WO2003015978A1 - Verfahren und vorrichtung zum einbringen von löchern in werkstücke mittels laserstrahlen - Google Patents

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laser beam
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Gert Callies
Markus Willert
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Robert Bosch Gmbh
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    • B23K26/382—Removing material by boring or cutting by boring
    • B23K26/384—Removing material by boring or cutting by boring of specially shaped holes

Definitions

  • the invention relates to a method for producing holes in workpieces by means of at least one laser beam, and a device for making holes in workpieces, according to the preamble of claim 15.
  • Devices and methods of the type mentioned here are known. They are used to produce precise small holes in workpieces using laser beams, whereby the holes can have a diameter of less than 250 ⁇ .
  • the method according to the invention with the features mentioned in claim 1 has the advantage that the production of a desired hole quality is possible due to the targeted setting of at least one process gas parameter, in particular the composition, the pressure and / or the volume flow of the process gas and a special process gas supply. It is not necessary to change the laser beam parameters or to tilt the workpiece relative to the laser beam.
  • at least the following criteria determine the "quality:" of the hole: the shape of the hole and, in the case of at least one metallic one
  • Ablation residues include, in particular, melting ridges ("melting turrets") on the Understand the workpiece surface on the laser beam side and the melt film on the perforated walls or the perforated wall. It has been shown that degrees of melting can be completely avoided by means of the method according to the invention and that the melting film that is formed has only a very small thickness. The ablation residue can thus be avoided or at least reduced to a harmless level, so that the reworking of the hole can be reduced or simplified or, if necessary, can be dispensed with entirely.
  • the method according to the invention also enables the hole shape to be influenced in a targeted manner.
  • Both holes with a circular cross section, which is constant or essentially constant over the entire length of the hole, and also holes with a desired taper can be realized.
  • the "conical" holes preferably have a circular cross-section, the diameter of which changes over the length of the hole.
  • the principle on which the method according to the invention is based is based on the fact that the process gas supplied to the interaction zone between the laser beam and the workpiece has the properties of the material vapor / plasma mixture and thus the interaction between the laser beam and workpiece.
  • Vaporizing material of the workpiece compresses the atmosphere surrounding the hole, so that a strong shock wave can form which, for example, can reach a propagation speed of up to several 10 km / s when the workpiece is processed with a short pulse laser.
  • the shock wave forms a barrier for the material evaporating from the workpiece, whereby the pressure, the density and the temperature and thus also the degree of ionization and the absorption capacity in the material vapor plasma mixture are related to the properties of the shock wave.
  • the rate of propagation of the shock wave and its thermodynamic properties are in turn a function of the atmosphere surrounding the hole.
  • An embodiment of the method is particularly preferred which is characterized in that the composition, the pressure and / or the volume flow of the process gas fed to the interaction zone and / or the feed strategy (process gas routing) as a function of at least one characteristic feature is preferred for each special application of the hole, for example the hole diameter, the desired conicity, a defined rounding of at least one of the hole edges or edges and the like, and / or at least one characteristic feature of the workpiece, for example the wall thickness, the workpiece material and the like will be.
  • the parameters of the process gas do not necessarily have to be constant during the production of a hole, but can also be controlled, preferably in terms of time, as provided in an advantageous embodiment variant. For example, a "pre-drilling" of the hole with a process gas consisting of helium and a subsequent "re-drilling / boring" with a process gas consisting of argon is possible.
  • the laser beam is a short-pulse laser beam (ns-pulses) with a pulse duration of preferably less than 100 ns or an ultra-short-pulse laser beam (fs / ps-pulses).
  • ns-pulses short-pulse laser beam
  • fs / ps-pulses ultra-short-pulse laser beam
  • a hole with a desired taper is produced, the taper factor (k) of the hole being variable by appropriate process gas routing and adjustment of the process gas parameters. It has been shown that holes with a taper factor k of -3 to +3 can be easily produced. However, conicity can also be
  • the taper factor k is defined as follows:
  • 0 A is the diameter of the laser exit opening and 0 E is the diameter of the laser entry opening and the dimensions are the diameter ⁇ m (micrometer).
  • any desired conicity can be set for holes with a diameter of less than 250 ⁇ m and for wall thicknesses of the workpiece of approximately 0.2 mm to 2 mm, the conicity factor k, for example, in a range from -3 to Can be +3.
  • the at least one process gas used during production consists of at least one gas, for example helium (He), oxygen (0 2 ), argon (Ar) or nitrogen (N 2 ).
  • the process gas can also consist of several, in particular consist of the above-mentioned gases, which are mixed together, preferably before they are fed to the interaction zone or before the interaction zone is reached. If the process gas is mixed together from several gases, the proportion of each of the gases in the process gas can be between 0% and 100%, the sum of the proportions of all gases in the process gas being 100%.
  • the process gas from different gases is mixed together in a certain mixing ratio, so that a desired atmosphere can be set around the hole to be drilled by means of the laser beam, which results in a desired hole shape, for example hole taper and preferably enamel grace and the enamel layer on the perforated walls are minimized or eliminated in the laser material processing of metallic materials. It has proven to be beneficial; it is found when the volume flow supplied to the interaction zone is in a range from approximately 0.8 Nl / min to 270 Nl / min and the pressure of the process gas in a range from 0.1 bar to 20 bar, preferably from 0.3 bar to 15 bar, in particular from 0.5 bar to 10 bar.
  • the subject matter of the invention also relates to a device with the features mentioned in claim 15, which is particularly suitable for carrying out the method according to one of claims 1 to 14. It comprises a laser beam source for generating at least one laser beam which can be directed onto the workpiece and a nozzle arrangement which has at least one nozzle which can be acted upon by at least one pressurized process gas, the gas jet emerging from the nozzle in the direction of the point of impact of the laser beam on the workpiece or in the interaction zone between the laser beam and the workpiece can be directed.
  • the device is characterized by a device for setting the composition, the pressure and / or the amount of process gas supplied to the point of impact.
  • Hole conicity can be varied or set in a targeted manner without having to adjust the parameters of the laser beam. Can also In the case of metal workpieces, melting burrs or melting films on the perforated wall are minimized, preferably completely eliminated.
  • the device has at least one mixing device for mixing the process gas and at least one feed line connected to the nozzle in terms of flow technology for feeding the mixed process gas.
  • the process gas is therefore mixed together before it reaches the interaction zone between the laser beam and the workpiece.
  • the mixing device preferably has a control for setting the process gas parameters (composition, pressure, volume flow).
  • Figure 1 is a schematic diagram of the structure of an embodiment of the device according to the invention.
  • Figures each show an embodiment of a nozzle 2 to 4 nozzle arrangement for supplying process gas
  • Figures each have a cross section produced by means of a laser beam Holes using various process gases.
  • FIG. 7 shows a diagram in which the hole diameter on the laser beam entry side and the conicity factor k are plotted as a function of the process gas pressure.
  • FIG. 1 shows a schematic representation of the structure of an exemplary embodiment of a device 1 for making holes in workpieces.
  • the device 1 comprises a laser beam source 3, by means of which short-pulse or ultra-short-pulse laser beams can be generated, which are referred to below as laser beams 5 for short.
  • laser beams 5 for short.
  • the laser beam 5 is deflected here by way of example by means of a deflection mirror 13 by 90 °.
  • no expansion optics 7 are arranged in the beam path.
  • FIG. 1 shows a workpiece 15 to which the laser beam 5 is directed in order to drill a hole, in particular a through hole, with a precise taper.
  • the workpiece 15 is - seen in the direction of the beam path of the laser beam 5 - the focusing optics.
  • an adjusting device (not shown) for positioning the workpiece 15 is provided, by means of which the workpiece 15 can be adjusted in the x, y and z directions, as indicated by arrows.
  • the device 1 also has a device 16 for setting the composition of the process gas, which comprises a mixing device 17 with a controller for mixing the process gas.
  • the process gas preferably consists of at least one of the following gases or a mixture of the same: helium, oxygen, argon and nitrogen. These gases and possibly other suitable gases can be mixed together in a specific, preselectable ratio in the mixing device 17.
  • the proportion of each of the gases in the process gas can be between 0% and 100% if the process gas is a mixed gas.
  • the process gas volume flow supplied to the interaction zone between laser beam 5 and workpiece 15 is preferably in a range from approximately 0.8 Nl / min to 270 Nl / min (standard liters / minute).
  • the process gas pressure is preferably between 0.1 bar and 20 bar, in particular between 0.5 bar and 10 bar.
  • the process gas is fed via a feed line 19 to a nozzle arrangement comprising at least one nozzle and not shown in FIG. 1.
  • a nozzle arrangement comprising at least one nozzle and not shown in FIG. 1.
  • the pressure and / or the amount of the process gas supplied to the interaction zone between the laser beam 5 and the workpiece 15 can be set.
  • a temporal control of the process gas parameters can easily be implemented. For example, pre-drilling with helium and subsequent drilling with argon possible.
  • FIG. 2 shows a schematic representation of a section of a first exemplary embodiment of the nozzle arrangement 21, which comprises a nozzle 23 which can be acted upon by the pressurized process gas.
  • the nozzle 23 In longitudinal section, the nozzle 23 has a conical shape, the cross section of which the process gas flows through becoming smaller in the direction of the workpiece 15.
  • the arrangement of the nozzle 23 is selected here so that the process gas jet 25 emerging from the nozzle 23 runs coaxially with the laser beam 5.
  • the process gas jet 25 and the laser beam 5 are aligned here perpendicular to a workpiece top 27.
  • FIG. 3 shows a second exemplary embodiment of the nozzle arrangement 21, which differs from the nozzle arrangement 21 described with reference to FIG. 2 only in that the nozzle 23 is aligned with the laser beam 5 such that the process gas jet 25 flowing out of the nozzle 23 is at an angle ⁇ from approximately 90 ° to the laser beam 5 or the interaction zone.
  • the process gas jet 25 runs parallel to the flat workpiece top 27.
  • the nozzle 23 is preferably designed to be adjustable, so that an adjustment of the angle ⁇ , at which the process gas jet 25 runs with respect to the laser beam 5, can be set, namely between 0 ° and 90 ° ,
  • FIG. 4 shows a third exemplary embodiment of the nozzle arrangement 21, which has nozzles 23A and 23B, wherein the nozzle 23A corresponds in arrangement and design to the nozzle 23 described with reference to FIG. 2 and the nozzle 23B corresponds to the nozzle 23 described with reference to FIG.
  • the nozzle 23B can be adjusted relative to the nozzles 23A such that the angle ⁇ , at which the process gas jets 25 or the process gas 25 blown out of the nozzles 23B and the laser beam 5 meet, is between 0 ° and 90 ° is variable.
  • the nozzles 23A, 23B can be charged with the same process gas or with different process gases.
  • the parameters of the process gas jets which can be blown out of the nozzles 23A, 23B are preferably adjustable independently of one another, which enables an optimal adjustment of the atmosphere around the hole made in the workpiece 15 by means of the laser beam 5.
  • Laval nozzles, ring nozzles, freeforms or similar types can also be used, for example, ie the nozzle geometry described above is only one of several possible nozzle geometries.
  • Device 1 the method according to the invention can be easily implemented. It looks vox that the composition, the pressure and / or the volume flow of the process gas are / are chosen and this is supplied to the interaction zone between the laser beam and the workpiece in such a way that the hole produced by the laser beam has a desired quality, in particular - has special conicity and / or no or only slight melt burrs or melt films, without this causing the workpiece 15 to wobble and / or changing the parameters of the laser beam 5.
  • the above-mentioned device parts are preferably arranged in a fixed position with respect to the workpiece 15, at least during the production of the bore. This does not mean the optical wedge plates of the trepanning optics 9 indicated in FIG. 1, which are in rotation during the operation of the device 1.
  • FIG. 5 shows a longitudinal section through a conical hole 29 produced by means of the device 1, the largest diameter of which is approximately 100 ⁇ m.
  • the thickness D of the workpiece 15 is only relatively small and can easily be in a range between 0.2 mm and 2.0 mm.
  • the process gas supplied during the production of the hole 29 of the interaction zone between the laser beam 5 and the workpiece 15 consists of 80% argon and 20% helium. It can be seen that the hole 29 at the laser beam entry opening 31 has a diameter 0_ which is larger than the diameter 0 A at the laser beam exit opening 33.
  • the conicity factor k ((0 A - 0 E ) / 10) is approximately here -2. It can be seen that the hole 29 has practically no melt burrs and the melt film (not shown) on the hole / drill wall has only a minimal thickness.
  • FIG. 6 shows a longitudinal section through a conical hole 29, in the production of which the process gas supplied to the interaction zone between laser beam 5 and workpiece 15 consists of 20% argon and 80% helium.
  • the other process gas parameters (pressure, volume flow) and the laser beam parameters are the same as in the production of the hole 29 shown in FIG. 5.
  • the hole 29 has a significantly larger conicity factor k, which here is approximately - 1 is.
  • k conicity factor
  • the pressure and the process gas volume flow supplied to the interaction zone between laser beam 5 and workpiece 15 can also be changed accordingly.
  • the hole shown in FIG. 6 has melting ridges 35 on the upper side 27 of the workpiece, while the edge of the hole at the laser beam exit opening 33 is sharp.
  • the characteristic features of the hole can thus be precisely controlled by appropriate setting of the process gas parameters and targeted supply of process gas to the interaction zone.
  • any conicity factor (k) in the range between -3 to +3 or even in a larger range can be easily realized is by selecting an appropriate process gas composition and a targeted supply of the process gas to the interaction zone.
  • Other important parameters for setting a precise hole conicity are the pressure and the volume flow of the process gas.
  • an optical device in particular with special trepanning optics, is used to influence the laser beam, by means of which conical holes with a specific, preferably adjustable conicity factor can be produced without the process gas parameters and leadership must be varied or adjusted in a special way.
  • a conical hole with a conicity factor of 5 can be created with a specific setting of the optics.
  • FIG. 7 shows a diagram in which the hole diameter 0 E in ⁇ m (micrometer) on the left ordinate axis, the conicity factor k of the hole 29 on the right ordinate axis and the pressure p des of 50% helium and 50% oxygen existing process gas are applied in bar.
  • Several measured hole diameters 0 E and the associated conicity factor k as a function of the process gas pressure are entered in the diagram.
  • the holes were all made under the same conditions, i.e. the laser beam parameters and the composition of the process gas are the same and the way in which it was fed into the interaction zone. Only the pressure of the process gas was changed. The values determined can be found in the following table:
  • the cross-sectional shape of the bores / holes can be specifically adjusted by means of the method according to the invention.
  • melt burrs on the workpiece and melt films on lip walls on the laser beam entry side can be reduced to a low level, that perforated edge shapes can be adjusted and that postprocessing processes can be greatly simplified or, ideally, completely eliminated.
  • the above-mentioned criteria determine the hole quality, which is particularly high compared to known devices / methods by means of the device according to the invention or the method of holes.
  • the method is particularly suitable for production precision microholes with a diameter that is less than 250 ⁇ m, as are provided, for example, in nozzles in fuel injection systems.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Löchern in Werkstücken mittels mindestens eines Laserstrahls, insbesondere Kurzpuls- oder Ultrakurzpulslaserstrahls, wobei der Auftreffstelle des Laserstrahls auf dem Werkstück ein Prozessgas zugeführt wird, sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens. Es ist vorgesehen, dass mindestens ein Parameter des Prozessgases, also beispielsweise dessen Zusammensetzung, der Druck, der Volumenstrom so gewählt und das Prozessgas der Wechselwirkungszone zwischen dem Laserstrahl (5) und dem Werkstück (15) derart zugeführt wird, dass das mittels des Laserstrahls (5) hergestellte Loch (29) eine gewünschte Qualität (Lochgeometrie, reduzierte oder keine Ablationsrückstände und dergleichen) aufweist.

Description

Verfahren und Vorrichtung zum Einbringen von Löchern in Werkstücke mittels Laserstrahlen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Löchern in Werkstücken mittels mindestens eines Laserstrahls, gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1, und eine Vorrichtung zum Einbringen von Löchern in Werkstücke, gemäß Oberbegriff des Anspruchs 15.
Stand der Technik
Vorrichtungen und Verfahren der hier angesprochenen Art sind bekannt . Sie dienen zum Herstellen von präzisen Kleinstlöchern in Werkstücken mittels Laserstrahlen, wobei die Löcher einen Durchmesser kleiner als 250 μ aufweisen können.
Beim Laserstrahlbohren, insbesondere mit Kurzpulslasern, mit den bekannten Vorrichtungen in aus metallischem Werkstoff bestehenden Werkstücken bilden sich auf der Laserstrahleintrittsseite des Werkstücks Schmelzgrate, die in einem Nacharbeitsvoztr- gang entgratet werden müssen. Ferner bildet sich ±m
Loch, das heißt auf der Umfangsflache des Lochs ein Schmelzfilm, der ebenfalls nachträglich entfernt werden muss. Dabei kann es zu nicht erwünschten Ausbrüchen an den Kanten des Lochs und/oder zu e±- ner Verstopfung des Lochs kommen. Beispielweise auf dem Gebiet der Kraftstoffeinspritzung werden im zunehmenden Maße konische Löcher, beispielsweise in Düsen, dahingehend gefordert, dass in der Regel die Laserstrahleintritts - Öffnung (Kraftstoff uslauf ) einen kleineren Durchmesser als die Laserstrahlaustrittsöffnung (Kraftstoffeinlauf) aufweist. Zur Herstellung dieser Löcher mit einer gewünschten Konizität ist es bekannt, das Werkstück gegenüber dem Laserstrahl zu kippen und/oder die Bearbeitungsstrategie beziehungsweise die Parameter des Laserstrahls entsprechend einzustellen. Es hat sich gezeigt, dass die mit den bekannten Verfahren realisierbare Konizität, die über den k-Faktor definierbar ist, je nach Lochdurchmesser relativ begrenzt ist.
Vorteile der Erfindung
Das erfindungsgemäße Verfahren mit den in Anspruch 1 genannten Merkmalen weist demgegenüber den Vorteil auf, dass aufgrund der gezielten Einstellung mindestens eines Prozessgasparameters, insbesondere der Zusammensetzung, des Drucks und/oder des Volumenstroms des Prozessgases und einer speziellen ProzessgasZuführung die Herstellung einer gewünschten Lochqualität möglich ist. Hierzu ist es nicht erforderlich, die Laserstrahlparameter zu ändern oder das Werkstück gegenüber dem Laserstrahl zu verkippen. Im Zusammenhang min der hier vorliegenden Erfindung bestimmen zumindest die Folgenden Kriterien die "Qualität:" des Lochs: Die Form des Lochs und -bei aus mindestens einem metallischen
Werkstoff bestehenden Werkstücken- die Ablationsruckstande. Unter Ablationsrückständen werden insbesondere Schmelzgrate ( "Schmelztürmchen" ) auf der laserstrahleintrictsseitigen Werkstückfläche und der Schmelzfilm an den Lochwänden beziehungsweise der Lochwand verstanden. Es hat sich gezeigt, dass sich mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens Schmelzgrade vollständig vermeiden lassen und der sich bildende Schmelzfilm nur eine sehr geringe Dicke aufweist. Die Ablationsruckstande lassen sich also vermeiden beziehungsweise auf zumindest ein unschädliches Maß reduzieren, so dass die Nachar- beitung des Lochs reduziert beziehungsweise vereinfacht oder gegebenenfalls ganz darauf verzichtet werden kann. Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht ferner eine gezielte Beeinflussung der Lochform. Es sind sowohl Löcher mit kreisrundem Quer- schnitt, der über die gesamte Länge des Lochs konstant oder im Wesentlichen konstant ist, und auch Löcher mit einer gewünschten Konizität realisierbar. Die "konischen" Löcher weisen vorzugsweise einen kreisrunden Querschnitt auf, wobei sich deren Durchmesser über die Länge des Lochs ändert. Dadurch, dass sich durch das Verfahren zumindest die vorstehend genannten Lochformen realisieren lassen, wobei Ablationsruckstande vermieden beziehungsweise deutlich reduziert werden, ist eine kostengünstige Herstellung eines Lochs oder mehrere dieser Löcher möglich. Ferner hat sich gezeigt, dass sich die Bearbeitungszeiten gegenüber bekannten Verfahren verkürzen lassen.
Das dem erfindungsgemäßen Verfahren zu Grunde lie- gende Prinzip beruht darauf, dass das der Wechselwirkungszone zwischen dem Laserstrahl und dem Werkstück zugeführte Prozessgas die Eigenschaften des Materialdampf-Plasmagemisches und damit die Wech- selwirkung zwischen Laserstrahl und Werkstück bestimmt. Durch verdampfendes Material des Werkstücks wird die das Loch umgebende Atmosphäre komprimiert, so dass sich eine starke Stoßwelle ausbilden kann, die beispielsweise bei der Bearbeitung des Werkstücks mit einem Kurzpulslaser eine Ausbreitungsgeschwindigkeit von bis zu mehreren 10 km/s erreichen kann. Die Stoßwelle bildet eine Barriere für das vom Werkstück abdampfende Material, wobei der Druck, die Dichte und die Temperatur und damit auch der Ionisationsgrad und das Absorptionsvermögen im Materialdampf-Plasmagernisch mit den Eigenschaf en der Stoßwelle zusammenhängen. Die Ausbreitungsgeschwindigkeit der Stoßwelle und deren thermodynami- sehen Eigenschaften sind wiederum eine Funktion der das Loch umgebenden Atmosphäre. Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens lassen sich solche atmosphärische Bedingungen um das Loch schaffen, dass sich die obengenannten Vorteile realisieren lassen.
Besonders bevorzugt wird eine Ausführungsform des Verfahrens, das sich dadurch auszeichnet, dass vorzugsweise für jeden speziellen Anwendungsfall die Zusammensetzung, der Druck und/oder der der Wechselwirkungszone zugeführte Volumenstrom des Pro- zessgases und/oder die Zuführstrategie (Prozessgasführung) in Abhängigkeit mindestens eines charakteristischen Merkmals des Lochs, beispielsweise des Lochdurchmessers, der gewünschten Konizität, einer definierten Verrundung mindestens eines der Loch- ränder beziehungsweise -kanten und dergleichen, und/oder wenigstens eines charakteristischen Merkmals des Werkstücks, beispielsweise die Wandstärke, das Werkstückmaterial und dergleichen, eingestellt werden/wird. Dabei müssen die Parameter des Prozessgases während der Herstellung eines Lochs nicht zwingend konstant sein, sondern können -wie bei einer vorteilhaften Ausführungsvariante vorgesehen- auch gesteuert, vorzugsweise zeitlich gesteuert werden. So ist beispielsweise ein "Vorbohren" des Lochs mit einem aus Helium bestehenden Prozessgas und ein anschließendes "Nachbohren/Aufbohren" mit einem aus Argon bestehenden Prozessgas möglich.
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens ist vorgesehen, dass der Laserstrahl ein Kurzpulslaserstrahl (ns-Pulse) mit einer Pulsdauer von vorzugsweise kleiner 100 ns oder ein Ultrakurz- pulslaserstrahl (fs/ps-Pulse) ist. Selbstverständ- lieh können zur Realisierung des Verfahrens auch andere Laserkonzepte Anwendung finden.
In bevorzugter Ausführungsform ist vorgesehen, dass ein Loch mit einer gewünschten Konizität hergestellt wird, wobei der Konizitäts-Faktor (k) des Lochs durch eine entsprechende Prozessgasführung und Einstellung der Prozessgasparameter variierbar ist. Es hat sich gezeigt, dass sich ohne weiteres Löcher mit einem Konizitäts-Faktor k von -3 bis +3 herstellen lassen. Mittels dem erfindungsgemäßen Verfahren lassen sich jedoch auch Konizitäts-
Faktoren realisieren, die größer als +/- 3 sind. Der Konizitäts-Faktor k ist folgendermaßen definiert :
(0A - 0E)/1O
wobei 0A der Durchmesser der Laseraustrittsöffnung und 0E der Durchmesser der Lasereintrittsöff ung ist und die Dimensionen der Durchmesser μm (Mikrometer) sind.
Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens lässt sich für Löcher mit einem Durchmesser von kleiner 250 μm und für Wandstärken des Werkstücks von in etwa 0,2 mm bis 2 mm praktisch jede gewünschte Konizität einstellen, wobei der Konizitäts-Faktor k beispielsweise in einem Bereich von -3 bis +3 liegen kann.
Das während der Herstellung zur Anwendung kommende mindestens eine Prozessgas besteht aus wenigstens einem Gas, beispielsweise Helium (He) , Sauerstoff (02) , Argon (Ar) oder Stickstoff (N2) - Das Prozessgas kann jedoch auch aus mehreren, insbeson- dere aus den vorstehend genannten Gasen bestehen, die zusammengemischt werden, vorzugsweise bevor sie der Wechselwirkungszone zugeführt werden beziehungsweise bevor die Wechselwirkungszone erreicht wird. Sofern das Prozessgas aus mehreren Gasen zu- sammengemischt wird, kann der Anteil jedes der Gase am Prozessgas zwischen 0% und 100% betragen, wobei die Summe der Anteile aller Gase des Prozessgases 100% beträgt. Da verschiedene Gase unterschiedliche physikalische Eigenschaften aufweisen, wird das Prozessgas aus verschiedenen Gasen in einem bestimmten Mischungsverhältnis zusammengemischt, so dass sich eine gewünschte Atmosphäre um das mittels des Laserstrahls zu bohrende Loch einstellen lässt, bei der sich eine gewünschte Lochform, beispiels- weise Lochkonizität ergibt und vorzugsweise Schmelzgrace und die Schmelzschicht an den Lochwänden bei der Lasermaterialbearbeitung von metallischen Werkstoffen minimiert oder beseitigt werden. Es hat sich als vorteilhaft; herausgestellt, wenn der der Wechselwirkungszone zugeführte Volumenstrom in einem Bereich von in etwa 0,8 Nl/min bis 270 Nl/min und der Druck des Prozessgases in einem Bereich von 0,1 bar bis 20 bar, vorzugsweise von 0,3 bar bis 15 bar, insbesondere von 0,5 bar bis 10 bar, liegt.
Weitere vorteilhafte Ausführungsformen des Verfahrens ergeben sich aus Kombinationen der in den Un- teransprüchen genannten Merkmale.
Der Gegenstand der Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung mit den in Anspruch 15 genannten Merkmalen, die insbesondere zur Durchführung des Verfahrens gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14 geeignet ist. Sie umfasst eine Laserstrahlguelle zum Erzeugen mindestens eines auf das Werkstück richtbaren Laserstrahls und eine Düsenanordnung, die mindestens eine mit wenigstens einem unter Druck stehenden Prozessgas beaufschlagbare Düse aufweist, wobei der aus der Düse austretende Gasstrahl in Richtung auf die Auftreffstelle des Laserstrahls an dem Werkstück beziehungsweise in die Wechselwirkungszone zwischen Laserstrahl und Werkstück richtbar ist. Die Vorrichtung zeichnet sich durch eine Einrich- tung zur Einstellung der Zusammensetzung, des Druckes und/oder der der Auftreffstelle zugeführten Menge des Prozessgases aus. Durch die Verwendung eines für den jeweiligen Anwendungsfall geeigneten Prozessgases und/oder der gezielten Einstellung des Prozessgasdrucks und/oder -volumenstroms können
Lochkonizitäten variiert beziehungsweise gezielt eingestellt werden, ohne dass die Parameter des Laserstrahls verstellt werden müssen. Ferner können bei metallenen Werkstücken Schmelzgrate beziehungsweise Schmelzfilme an der Lochwand minimiert, vorzugsweise vollständig beseitigt werden.
Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgese- hen, dass die Einrichtung mindestens eine Mischeinrichtung zum Mischen des Prozessgases und mindestens eine mit der Düse strömungstechnisch verbundene Zuführleitung zum Zuführen des gemischten Prozessgases aufweist . Das Prozessgas wird also zusam- mengemischt, bevor es die Wechselwirkungszone zwischen Laserstrahl und Werkstück erreicht. Die Mischeinrichtung weist vorzugsweise eine Steuerung zur Einstellung der Prozessgasparameter (Zusammensetzung, Druck, Volumenstrom) auf.
Weitere vorteilhafte Ausführungsformen der Vorrichtung ergeben sich aus Kombinationen der in den Unteransprüchen genannten Merkmale .
Zeichnungen
Die Erfindung wird nachfolgend in mehreren Ausfüh- rungsbeispielen anhand der zugehörigen Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Figur 1 eine Prinzipskizze des Aufbaus eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Vorrichtung;
Figuren jeweils ein Ausführungsbeispiel einer Dü- 2 bis 4 senanordnung zum Zuführen von Prozessgas;
Figuren jeweils einen Querschnitt durch ein mit- 5 und 6 tels eines Laserstrahls hergestellten Lochs unter Verwendung verschiedener Prozessgase; und
Figur 7 ein Diagramm, in dem der laserstrahlein- trittsseitige Lochdurchmesser und der Ko- nizitäts-Faktor k als Funktion des Prozessgasdrucks aufgetragen sind.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
In Figur 1 ist in schematischer Darstellung der Aufbau eines Ausführungsbeispiels einer Vorrichtung 1 zum Einbringen von Löchern in Werkstücke gezeigt . Die Vorrichtung 1 umfasst eine Laserstrahlquelle 3, mittels derer sich Kurzpuls- oder Ultrakurzpulslaserstrahlen erzeugen lassen, die im Folgenden kurz als Laserstrahlen 5 bezeichnet werden. Im Strahlen- gang des Lasers befinden sich eine Aufweitungsopt ik 7, eine Trepanieroptik 9 und eine Fokussieropt ik 11. Im Bereich zwischen der Trepanieroptik 9 und der Fokussieroptik 11 wird der Laserstrahl 5 mittels eines Umlenkungsspiegels 13 hier beispielhaft um 90° umgelenkt. Bei einem anderen, in den Figuren nicht dargestellten Ausführungsbeispiel der Vorrichtung 1 ist im Strahlengang keine Aufweitungsop- tik 7 angeordnet.
In Figur 1 ist ein Werkstück 15 gezeigt, auf das der Laserstrahl 5 gerichtet ist, um ein Loch, insbesondere ein Durchgangsloch, mit einer präzisen Konizität zu bohren. Das Werkstück 15 ist -in Richtung des Strahlengangs des Laserstrahls 5 gesehen- der Fokussieroptik nachgeordnet. Um die Stelle des Werkstücks 15, an der das Loch gebohrt werden soll, exakt im Strahlengang des Laserstrahls 5 anzuord- nen, ist eine nicht dargestellte Stelleinrichtung zur Positionierung des Werkstücks 15 vorgesehen, mittels derer das Werkstück 15 -wie mit Pfeilen angedeutet- in x-, y- und z-Richtung verstellbar ist.
Die Vorrichtung 1 weist ferner eine Einrichtung 16 zur Einstellung der Zusammensetzung des Prozessgases auf, die eine Mischeinrichtung 17 mit einer Steuerung zum Mischen des Prozessgases umfasst. Das Prozessgas besteht vorzugsweise aus mindestens ei- nem der folgenden Gase oder einer Mischung aus denselben: Helium, Sauerstoff, Argon und Stickstoff. In der Mischeinrichtung 17 können diese Gase und gegebenenfalls noch weitere geeignete Gase in einem bestimmten, vorwählbaren Verhältnis zusammenge- mischt werden. Der Anteil jedes der Gase am Prozessgas kann zwischen 0% und 100% betragen, sofern das Prozessgas ein Mischgas ist. Der der Wechselwirkungszone zwischen Laserstrahl 5 und Werkstück 15 zugeführte Prozessgas-Volumenstrom liegt vor- zugsweise in einem Bereich von in etwa 0,8 Nl/min bis 270 Nl/min (Normliter/Minute) . Der Prozessgas- Druck liegt vorzugsweise zwischen 0,1 bar und 20 bar, insbesondere zwischen 0,5 bar und 10 bar.
Das Prozessgas wird über eine Zuführleitung 19 ei- ner mindestens eine Düse umfassenden, in Figur 1 nicht dargestellten Düsenanordnung zugeführt . Mit Hilfe der Einrichtung 16 können/kann der Druck und/oder die der Wechselwirkungszone zwischen Laserstrahl 5 und Werkstück 15 zugeführte Menge des Prozessgases eingestellt werden. Eine zeitliche Steuerung der Prozessgasparameter ist ohne weiteres realisierbar. So ist beispielsweise ein Vorbohren mit Helium und ein anschließendes Nachbohren mit Argon möglich.
Figur 2 zeigt in schematischer Darstellung einen Ausschnitt eines ersten Ausführungsbeispiels der Düsenanordnung 21, die eine mit dem unter Druck stehenden Prozessgas beaufschlagbare Düse 23 umfasst. Die Düse 23 weist im Längsschnitt eine konische Form auf, wobei deren vom Prozessgas durch- strömter Querschnitt in Richtung auf das Werkstück 15 kleiner wird. Die Anordnung der Düse 23 ist hier so gewählt, dass der aus der Düse 23 austretende Prozessgasstrahl 25 koaxial zum Laserstrahl 5 verläuft. Der Prozessgasstrahl 25 und der Laserstrahl 5 sind hier senkrecht gegenüber einer Werkstück- oberseite 27 ausgerichtet.
Figur 3 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der Düsenanordnung 21, die sich von der anhand der Figur 2 beschriebenen Düsenanordnung 21 lediglich dadurch unterscheidet, dass die Düse 23 so gegenüber dem Laserstrahl 5 ausgerichtet ist, dass der aus der Düse 23 ausströmende Prozessgasstrahl 25 unter einem Winkel α von in etwa 90° dem Laserstrahl 5 beziehungsweise der Wechselwirkungszone zugeführt wird. Der Prozessgasstrahl 25 verläuft hier paral- lel zur ebenen Werkstückoberseite 27. Die Düse 23 ist vorzugsweise verstellbar ausgebildet, so dass eine Einstellung des Winkels α, unter dem der Prozessgasstrahl 25 gegenüber dem Laserstrahl 5 verläuft, einstellbar ist und zwar zwischen 0° und 90°.
Figur 4 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel der Düsenanordnung 21, die Düsen 23A und 23B aufweist, wobei die Düse 23A in Anordnung und Ausgestaltung der anhand der Figur 2 beschriebenen Düse 23 und die Düse 23B der anhand der Figur 3 beschriebenen Düse 23 entsprechen. Wie mit einem Doppelpfeil an- gedeutet, ist die Düse 23B so gegenüber der Düsen 23A verstellbar, dass der Winkel α, unter dem die Prozessgasstrahlen 25 beziehungsweise der aus der Düsen 23B ausgeblasene Prozessgas 25 und der Laserstrahl 5 aufeinander treffen, zwischen 0° und 90° variierbar ist. Die Düsen 23A, 23B können mit dem gleichen Prozessgas oder aber mit unterschiedlichen Prozessgasen beaufschlagt werden. Vorzugsweise sind die Parameter der aus den Düsen 23A, 23B ausblasba- ren Prozessgasstrahlen unabhängig voneinander ein- stellbar, was eine optimale Einstellung der Atmosphäre um das mittels des Laserstrahls 5 in das Werkstück 15 eingebrachte Loch ermöglicht.
Alternativ zu den anhand der Figuren beschriebenen Düsen mit konischem Querschnitt können beispiels- weise auch Laval-Düsen, Ringdüsen, Freiformen oder ähnliche Arten ebenfalls eingesetzt werden, das heißt, die vorstehend beschriebenen Düsengeometrie ist nur eine von mehreren möglichen Düsengeometrien.
Mit der anhand der Figuren 1 bis 4 beschriebenen
Vorrichtung 1 lässt sich das erfindungsgemäße Verfahren ohne weiteres realisieren. Es sieht vox, dass die Zusammensetzung, der Druck und/oder der Volumenstrom des Prozessgases so gewählt wer- den/wird und dieses der Wechselwirkungszone zwischen dem Laserstrahl und dem Werkstück derart zugeführt wird, dass das mittels des Laserstrahls hergestellte Loch eine gewünschte Qualität, insbe- sondere Konizität und/oder keine beziehungsweise nur geringe Schmelzgrate oder Schmelzfilme, aufweist, ohne dass hierzu das Werkstück 15 in eine Taumelbewegung versetzt und/oder die Parameter des Laserstrahls 5 verändert werden müssen. Vorzugsweise sind die obengenannten Vorrichtungsteile zumindest während der Herstellung der Bohrung in einer feststehenden Position gegenüber dem Werkstück 15 angeordnet. Hierunter sind nicht die optischen Keilplatten der in Figur 1 angedeuteten Trepanieroptik 9 zu verstehen, die sich während des Betriebs der Vorrichtung 1 in Rotation befinden.
In Figur 5 ist ein Längsschnitt durch ein mittels der Vorrichtung 1 erzeugten konischen Lochs 29 dar- gestellt, dessen größter Durchmesser in etwa 100 μm beträgt. Die Dicke D des Werkstücks 15 ist nur relativ gering und kann ohne weiteres in einem Bereich zwischen 0,2 mm und 2,0 mm liegen. Das während der Herstellung des Lochs 29 der Wechselwir- kungszone zwischen Laserstrahl 5 und Werkstück 15 zugeführte Prozessgas besteht aus 80% Argon und 20% Helium. Es ist ersichtlich, dass das Loch 29 an der Laserstrahleintrittsöffnung 31 einen Durchmesser 0_ aufweist, der größer ist als der Durchmesser 0A an der Laserstrahlaustrittsöffnung 33. Der Konizitäts- Faktor k ( (0A - 0E)/1O) beträgt hier in etwa -2. Es ist ersichtlich, dass das Loch 29 praktisch keine Schmelzgrate und der nicht dargestellte Schmelzfilm an der Loch-/Bohrwand nur eine minimale Dicke auf- weist. Die Lochränder am Laserstrahleintritt und
-austritt weisen jeweils eine relativ scharfe Kante auf. Durch eine entsprechende Änderung der Prozessgasparameter und/oder der Zusammensetzung des Pro- zessgases können auch verrundete Lochkanten realisiert werden.
In Figur 6 ist ein Längsschnitt durch ein konisches Loch 29 gezeigt, bei dessen Herstellung das der Wechselwirkungszone zwischen Laserstrahl 5 und Werkstück 15 zugeführte Prozessgas aus 20% Argon und 80% Helium besteht. Die übrigen Prozessgasparameter (Druck, Volumenstrom) und die Laserstrahlparameter sind die gleichen wie bei der Herstellung des in Figur 5 dargestellten Lochs 29. Es ist ohne weiteres ersichtlich, dass das Loch 29 einen deutlich größeren Konizitäts-Faktor k aufweist, der hier in etwa -1 beträgt. Das bedeutet, dass die Konizität des Lochs 29 ausschließlich aufgrund der Änderung der Zusammensetzung des Prozessgases beziehungsweise der Höhe der Volumenanteile der zum Prozessgas zusammengemischten Gase unterschiedlich ist. Die Lochkonizität ist also gezielt, ausschließlich durch die Zusammensetzung des Prozess- gases variierbar. Darüber hinaus ist auch eine gezielte Zuführung des Prozessgases an die Wechselwirkungszone erforderlich, wie sie beispielsweise anhand der Figuren 1 bis 4 beschrieben ist. Um eine noch präzisere Einstellung der Lochkonizität zu er- möglichen, kann bei dieser Ausführungsvariante gegebenenfalls auch noch der Druck und der der Wechselwirkungszone zwischen Laserstrahl 5 und Werkstück 15 zugeführte Prozessgasvolumenstrom entsprechend verändert werden.
Das in Figur 6 dargestellte Loch weist im Gegensatz zu dem in Figur 5 gezeigten Loch 29 auf der Werkstückoberseite 27 Schmelzgrate 35 auf, während der Lochrand an der Laserstrahlaustrittsöffnung 33 scharfkantig ist. Durch eine entsprechende Einstellung der Prozessgasparameter und gezielte Prozessgaszuführung an die Wechselwirkungszone können also die charakteristischen Merkmale des Lochs (Konizi- tat, Durchmesser, Lochrand scharfkantig oder verrundet, und dergleichen) exakt gesteuert werden.
Festzuhalten bleibt, dass bei Löchern mit einem Durchmesser kleiner 250 μm und bei einer Wanddicke D des Werkstücks 15 kleiner oder gleich 2 mm ohne weiteres jeder beliebige Konizitäts-Faktor (k) im Bereich zwischen -3 bis +3 oder auch in einem größeren Bereich realisierbar ist, indem eine entsprechende Prozessgaszusammensetzung gewählt und eine gezielte Zuführung des Prozessgases an die Wechselwirkungszone erfolgt. Weitere wichtige Parameter zur Einstellung einer präzisen Lochkonizität sind der Druck und der Volumenstrom des Prozessgases .
Bei einem vorteilhaften Ausführungsbeispiel der er- findungsgemäßen Vorrichtung ist eine optische Einrichtung, insbesondere mit einer speziellen Trepanieroptik, zur Beeinflussung des Laserstrahls eingesetzt, mittels derer allein schon konische Löcher mit einem bestimmten, vorzugsweise einstellbaren Konizitäts-Faktor herstellen lassen, ohne dass dazu die Prozessgasparameter und -führung in spezieller Weise variiert beziehungsweise eingestellt werden müssen. Beispielsweise kann mit einer bestimmten Einstellung der Optik ein konisches Loch mit einem Konizitäts-Faktor von 5 erzeugt werden. Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens, das eine gezielte Beeinflussung mindestens eines Prozessgasparameters und eine spezielle Zuführung des Prozessgases zur Wechselwirkungszone vorsieht, lässt sich nun in vorteilhafter Weise dieser Konizitäts-Faktor von 5, vorzugsweise sehr genau, vergrößern und verkleinern, beispielsweise auf 5,4 oder 3,7 oder 7,8. Mit anderen Worten, es ist eine Feineinstellung der durch die Laserstrahlparameter realisierten beziehungsweise bestimmten Lochkonizität möglich, ohne dass dazu die Laserstrahlparameter verändert werden müssen.
Figur 7 zeigt ein Diagramm, in dem auf der linken Ordinatenachse der laserstrahleintrittsseitige Lochdurchmesser 0E in μm (Mikrometer) , auf der rechten Ordinatenachse der Konizitäts-Faktor k des Lochs 29 und auf der Abszissenach.se der Druck p des aus 50% Helium und 50% Sauerstoff bestehenden Prozessgases in bar aufgetragen sind. In dem Diagramm sind mehrere gemessene Lochdurchmesser 0E und der jeweils zugehörige Konizitäts-Faktor k als Funktion des Prozessgasdrucks eingetragen. Die Löcher wurden alle unter gleichen Bedingungen hergestellt, das heißt, die Laserstrahlparameter und die Zusammensetzung des Prozessgases sind gleich sowie die Weise, wie es der Wechselwirkungszone zugeführt wurde. Lediglich der Druck des Prozessgases wurde verän- dert . Die ermittelten Werte sind der folgenden Tabelle zu entnehmen:
Figure imgf000018_0001
Figure imgf000019_0001
Die Tabellenwerte zeigen, dass nur durch variieren des Prozessgasdrucks, also bei gleicher Zusammensetzung des Prozessgases deutlich unterschiedliche Lochkonizitäten und Lochdurchmesser herstellbar sind.
Zusammenfassend bleibt festzuhalten, dass mittels dem erfindungsgemäßen Verfahren die Querschnitts- form der Bohrungen/Löcher (beispielsweise konisch oder mit konstantem Querschnitt über seine gesamte Länge) gezielt einstellbar ist. Besonders hervorzuheben ist, dass laserstrahleintrittsseitige Schmelzgrate auf dem Werkstück und Schmelzfilme an Lpchwänden auf ein niedriges Maß gesenkt werden können, dass Lochkantenformen einstellbar sind und dass Nachbearbeitungsprozesse stark vereinfacht werden können oder im Idealfall ganz entfallen können. Insbesondere die vorstehend genannten Kriterien bestimmen die Lochqualität, die mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung beziehungsweise dem Verfahren hergestellten Löchern gegenüber bekannten Vorrichtungen/Verfahren besonders hoch ist . Das Verfahren eignet sich insbesondere zur Herstellung von Präzisionsmikrolöchern mit einem Durchmesser, der kleiner 250 μm ist, wie sie beispielsweise bei Düsen in Kraftstoffeinspritzsystemen vorgesehen sind. Mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung und dem damit realisierbaren Verfahren sind auch konische Löcher mit größerem Durchmesser präzise herstellbar.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum Herstellen von Löchern (29) in Werkstücken (15) mittels mindestens eines Laserstrahls (5) , insbesondere Kurzpuls- oder Ultrakurz - pulslaserstrahl, wobei der Auftreffstelle des Läserstrahls (5) auf dem Werkstück (15) mindestens ein Prozessgas zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Parameter des Prozessgases so gewählt und das Prozessgas der Wechselwirkungs- zone zwischen dem Laserstrahl (5) und dem Werkstück (15) derart zugeführt wird, dass das mittels des Laserstrahls (5) hergestellte Loch (29) eine gewünschte Qualität aufweist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zusammensetzung, der Druck und/oder der der Wechselwirkungszone zugeführte Volumenstrom des Prozessgases und/oder die Prozessgaszuführung in Abhängigkeit mindestens eines charakteristischen Merkmals des Lochs (29) und/oder wenigstens eines charakteristischen Merkmals des Werkstücks (15) eingestellt werden/wird.
3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einer der Parameter des Prozessgases während der Herstellung des Lochs (29) gesteuert, vorzugsweise zeitlich gesteuert wird.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche , dadurch gekennzeichnet, dass ein Loch (29) mit einer gewünschten Konizität hergestellt wird, wobei der Konizitäts-Faktor (k) des Lochs durch eine ent- sprechende Prozessgasführung und Einstellung der Prozessgasparameter variierbar ist .
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche , dadurch gekennzeichnet, dass Löcher mit einem Durchmesser von kleiner 250 μm, insbesondere klei- ner 120 μm, hergestellt werden.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Parameter des Laserstrahls (5) zur Herstellung von Löchern (29) mit unterschiedlicher Konizität gleich sind.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Prozessgas aus wenigstens einem Gas, vorzugsweise aus vier verschieden Gasen besteht .
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprü- ehe, dadurch gekennzeichnet, dass das Prozessgas aus Helium (He) , Sauerstoff (02) , Argon (Ar) und/oder Stickstoff (N2) besteht beziehungsweise zusammengemischt ist.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeich- net, dass der Anteil jedes der Gase am Prozessgas zwischen 0% und 100% betragen kann, wobei die Summe der Anteile aller Gase des Prozessgases 100% beträgt .
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Zusammenmischen des sich aus mehreren Gasen zusammensetzenden Prozessgases vor seinem Erreichen der Wechselwir- kungszone erfolgt .
11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der der Wechsel - wirkungszone zugeführte Prozessgasvolumenstrom in einem Bereich von in etwa 0,8 Nl/min bis 270 Nl/min liegt.
12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck des Prozessgases in einem Bereich von 0,1 bar bis 20 bar, vorzugsweise von 0,3 bar bis 15 bar, insbe- sondere von 0,5 bar bis 10 bar, liegt.
13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Prozessgasstrahl (25) koaxial zum Laserstrahl (5) verläuft oder diesem unter einem Winkel α zugeführt wird, der in einem Bereich von 0° bis 90° liegt.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche '1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, 'dass der Wechselwirkungszone mehrere Prozessgasstrahlen (25) zugeführt werden, wobei ein erster Prozessgasstrahl (25) koaxial zum Laserstrahl (5) verläuft und ein zweiter Prozessgasstrahl (25) unter einem Winkel α zum Laserstrahl (5) gerichtet ist, der in einem Bereich von 0° und 90° liegt.
15. Vorrichtung (1) zum Einbringen von Löchern (29) in Werkstücke (15), mit einer Laserstrahlquelle (3) zum Erzeugen mindestens eines auf das Werkstück (15) richtbaren Laserstrahls (5) , insbesondere Kurzpulslaserstrahl oder Ultrakurzpulslaserstrahl, und einer Düsenanordnung (21) , die mindestens eine mit wenigstens einem unter Druck stehenden Prozess- gas beaufschlagbare Düse (23 ; 23A, 23B) aufweist, wobei der aus der Düse (23 ; 23A, 23B) austretende Gasstrahl (25) in Richtung auf die Auftreffstelle des Laserstrahls (5) an dem Werkstück (15) richtbar ist, insbesondere zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 14, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (16) zur Einstellung der Zusammensetzung, des Druckes und/oder der der Auftreffstelle zugeführten Menge des Prozessgases.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Einstellung der mittels der Einrichtung (16) einstellbaren Prozessgasparameter zeitlich steuerbar ist.
17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An- sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Prozessgas aus wenigstens einem Gas, vorzugsweise aus. vier verschieden Gasen besteht .
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass das Prozessgas aus Helium (He) , Sau- erstoff (02) , Argon (Ar) und/oder Stickstoff (N2) besteht beziehungsweise zusammengemischt ist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Anteil jedes der Gase am Prozessgas zwischen 0% und 100% betragen kann, wobei die Summe der Anteile aller Gase des Prozessgases
100% beträgt.
20. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der der Düse (23 ; 23A, 23B) zugeführte Volumenstrom in einem Bereich von in etwa 0,8 Nl/min bis 270 Nl/min liegt.
21. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Druck des Prozessgases in einem Bereich von 0,1 bar bis 20 bar, vorzugsweise von 0,3 bar bis 15 bar, insbesondere von 0,5 bar bis 10 bar, liegt.
22. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (16) mindestens eine Mischeinrichtung (17) zum Mischen des Prozessgases und mindestens eine mit der Düse (23 ; 23A, 23B) strömungstechnisch verbundene Zuführleitung (19) zum Zuführen des gemischten Prozessgases aufweist.
23. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der aus der Düse (23;23A) austretende Prozessgasstrahl (25) ko- axial zum Laserstrahl (5) verläuft und vorzugsweise orthogonal oder im Wesentlichen orthogonal auf die Werkstückoberfläche (27) auftrifft.
24. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 15 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass der aus der Düse (23;23B) austretende Prozessgasstrahl (25) senkrecht zum Laserstrahl (5) gerichtet ist oder in einem spitzen Winkel α zum Laserstrahl (5) verläuft .
25. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An- sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Düsenan- ordnung mindestens zwei Düsen (23A,23B) umfasst, wobei der aus einer ersten Düse (23A) austretende Prozessgasstrahl (25) koaxial zum Laserstrahl (5) verläuft und der aus einer zweiten Düse (23B) austretende Prozessgasstrahl (25) unter einem Winkel zum Laserstrahl (5) verläuft, der in einem Bereich von 0° bis 90° liegt.
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