WO2003034511A3 - Piezokeramischer biegewandler sowie verwendung des piezokeramischen biegewandlers - Google Patents

Piezokeramischer biegewandler sowie verwendung des piezokeramischen biegewandlers Download PDF

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Siemens Ag
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen piezokeramischen Biegewandler (1) mit einem Tragkörper (3) und mit einem darauf aufgebrachten Stapel (4) aus Schichten (6) aus Piezokeramik und aus zwischen den Schichten (6) angeordneten flächigen Elektroden (7, 8). Auf der dem Stapel (4) abgewandten Seite des Tragkörpers (3) ist eine Anpassschicht (10) aus einem Material mit im wesentlichen gleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten wie die Piezokeramik aufgebracht. Weiterhin ist es vorgesehen, dass der Stapel (4) aus Schichten (6) mit dem Tragkörper (3) auf der Befestigungsseite (12) bündig abschliesst. Der Biegewandler (1) zeigt eine gute Stellkraft und eine geringe thermische Eigenverbiegung bei günstigen Herstellungskosten und einem besonders kompakten Aufbau. Er eignet sich insbesondere für den Einsatz in einem Ventil, z.B. einem Mikroventil.
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