通して放電され、インバータIN
Vの出力電圧OSCENは高レベルになり、リングオシ
レータ2は発振動作を開始する。リングオシレータ2が
発振動作をすると、リングオシレータ2の出力信号OS
Cが低レベルと高レベルとを交互に繰り返すことによ
り、以下の動作が行われる。
However, when the power supply voltage VPP is VPP <(V
DD + Vt), the electric charge at the node b is discharged through the transistors Q0 and Q0 'and the inverter IN
The V output voltage OSCEN becomes high level, and the ring oscillator 2 starts oscillating. When the ring oscillator 2 oscillates, the output signal OS of the ring oscillator 2
The following operation is performed when C alternates between a low level and a high level alternately.

【0012】まず、リングオシレータ2の出力信号OS
Cが低レベルである期間では、それまで昇圧部3内のノ
ードc、d、eは共に低レベルであったので、トランジ
スタQ3、Q4はオン状態であり、Q3、Q4の各ドレ
インにおけるノードf、gの電位はそれぞれQ3、Q4
の各ソース電位VDD、VPPであった。しかし、信号
OSCが低レベルとなるので、ノードc、d、eは共に
高レベルとなり、ノードfの電位は0V、ノードgの電
位は(VDD−Vt5)となる(ただし、Vt5はノー
ドgがドレインであるトランジスタQ5の閾値)。
First, the output signal OS of the ring oscillator 2
During the period in which C is at a low level, the nodes c, d, and e in the boosting unit 3 have been at a low level, so that the transistors Q3 and Q4 are on, and the node f at the drains of Q3 and Q4 , G are Q3 and Q4, respectively.
Were the source potentials VDD and VPP. However, since the signal OSC is at a low level, the nodes c, d, and e are both at a high level, the potential of the node f is 0 V, and the potential of the node g is (VDD-Vt5) (where Vt5 is the node g. (The threshold value of the transistor Q5 which is the drain)

【0013】このとき、Q4はオフ状態のため、ノード
fがVDDから0Vに放電すると、この電圧変動によっ
てノードgも低レベルに変動しようとするが、トランジ
スタQ5がオンとなるため、その電圧は(VDD−Vt
5)に保持される。
At this time, since Q4 is off, when the node f discharges from VDD to 0V, the voltage fluctuates, so that the node g also fluctuates to a low level. (VDD-Vt
5) is held.

【0014】つぎに、リングオシレータ2の出力信号O
SCが高レベルである期間では、ノードc、d、eは共
に低レベルとなり、ノードfが再びVDDに充電され
る。なお、ノードfはコンデンサCpを介してノードg
(Q4,Q5の両ドレイン共通接続点)に接続されてい
る。このとき、トランジスタQ4はオン、Q5はオフな
ので、このノードfの電圧VDDへの変化に対応した電
荷がVPPに供給され、VPPの電位が上昇する。この
ように、VPPが低下するとリングオシレータ2が発振
動作を開始し、リングオシレータ2の出力信号OSCが
低レベルと高レベルとを交互に繰り返すことにより、昇
圧部3においてVPPの電位が一定に保つ働きが行われ
る。
Next, the output signal O of the ring oscillator 2
During a period in which SC is at a high level, nodes c, d, and e are all at a low level, and node f is charged to VDD again. The node f is connected to the node g via the capacitor Cp.
(Common connection point of both drains of Q4 and Q5). At this time, since the transistor Q4 is on and the transistor Q5 is off, a charge corresponding to the change of the node f to the voltage VDD is supplied to VPP, and the potential of VPP rises. As described above, when the VPP decreases, the ring oscillator 2 starts oscillating, and the output signal OSC of the ring oscillator 2 alternately repeats the low level and the high level, so that the potential of the VPP is kept constant in the booster 3. Work is performed.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記の図4
に示した従来の半導体記憶装置では、昇圧部3の出力電
圧VPPが下がってから動作するため、短時間で反応
し、昇圧電圧VPPを上昇させる能力が要求される高速
動作LSIである半導体記憶装置に適用することは極め
て困難である。
However, FIG.
In the conventional semiconductor memory device shown in (1), since the operation is performed after the output voltage VPP of the boosting unit 3 is lowered, the semiconductor memory device is a high-speed operation LSI which requires a capability to react in a short time and increase the boosted voltage VPP. Is very difficult to apply.

【0016】本発明は以上の点に鑑みなされたもので、
ワード線遷移を検出し昇圧回路を制御することで電圧低
下を前もって抑制することにより、高速動作LSIに容
易に適用し得る半導体記憶装置及びワード線駆動方法を
提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points,
An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device and a word line driving method which can be easily applied to a high-speed operation LSI by detecting a word line transition and controlling a booster circuit to suppress a voltage drop in advance.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の半導体記憶装置は、メモリセルに接続され
たワード線のうち、選択したワード線に、昇圧回路から
の昇圧電圧をワードドライバを介して供給する半導体記
憶装置において、選択されたワード線変化を検出するワ
ード線遷移検出回路と、ワード線遷移検出回路の出力検
出信号を受けて、出力カウント値を変化又は維持するカ
ウンタと、出力カウント値を受け、ワードドライバに供
給する電流能力を可変する昇圧回路とを有する構成とし
たものである。この発明では、昇圧回路電圧ではなく、
ワード線遷移を検出して負荷の大きさに応じて過不足の
ない最適な電流能力を昇圧回路に設定できる。
In order to achieve the above object, a semiconductor memory device according to the present invention comprises a step of applying a boosted voltage from a booster circuit to a selected one of word lines connected to a memory cell. In a semiconductor memory device supplied via a driver, a word line transition detection circuit for detecting a change in a selected word line, a counter for changing or maintaining an output count value in response to an output detection signal of the word line transition detection circuit , A booster circuit that receives the output count value and varies the current capability to be supplied to the word driver. In the present invention, instead of the booster circuit voltage,
By detecting a word line transition, it is possible to set an optimal current capacity in the booster circuit without excess or deficiency according to the size of the load.

【0018】また、本発明は上記のカウンタを、選択ワ
ード線遷移が連続するときは、クロック信号に同期して
第1の方向に出力カウント値が第1の値に向かって漸次
変化し、同一のワード線選択が連続したときは、クロッ
ク信号に同期して第1の方向とは反対の第2の方向に出
力カウント値が第2の値に向かって漸次変化し、昇圧回
路は、カウント値が第1の方向に変化するときはカウン
ト値に応じて供給電流能力が増大し、カウント値が第2
の方向に変化するときはカウント値に応じて供給電流能
力が低下する構成であることを特徴とする。
Further, according to the present invention, when the selected word line transition continues, the output count value gradually changes in the first direction toward the first value in synchronization with the clock signal. Is continued, the output count value gradually changes toward the second value in the second direction opposite to the first direction in synchronization with the clock signal, and the booster circuit counts the count value. Changes in the first direction, the supply current capability increases in accordance with the count value, and the count value changes to the second value.
, The supply current capability is reduced in accordance with the count value.

【0019】また、本発明方法は、上記の目的を達成す
るため、メモリセルに接続されたワード線のうち、選択
したワード線に、昇圧回路からの昇圧電圧をワードドラ
イバを介して供給する半導体記憶装置のワード線駆動方
法において、選択されたワード線の変化を検出し、その
検出結果に応じてカウンタの出力カウント値を変化又は
維持させ、出力カウント値に応じて昇圧回路からワード
ドライバに供給する電流能力を、少なくとも選択ワード
線遷移が連続するときは上昇するように可変することを
特徴とする
According to another aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device for supplying a boosted voltage from a booster circuit to a selected one of word lines connected to a memory cell via a word driver. In a word line driving method for a storage device, a change in a selected word line is detected, and an output count value of a counter is changed or maintained in accordance with a result of the detection, and supplied from a booster circuit to a word driver in accordance with the output count value. The current capability to be increased at least when the selected word line transition continues.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。図1は本発明になる半導体記憶
装置の一実施の形態の回路系統図を示す。同図におい
て、メモリのアドレス入力信号のうち、Xデコードアド
レス信号A0は、クロック信号CLKに同期するアドレ
スラッチ11によりラッチされて信号A0Lとされた
後、2入力排他的論理和回路(EX-OR回路)12の
一方の入力端子に供給される一方、直接にEX-OR回
路12の他方の入力端子に供給される。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a circuit diagram of an embodiment of a semiconductor memory device according to the present invention. In the figure, an X-decode address signal A0 among the address input signals of the memory is latched by an address latch 11 synchronized with a clock signal CLK to be a signal A0L, and then a two-input exclusive-OR circuit (EX-OR) It is supplied to one input terminal of the circuit 12 and is directly supplied to the other input terminal of the EX-OR circuit 12.

【0021】図1では図示の便宜上、図示を省略した
が、他のXデコードアドレス信号A1〜AnもXデコー
ドアドレス信号A0と同様に、それぞれが対応するアド
レスラッチによりラッチされて、2入力EX-OR回路
に供給されると共に、直接に2入力EX-OR回路に供
給される。Xデコードアドレス信号A0〜Anをそれぞ
れラッチするアドレスラッチ11を含む全部でn+1個
のアドレスラッチの出力信号は、またXデコーダ16に
も供給される。
Although not shown in FIG. 1 for convenience of illustration, each of the other X decode address signals A1 to An is also latched by a corresponding address latch similarly to the X decode address signal A0, and has a two-input EX-address. The signal is supplied to the OR circuit and directly to the two-input EX-OR circuit. The output signals of all (n + 1) address latches including the address latch 11 for latching the X decode address signals A0 to An are also supplied to the X decoder 16.

【0022】EX-OR回路12を含む全部でn+1個
のEX-OR回路から取り出されたアドレス信号は、O
R回路13を通してカウンタ14に共通に入力される。
このカウンタ14は、クロック信号CLKに同期してカ
ウント動作する同期型カウンタで、リセット直後は0を
出力する。また、カウンタ14は、OR回路13の出力
信号が高レベルであれば、一定値pまではクロック信号
CLKに同期してカウントアップ動作を行い、出力値が
pになった後、OR回路13の出力信号が高レベルであ
ると、出力値pを維持する。
The address signals extracted from all (n + 1) EX-OR circuits including the EX-OR circuit 12 are O
The signal is commonly input to the counter 14 through the R circuit 13.
The counter 14 is a synchronous counter that counts in synchronization with a clock signal CLK, and outputs 0 immediately after reset. If the output signal of the OR circuit 13 is at a high level, the counter 14 performs a count-up operation in synchronization with the clock signal CLK until a constant value p, and after the output value becomes p, When the output signal is at a high level, the output value p is maintained.

【0023】一方、カウンタ14は、OR回路13の出
力信号が低レベルであれば、クロック信号CLKに同期
してカウントダウン動作を行い、出力値が0になった
後、OR回路13の出力信号が低レベルであると、出力
値0を維持する。
On the other hand, if the output signal of the OR circuit 13 is at a low level, the counter 14 performs a countdown operation in synchronization with the clock signal CLK, and after the output value becomes 0, the output signal of the OR circuit 13 becomes When the level is low, the output value 0 is maintained.

【0024】昇圧回路15は、供給電流能力可変の昇圧
回路であり、昇圧した電源電圧を、電源線18を経由し
てワードドライバ17に供給する。すなわち、図示しな
いメモリセルに接続されたワード線19が選択されたと
きの電位は、昇圧回路15からワードドライバ17に供
給された電位になる。昇圧回路15は、カウンタ14の
カウンタ出力値を受け、そのカウンタ出力値に対応して
ワードドライバ17に供給する電流能力を可変する機能
を持つ。
The booster circuit 15 is a booster circuit with a variable supply current capability, and supplies the boosted power supply voltage to the word driver 17 via the power supply line 18. That is, the potential when the word line 19 connected to the memory cell (not shown) is selected becomes the potential supplied from the booster circuit 15 to the word driver 17. The booster circuit 15 has a function of receiving a counter output value of the counter 14 and varying a current capability to be supplied to the word driver 17 according to the counter output value.

【0025】図2は昇圧回路15の一実施の形態の回路
図を示す。同図に示すように、昇圧回路15は、それぞ
れダイオード接続された2つのNチャネルMOS型電界
効果トランジスタM1及びM2が直列に接続され、トラ
ンジスタM1及びM2の接続点(ノードN)には、コン
デンサCPの一端が接続されている。このコンデンサC
Pは、ポンプアップ容量である。また、トランジスタM
1及びM2の各閾値は、それぞれVtである。
FIG. 2 is a circuit diagram of an embodiment of the booster circuit 15. As shown in the figure, the booster circuit 15 includes two diode-connected N-channel MOS field-effect transistors M1 and M2 connected in series, and a connection point (node N) between the transistors M1 and M2 has a capacitor. One end of the CP is connected. This capacitor C
P is the pump-up capacity. Also, the transistor M
Each threshold of 1 and M2 is Vt, respectively.

【0026】コンデンサCPの他端は、分周比可変回路
21の出力端子に接続されている。分周比可変回路21
は、入力クロック信号CLKを分周してコンデンサCP
に印加するが、その分周比は図1に示したカウンタ14
の出力カウント値に応じて可変される。ここでは、例え
ばカウンタ値が最大値pのときには、上記の分周比は最
小で、分周比可変回路21の出力信号周波数が最も高
く、最小カウント値0のときは分周比が最大で、分周比
可変回路21の出力信号周波数が最も低くなる。トラン
ジスタM1に入力される電源電圧VDDは、トランジス
タM2から昇圧されてVPP端子へ出力される。ここで
は、説明を容易にするために、過昇圧防止の電圧リミッ
タ回路は省略している。なお、クロック信号CLKは、
低レベル(GND)と高レベル(VDD)とが交互に繰
り返される方形波である。
The other end of the capacitor CP is connected to an output terminal of the frequency division ratio variable circuit 21. Dividing ratio variable circuit 21
Divides the input clock signal CLK to produce a capacitor CP
, And the frequency division ratio is determined by the counter 14 shown in FIG.
Is varied in accordance with the output count value. Here, for example, when the counter value is the maximum value p, the frequency division ratio is the minimum, the output signal frequency of the frequency division ratio variable circuit 21 is the highest, and when the minimum count value is 0, the frequency division ratio is the maximum, The output signal frequency of the frequency division ratio variable circuit 21 becomes the lowest. The power supply voltage VDD input to the transistor M1 is boosted from the transistor M2 and output to the VPP terminal. Here, for the sake of simplicity, the voltage limiter circuit for preventing excessive boosting is omitted. Note that the clock signal CLK is
This is a square wave in which a low level (GND) and a high level (VDD) are alternately repeated.

【0027】次に、図1及び図2に示す本実施の形態の
動作について、図3のタイミングチャートを併せ参照し
て説明する。Xデコーダアドレス信号の一つ、例えばX
デコーダアドレス信号A0のみが変化した場合を考え
る。図3に示すクロック信号CLKのある一周期Φ0
で、Xデコーダアドレス信号A0が低レベル(0)から
高レベル(1)に変化し、次の一周期Φ1で、高レベルか
ら低レベルへ変化することで、選択ワード線が図3に示
すように、W<0>からW<1>に変化する。このと
き、アドレス信号A0とアドレスラッチ11でラッチし
て得られた信号A0Lとが入力されるEX−OR回路1
2の出力信号はパルスとなる。
Next, the operation of this embodiment shown in FIGS. 1 and 2 will be described with reference to the timing chart of FIG. One of the X decoder address signals, for example, X
Consider a case where only the decoder address signal A0 changes. One cycle Φ0 of the clock signal CLK shown in FIG.
Then, the X-decoder address signal A0 changes from the low level (0) to the high level (1), and changes from the high level to the low level in the next cycle Φ1, so that the selected word line becomes as shown in FIG. And changes from W <0> to W <1>. At this time, the EX-OR circuit 1 to which the address signal A0 and the signal A0L obtained by latching by the address latch 11 are input.
The output signal of No. 2 is a pulse.

【0028】この出力信号は、OR回路13を経て図3
に示すパルス波形としてカウンタ14に入力され、その
高レベルの期間にクロックに同期してカウント値が0か
ら1へとカウントアップする。ここでは、アドレス信号
A0について説明したが、Xデコードアドレス信号のど
れか一つ以上が変化することにより、パルス信号がOR
回路13から取り出され、カウンタ14に入力される。
すなわち、選択されるワード線が変化すると、カウンタ1
4の出力は図3に示すように、カウントアップされるこ
とになる。
This output signal passes through the OR circuit 13 and
Is input to the counter 14 as a pulse waveform shown in FIG. 7, and the count value is counted up from 0 to 1 in synchronization with the clock during the high level period. Here, the address signal A0 has been described. However, when at least one of the X decode address signals changes, the pulse signal becomes OR.
It is taken out of the circuit 13 and inputted to the counter 14.
That is, when the selected word line changes, the counter 1
The output of 4 is counted up as shown in FIG.

【0029】昇圧回路15は、カウンタ14の出力カウ
ンタ値を受けて、ワードドライバ17に供給する電流能
力を1段階上昇させる。ここで、図2に示した昇圧回路
15の動作について説明するに、分周比可変回路21か
ら出力された分周クロック信号が低レベル(GND)の
ときには、トランジスタM1を通じてVDDからノード
Nに電流が流れ込み、ノードNの電位は(VDD−V
t)まで上昇する。続いて、上記の分周クロック信号が
高レベル(VDD)になると、コンデンサCPの両端で
カップリングが起り(両端の電位差を(VDD−Vt)
に保つ)、ノードNの電位がVDDを上回っているの
で、トランジスタM1の働きで電流はVDD端子には流
れず、VPP端子方向に流れ、VPP端子は最大2(V
DD−Vt)まで上昇する。
The booster circuit 15 receives the output counter value of the counter 14 and increases the current capacity to be supplied to the word driver 17 by one step. Here, the operation of the booster circuit 15 shown in FIG. 2 will be described. When the frequency-divided clock signal output from the frequency-division-ratio variable circuit 21 is at a low level (GND), current flows from VDD to the node N through the transistor M1. Flows, and the potential of the node N becomes (VDD−V
t). Subsequently, when the frequency-divided clock signal goes high (VDD), coupling occurs at both ends of the capacitor CP (the potential difference between both ends is (VDD−Vt)).
), The potential of the node N is higher than VDD, so that the current does not flow to the VDD terminal due to the operation of the transistor M1, but flows in the direction of the VPP terminal, and the VPP terminal has a maximum of 2 (V
DD-Vt).

【0030】このように、クロック信号を供給し続ける
ことで、上記の状態が繰り返され、VPP端子は最大2
(VDD−Vt)の昇圧電位に保たれる。また、上記の
状態の繰り返しは、カウント値に応じて変化する。
By continuing to supply the clock signal in this way, the above state is repeated, and the VPP terminal
(VDD-Vt) is maintained at the boosted potential. Further, the repetition of the above state changes according to the count value.

【0031】選択されたワード線が変化すると、消費す
るAC電流も増加するが、それに合わせて供給電流能力
が過不足なく上昇するように設定しておけば、昇圧回路
15が過剰な電流を消費することもなく、ワードドライ
バ17の高レベル、すなわち選択ワード線電位が一定値
に保持される。
When the selected word line changes, the consumed AC current also increases. However, if the supply current capability is set to increase without excess or deficiency, the booster circuit 15 consumes excessive current. Without doing so, the high level of the word driver 17, that is, the selected word line potential is maintained at a constant value.

【0032】更に、クロックが図3に示すように、Φ1か
らΦ2とワード線遷移が連続して、ワードドライバ17
のAC消費電流が更に増加しても、カウンタ14の出力
カウンタ値の増加に伴い、昇圧回路15の供給電流能力
が図3に示すように上昇するので、最適な消費電流、選択
ワード線電位が保たれる。
Further, as shown in FIG. 3, the clock changes from Φ1 to Φ2 and the word line transition continues,
Even if the AC current consumption further increases, the supply current capability of the booster circuit 15 increases as shown in FIG. 3 as the output counter value of the counter 14 increases, so that the optimum current consumption and the selected word line potential are reduced. Will be kept.

【0033】反対に、図3に示すΦ3、Φ4、Φ5のクロ
ックの連続する3周期では、Xデコーダアドレス信号A
0が高レベルに維持され、同一ワード線選択が連続して
おり、この場合はワードドライバ17のAC消費電流は
小さくなる。この場合、カウンタ14の出力カウンタ値
は、図3に示すように2→1→0とカウントダウンされ、
電流供給能力を下げ、昇圧回路15が過剰な電流を消費
することがないように動作する。
On the other hand, in three successive clock cycles of Φ3, Φ4, and Φ5 shown in FIG.
0 is maintained at a high level, and the same word line selection is continued. In this case, the AC current consumption of the word driver 17 is reduced. In this case, the output counter value of the counter 14 is counted down from 2 → 1 → 0 as shown in FIG.
The current supply capacity is reduced, and the booster circuit 15 operates so as not to consume excessive current.

【0034】以上説明したように、選択ワード線遷移が
連続している場合、カウンタ14はカウントアップ動作
を行うが、無限にカウント出力値を上昇させ、電源供給
能力を上昇させることは物理的に不可能である。そこ
で、一定値以上カウントアップが行われれば、それ以降
はカウント出力値を一定値に保持するように働く構成に
なっている。図3ではΦ2→Φ3がその状態で、カウン
ト値が2以上になれば、すなわち選択ワード線変化が連
続して3回以上起ると、カウンタ14のカウント出力値
は2のままである。
As described above, when the transition of the selected word line is continuous, the counter 14 performs the count-up operation, but it is physically impossible to increase the count output value infinitely and to increase the power supply capability. Impossible. Therefore, the configuration is such that when the count-up is performed at a certain value or more, the count output value is kept at a constant value thereafter. In FIG. 3, when Φ2 → Φ3 is in that state, if the count value becomes 2 or more, that is, if the selected word line change occurs three or more times continuously, the count output value of the counter 14 remains at 2.

【0035】この場合、選択ワード線変化が3回以上連
続しても、ワード線AC消費電流が十分に供給できるよ
うに、昇圧回路15のデメンジョンを変える設定を行っ
ておけばよい。具体的には、例えば図2のコンデンサC
Pを複数個用意しておき、通常は容量の小さなものを使
用し、負荷が高くなったときに容量が大きなものを使用
することなどが考えられる。
In this case, even if the change of the selected word line is repeated three or more times, the setting of changing the dimension of the booster circuit 15 may be set so that the word line AC current consumption can be sufficiently supplied. Specifically, for example, the capacitor C shown in FIG.
It is conceivable that a plurality of Ps are prepared, and a P having a small capacity is usually used, and a P having a large capacity is used when the load increases.

【0036】また、上記の実施の形態では、選択ワード
線遷移が発生しないとき、すなわち同一ワード線選択が
連続した場合も同様である。例えば、カウンタ出力値が
0になれば、それ以後は0を維持し、昇圧回路15の消
費電流最低の状態が続く構成になっている。
In the above-described embodiment, the same applies to the case where the selected word line transition does not occur, that is, the case where the same word line is continuously selected. For example, when the counter output value becomes 0, it is maintained at 0 thereafter, and the state where the current consumption of the booster circuit 15 is the lowest is continued.

【0037】このように、本実施の形態では、ワード線
遷移を検出し、負荷の大きさに応じて、出力値が変化又
は維持するように動作するカウンタ14の出力カウンタ
値を昇圧回路15に供給してワードドライバ17に供給
する電流能力を過不足のない最適な電流能力を設定する
ようにしているため、余分な電力消費を抑制し、昇圧電
圧を一定に保持することができる。また、昇圧回路電圧
ではなく、ワード線遷移を検出し、昇圧回路15を制御
することで電圧低下を前もって抑制するようにしている
ため、短時間に反応する必要はない。
As described above, in this embodiment, the transition of the word line is detected, and the output counter value of the counter 14 that operates so as to change or maintain the output value in accordance with the magnitude of the load is supplied to the booster circuit 15. Since the current capacity to be supplied and supplied to the word driver 17 is set to an optimum current capacity without excess or deficiency, unnecessary power consumption can be suppressed and the boosted voltage can be kept constant. In addition, since the word line transition is detected instead of the booster circuit voltage and the booster circuit 15 is controlled to suppress the voltage drop in advance, it is not necessary to react in a short time.

【0038】なお、カウンタ出力値に応じて、供給する
電流能力が変化する昇圧回路15は、図2の構成以外に
もいくつかの実現方法がある。例えば、昇圧回路15を
構成するトランジスタや抵抗等のデメンジョンを、カウ
ンタ14の出力カウント値に応じて可変にする構成も考
えられる。いずれも実現は容易である。
The booster circuit 15 in which the current capacity to be supplied changes according to the output value of the counter has several realizing methods other than the configuration shown in FIG. For example, a configuration is conceivable in which the dimensions of a transistor, a resistor, and the like that constitute the booster circuit 15 are made variable according to the output count value of the counter 14. Both are easy to realize.

【0039】なお、本発明は以上の実施の形態に限定さ
れるものではなく、例えば、図2に示したトランジスタ
M1及びM2をダイオードとして機能させるために、ダ
イオード接続としたが、機能的に等価であればよく、従
ってダイオードは勿論のこと、ゲートにクロック信号が
入力されたトランジスタを用い、ダイオードで構成した
場合と等価の働きをさせる構成でもよく、すべてのダイ
オード素子を包含するものである。また、トランジスタ
M1、M2はMOSトランジスタ以外の電界効果トラン
ジスタ、あるいはバイポーラトランジスタでもよいこと
は勿論である。
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the transistors M1 and M2 shown in FIG. 2 are diode-connected in order to function as diodes, but are functionally equivalent. Therefore, it is possible to use not only a diode but also a transistor having a gate to which a clock signal is input and a structure equivalent to the case of using a diode, which includes all diode elements. Further, it is needless to say that the transistors M1 and M2 may be field effect transistors other than MOS transistors or bipolar transistors.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
昇圧回路電圧ではなく、ワード線遷移を検出して負荷の
大きさに応じて過不足のない最適な電流能力を昇圧回路
に設定したため、従来のように、選択ワード線が連続す
る場合、すなわち、負荷最大の場合を想定して能力を決
定せざるを得ないために、実際のワード線消費電流を超
えて昇圧回路が動作して過剰に電流を消費してしまうと
いう現象を防止でき、昇圧電圧を一定に保持することが
できる。
As described above, according to the present invention,
Instead of the booster circuit voltage, the word line transition is detected, and the optimum current capacity without excess or deficiency is set in the booster circuit in accordance with the size of the load. Since the capacity must be determined assuming the case of the maximum load, the phenomenon that the booster circuit operates exceeding the actual word line current consumption and consumes excessive current can be prevented. Can be kept constant.

【0041】また、本発明によれば、ワード線遷移を検
出して昇圧回路を制御することで前もって電圧低下を抑
制するようにしているため、短時間に反応する必要がな
く、よって、高速動作をするメモリLSIへの適用が容
易であり、低電圧、低消費電力と高速動作の両立ができ
る。
Further, according to the present invention, the voltage drop is suppressed in advance by detecting the word line transition and controlling the booster circuit. It is easy to apply to a memory LSI that performs low voltage, low power consumption and high speed operation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態の回路系統図である。FIG. 1 is a circuit diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】図1中の昇圧回路の一実施の形態の回路図であ
る。
FIG. 2 is a circuit diagram of one embodiment of a booster circuit in FIG. 1;

【図3】図1の動作説明用タイミングチャートである。FIG. 3 is a timing chart for explaining the operation of FIG. 1;

【図4】従来の一例の回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 アドレスラッチ 12 排他的論理和回路(EX−OR回路) 13 OR回路 14 カウンタ 15 昇圧回路 16 Xデコーダ 17 ワードドライバ 19 ワード線 21 分周比可変回路 M1、M2 NチャネルMOS型電界効果トランジスタ CP コンデンサ(ポンプアップ容量) DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Address latch 12 Exclusive OR circuit (EX-OR circuit) 13 OR circuit 14 Counter 15 Booster circuit 16 X decoder 17 Word driver 19 Word line 21 Dividing ratio variable circuit M1, M2 N channel MOS field effect transistor CP capacitor (Pump-up capacity)

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 メモリセルに接続されたワード線のう
ち、選択したワード線に、昇圧回路からの昇圧電圧をワ
ードドライバを介して供給する半導体記憶装置におい
て、 選択されたワード線変化を検出するワード線遷移検出回
路と、 前記ワード線遷移検出回路の出力検出信号を受けて、出
力カウント値を変化又は維持するカウンタと、 前記出力カウント値を受け、前記ワードドライバに供給
する電流能力を可変する昇圧回路とを有することを特徴
とする半導体記憶装置。
1. A semiconductor memory device that supplies a boosted voltage from a booster circuit to a selected word line among word lines connected to a memory cell via a word driver, and detects a change in the selected word line. A word line transition detection circuit, a counter for changing or maintaining an output count value in response to an output detection signal of the word line transition detection circuit, and varying a current capability of receiving the output count value and supplying the word driver. A semiconductor memory device having a booster circuit.
【請求項2】 前記ワード線遷移検出回路は、複数のX
デコーダアドレス信号のそれぞれを別々にクロック信号
に同期してラッチする複数のアドレスラッチと、前記ア
ドレスラッチの出力信号と対応するXデコーダアドレス
信号との変化を検出する複数の論理回路と、前記複数の
論理回路の出力信号を論理和演算する単一の論理和回路
とからなることを特徴とする請求項1記載の半導体記憶
装置。
2. The method according to claim 1, wherein the word line transition detection circuit includes a plurality of X lines.
A plurality of address latches for separately latching each of the decoder address signals in synchronization with a clock signal; a plurality of logic circuits for detecting a change in an output signal of the address latch and a corresponding X decoder address signal; 2. The semiconductor memory device according to claim 1, comprising a single OR circuit that performs an OR operation on an output signal of the logic circuit.
【請求項3】 前記カウンタは、選択ワード線遷移が連
続するときは、クロック信号に同期して第1の方向に出
力カウント値が第1の値に向かって漸次変化し、同一の
ワード線選択が連続したときは、前記クロック信号に同
期して前記第1の方向とは反対の第2の方向に出力カウ
ント値が第2の値に向かって漸次変化し、前記昇圧回路
は、前記カウント値が前記第1の方向に変化するときは
該カウント値に応じて供給電流能力が増大し、前記カウ
ント値が前記第2の方向に変化するときは該カウント値
に応じて供給電流能力が低下する構成であることを特徴
とする請求項1記載の半導体記憶装置。
3. When the selected word line transition continues, the counter gradually changes the output count value in the first direction toward the first value in synchronization with the clock signal, and Are continuously generated, the output count value gradually changes toward a second value in a second direction opposite to the first direction in synchronization with the clock signal, and the booster circuit outputs the count value. When the current value changes in the first direction, the supply current capability increases in accordance with the count value, and when the count value changes in the second direction, the supply current capability decreases in accordance with the count value. 2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein said semiconductor memory device has a configuration.
【請求項4】 前記昇圧回路は、一端が電源電圧に接続
された第1のダイオード素子と、前記第1のダイオード
素子からの前記電源電圧を受けて昇圧された電源電圧を
出力する、前記第1のダイオード素子に直列に接続され
た第2のダイオード素子と、前記第1及び第2のダイオ
ード素子の接続点に一端が接続されたコンデンサと、前
記コンデンサの他端に前記カウンタの出力カウント値に
応じて周波数の変化するクロック信号を供給する供給手
段とよりなることを特徴とする請求項1記載の半導体記
憶装置。
4. The booster circuit outputs a first diode element having one end connected to a power supply voltage, and a power supply voltage boosted by receiving the power supply voltage from the first diode element. A second diode element connected in series to the first diode element, a capacitor having one end connected to a connection point between the first and second diode elements, and an output count value of the counter connected to the other end of the capacitor. 2. The semiconductor memory device according to claim 1, further comprising supply means for supplying a clock signal having a frequency that changes according to the time.
【請求項5】 前記コンデンサに代えて、前記コンデン
サのディメンジョンを、前記カウンタの出力カウント値
に応じて変化させることを特徴とする請求項4記載の半
導体記憶装置。
5. The semiconductor memory device according to claim 4, wherein a dimension of said capacitor is changed according to an output count value of said counter instead of said capacitor.
【請求項6】 メモリセルに接続されたワード線のう
ち、選択したワード線に、昇圧回路からの昇圧電圧をワ
ードドライバを介して供給する半導体記憶装置のワード
線駆動方法において、 選択されたワード線の変化を検出し、その検出結果に応
じてカウンタの出力カウント値を変化又は維持させ、前
記出力カウント値に応じて前記昇圧回路から前記ワード
ドライバに供給する電流能力を、少なくとも選択ワード
線遷移が連続するときは上昇するように可変することを
特徴とするワード線駆動方法。
6. A word line driving method for a semiconductor memory device, which supplies a boosted voltage from a booster circuit to a selected word line among word lines connected to a memory cell via a word driver. Line change is detected, the output count value of the counter is changed or maintained in accordance with the detection result, and the current capability to be supplied from the booster circuit to the word driver in accordance with the output count value is at least selected word line transition. A word line driving method characterized in that the word line is varied so as to rise when continues.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US7859914B2 (en) 2007-04-03 2010-12-28 Spansion Llc Non-volatile memory device, non-volatile memory system and control method for the non-volatile memory device in which driving ability of a selector transistor is varied
JP2013206513A (en) * 2012-03-29 2013-10-07 Ememory Technology Inc Word line booster circuit

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