WO2004006432A2 - Filtre a ondes acoustiques de surface a double mode symetrique optimise - Google Patents

Filtre a ondes acoustiques de surface a double mode symetrique optimise Download PDF

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WO2004006432A2
WO2004006432A2 PCT/FR2003/002081 FR0302081W WO2004006432A2 WO 2004006432 A2 WO2004006432 A2 WO 2004006432A2 FR 0302081 W FR0302081 W FR 0302081W WO 2004006432 A2 WO2004006432 A2 WO 2004006432A2
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acoustic
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central
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Marc Solal
Stéphane Chamaly
Victor Plessky
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Thales
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    • H03H9/6456Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled
    • H03H9/6469Coupled resonator filters having two acoustic tracks being electrically coupled via two connecting electrodes

Definitions

  • the field of the invention is that of surface wave filters and more precisely that of symmetrical dual mode filters also called “DMS”, in particular described by T. MORITA et al; "WIDEBAND LOW LOSS DOUBLE MODE FILTERS", 1992 IEEE ULTRASONICS PROC, pp 95-104, which correspond to an improvement in resonator filters with longitudinal coupling, particularly interesting for applications in mobile telephony for frequencies close to GigaHertz.
  • longitudinally coupled resonator filters comprise two cavities each formed by a transducer situated between two reflecting arrays, said cavities being coupled longitudinally, as illustrated in FIG. 1.
  • a first cavity is defined by the transducer Ti between the reflectors Ri and R 2
  • the second cavity is defined by the transducer T 2 located between the reflectors R 2 and R 3 , the reflector R 2 being common to the two cavities.
  • Two main acoustic resonance modes are thus obtained (a symmetrical mode and an antisymmetric mode) and the difference between the frequencies of these two modes gives the first order, the bandwidth of the filter.
  • the main drawback of this filter is its bandwidth limitation (and / or the high source load impedances it requires).
  • the solution generally used consists in replacing the structure with two transducers as illustrated in FIG. 1, by a structure with three transducers allowing without significantly increasing the impedance of the filter to widen the passband.
  • Such a structure is illustrated in Figure 2.
  • Three transducers Tu, T 12 , T 1 3 are located between two reflectors Ru and R 12 .
  • the two lateral transducers Tu and T 13 are electrically connected in parallel.
  • the central transducer T 12 having a transduction and reflection function and making it possible to define two cavities coupled longitudinally thanks to the central reflection function.
  • the structure is completely symmetrical with respect to the vertical axis AA 'and the polarities of two symmetrical electrodes with respect to this axis are identical, (see the electrodes Ej, Ej + 1 or E ⁇ and Ej +1 ). Thanks to this symmetry, only the symmetrical modes can be excited, the antisymmetric modes not being coupled.
  • the frequency difference between the first two symmetrical modes gives the first order the width of the bandwidth, which is wider than the bandwidth of the first structure illustrated in Figure 1.
  • This type of structure is commonly improved in terms of rejection, that is to say attenuation of out-of-band frequencies by cascading several identical or the same type of acoustic channels.
  • FIG. 3 illustrates such a structure comprising two acoustic channels VAi and VA 2 .
  • a first transducer T2 1 of the acoustic channel VAi is electrically connected to a first lateral transducer T 31 of the acoustic channel VA 2
  • the first acoustic channel comprises an input transducer T 22
  • the second acoustic channel comprises an output transducer T 32
  • a second transducer T 23 of the acoustic channel VAi is also electrically connected to a second transducer T 33 of the second acoustic channel VA 2 .
  • the three transducers are located between two reflectors R 2 1 and R22 (R31 and R32).
  • each of the acoustic channels two cavities coupled longitudinally. Indeed, due to the transduction and reflection functions of the central transducers, the transducers T2 1 , T2 3 , T 3 and T 33 are also inserted in cavities. These cavities are linked to the spatial shifts between the central transducers and the lateral transducers and to the reflections on the transducers and reflectors.
  • the filters described above operate with a non-differential input and output (a single voltage VIN and a single voltage V o u t ).
  • the input or output impedances can typically be of the order of 50 ohms, making these filters particularly suitable for applications in the field of radio frequencies.
  • the electromagnetic interference couplings of the input on the midpoints 1 and 2 are not negligible. This is true in the same way for the electromagnetic couplings of the midpoints 1 and 2 on the output. On the other hand, these couplings can have an influence on the voltage at the output of the filter and degrade the transfer function of the filter.
  • the parasitic couplings of the input on the midpoints 1 and 2 give rise to parasitic voltages both equal to CVIN (if C is the coefficient giving the coupling between the input and the midpoints 1 and 2).
  • the output voltage is proportional by symmetry to the sum of the voltages Vi and V 2 , which means that the influences on the output voltage of the parasitic couplings of the input on the midpoints 1 and 2 s' add up in phase.
  • the parasitic couplings of the midpoints on the output voltage add up in phase.
  • the configuration proposed in application 2 818 051 makes it possible to obtain potentials in phase opposition at points 1 and 2, and thereby makes it possible to cancel the parasitic couplings of the input on the midpoints.
  • the present invention proposes a filter with non-differential input (or output) and differential output (or input), with optimized symmetry, in which two filters are connected in parallel on the side of the non-differential input (output) and in series on the differential output (input) side, each filter comprising two cascaded acoustic channels, in which the voltages of the midpoints 1 and 2 are in phase opposition as described above.
  • the subject of the invention is a surface wave filter with differential inputs and non-differential output or with non-differential inputs and differential outputs comprising at least a first filter and a second filter, each of said filters comprising: at least a first channel acoustic input cascaded to a second acoustic output channel, each acoustic channel comprising transducers with interdigitated electrodes and in particular:
  • the first and second filters comprising: a first electrical connection to a first potential connecting the first lateral transducer of the first channel to the first transducer lateral of the second channel and a second electrical connection to a second potential connecting the second lateral transducer of the first acoustic channel to the second lateral transducer of the second acoustic channel, the potentials being in phase opposition, characterized in that the inputs or outputs first and second filters are connected in series on the differential side to form the differential inputs or outputs of the "global" filter and the non-differential inputs or outputs of the first and second filters are connected in parallel, said first and second filters further comprising, either of the first acous ways identical ticks and second acoustic paths electrically symmetrical with respect to a median axis perpendicular to the direction of propagation of the acoustic waves, that is to say first
  • the central transducers of the first channels and / or of the second acoustic channels can both have odd numbers of electrodes and even numbers of electrodes. More precisely :
  • the filter is characterized in that the central transducers of the first channels and / or of the second acoustic channels have odd numbers of electrodes, the first and second lateral transducers having a series of electrodes connected to a potential called hot spot interdigitated with a series of electrodes connected to a ground potential, the first electrode of one of the two lateral transducers, from the central transducer being connected to the hot spot, the first electrode of the other lateral transducer from the central transducer being connected to ground, the distance between the central transducer and the first lateral transducer being equal to that between the central transducer and the second lateral transducer.
  • the filter is characterized in that the central transducers of the first channels and / or of the second acoustic channels have even numbers of electrodes, the first and second lateral transducers having a series of electrodes connected to a ground potential, the first electrode of the first lateral transducer from the central transducer being connected to a potential of the same type (hot spot or ground) as the first electrode of the second lateral transducer from the central transducer, the distance between the central transducer and the first transducer being equal to that between the central transducer and the second lateral transducer.
  • each acoustic channel comprises two reflectors between which the central transducer and the lateral transducers are located.
  • the first acoustic path of the first filter and the first acoustic path of the second filter have a common reflector, likewise the second acoustic path of the first filter and the second acoustic path of the second filter also have a common reflector, to reduce the size of the filter. according to the invention.
  • the transducers are separated from each other in the same acoustic channel by an electrode brought to ground with a width greater than the width of the other electrodes.
  • the transducers are separated from each other by several electrodes having distances between their axes of less than the period in the transducer, said electrodes being part of the two transducers.
  • the thickness of the electrodes is between approximately 5 and 10% the acoustic wavelength of the filter.
  • the number of electrodes of lateral transducers can be between approximately 50% and 100% of the number of electrodes of the central transducer, in each of the acoustic channels.
  • FIG. 2 illustrates a second example of a resonator filter with longitudinal coupling according to the prior art comprising a central transducer and two lateral transducers;
  • FIG. 3 illustrates a third example of a resonator filter with longitudinal coupling according to the known art comprising two cascaded acoustic channels;
  • FIG. 4 illustrates a DMS filter with two cascaded acoustic channels, with non-differential input and differential output according to the prior art
  • FIG. 5 illustrates a first example of a filter according to the invention, in which the central transducers have an odd number of electrodes;
  • FIG. 7 illustrates a second example of a filter according to the invention, in which the central transducers have an even number of electrodes;
  • FIG. 8 illustrates a third example of a filter according to the invention, in which the central transducers of the channels output acoustics, are interconnected and not grounded.
  • FIG. 9 illustrates an example of a filter used in the filter according to the invention and comprising several central transducers separated by lateral transducers;
  • FIG. 10 illustrates a fifth example of a filter according to the invention, of reduced size comprising reflectors in common at the level of the acoustic input channels and at the level of the acoustic output channels;
  • Figures 11 and 12 illustrate the detail of the separation zones between the lateral transducers and the central transducers and between the reflectors and the lateral transducers in an exemplary embodiment of the filter according to the invention;
  • FIG. 16 illustrates the standing wave rates at the input and output of the filter.
  • FIG. 5 illustrates a first example of a filter according to the invention comprising a first filter Fi and a second filter F 2 , connected in parallel at the input at a voltage V ⁇ N and connected in series at the output at two voltages
  • the first filter Fi has two acoustic channels VA- ⁇ and VA 21 cascaded between them.
  • the VAn channel comprises a central transducer TC-n located between two lateral transducers TL-m and TL 112 , all the transducers TCn, TLm, TLn 2 being located between two external reflectors
  • the acoustic channel VA2 1 includes a central transducer TC21 located between two lateral transducers TL 2 n and TL 212 , all the transducers TC 2 1, TL 2 n and T 21 2 being located between two reflectors R121 and R 12 2 -
  • the central transducers have an odd number of electrodes and are symmetrical with respect to a vertical axis.
  • FIG. 6 illustrates the Fi filter in detail.
  • the distance between the central transducer and the first lateral transducer is chosen equal to the distance between the central transducer and the second lateral transducer and is designated by the letter d.
  • the distance d is defined here as the distance between the media of the successive electrodes.
  • the electrodes E-iu symmetrical of the electrodes E 2 u with respect to the axis of symmetry of the filter Fi, in distance are brought to reversed polarities so as to bring the points 1 and 2 to opposite voltages, (V 2 equal - vi).
  • the first filter Fi is connected to a second filter F 2 also comprising two acoustic channels VA 12 and VA22.
  • the structure of the filter F 2 comprises an acoustic channel identical to an acoustic channel of the filter Fi and an acoustic channel symmetrical to the other acoustic channel of the filter Fi with respect to an axis C located between the two filters.
  • one of the channels of the filter F2 (input or output) is deduced by a geometric operation of translation of the corresponding channel of the filter F1 while the other channel of the filter F2 (output or input) is deduced from the corresponding channel of the filter F1 by a geometric operation of symmetry / translation with respect to an axis perpendicular to the direction of propagation.
  • the filter F 2 comprises an acoustic channel VA 12 identical to the acoustic channel VAn of the filter Fi, with a central transducer TC 12 connected to an output voltage V or t-, two lateral transducers TL 211 and TL 212 , the all the transducers being between two reflectors R 2 n and R 21 2-
  • the filter F 2 comprises another acoustic channel VA2 2 cascaded to the acoustic channel VA 12 and symmetrical with respect to the axis C of the channel VA 21 .
  • the acoustic channel VA 22 comprises a central transducer TC 2 2 connected to the input voltage VIN, two lateral transducers TL221 and TL22 2 , all of the transducers being between two reflectors R 221 and R2 22 .
  • the sequences of polarities of the TL212 and TL221 transducers are identical when starting from the central transducer of the corresponding channel.
  • the sequences of polarities of the TL211 and TL 222 transducers are identical when starting from the central transducer of the corresponding channel.
  • the voltages 1 and 2 ′ as well as the voltages 2 and l ′ are therefore equal two by two.
  • the first electrode (starting from the center) E s n is grounded, while the second electrode E S ⁇ 2 is active.
  • the first electrode starting from the center, ie the electrode Es 2 i is active, while the second electrode Es22 is connected to ground.
  • the electrical environment of the first active electrodes (Esn, Es 2 i) being different, their transduction efficiency can be different, which results in a defect in symmetry.
  • the acoustic channels VA 21 and VA 22 are symmetrical with respect to the axis C.
  • the acoustic channels are identical, the transduction efficiencies are therefore identical.
  • the coupling between the point l 'and the central transducer TC 22 is equal to the parasitic coupling between the point 2 and the central transducer TC 21 .
  • TC 21 is equal to the coupling between point 2 'and the central transducer TC22.
  • TL111 and TL 122 are connected to different TL111 and TL 122 (or TL112 and TL 122) transducers or in a different electrical environment.
  • the transducers have opposite polarities and therefore have their first electrode active or not.
  • V1 ' A2.Vin
  • V2' A1.Vin
  • Vout + A1.B1.Wine. (1 + ⁇ a + ⁇ b + ⁇ a. ⁇ b)
  • Vout - - A1.B1.Vin. (1 + ⁇ a + ⁇ b)
  • the filter can also include configurations of filters F ⁇ and F 2 comprising central transducers with even numbers of electrodes, as illustrated in FIG. 7.
  • the electrodes of the lateral transducers, the closest to a central transducer included between said lateral transducers are both active (electrodes connected to points 1 and 2 respectively, and to points l 'and 2'). In this case, the distances (not shown) between the lateral transducers and the central transducer are all equal to the same distance.
  • the central output transducers TCn and TC 12 are connected together, but the common point is not connected to ground, the central transducers TC2 1 and TC 22 , connected at the input being always connected to ground.
  • This configuration can be used in place of the others depending on the type of box used.
  • the filter illustrated in Figure 8 includes central transducers having an even number of electrodes, a similar configuration with connection between central output transducers could well be envisaged with central transducers having an odd number of electrodes.
  • the acoustic input channels (VA 21 , VA 2 2) and the acoustic output channels (VAn, VA 12 ) have identical parities. This is not a necessary condition, and the parities of the central transducers of the input and output channels can also be different.
  • FIG. 9 illustrates the two acoustic channels of a filter Fi, connected on its input to a filter F 2 (not shown) in non-differential and on its output in differential (output Vout +).
  • the Fi filter thus comprises on each of its channels acoustic three central transducers.
  • the input channel of the central transducers TC 2 n, TC 212 and TC213 are respectively interposed between coupling transudcers TL2111, TL2112, TL2113 and TL 2 ⁇ 4 .
  • TCn 2 , TC 113 are interposed between coupling transducers TLnn, TL-1112, TL111 3 and TLnu.
  • acoustic input channels VA21 and VA22 and the acoustic output channels VAn and VA12 may be advantageous to merge the acoustic input channels VA21 and VA22 and the acoustic output channels VAn and VA12, using common reflectors, that is to say say a single central reflector Rci between the acoustic channels VAn and VA 12 and a single reflector Rc2 between the acoustic channels VA 21 and VA 22 , as illustrated in Figure 10.
  • common reflectors that is to say say a single central reflector Rci between the acoustic channels VAn and VA 12 and a single reflector Rc2 between the acoustic channels VA 21 and VA 22 , as illustrated in Figure 10.
  • Rci central reflector
  • Rc2 single reflector
  • the following detailed filter is designed to operate with a source impedance of 50 ohms and a load impedance of 150 ohms, with a parallel inductance of 60 nH (nanoHenry ⁇ nH).
  • the material used is lithium tantalate with Y + 42 ° cut (it can also be Y + 36 ° cut).
  • the metallization thickness of the electrodes making up the transducers or reflectors is 3400 Angstroms.
  • the metallization rate corresponding to the ratio between electrode width a and electrode period p is 0.7.
  • This filter uses progressive period variations to separate the lateral transducers central transducers as in the known art and described in particular in patent application No. 2 818 051 filed by the applicant as described in Figures 11 and 12.
  • FIG 11 shows the detail of a progressive separation zone.
  • the lateral transducer with electrodes of period noted PTL, then three electrodes of variable periods PC-i, PC 2 , PC 3 . These electrodes being attached to the lateral transducer and having polarities according to the sequences of polarities of this transducer.
  • the periods PC 1 and PC 2 can follow a linear law between PC 3 and PTL.
  • the periods PC ' 1 and PC 2 can follow a linear law between PTC and PC 3 .
  • Figures 13, 14 and 15 give the amplitude of the transfer function obtained for the filter.
  • Figure 16 shows the standing wave rates at the input and output of the filter.

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Abstract

L'invention concerne un filtre à entrée (ou sortie) non différentielle et à sortie (ou entrée) différentielle, à symétrie optimisée, dans lequel deux filtre sont connectés en parallèle du côté de l'entrée (sortie) non différentielle et en série du côté de la sortie (entrée) différentielle, chaque filtre comprenant deux voies acoustiques cascadées, dans lesquelles les tensions des points milieux sont en opposition de phase. La configuration proposée permet d'améliorer la symétrie du filtre, c'est-à-dire le rapport entre les tensions sur les bornes en différentiel qui idéalement doit avoir une amplitude de 1 et une phase de 180°.

Description

FILTRE A ONDES ACOUSTIQUES DE SURFACE A DOUBLE MODE SYMETRIQUE OPTIMISE
Le domaine de l'invention est celui des filtres à ondes de surface et plus précisément celui des filtres à double mode symétrique encore appelés « DMS », notamment décrits par T. MORITA et al ; « WIDEBAND LOW LOSS DOUBLE MODE FILTERS », 1992 IEEE ULTRASONICS PROC, pp 95-104, qui correspondent à une amélioration des filtres à résonateurs à couplage longitudinal, particulièrement intéressante pour des applications en téléphonie mobile pour des fréquences voisines du GigaHertz.
De manière générale les filtres à résonateurs à couplage longitudinal comprennent deux cavités formées chacune d'un transducteur situé entre deux réseaux réflecteurs, lesdites cavités étant couplées longitudinalement, comme illustré Figure 1. Une première cavité est définie par le transducteur Ti entre les réflecteurs Ri et R2, la deuxième cavité est définie par le transducteur T2 situé entre les réflecteurs R2 et R3, le réflecteur R2 étant commun aux deux cavités. On obtient ainsi deux modes de résonance acoustique, principaux (un mode symétrique et un mode antisymétrique) et l'écart entre les fréquences de ces deux modes donne au premier ordre, la bande passante du filtre.
L'inconvénient principal de ce filtre est sa limitation en bande passante (et/ou les impédances de charge source élevées qu'il nécessite). Pour pallier cet inconvénient la solution généralement utilisée consiste à remplacer la structure à deux transducteurs telle qu'illustrée en Figure 1 , par une structure à trois transducteurs permettant sans trop augmenter l'impédance du filtre d'en élargir la bande passante. Une telle structure est illustrée en Figure 2. Trois transducteurs Tu, T12, T13 sont situés entre deux réflecteurs Ru et R12. Les deux transducteurs latéraux Tu et T13 sont connectés électriquement en parallèle. Le transducteur central T12 ayant une fonction de transduction et de réflexion et permettant de définir deux cavités couplées longitudinalement grâce à la fonction de réflexion centrale. La structure est complètement symétrique par rapport à l'axe vertical AA' et les polarités de deux électrodes symétriques par rapport à cet axe sont identiques, (voir les électrodes Ej, Ej+1 ou Eι et Ej+1). Grâce à cette symétrie, seuls les modes symétriques peuvent être excités, les modes antisymétriques n'étant pas couplés.
Dans ce type de filtre l'écart de fréquence entre les deux premiers modes symétriques donne au premier ordre la largeur de la bande passante, qui est plus large que la bande passante de la première structure illustrée en Figure 1.
Ce type de structure est couramment amélioré en terme de réjection, c'est-à-dire d'atténuation des fréquences hors bande en cascadant plusieurs voies acoustiques identiques ou du même type.
La Figure 3 illustre une telle structure comportant deux voies acoustiques VAi et VA2. Un premier transducteur T21 de la voie acoustique VAi est connecté électriquement à un premier transducteur latéral T31 de la voie acoustique VA2, la première voie acoustique comporte un transducteur d'entrée T22, la seconde voie acoustique comporte un transducteur de sortie T32 et, un second transducteur T23 de la voie acoustique VAi est également connecté électriquement à un second transducteur T33 de la seconde voie acoustique VA2. Dans chacune des voies acoustiques les trois transducteurs sont situés entre deux réflecteurs R21 et R22 (R31 et R32). Ainsi on peut définir dans chacune des voies acoustiques, deux cavités couplées longitudinalement. En effet, en raison des fonctions de transduction et de réflexion des transducteurs centraux, les transducteurs T21, T23, T3 et T33 sont également insérés dans des cavités. Ces cavités sont liées aux décalages spatiaux entre les transducteurs centraux et les transducteurs latéraux et aux réflexions sur les transducteurs et réflecteurs.
Les filtres décrits précédemment fonctionnent avec une entrée et une sortie non différentielles (une tension unique VIN et une tension unique Vout). Les impédances d'entrée ou de sortie peuvent typiquement être de l'ordre de 50 ohms, rendant ces filtres particulièrement adaptés pour des applications dans le domaine des radiofréquences.
Néanmoins pour rendre ces filtres compatibles avec les circuits d'amplification actuels, on peut adapter ces filtres en les faisant fonctionner en différentiel. Pour cela l'un des transducteurs centraux peut être scindé en deux parties égales avec des polarités inversées. La Figure 4 illustre une telle configuration proposée dans la demande de brevet français N° 2 818 051 déposée par la demanderesse.
Pour ce type de filtre à entrées ou sorties différentielles, une des performances importantes est la symétrie du filtre, c'est-à-dire le rapport entre les tensions sur les bornes de sorties (Vout+, Vout-)- Le rapport doit idéalement avoir une amplitude de 1 et une phase de 180°.
Du fait de faibles dimensions en jeu, les couplages parasites électromagnétiques de l'entrée sur les points milieux 1 et 2 ne sont pas négligeables. Ceci est vrai de la même manière pour les couplages électromagnétiques des points milieux 1 et 2 sur la sortie. D'autre part, ces couplages peuvent avoir une influence sur la tension à la sortie du filtre et dégrader la fonction de transfert du filtre.
En effet, par symétrie, les couplages parasites de l'entrée sur les points milieux 1 et 2 donnent naissance à des tensions parasites égales toutes les deux à CVIN (si C est le coefficient donnant le couplage entre l'entrée et les points milieux 1 et 2). Dans la configuration considérée, la tension de sortie est proportionnelle par symétrie à la somme des tensions Vi et V2, ce qui signifie que les influences sur la tension de sortie des couplages parasites de l'entrée sur les points milieux 1 et 2 s'additionnent en phase. De même, les couplages parasites des point milieux sur la tension de sortie s'additionnent en phase. La configuration proposée dans la demande 2 818 051 permet d'obtenir des potentiels en opposition de phase aux points 1 et 2, et permet par là même d'annuler les couplages parasites de l'entrée sur les points milieux. Une autre approche proposée par MURATA dans la demande de brevet EP 0 836 278 A2 pour réaliser la transformation non différentiel/ différentiel consiste à connecter deux filtres de type DMS ayant des points milieux 1 et 2 en phase. Pour cela les transducteurs centraux sont connectés d'une part à des entrées ou sorties non différentielles parallèles et d'autre part à des sorties ou entrées différentielles.
Dans ce contexte la présente invention propose un filtre à entrée (ou sortie) non différentielle et à sortie (ou entrée) différentielle, à symétrie optimisée, dans lequel deux filtres sont connectés en parallèle du côté de l'entrée (sortie) non différentielle et en série du côté de la sortie (entrée) différentielle, chaque filtre comprenant deux voies acoustiques cascadées, dans lesquelles les tensions des points milieux 1 et 2 sont en opposition de phase comme décrit précédemment.
Plus précisément l'invention a pour objet un filtre à ondes de surface à entrées différentielles et sortie non différentielle ou à entrées non différentielles et sorties différentielles comprenant au moins un premier filtre et un deuxième filtre, chacun desdits filtres comprenant : au moins une première voie acoustique d'entrée cascadée à une deuxième voie acoustique de sortie, chaque voie acoustique comportant des transducteurs à électrodes interdigitées et notamment :
- au moins un transducteur central ;
- au moins une paire de transducteurs de couplage formée d'un premier transducteur latéral et d'un second transducteur latéral les premier et deuxième filtres comportant : une première liaison électrique à un premier potentiel reliant le premier transducteur latéral de la première voie au premier transducteur latéral de la seconde voie et une deuxième liaison électrique à un second potentiel reliant le deuxième transducteur latéral de la première voie acoustique au deuxième transducteur latéral de la deuxième voie acoustique, les potentiels étant en opposition de phase, caractérisé en ce que les entrées ou sorties des premier et deuxième filtres sont connectées en série du côté différentiel pour former les entrées ou sorties différentielles du filtre "global" et les entrées ou sorties non différentielles des premier et second filtres sont connectées en parallèle, lesdits premier et deuxième filtres comportant en outre, soit des premières voies acoustiques identiques et des secondes voies acoustiques électriquement symétriques par rapport à un axe médian perpendiculaire à la direction de propagation des ondes acoustiques, soit des premières voies acoustiques symétriques par rapport à un axe médian perpendiculaire aux voies acoustiques et des secondes voies acoustiques identiques.
Selon différentes variantes de l'invention, les transducteurs centraux des premières voies et/ou des secondes voies acoustiques peuvent aussi bien avoir des nombres impairs d'électrodes que des nombres pairs d'électrodes. Plus précisément :
Selon une première variante de l'invention le filtre est caractérisé en ce que les transducteurs centraux des premières voies et/ou des secondes voies acoustiques ont des nombres impairs d'électrodes, les premier et second transducteurs latéraux ayant une série d'électrodes connectées à un potentiel dit point chaud interdigitée avec une série d'électrodes connectées à un potentiel de masse, la première électrode d'un des deux transducteurs latéraux, depuis le transducteur central étant connecté au point chaud, la première électrode de l'autre transducteur latéral depuis le transducteur central étant connectée à la masse, la distance entre le transducteur central et le premier transducteur latéral étant égale à celle entre le transducteur central et le second transducteur latéral.
Selon une seconde variante de l'invention le filtre est caractérisé en ce que les transducteurs centraux des premières voies et/ou des secondes voies acoustiques ont des nombres pairs d'électrodes, les premier et second transducteurs latéraux ayant une série d'électrodes connectées à un potentiel de masse, la première électrode du premier transducteur latéral depuis le transducteur central étant connectée à un potentiel de même type (point chaud ou masse) que la première électrode du second transducteur latéral depuis le transducteur central, la distance entre le transducteur central et le premier transducteur étant égale à celle entre le transducteur central et le second transducteur latéral.
De manière préférentielle chaque voie acoustique comprend deux réflecteurs entre lesquels sont situés le transducteur central et les transducteurs latéraux.
Avantageusement la première voie acoustique du premier filtre et la première voie acoustique du second filtre ont un réflecteur commun, de même la seconde voie acoustique du premier filtre et la seconde voie acoustique du second filtre ont également un réflecteur commun, pour réduire la taille du filtre selon l'invention.
Selon une variante de l'invention, les transducteurs sont séparés entre eux dans une même voie acoustique par une électrode portée à la masse de largeur supérieure à la largeur des autres électrodes. Selon une variante de l'invention, les transducteurs sont séparés entre eux par plusieurs électrodes ayant entre leurs axes des distances inférieures à la période dans le transducteur, lesdites électrodes faisant partie des deux transducteurs. Selon une variante de l'invention, lorsque le substrat est en tantalate de lithium d'angle de coupe compris entre y + 41° et y + 43° avec y axe cristallographique, l'épaisseur des électrodes est comprise entre environ 5 et 10 % de la longueur d'onde acoustique du filtre.
Avantageusement le nombre d'électrodes de transducteurs latéraux peut être compris entre environ 50 % et 100 % du nombre d'électrodes du transducteur central, dans chacune des voies acoustiques.
L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre et grâce aux figures annexées parmi lesquelles : - la Figure 1 illustre un premier exemple de filtre à résonateurs à couplage longitudinal selon l'art connu ;
- la Figure 2 illustre un second exemple de filtre à résonateurs à couplage longitudinal selon l'art connu comprenant un transducteur central et deux transducteurs latéraux ; - la Figure 3 illustre un troisième exemple de filtre à résonateurs à couplage longitudinal selon l'art connu comportant deux voies acoustiques cascadées ;
- la Figure 4 illustre un filtre DMS à deux voies acoustiques cascadées, à entrée non différentielle et sortie différentielle selon l'art connu ;
- la Figure 5 illustre un premier exemple de filtre selon l'invention, dans lequel les transducteurs centraux ont un nombre impair d'électrodes ;
- la Figure 6 illustre en détails, le premier filtre Fi du filtre illustré en Figure 5 ;
- la Figure 7 illustre un second exemple de filtre selon l'invention, dans lequel, les transducteurs centraux ont un nombre pair d'électrodes ;
- la Figure 8 illustre un troisième exemple de filtre selon l'invention, dans lequel les transducteurs centraux des voies acoustiques de sortie, sont reliés entre eux et non reliés à la masse.
La Figure 9 illustre un exemple de filtre utilisé dans le filtre selon l'invention et comprenant plusieurs transducteurs centraux séparés par des transducteurs latéraux ;
- la Figure 10 illustre un cinquième exemple de filtre selon l'invention, de taille réduite comportant des réflecteurs en commun au niveau des voies acoustiques d'entrée et au niveau des voies acoustiques de sortie ; - les Figures 11 et 12 illustrent le détail de zones de séparation entre les transducteurs latéraux et les transducteurs centraux et entre les réflecteurs et les transducteurs latéraux dans un exemple de réalisation de filtre selon l'invention ;
- les Figures 13 à 15 illustrent l'évolution de l'amplitude et de la phase du signal d'un exemple de filtre en fonction de la fréquence de fonctionnement ;
- La Figure 16 illustre les taux d'ondes stationnaires à l'entrée et à la sortie du filtre.
La Figure 5 illustre un premier exemple de filtre selon l'invention comportant un premier filtre Fi et un second filtre F2, connectés en parallèle en entrée à une tension VιN et connectés en série en sortie à deux tensions
V0ut+ et Vout-
Le premier filtre Fi comporte deux voies acoustiques VA-π et VA21 cascadées entre elles. La voie VAn comporte un transducteur central TC-n situé entre deux transducteurs latéraux TL-m et TL112, l'ensemble des transducteurs TCn, TLm, TLn2 étant situés entre deux réflecteurs extérieurs
Figure imgf000009_0001
De même la voie acoustique VA21 comporte un transducteur central TC21 situé entre deux transducteurs latéraux TL2n et TL212, l'ensemble des transducteurs TC21, TL2n et T212 étant situés entre deux réflecteurs R121 et R122-
Selon cet exemple les transducteurs centraux ont un nombre impair d'électrodes et sont symétriques par rapport à un axe vertical. La
Figure 6 illustre en détail le filtre Fi. La distance entre le transducteur central et le premier transducteur latéral est choisie égale à la distance entre le transducteur central et le second transducteur latéral et est désignée par la lettre d. La distance d est définie ici comme étant la distance entre les milieux des électrodes successives. Les électrodes E-iu symétriques des électrodes E2u par rapport à l'axe de symétrie du filtre F-i, en distance sont portées à des polarités inversées de manière à amener les points 1 et 2 à des tensions opposées, (V2 égal - V-i).
Le premier filtre Fi est connecté à un second filtre F2 comprenant également deux voies acoustiques VA12 et VA22. Selon l'invention la structure du filtre F2 comprend une voie acoustique identique à une voie acoustique du filtre Fi et une voie acoustique symétrique à l'autre voie acoustique du filtre Fi par rapport à un axe C situé entre les deux filtres. Plus précisémment, une des voies du filtre F2 (entrée ou sortie) se déduit par une opération géométrique de translation de la voie correspondante du filtre F1 alors que l'autre voie du filtre F2 (sortie ou entrée) se déduit de la voie correspondante du filtre F1 par une opération géométrique de symétrie/translation par rapport à un axe perpendulaire à la direction de propagation.
Plus précisément le filtre F2 comprend une voie acoustique VA12 identique à la voie acoustique VAn du filtre F-i, avec un transducteur central TC12 connecté à une tension de sortie Vout-, deux transducteurs latéraux TL211 et TL212, l'ensemble des transducteurs étant compris entre deux réflecteurs R2n et R212-
Le filtre F2 comprend une autre voie acoustique VA22 cascadée à la voie acoustique VA12 et symétrique par rapport à l'axe C de la voie VA21. Pour cela la voie acoustique VA22 comprend un transducteur central TC22 connecté à la tension d'entrée VIN, deux transducteurs latéraux TL221 et TL222, l'ensemble des transducteurs étant compris entre deux réflecteurs R221 et R222. Pour réaliser la symétrie les séquences de polarités des transducteur TL212 et TL221 sont identiques lorsque l'on part du transducteur central de la voie correspondante. De même, les séquences de polarités des transducteurs TL211 et TL 222 sont identiques lorsque l'on part du transducteur central de la voie correspondante. Les tension 1 et 2' ainsi que les tensions 2 et l' sont donc égales deux à deux.
Pour comprendre le fonctionnement du filtre décrit ci-dessus et pourquoi on obtient un résultat symétrique, nous allons nous référer dans un premier temps, au fonctionnement du filtre de la Figure 4. Dans la structure de filtre DMS illustrée en Figure 4, la voie acoustique du bas V est entièrement symétrique par rapport à un axe vertical A situé au milieu du transducteur central. Par contre ceci n'est plus vrai pour la voie acoustique supérieure VAS. En effet dans cette voie, les deux transducteurs latéraux out des polarités inversées. Ces polarités inversées ont deux effets principaux : - les efficacités de transduction des deux transducteurs sont différentes. En effet les électrodes actives des transducteurs peuvent être considérées comme les électrodes chaudes. Sur le transducteur latéral TLsi, la première électrode (en partant du centre) Esn est à la masse, alors que la deuxième électrode ESι2 est active. Sur le transducteur latéral TLs2, la situation est inversée, la première électrode en partant du centre, soit l'électrode Es2i est active, alors que la seconde électrode Es22 est connectée à la masse. L'environnement électrique des premières électrodes actives (Esn, Es2i) étant différent, leur efficacité de transduction peut être différente, ce qui se traduit par un défaut de symétrie.
D'autre part, du fait de cet environnement différent, les admittances de couplages parasites électromagnétiques entre les deux transducteurs latéraux et le transducteur central sont différentes, ce qui se traduit aussi par une petite dissymétrie. Pour augmenter la symétrie la configuration de la Figure 4 propose de mettre en opposition de phase les potentiels aux points 1 et 2. Ainsi seule la différence entre les admittances de couplage provoque une dissymétrie persistante.
Selon la configuration illustrée en Figure 5 en reprenant le raisonnement effectué sur les électrodes actives et de masse des différents transducteurs des voies acoustiques VA21 et VA22 d'entrée, il apparaît que les voies acoustiques VA21 et VA22 sont symétriques par rapport à l'axe C. Au niveau des voies acoustiques VAn et VA12, les voies acoustiques sont identiques, les efficacités de transduction sont donc identiques.
Ceci signifie que les tensions aux points 1 et 2' sont identiques, alors que les tensions aux points 2 et l' sont également identiques.
En ce qui concerne les couplages parasites entre les transducteurs latéraux et le transducteur central, le couplage entre le point l' et le transducteur central TC22 est égal au couplage parasite entre le point 2 et le transducteur central TC21. De même les couplages entre le point 1 et le transducteur central
TC21 est égal au couplage entre le point 2' et le transducteur central TC22.
Les seules disymmétries restantes sont liées au fait que les connections 1 et
2' (ainsi que 2 et l') sont reliées à des transducteur TL111 et TL 122 (ou TL112 et TL 122) différents ou dans un environnement électrique différent.
Dans le cas de la figure 5 par exemple, les transducteurs sont de polarités opposées et ont donc leur première électrode active ou non. Cependant, du fait de la structure utilisée, les configurations des transducteurs TL111 et TL
121 ainsi que TL 112 et TL 122 sont identiques. La seule dissymétrie qui reste est donc du second ordre puisqu'elle est liée au produit de l'écart entre les tensions 1 et 2 (ou l' et 2') (en valeur absolue) par l'écart entre l'écart des efficacités de transduction sur les voies VA11 et VA12. Plus précisemment, si l'on note les tensions V1 et V2 par A1.Vin et A2.Vin, on a :
V1=A1.Vin=V2' V2= A2.Vin=V1'
En notant, B1 et B2 les contributions des tensions V1 et V2 sur la sortie Vout+, on obtient :
Vout+=B1.V1 +B2.V2=(B1.A1 +B2A2).Vin
Par symétrie, pour le filtre F2, on peut écrire :
V1'=A2.Vin V2'=A1.Vin Et de même : Vout-=B2.V2'+B1.V1'=(B2.A1+B1A2)Vin
Si l'on pose : A2=-A1 (1 +εa) B2=-B1 (1 +εb) On obtient : Vout+=(B1.A1+B2.A2).Vin=[B1.A1+B1.A1 (1+εa) (1+εb) ]Vin Vout-=(B2.A1 +B1.A2) .Vin=[-B1. (1 +εb).A1-B1.A1 (1 +εa)].Vin Soit : Vout+=A1.B1.Vin. (1 +εa+εb+εa. εb) Vout-=-A1.B1.Vin.(1 +εa+εb)
On voit donc par le petit calcul précédent que l'on obtient une compensation des dissymétries du premier ordre et que seul le produit des disymmétries (qui est négligeable) intervient. Selon un second exemple de l'invention, le filtre peut également comprendre des configurations de filtres F^ et F2 comportant des transducteurs centraux avec des nombres pairs d'électrodes, comme illustré en Figure 7. Selon ces configurations, pour obtenir des potentiels opposés en 1 et 2, respectivement l' et 2', les électrodes des transducteurs latéraux, les plus proches d'un transducteur central compris entre lesdits transducteurs latéraux, sont actives toutes les deux (respectivement électrodes reliées aux points 1 et 2, et aux points l' et 2'). Dans ce cas, les distances (non représentées) entre les transducteurs latéraux et le transducteur central sont toutes égales à une même distance.
Selon un troisième exemple de l'invention illustré en Figure 8, les transducteurs centraux de sortie TCn et TC12 sont reliés entre eux, mais le point commun n'est pas relié à la masse, les transducteurs centraux TC21 et TC22, reliés à l'entrée étant toujours connectés à la masse. Cette configuration peut être utilisée à la place des autres suivant le type de boîtier utilisé.
Le filtre illustré en Figure 8, comprend des transducteurs centraux ayant un nombre pair d'électrodes, une configuration similaire avec connexion entre des transducteurs centraux de sortie pourrait tout à fait être envisagée avec des transducteurs centraux comportant un nombre impair d'électrodes.
De même selon les exemples décrits précédemment, les voies acoustiques d'entrée (VA21, VA22) et les voies acoustiques de sortie (VAn, VA12) présentent des parités identiques. Ceci n'est pas une condition nécessaire, et les parités des transducteurs centraux des voies d'entrée et de sortie peuvent également être différentes.
Il est également possible d'utiliser une structure utilisant plus que trois transducteurs par voie. Comme décrit dans la demande de brevet N° 2 818 051, il est possible de réaliser des filtres comportant sur chaque voie un ensemble de transducteurs d'entrée (de sortie) intercalés avec un ensemble de transducteur de couplage. Ce type de structure est couramment nommé IIDT dans la littérature. Plus précisément la figure 9 illustre les deux voies acoustiques d'un filtre Fi, connecté sur son entrée à un filtre F2 (non représenté) en non différentiel et sur sa sortie en différentiel (sortie Vout+). Le filtre Fi comprend ainsi sur chacune de ses voies acoustiques trois transducteurs centraux. Sur la voie la voie d'entrée des transducteurs centraux TC2n, TC212 et TC213 sont respectivement intercalés entre des transudcteurs de couplage TL2111, TL2112, TL2113 et TL2ιι4. De même sur la voie de sortie des transducteurs centraux TCm, TCn2, TC113 sont intercalés entre des transducteurs de couplage TLnn, TL-1112, TL1113 et TLnu. De même que pour des voies à trois transducteurs, on peut considérer des structure à nombre total impair de transducteur comportant un transducteur d'entrée sortie au centre. Les tensions sur les transducteurs de couplage peuvent être opposées deux à deux. Un filtre à entrée (ou sortie) non balancée peut être réalisé en connectant en parallèle deux filtres et en série du côté balancé. Voir figure.
Pour optimiser la taille d'un filtre selon l'invention, il peut être avantageux de fusionner les voies acoustiques d'entrée VA21 et VA22 et les voies acoustiques de sortie VAn et VA12, en utilisant des réflecteurs communs, c'est-à-dire un unique réflecteur central Rci entre les voies acoustiques VAn et VA12 et un unique réflecteur Rc2 entre les voies acoustiques VA21 et VA22, comme illustré en Figure 10. D'autre part, en ce qui concerne la symétrie, il est possible de travailler avec un nombre de périodes différentes pour les réseaux des deux voies sans dégrader le fonctionnement, le point important étant que les périodes des réseaux soient identiques.
Exemple de réalisation d'un filtre selon l'invention pour application Extended GSM
Le filtre ci-après détaillé est conçu pour fonctionner avec une impédance de source de 50 ohms et une impédance de charge de 150 ohms, avec une inductance parallèle de 60 nH (nanoHenry≈nH). Le matériau utilisé est du tantalate de lithium de coupe Y + 42° (il peut être aussi de coupe Y + 36°). L'épaisseur de métallisation des électrodes constitutives des transducteurs ou des réflecteurs est de 3400 Angstroms. Le taux de métallisation correspondant au rapport entre largeur d'électrode a et période d'électrode p est de 0,7. Ce filtre utilise des variations de période progressives pour séparer les transducteurs latéraux des transducteurs centraux comme dans l'art connu et décrit notamment dans la demande de brevet N° 2 818 051 déposée par la demanderesse comme décrit en Figures 11 et 12.
La Figure 11 montre le détail d'une zone de séparation progressive. Sur la gauche, on trouve le transducteur latéral avec des électrodes de période notée PTL, puis trois électrodes de périodes variables PC-i, PC2, PC3. Ces électrodes étant rattachées au transducteur latéral et ayant des polarités suivant les séquences de polarités de ce transducteur. Trois électrodes de périodes PC3, PC2 , PC-i' (on choisit les périodes pour que PC3=PC3') sont rattachées au transducteur central TC et ont des polarités suivant les séquences de polarité dudit transducteur central. Les périodes PC1 et PC2 peuvent suivre une loi linéaire entre PC3 et PTL. De même les périodes PC'1 et PC2 peuvent suivre une loi linéaire entre PTC et PC3. On peut d'autre part ajouter un décalage entre les réseaux et les transducteurs latéraux. Ce décalage est réalisé physiquement en intercalant deux électrodes de période PI comme illustré en Figure 12, PREs représentant la période des électrodes au sein du réseau réflecteur.
Le tableau ci-après récapitule les nombres d'électrodes et de périodes optimisés pour un filtre à entrées non différentielles et sorties différentielles ayant une configuration telle que celle illustrée en Figure 10. Une telle configuration de taille réduite permet en effet l'intégration du filtre dans un boîtier de faibles dimensions typiquement de l'ordre de 2 mm x 1 ,4 mm.
Figure imgf000016_0001
Avec un tel filtre on peut prévoir des pertes typiques de l'ordre de 2 dB dans la bande du système extended GSM entre 925 et 960 MHz avec une réjection de la bande Tx entre 880 MHz et 915 MHz d'environ 20 dB et des réjections supérieures à 50 dB en large bande. La symétrie prévue, c'est la comparaison des tensions Vout+ et Vout- est meilleure que +/- 0,5 dB et +/- 5°.
Les figures 13, 14 et 15 donnent l'amplitude de la fonction de transfert obtenue pour le filtre. La figure 16 montre les taux d'ondes stationnaires à l'entrée et la sortie du filtre.

Claims

REVENDICATIONS
1. Filtre à ondes de surface à entrées différentielles et sortie non différentielle ou à entrées non différentielles et sorties différentielles comprenant au moins un premier filtre (F-i) et un deuxième filtre (F2), chacun desdits filtres comprenant : au moins une première voie acoustique (VAn, VA-|2) cascadée à une deuxième voie acoustique (VA21, VA22) de sortie, chaque voie acoustique comportant des transducteurs à électrodes interdigitées et notamment :
- au moins un transducteur central (TCn, TC12, TC21, Tcc) ;
- au moins une paire de transducteurs de couplage formée d'un premier transducteur latéral (TL-m, TL21L TL121, TL221) et d'un second transducteur latéral (TLn2, TL212, TL122, TL222) les premier et deuxième filtres (F-i, F2) comportant : une première liaison électrique à un premier potentiel (V1) reliant le premier transducteur latéral de la première voie au premier transducteur latéral de la seconde voie et une deuxième liaison électrique à un second potentiel (V2) reliant le deuxième transducteur latéral de la première voie acoustique au deuxième transducteur latéral de la deuxième voie acoustique, les premier et second potentiels étant en opposition de phase, caractérisé en ce que les entrées ou sorties différentielles des premier et deuxième filtres sont connectées en série et les entrées ou sorties non différentielles des premier et second filtres sont connectées en parallèle, lesdits premier et deuxième filtres comportant en outre, soit des premières voies acoustiques identiques et des secondes voies acoustiques électriquement symétriques par rapport à un axe médian (C) perpendiculaire aux voies acoustiques, soit des premières voies acoustiques électriquement symétriques par rapport à un axe médian perpendiculaire aux voies acoustiques et des secondes voies acoustiques identiques.
2. Filtre à ondes de surface selon la revendication 1, caractérisé en ce que les transducteurs centraux des premières voies et/ou des secondes voies acoustiques ont des nombres impairs d'électrodes.
3. Filtre à ondes de surface selon la revendication 2, caractérisé en ce que les premier et second transducteurs latéraux comprennent une série d'électrodes connectées à un potentiel dit point chaud (V1Λ/2) interdigitées avec une série d'électrodes connectées à un potentiel de masse, la première électrode du premier transducteur latéral, depuis le transducteur central étant connectée au point chaud, la première électrode du second transducteur latéral depuis le transducteur central étant connectée à la masse, la distance entre le transducteur central et le premier transducteur latéral étant égale à celle entre le transducteur central et le second transducteur latéral.
4. Filtre à ondes de surface selon la revendication 1, caractérisé en ce que les transducteurs centraux des premières voies et/ou des secondes voies acoustiques ont des nombres pairs d'électrodes,
5. Filtre à ondes de surface selon la revendication 4, caractérisé en ce que les premier et second transducteurs latéraux comprennent une série d'électrodes connectées à un potentiel de masse et une série d'électrodes connectant à un point chaud, la première électrode du premier transducteur latéral depuis le transducteur central étant connectée à un potentiel de même type (point chaud ou masse) que la première électrode du second transducteur latéral depuis le transducteur central, la distance entre le transducteur central et le premier transducteur latéral étant égale à celle entre le transducteur central et le second transducteur latéral.
6. Filtre à ondes de surface selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend un couple de transducteurs centraux des premières voies ou des secondes voies acoustiques (TC11/TC12 ou TC21/TC22) connectés entre eux à un potentiel flottant.
7. Filtre à ondes de surface selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que chaque voie acoustique (VAn, VA-|2, VA21, VA22) comprend deux réflecteurs (Rm. R112, R211, R212, R121, R121, R221, R222) entre lesquels sont situés le transducteur central et les transducteurs latéraux de chacune des voies acoustiques.
8. Filtre à ondes acoustiques de surface selon la revendication 7, caractérisé en ce que la première voie acoustique du premier filtre et la première voie acoustique du second filtre ont un réflecteur commun, et, la seconde voie acoustique du premier filtre et la seconde voie acoustique du second filtre ont également un réflecteur commun.
9. Filtre à ondes de surface selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que les transducteurs sont séparés entre eux dans une même voie acoustique par une électrode portée à la masse de largeur supérieure à la largeur des autres électrodes.
10. Filtre à ondes de surface selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que les transducteurs sont séparés entre eux dans une même voie acoustique par un ensemble d'électrodes reliées à la masse.
11. Filtre à ondes de surface selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que les transducteurs sont séparés entre eux par plusieurs électrodes ayant entre leurs axes des distances inférieures à la période dans le transducteur, lesdites électrodes faisant partie des deux transducteurs.
12. Filtre à ondes de surface selon l'une des revendications 1 à 11 , caractérisé en ce que chaque voie acoustique comporte une alternance de transducteurs latéraux et de transducteurs centraux, lesdits transducteurs centraux étant connectés en parallèle à une entrée ou à une sortie.
13. Filtre à ondes de surface selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comprend un substrat de tantalate de lithium d'angle de coupe compris entre Y + 41 ° et Y + 43°, avec Y axe cristallographique.
14. Filtre à ondes de surface selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'épaisseur des électrodes est comprise entre environ 5 et 10 % de la longueur d'onde acoustique du filtre.
15. Filtre à ondes de surface selon l'une des revendications 9 ou 10, caractérisé en ce que le nombre d'électrodes de transducteurs latéraux est compris entre environ 50 % et 100 % du nombre d'électrodes du transducteur central, dans chacune des voies acoustiques.
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