WO2005087391A3 - Dispositifs cmut a membrane asymetrique et leurs methodes de fabrication - Google Patents

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Abstract

L'invention concerne concerne des dispositifs de transducteurs ultrasonores microusinés capacitatifs ('cMUT') à membrane asymétrique et leurs méthodes de fabrication. Dans un mode de réalisation préféré, un dispositif cMUT selon l'invention comprend généralement une membrane présentant des propriétés asymétriques. Cette membrane peut présenter une largeur variable, le long de sa longueur, de sorte que ses extrémités présentent des largeurs différentes. La membrane asymétrique de l'invention peut présenter des caractéristiques de souplesse variables en raison de ses dimensions de largeurs variables. Dans un autre mode de réalisation préféré de l'invention, un dispositif cMUT comprend généralement un élément d'électrode présentant des propriétés asymétriques. Cet élément d'électrode peut présenter une largeur variée le long de sa longueur de sorte que ses extrémités présentent des largeurs différentes. L'élément d'électrode asymétrique peut présenter des caractéristiques de réception et d'émission différentes en raison de ses dimensions de largeurs variées. Dans un autre mode de réalisation préféré de l'invention, une charge de masse positionnée le long de la membrane peut modifier la distribution de masse de la membrane. D'autres modes de réalisation de l'invention sont également décrits dans la description.
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