WO2004088668A3 - Vorrichtung und verfahren zum bestimmen einer elektrischen eigenschaft einer probe - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zum bestimmen einer elektrischen eigenschaft einer probe Download PDF

Info

Publication number
WO2004088668A3
WO2004088668A3 PCT/EP2004/001882 EP2004001882W WO2004088668A3 WO 2004088668 A3 WO2004088668 A3 WO 2004088668A3 EP 2004001882 W EP2004001882 W EP 2004001882W WO 2004088668 A3 WO2004088668 A3 WO 2004088668A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
hollow cylinder
conductor
sample
microwave resonator
tip
Prior art date
Application number
PCT/EP2004/001882
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2004088668A2 (de
Inventor
Jens-Uwe Grabow
Wolfgang Rogge
Original Assignee
Siemens Ag
Jens-Uwe Grabow
Wolfgang Rogge
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag, Jens-Uwe Grabow, Wolfgang Rogge filed Critical Siemens Ag
Publication of WO2004088668A2 publication Critical patent/WO2004088668A2/de
Publication of WO2004088668A3 publication Critical patent/WO2004088668A3/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
    • G01Q60/18—SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
    • G01Q60/22—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

Die Vorrichtung (1) weist einen Mikrowellenresonator (Koaxialresonator, 2) auf mit mindestens einem Außenleiter (3), der einen Hohlzylinder (31) mit einem Innenraum (32) aufweist, wobei der Innenraum von einer Mantelwandung (33) des Hohlzylinders mit einem Innendurchmesser (34) und von einer Stirnwandung (35) des Hohlzylinders mit einer Öffnung (36) begrenzt ist, und mit mindestens einem im Innenraum des Hohlzylinders des Außenleiters angeordneten und mit dem Außenleiter elektrisch leitend verbundenen Innenleiter (4), der einen Innenzylinder (41) mit einem Außendurchmesser (42) und eine mit dem Innenzylinder verbundene Spitze (43) zum Aussenden eines elektrischen Wechselfeldes mit einer Resonanzfrequenz des Mikrowellenresonators aufweist, wobei die Spitze des Innenleiters derart in der Öffnung der Stirnwandung des Hohlzylinders angeordnet ist, dass eine in einem Probenabstand (51) zur Spitze des Innenleiters anzuordnende Probe und das Wechselfeld derart in Wechselwirkung treten können, dass die Resonanzfrequenz des Mikrowellenresonators von der Eigenschaft der Probe abhängt. Ein Verhältnis des Innendurchmessers des Hohlzylinders des Außenleiters und des Außendurchmessers des Innenzylinders des Innenleiters ist derart gewählt, dass eine Güte des Mikrowellenresonators kleiner ist als eine durch das Verhältnis der Durchmesser einstellbare maximale Güte des Mikrowellenresonators. Durch diese Maßnahme wird die Sensitivität der Vorrichtung erhöht. Die Vorrichtung wird zum Bestimmen der elektrischen Eigenschaft einer Probe angewendet. Die Vorrichtung und das Verfahren werden in der HTE (High Throughput Experimentation) zur Charakterisierung kombinatorischer Materialbibliotheken eingesetzt.
PCT/EP2004/001882 2003-03-31 2004-02-25 Vorrichtung und verfahren zum bestimmen einer elektrischen eigenschaft einer probe WO2004088668A2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10314561.3 2003-03-31
DE10314561A DE10314561A1 (de) 2003-03-31 2003-03-31 Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer elektrischen Eigenschaft einer Probe

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2004088668A2 WO2004088668A2 (de) 2004-10-14
WO2004088668A3 true WO2004088668A3 (de) 2005-07-07

Family

ID=33103145

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2004/001882 WO2004088668A2 (de) 2003-03-31 2004-02-25 Vorrichtung und verfahren zum bestimmen einer elektrischen eigenschaft einer probe

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE10314561A1 (de)
WO (1) WO2004088668A2 (de)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6173604B1 (en) * 1996-09-20 2001-01-16 The Regents Of The University Of California Scanning evanescent electro-magnetic microscope
WO2001020352A1 (en) * 1999-09-10 2001-03-22 University Of Maryland, College Park Quantitative imaging of dielectic permittivity and tunability
EP1211504A2 (de) * 2000-09-20 2002-06-05 Neocera, Inc. Gerät zur lokalen Messung der komplexen Dielektrizitätskonstante

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5900618A (en) * 1997-08-26 1999-05-04 University Of Maryland Near-field scanning microwave microscope having a transmission line with an open end

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6173604B1 (en) * 1996-09-20 2001-01-16 The Regents Of The University Of California Scanning evanescent electro-magnetic microscope
WO2001020352A1 (en) * 1999-09-10 2001-03-22 University Of Maryland, College Park Quantitative imaging of dielectic permittivity and tunability
EP1211504A2 (de) * 2000-09-20 2002-06-05 Neocera, Inc. Gerät zur lokalen Messung der komplexen Dielektrizitätskonstante

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
HONG SUNGHYUK ET AL: "Improved surface imaging with a near-field scanning microwave microscope using a tunable resonator", APPLIED PHYSICS LETTERS, AMERICAN INSTITUTE OF PHYSICS. NEW YORK, US, vol. 80, no. 3, 21 January 2002 (2002-01-21), pages 524 - 526, XP012031365, ISSN: 0003-6951 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2004088668A2 (de) 2004-10-14
DE10314561A1 (de) 2004-11-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4939465A (en) Probe head for nuclear magnetic resonance (NMR) measurements, in particular for use in NMR tomography
US5157337A (en) Dielectric constant measurement probe assembly and apparatus and method
EP0112361A1 (de) Hochfrequenzsonde und verfahren zur verwendung einer solchen.
GB2183087A (en) A method and apparatus for producing an hf-induced noble-gas plasma
CN110658226B (zh) 一种微波谐振腔及使用它的电子顺磁共振探头
FI127021B (fi) Anturi, mittalaite ja mittausmenetelmä
US2603754A (en) High-frequency apparatus
US4551694A (en) Coupling arrangement for a cavity resonator
US20200340845A1 (en) Improvements in or relating to interface detection
CN1127889A (zh) 气体绝缘装置上的局部放电感应装置以及局部放电测量系统
Regalla et al. Comparative analysis of dielectric resonator based linear displacement sensor with various microwave feeding techniques
JP5576483B2 (ja) 部分的放電の測定によるガス絶縁高電圧電気開閉器の監視装置、及び該監視装置を用いたガス絶縁高電圧電気開閉器
US7394642B2 (en) Tubular capacitor with variable capacitance and dielectrically elongated inner electrode for NMR applications
JP2022033007A (ja) 複数の導体ループを備える、虹彩アパーチャのためのマイクロ波結合装置
US4814713A (en) Coaxial test fixture for determining shielding effectiveness of a device against interfering electromagnetic fields
WO2004088668A3 (de) Vorrichtung und verfahren zum bestimmen einer elektrischen eigenschaft einer probe
KR101456542B1 (ko) 초고주파 플라즈마 진단 장치
CN112730996A (zh) 一种天线和无源器件的测量方法
CN215180822U (zh) 一种具有标准样品检测功能的连续波顺磁共振谱仪探头
JP2004294124A (ja) 電気的物性値測定法及び測定用冶具
JP2007088797A (ja) 同軸導波管変換器およびデバイスの評価システム
CN101527221A (zh) 一种外置式的gis局部放电的超高频监测传感器
US9714407B2 (en) Device for applying an electromagnetic field to a biological sample
GB2538199A (en) Partial discharge sensor
RU2759079C1 (ru) Коаксиальная камера для измерения эффективности электромагнитного экранирования радиопоглощающих материалов

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): BW GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LU MC NL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
122 Ep: pct application non-entry in european phase