WO2003032409A3 - Etalonnage thermique de transducteurs piezo-electriques - Google Patents

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Benny Pesach
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Abstract

L'invention concerne un procédé permettant de déterminer un premier paramètre caractéristique d'un transducteur piézo-électrique. Ce premier paramètre dépend de la constante piézo-électrique du matériau dont est composé le transducteur. Ce procédé consiste à : déterminer la valeur d'un second paramètre en fonction de la constante diélectrique du matériau piézo-électrique, et déterminer la valeur du premier paramètre à partir du second paramètre, en prenant en compte les dépendances thermiques connues de la constante diélectrique et de la constante piézo-électrique.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102020212853A1 (de) * 2020-10-12 2022-04-14 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung von Aktuatoren in einer Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06148231A (ja) * 1992-11-11 1994-05-27 Aisin Seiki Co Ltd ヨーレートセンサの温度補償方法及び温度補償装置
EP1138906A1 (fr) * 2000-04-01 2001-10-04 Robert Bosch GmbH Optimisation de systèmes d'injection à éléments piézoélectriques par compensation de leur dépendance de la température

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06148231A (ja) * 1992-11-11 1994-05-27 Aisin Seiki Co Ltd ヨーレートセンサの温度補償方法及び温度補償装置
EP1138906A1 (fr) * 2000-04-01 2001-10-04 Robert Bosch GmbH Optimisation de systèmes d'injection à éléments piézoélectriques par compensation de leur dépendance de la température

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
KRISHNAMURTHY K ET AL: "Effects of temperature on the electrical impedance of piezoelectric sensors", SMART STRUCTURES AND INTEGRATED SYSTEMS, SAN DIEGO, CA, USA, 26 - 29 FEBRUAR 1996, vol. 2717, 1996, Proceedings of the SPIE, pages 302 - 310, XP009016358, ISSN: 0277-786X *
NEMIROVSKY Y ET AL: "Design of a novel thin-film piezoelectric accelerometer", SENSORS AND ACTUATORS A, vol. 56, no. 3, 1 September 1996 (1996-09-01), pages 239 - 249, XP004049699, ISSN: 0924-4247 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 018, no. 450 (P - 1790) 22 August 1994 (1994-08-22) *

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