WO2003044571A3 - Enduction des facettes d'un dispositif optique sur une tranche - Google Patents

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Yee Loy Lam
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Denselight Semiconductors Pte
Yee Loy Lam
Hwi Siong Lim
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Abstract

On forme, dans le cadre de cette invention, la facette ou chaque facette d'un dispositif optique sur une tranche puis on l'enduit avant de séparer l'appareil du reste de la tranche, laquelle peut porter d'autres dispositifs optiques dont les facettes ont été traitées de façon similaire. Il est, de la sorte, possible de former simultanément les facettes de plusieurs dispositifs optiques par attaque, puis de les recouvrir d'un revêtement optique alors que ces dispositifs font encore partie de la tranche. Cette manière de procéder permet de fabriquer à moindre coût plusieurs dispositifs. Il est, en outre, possible d'exécuter les processus d'attaque et d'enduction dans un même environnement régulé, du vide, de préférence, et ce, avant d'enlever la tranche pour la débiter sous forme de dés constituant des dispositifs optiques distincts.
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