WO2003034511A3 - Piezokeramischer biegewandler sowie verwendung des piezokeramischen biegewandlers - Google Patents
Piezokeramischer biegewandler sowie verwendung des piezokeramischen biegewandlers Download PDFInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft einen piezokeramischen Biegewandler (1) mit einem Tragkörper (3) und mit einem darauf aufgebrachten Stapel (4) aus Schichten (6) aus Piezokeramik und aus zwischen den Schichten (6) angeordneten flächigen Elektroden (7, 8). Auf der dem Stapel (4) abgewandten Seite des Tragkörpers (3) ist eine Anpassschicht (10) aus einem Material mit im wesentlichen gleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten wie die Piezokeramik aufgebracht. Weiterhin ist es vorgesehen, dass der Stapel (4) aus Schichten (6) mit dem Tragkörper (3) auf der Befestigungsseite (12) bündig abschliesst. Der Biegewandler (1) zeigt eine gute Stellkraft und eine geringe thermische Eigenverbiegung bei günstigen Herstellungskosten und einem besonders kompakten Aufbau. Er eignet sich insbesondere für den Einsatz in einem Ventil, z.B. einem Mikroventil.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10149840.3 | 2001-10-10 | ||
DE10149840A DE10149840A1 (de) | 2001-10-10 | 2001-10-10 | Piezokeramischer Biegewandler sowie Verwendung des piezokeramischen Biegewandlers |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2003034511A2 WO2003034511A2 (de) | 2003-04-24 |
WO2003034511A3 true WO2003034511A3 (de) | 2003-10-30 |
Family
ID=7701955
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/DE2002/003709 WO2003034511A2 (de) | 2001-10-10 | 2002-09-27 | Piezokeramischer biegewandler sowie verwendung des piezokeramischen biegewandlers |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10149840A1 (de) |
WO (1) | WO2003034511A2 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004033649A1 (de) * | 2004-07-12 | 2006-02-09 | Siemens Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Einstellen einer Orientierung eines Detektorelements einer elektromagnetischen Strahlung und Kamera mit der Vorrichtung |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2001
- 2001-10-10 DE DE10149840A patent/DE10149840A1/de not_active Ceased
-
2002
- 2002-09-27 WO PCT/DE2002/003709 patent/WO2003034511A2/de not_active Application Discontinuation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2003034511A2 (de) | 2003-04-24 |
DE10149840A1 (de) | 2003-05-08 |
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