WO2003060328A1 - Kraftstoffpumpe - Google Patents

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WO2003060328A1
WO2003060328A1 PCT/DE2002/004702 DE0204702W WO03060328A1 WO 2003060328 A1 WO2003060328 A1 WO 2003060328A1 DE 0204702 W DE0204702 W DE 0204702W WO 03060328 A1 WO03060328 A1 WO 03060328A1
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wheel
drive shaft
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English (en)
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Inventor
Christoph Schmidt
Bernd Wehrum
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Siemens Aktiengesellschaft
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/02—Selection of particular materials
    • F04D29/026—Selection of particular materials especially adapted for liquid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
    • F05D2300/00—Materials; Properties thereof
    • F05D2300/20—Oxide or non-oxide ceramics
    • F05D2300/22—Non-oxide ceramics
    • F05D2300/228—Nitrides
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
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    • F05D2300/00—Materials; Properties thereof
    • F05D2300/60—Properties or characteristics given to material by treatment or manufacturing
    • F05D2300/611—Coating

Definitions

  • the invention relates to a pump, in particular a fuel pump, with a pump housing, in which a pump chamber is formed, to which an inlet leads and from which an outlet leads, with a pump wheel arranged in the pump chamber and fastened on a rotatably drivable drive shaft is, which is rotatably mounted in bearings in the pump housing.
  • the fuels are increasingly contaminated today, which lead to wear between the parts of the pumps which are moved relative to one another and which damage the anodized layer. Contamination of the fuels by water or chemically similar reacting substances as well as additions of fuels of various types can then lead to further damage to the pump parts.
  • the object of the invention is therefore to provide a pump of the type mentioned at the outset, which is of simple construction and has low wear and permanently ensures high pressure build-up.
  • this object is achieved in that surfaces of the pump chamber which are in contact with surfaces of the pump wheel and / or surfaces of the pump wheel which are in contact with surfaces of the pump chamber have a coating of low thickness and great hardness which is applied by physical deposition from the gas phase.
  • the thin coating can be applied with a precisely uniform thickness and thus enables the maintenance of small tolerances, so that a good pressure build-up of the pump is guaranteed.
  • the great hardness protects the coating against wear and ensures a long service life of the pump.
  • This hardness can preferably be in a range from 2500 HV to 3500 HV (Vickers hardness) but also above or below.
  • the coating can still be applied to a wide variety of materials, the optimum materials and material pairs can be used for the pump housing and impeller.
  • the layer is applied in a manner which does not pollute the environment.
  • the drive shaft is rotatably mounted in the bearing bores of the pump housing, the bearing bores and / or the drive shaft having a coating of small thickness and great hardness applied by physical deposition from the gas phase.
  • the very hard and smooth surface of the coating on the bearing bore and / or drive shaft and the narrow tolerances mean that these parts transfer the positive properties of a carbon bushing as a bearing directly into the simple bearing bore. This saves separate bearings and their processing. If the pump is a flow pump, then the narrow tolerances of the components, which are absolutely necessary in flow pumps for the pressure build-up, and thus small gaps between the components moving relative to one another can be minimized.
  • the flow pump is a peripheral wheel or side channel pump.
  • the entire surface of the pump chamber can be provided with a coating applied by physical deposition from the gas phase, preferably also the surfaces of the fuel-carrying parts of the pump with a physical deposition from the Gas phase applied coating are provided. This means that even aggressive media can be conveyed by the pump without causing damage.
  • the tight manufacturing tolerances can be ensured by the coating having a thickness of approximately 2 ⁇ m to approximately 5 ⁇ m.
  • a layer thickness of 2 ⁇ m is completely sufficient for wear protection, while 5 ⁇ m is preferable for corrosion protection.
  • the coating is preferably a chromium nitride layer.
  • the pump housing and / or pump wheel can be made of metal or a metal alloy, in particular aluminum or an aluminum alloy, which become wear-resistant and corrosion-resistant due to the coating, while maintaining the ease of manufacture and the low weight.
  • the pump housing and / or pump wheel consist of a plastic, in particular a phenolic resin. Even parts of low weight, which are easy to manufacture as injection molded parts, become wear-resistant and resistant to aggressive media through the coating.
  • the pump housing is made of coated aluminum and the pump wheel is made of phenolic resin.
  • the pump wheel made of phenolic resin can be coated or uncoated.
  • the pump shown is a two-stage fuel pump.
  • a drive shaft 2 is rotatably attached to an electric motor arranged in the closed motor housing 1. drivable, on the right end region of which a first pump wheel 3 of a peripheral wheel pump 14 is arranged in a rotationally fixed manner.
  • the radially circumferential area of the first pump wheel 3 is formed with a first blade ring, which is largely enclosed by an annular channel.
  • a first pump chamber 5 is designed as a cup-shaped recess 31 in one end face of a cover 6, which is part of the pump housing 7.
  • a ball 9 is arranged centrally in a receptacle on the side of the first pump wheel 3 in the cover 6, on which the drive shaft 2 is supported on the end face and which forms an axial bearing of the drive shaft 2.
  • the first pump chamber 5 is closed by an intermediate wall 10 which bears against the mouth opening of the pot-shaped recess 31 of the cover 6 and through which the drive shaft is guided.
  • the drive shaft 2 is guided through a bearing bore 11 in the intermediate wall 10, which also forms part of the pump housing 7, and is directly rotatably supported in this bearing bore 11.
  • the first pump chamber 5 is connected to a radially circumferential annular channel 12 on the side facing the peripheral wheel pump 14 in the intermediate wall 10, from which a connection 13 leads to the side of the intermediate wall 10 facing away from the peripheral wheel pump 14
  • a side channel pump 16 opens into a first side channel 15, which is annular there.
  • the intermediate wall 10 is also formed on the side of the first side channel 15 with a cup-shaped recess 17, which forms a second pump chamber and in which a second pump wheel 18 of the side channel pump 16 is arranged, which is also non-rotatably seated on the drive shaft 2.
  • the second impeller 18 has in its one side surface covering the first side channel 16 a second blade ring 19 which is connected via axial openings 20 to a third blade ring 21 on the other side surface of the pump wheel 18.
  • the third blade ring 21 is covered by an annular second side channel 22 which is formed in a partition 23 which closes the cup-shaped opening 14, forms part of the pump housing 7 and is guided through a drive shaft 2.
  • the partition 23 separates the side channel pump 16 from the motor housing 1, the outlet 24 formed in the partition 23 opening into the motor housing 1.
  • the fuel delivered flows through the motor housing 1 and is fed via a check valve 25 to a pressure connection 26 of the fuel pump, which are arranged in a closure wall 29.
  • a plug contact 30 of the power supply of the electric motor is also located in the closure wall 29.
  • a bearing wall 27 is arranged which, coaxially with the first bearing bore 11, has a second bearing bore 28 in which the left end of the drive shaft 2 is directly rotatably mounted.
  • the two pump wheels 3 and 18 are made of phenolic resin.
  • the parts of the pump housing 7 are made of aluminum.
  • the cover 6 has a coating of chromium nitride in all areas facing the intermediate wall 10 and in the inlet 8.
  • the intermediate wall 10, the partition wall 23 and the bearing wall 27 are completely provided with a coating of chromium nitride.
  • the surfaces of the closure wall 29 and the pressure connection 26 which are flushed with fuel are coated with chromium nitride.
  • the cylindrical inner walls of the first and second bearing bores 11 and 28 are also coated.
  • the drive shaft 2 made of steel has a chromium nitride coating in its areas located in the bearing bores 11 and 28.
  • chrome nitride coatings are applied by physical vapor deposition and have a thickness of 5 ⁇ m and a Vickers hardness of approximately 2500 HV.

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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Pumpe mit einem Pumpengehäuse (7), in dem eine Pumpenkammer (5) ausgebildet ist, zu der eine Einlass (8) hinführt and von der ein Auslass (24) wegführt. In der Pumpenkammer (5) ist ein Pumpenrad (3) angeordnet, das auf einer drehbar antreibbaren Antriebswelle (2) befestigt ist, die in Lagern im Pumpengehäuse (7) drehbar gelagert ist. An den Oberflächen des Pumpenrads (3) anliegende Oberflächen der Pumpenkammer (5) und an den Oberflächen der Pumpenkammer (5) anliegende Oberflächen des Pumpenrads (3) besitzen eine durch physikalische Abscheidung aus der Gasphase aufgebrachte Beschichtung geringer Dicke and grosser Härte.

Description

Beschreibung
KRAFTSTOFFPUMPE
Die Erfindung bezieht sich auf eine Pumpe, insbesondere eine Kraftstoffpumpe, mit einem Pumpengehäuse, in dem eine Pumpenkammer ausgebildet ist, zu der eine Einlass hinführt und von der ein Auslass wegführt, mit einem in der Pumpenkammer angeordneten Pumpenrad, das auf einer drehbar antreibbaren Antriebswelle befestigt ist, die in Lagern im Pumpengehäuse drehbar gelagert ist.
Bei derartigen aggressive Flüssigkeiten wie z.B. Kraftstoffe fördernden Pumpen ist es bekannt, deren Innenteile mit einer Eloxal-Schicht als Korrosionsschutz zu versehen.
In zunehmendem Maß weisen heute die Kraftstoffe Verschmutzungen auf, die zwischen den relativ zueinander bewegten Teilen der Pumpen zu Verschleiß führen sowie die Eloxal-Schicht beschädigen. Verunreingungen der Kraftstoffe durch Wasser oder chemisch ähnlich reagierende Stoffe sowie Zusätze der Kraftstoffe der verschiedensten Art können dann zu weiteren Beschädigungen der Pumpenteile führen.
Bei Pumpenbauteilen aus Aluminium führen hoch alkoholhaltige Kraftstoffe zur Oxydation und damit zu Ausblühungen und im weiteren zu einer Blockade des Pumpenrads. Eine solche Blok- kade kann auch durch die Verschmutzungen geschehen.
Sehr geringe Spalte sind aber zwischen den beweglichen und den feststehenden Pumpenteilen erforderlich, damit ein ausreichender Druckaufbau insbesondere bei einer als Strömungs- pumpe aufgebauten Pumpe möglich ist.
Weitere Nachteile der Eloxal-Schicht sind deren hohe Kosten, deren TJmweltunverträglichkeit sowie deren große Dicke von et- wa 30 μm, die zu großen Toleranzen führt. Diese großen Toleranzen ermöglichen wiederum keinen zufriedenstellenden Druckaufbau der Pumpe .
Zur Lagerung und Führung der Antriebswelle sind in Lagerbohrungen des Pumpengehäuses Lager in Form von z. B. Kohlebuchsen angeordnet. Dies ist montage- und bauteilaufwendig.
Aufgabe der Erfindung ist es daher eine Pumpe der eingangs genannten Art zu schaffen, die einfach aufgebaut und verschleißarm ausgebildet ist und einen hohen Druckaufbau dauerhaft gewährleistet.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass an Oberflächen des Pumpenrads anliegende Oberflächen der Pumpenkammer und/oder an Oberflächen der Pumpenkammer anliegende Oberflächen des Pumpenrads eine durch physikalische Abscheidung aus der Gasphase aufgebrachte Beschichtung geringer Dik- ke und großer Härte besitzen.
Die dünne Beschichtung ist mit exakt gleichmäßiger Dicke auftragbar und ermöglicht so die Einhaltung geringer Toleranzen, so dass ein guter Druckaufbau der Pumpe gewährleistet ist.
Dazu trägt ebenfalls bei, dass der Aufbau der Beschichtung mit einem gleichmäßigen Schichtwachstum von dichter Struktur und glatter Oberfläche erfolgt, was weiterhin zu einem guten Korrosionsschutz führt und den Einsatz der Pumpe für die unterschiedlichsten Kraftstoffarten und andere Fördermedien ermöglicht .
Die große Härte sichert die Beschichtung gegen Verschleiß und gewährleistet eine hohe Lebensdauer der Pumpe. Dabei kann diese Härte vorzugsweise in einem Bereich von 2500 HV bis 3500 HV (Vickershärte) aber auch darüber oder darunter liegen.
Da nur niedrige Verfahrenstemperaturen bei der Erzeugung der Beschichtung erforderlich sind, kommt es nicht zu einem Ver- ziehen der beschichteten Bauteile und zu Materialveränderungen wie Gefügeveränderungen an diesen Bauteilen.
Da weiterhin die Beschichtung auf die unterschiedlichsten Ma- terialen aufgebracht werden kann, können für Pumpengehäuse und Pumpenrad die jeweils optimalen Werkstoffe und Werkstoff- Paarungen angewandt werden.
Das Aufbringen der Schicht erfolgt auf eine die Umwelt nicht belastende Art und Weise.
Eine weitere Lösung der Aufgabe besteht darin, dass die Antriebswelle in Lagerbohrungen des Pumpengehäuses drehbar gelagert sind, wobei die Lagerbohrungen und/oder die Antriebswelle eine durch physikalische Abscheidung aus der Gasphase aufgebrachte Beschichtung geringer Dicke und großer Härte besitzen.
Ergänzend zu den Merkmalen der Beschichtung von Pumpengehäuse und Pumpenrad werden durch die sehr harte und glatte Oberfläche der Beschichtung von Lagerbohrung und/oder Antriebswelle sowie den engen Toleranzen diese Teile die positiven Eigenschaften einer Kohlebuchse als Lager direkt in die einfache Lagerbohrung verlagert. Damit können separate Lager sowie deren Bearbeitung eingespart werden. Ist die Pumpe eine Strömungspumpe, so sind die bei Strömungspumpen für den Druckaufbau unbedingt erforderlichen engen Toleranzen der Bauteile und damit geringen Spalte zwischen den relativ zueinander bewegten Bauteilen minimierbar.
Dies ist insbesondere von Vorteil, wenn die Strömungspumpe eine Peripheralrad- oder Seitenkanalpumpe ist.
Über die aneinander anliegenden Oberflächen von Pumpenrad und Pumpenkammer hinaus, kann die gesamte Oberfläche der Pumpenkammer mit einer durch physikalische Abscheidung aus der Gas- phase aufgebrachten Beschichtung versehen sein, wobei vorzugsweise auch die Oberflächen der Kraftstoff führenden Teile der Pumpe mit einer durch physikalische Abscheidung aus der Gasphase aufgebrachten Beschichtung versehen sind. Damit können durch die Pumpe auch aggressive Medien gefördert werden, ohne dass es zu Beschädigungen kommt .
Die Gewährleistung der engen Herstellungstoleranzen ist dadurch möglich, dass die Beschichtung eine Dicke von etwa 2 μm bis etwa 5 μm aufweist. Dabei ist eine Schichtdicke von 2 μm für einen Verschleißschutz völlig ausreichend während für einen Korrosionsschutz 5 μm vorzuziehen sind.
Insbesondere bei der Verwendung der Pumpe als Kraftstoffpumpe ist die Beschichtung vorzugsweise eine Chrom-Nitrid-Schicht.
Pumpengehäuse und/oder Pumpenrad können aus Metall oder einer Metalllegierung, insbesondere aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung bestehen, die durch die Beschichtung verschleißfest und korrosionsbeständig werden, wobei aber die leichte Herstellbarkeit und das geringe Gewicht beibehalten werden.
Eine andere Möglichkeit besteht darin, dass Pumpengehäuse und/oder Pumpenrad aus einem Kunststoff, insbesondere einem Phenolharz bestehen. Auch derart leicht als Spritzgussteile herstellbare Teile geringen Gewichts werden durch die Beschichtung verschleißfest und beständig gegen aggressive Fördermedien.
Eine besonders günstige Werkstoffpaarung besteht darin, dass das Pumpengehäuse aus beschichtetem Aluminium und das Pumpenrad aus Phenolharz besteht. Dabei kann das aus Phenolharz bestehende Pumpenrad beschichtet oder auch unbeschichtet sein.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Die einzige Figur der Zeichnung zeigt eine Kraftstoffpumpe mit Strömungspumpen als Pumpenstufen.
Die dargestellte Pumpe ist eine zweistufige Kraftstoffpumpe. Von einem in dem geschlossen dargestellten Motorgehäuse 1 angeordneten Elektromotor ist eine Antriebswelle 2 drehbar an- treibbar, auf deren rechtem Endbereich ein ersten Pumpenrad 3 einer Peripheralradpumpe 14 drehfest angeordnet ist. Der radial umlaufende Bereich des ersten Pumpenrads 3 ist mit einem ersten Schaufelkranz ausgebildet, der von einem ringförmigen Kanal weitgehend umschlossen ist. Eine erste Pumpenkammer 5 ist als topfförmige Ausnehmung 31 in der einen Stirnseite eines Deckels 6 ausgebildet, der ein Teil des Pumpengehäuses 7 ist .
In dem Pumpendeckel 7 befindet sich ein Einlass 8, über den die Peripheralradpumpe Kraftstoff ansaugen kann. Weiterhin ist zentrisch eine Kugel 9 in einer Aufnahme auf der Seite des ersten Pumpenrads 3 im Deckel 6 angeordnet, an der die Antriebswelle 2 stirnseitig abgestützt ist und die ein Axiallager der Antriebswelle 2 bildet .
Durch eine an der MündungsÖffnung der topfformigen Ausnehmung 31 des Deckels 6 anliegenden Zwischenwand 10, durch die die Antriebswelle hindurchgeführt ist, ist die erste Pumpenkammer 5 geschlossen. Die Antriebswelle 2 ist dabei durch eine Lagerbohrung 11 in der ebenfalls ein Teil des Pumpengehäuses 7 bildenden Zwischenwand 10 hindurchgeführt und in dieser Lagerbohrung 11 unmittelbar drehbar gelagert.
In einer nicht sichtbaren Ebene ist die erste Pumpenkammer 5 mit einem radial umlaufenden Ringkanal 12 auf der der Peri- pheralradpumpe 14 zugewandten Seite in der Zwischenwand 10 verbunden, von dem eine Verbindung 13 zu der der Peripheral- radpumpe 14 abgewandten Seite der Zwischenwand 10 führt und in einen dort ringförmig ausgebildeten ersten Seitenkanal 15 eine Seitenkanalpumpe 16 mündet.
Die Zwischenwand 10 ist auf der Seite des ersten Seitenkanals 15 ebenfalls mit einer topfformigen Ausnehmung 17 ausgebildet, die eine zweite Pumpenkammer bildet und in der ein zweites Pumpenrad 18 der Seitenkanalpumpe 16 angeordnet ist, das ebenfalls drehfest auf der Antriebswelle 2 sitzt. Das zweite Pumpenrad 18 besitzt in seiner einen Seitenfläche überdeckend mit dem ersten Seitenkanal 16 einen zweiten Schaufelkranz 19, der über axiale Durchbrüche 20 mit einem dritten Schaufelkranz 21 auf der anderen Seitenfläche des Pumpenrads 18 verbunden ist.
Der dritte Schaufelkranz 21 wird von einem ringförmigen zweiten Seitenkanal 22 überdeckt, der in einer Trennwand 23 ausgebildet ist, die die topfförmige Öffnung 14 verschließt, einen Teil des Pumpengehäuses 7 bildet und durch eine Antriebswelle 2 hindurchgeführt ist.
Die Trennwand 23 trennt die Seitenkanalpumpe 16 von dem Motorgehäuse 1, wobei der in der Trennwand 23 ausgebildete Aus- lass 24 in das Motorgehäuse 1 mündet. Der geförderte Kraftstoff durchströmt das Motorgehäuse 1 und wird über ein Rückschlagventil 25 einem Druckanschluss 26 der Kraftstoffpumpe zugeführt, die in einer Verschlusswand 29 angeordnet sind. Ebenfalls in der Verschlusswand 29 befindet sich ein Steckkontakt 30 der Stromversorgung des Elektromotors.
In dem Endbereich des Motorgehäuses 1 auf der Seite des Druckanschlusses 26 ist eine Lagerwand 27 angeordnet, die koaxial zur ersten Lagerbohrung 11 eine zweite Lagerbohrung 28 aufweist, in der das linke Ende der Antriebswelle 2 unmittelbar drehbar gelagert ist.
Die beiden Pumpenräder 3 und 18 bestehen aus Phenolharz.
Die Teile des Pumpengehäuses 7 sind aus Aluminium ausgebildet. Dabei besitzt der Deckel 6 in allen der Zwischenwand 10 zugewandten Bereichen sowie im Einlass 8 eine Beschichtung aus Chrom-Nitrid. Die Zwischenwand 10, die Trennwand 23 und die Lagerwand 27 sind vollständig mit einer Beschichtung aus Chrom-Nitrid versehen. Weiterhin sind auch die vom Kraftstoff umspülten Flächen der Verschlusswand 29 und des Druckanschlusses 26 mit Chrom-Nitrid beschichtet. Dabei sind auch die zylindrischen Innenwände der ersten und zweiten Lagerbohrung 11 und 28 beschichtet. Zusätzlich besitzt die aus Stahl bestehende Antriebswelle 2 in ihren in den Lagerbohrungen 11 und 28 befindlichen Bereichen eine Chrom-Nitrid-Beschichtung .
Diese Chrom-Nitrid-Beschichtungen sind durch physikalische Abscheidungen aus der Gasphase aufgebracht und haben eine Dicke von 5 μm sowie eine Vickershärte von etwa 2500 HV.

Claims

Patentansprüche
1. Pumpe, insbesondere Kraftstoffpumpe, mit einem Pumpengehäuse, in dem eine Pumpenkammer ausgebildet ist, zu der ein Einlass hinführt und von der ein Auslass wegführt, mit einem in der Pumpenkammer angeordneten Pumpenrad,' das auf einer drehbar antreibbaren Antriebswelle befestigt ist, die in Lagern im Pumpengehäuse drehbar gelagert ist, dadurch gekennzeichnet, dass an Oberflächen des Pumpenrads (3, 18) anliegende Oberflächen der Pumpenkammer (5) und/oder an Oberflächen der Pumpenkammer (5) anliegende Oberflächen des Pumpenrads (3, 18) eine durch physikalische Abscheidung aus der Gasphase aufgebrachte Beschichtung geringer Dicke und großer Härte besitzen.
2. Pumpe nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1, dadurch gekennzeichnet , dass die Antriebswelle (2) .in Lagerbohrungen (11, 28) des Pumpengehäuses (7) drehbar gelagert sind, wobei die Lagerbohrungen (11,28) und/oder die Antriebswelle (2) eine durch physikalische Abscheidung aus der Gasphase aufgebrachte Beschichtung geringer Dicke und großer Härte besitzen.
3. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , dass die Pumpe eine Strömungspumpe ist.
. Pumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Strömungspumpe eine Peripheralrad- oder Seitenkanalpumpe (14, 16) ist.
5. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche der Pumpenkammer (5) mit einer durch physikalische Abscheidung aus der Gasphase aufgebrachten Beschichtung versehen ist.
6. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächen der Kraftstoff führenden Teile der Pumpe mit einer durch physikalische Abscheidung aus der Gasphase aufgebrachten Beschichtung versehen sind.
7. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung eine Dicke von etwa 2 μm bis etwa 5 μm aufweist.
8. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beschichtung eine Chrom- Nitrid-Schicht ist.
9. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Pumpengehäuse (7) und/oder Pumpenrad aus Metall oder einer Metalllegierung bestehen.
10. Pumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet , dass Pumpengehäuse und/oder Pumpenrad (3,18) aus einem Kunststoff besteht.
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