WO2004088715A3 - Structure tronconique destinee a assurer le couplage entre un dispositif optique externe et un guide d'onde optique planaire et procede de formage associe - Google Patents

Structure tronconique destinee a assurer le couplage entre un dispositif optique externe et un guide d'onde optique planaire et procede de formage associe Download PDF

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Abstract

L'invention concerne des procédés de formage d'une zone de couplage évanescent tronconique pouvant être utilisée avec un guide d'onde optique en silicium relativement mince, par exemple une structure à silicium sur isolant (SOI). Une zone de couplage évanescent tronconique est formée sur un substrat en silicium servant de substrat de couplage, ce dernier adhérant ensuite à la structure à SOI. Un procédé de photolithographie à échelle de gris permet de définir une zone tronconique en résine photosensible, le motif tronconique étant par la suite transféré dans le substrat en silicium. On utilise alors un matériau présentant un indice de réfraction inférieur à celui de la couche d'un guide d'onde optique en silicium (par exemple, la silice) pour remplir l'ouverture tronconique dans le substrat. On peut utilise avec intérêt les étapes de traitement du silicium classique pour former des facettes de couplage dans le substrat en silicium (c'est-à-dire des surfaces angulaires, des rainures en V) dans une relation appropriée avec la zone de couplage évanescent tronconique. Les facettes de couplage peuvent être formées contiguës avec une zone de couplage évanescent tronconique ou à travers le côté opposé du substrat en silicium.
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