WO2002102725A1 - Materiau a base de verre et son procede de fabrication - Google Patents

Materiau a base de verre et son procede de fabrication Download PDF

Info

Publication number
WO2002102725A1
WO2002102725A1 PCT/JP2002/003863 JP0203863W WO02102725A1 WO 2002102725 A1 WO2002102725 A1 WO 2002102725A1 JP 0203863 W JP0203863 W JP 0203863W WO 02102725 A1 WO02102725 A1 WO 02102725A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
glass
base material
heating
chlorine
gas
Prior art date
Application number
PCT/JP2002/003863
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Tomohiro Ishihara
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries, Ltd. filed Critical Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Priority to JP2003505277A priority Critical patent/JP4165397B2/ja
Priority to US10/344,349 priority patent/US20040007026A1/en
Priority to EP02722704A priority patent/EP1405830A4/en
Publication of WO2002102725A1 publication Critical patent/WO2002102725A1/ja

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00—Type of glass produced
    • C03B2201/06—Doped silica-based glasses
    • C03B2201/20—Doped silica-based glasses doped with non-metals other than boron or fluorine

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a glass preform and a method for manufacturing an optical fiber preform through synthesis of a glass particle deposit by an OVD method, particularly for an optical fiber in which metal-based foreign matter is reduced.
  • a method for manufacturing a glass preform and a method for manufacturing an optical fiber preform through synthesis of a glass particle deposit by an OVD method, particularly for an optical fiber in which metal-based foreign matter is reduced.
  • VAD method and a 0VD method have been known as methods for producing a glass particle deposit. These synthesis methods are based on supplying glass raw material gas and combustion gas to a burner for synthesizing glass fine particles, and hydrolyzing or oxidizing the glass raw material in an oxyhydrogen flame to generate glass fine particles.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-1693955 discloses a means for removing metallic foreign matter in a glass fine particle deposit (core / cladding).
  • the metal impurities in the raw material are removed by filtering the raw material gas of the glass fine particles, but in this case, the metallic foreign matter contained in the atmosphere for producing the glass fine particle deposits is contained in the glass fine particle deposit. It was not possible to prevent mixing.
  • 2000-63147 discloses a method of manufacturing a quartz-based optical fiber preform, in which a step in a radial chlorine concentration distribution becomes 0.1% by weight or less as a chlorine concentration. It is disclosed that the optical fiber preform having desired characteristics can be obtained.
  • the glass clad with the second clad is dehydrated in a sintering reactor at 1470 ° C in an atmosphere of a mixture of inert gas and chlorine gas (chlorine gas concentration: 16 mol%).
  • chlorine gas is dropped to form vitreous glass, the effect of reducing metallic foreign substances in the glass fine particle deposit is insufficient.
  • the present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and by adding a chlorine-based gas to the atmosphere in a furnace tube during a transparent vitrification process, metal-based foreign matters in a glass fine particle deposit can be efficiently reduced.
  • the aim is to provide a high-purity, high-quality glass base material.
  • the present inventors have conducted studies to reduce the metallic foreign matter taken into the glass fine particle deposit by heating, and as a result, added a chlorine-based gas to the atmosphere in the furnace tube during the transparent vitrification process.
  • a chlorine-based gas includes chlorine gas and chlorine compound gas. It is considered that the mechanism for removing the metallic foreign matter is that the metallic foreign matter in the glass fine particle deposit is easily chlorinated by exposing the glass fine particle deposit to a high-temperature chlorine atmosphere, and is volatilized and removed.
  • the above object of the present invention can be achieved by the following inventions or embodiments.
  • heat temperature means “heat outside surface temperature at the center position of the heater”.
  • the glass fine particle deposit is formed by forming a glass fine particle deposit for forming a cladding layer on the surface of a core rod, and is formed on a core / cladding surface having a part of the cladding layer formed on the core rod surface. Furthermore, it refers to the one in which a glass fine particle deposit for forming a cladding layer (jacket layer) is formed.
  • the first aspect of the present invention is characterized by including a heating step of making the glass fine particle deposit transparent in a gas atmosphere containing chlorine, that is, in an atmosphere containing a chlorine-based gas.
  • the heating step includes a first step of exposing the glass particle deposit to a gas atmosphere containing a chlorine-based gas serving as a dehydrating agent to adsorb the glass particle deposit or dehydrate water contained in the glass particle deposit.
  • a second heat treatment step of, after the first heat treatment step, making the glass fine particle deposit transparent in a gas atmosphere containing a chlorine-based gas.
  • the heating step includes a third heat treatment step of heating in a gas atmosphere containing a chlorine-based gas between the first heat treatment step and the second heat treatment step.
  • the heat treatment step includes a third heat treatment step of heating the glass fine particle deposit in a gas atmosphere containing a chlorine-based gas prior to the transparency.
  • the heating step includes a step of heating while sequentially moving the glass fine particle deposit in the longitudinal direction.
  • the heating step includes, in at least one of the heat treatment steps, a step of exposing and heating the glass particle deposit in an atmosphere in a furnace core tube containing a chlorine-based gas.
  • the heat treatment is performed so that the residual chlorine concentration in the clad portion of the glass base material which has been made transparent in the heating step is 0.20% by weight or more. Since the residual chlorine concentration is determined by the chlorine concentration, the heating temperature, and the heating time in the furnace tube, it is desirable to adjust these conditions.
  • the first heat treatment step is a step in which heating is performed so that the heating temperature is 1000 to 1350 ° C.
  • the second heat treatment step is a step of heating the mixture so that the temperature of the mixture becomes 1450 to 1600 ° C.
  • the third heat treatment step is characterized in that the heating temperature is 1350 to 1450 ° C.
  • the heating step is performed in an atmosphere containing gas.
  • SLM input amount
  • the average bulk density of the soot glass deposit body is 0. 4g / cm 3 ⁇ l. 0 g / cm 3.
  • the average bulk density of the glass particle deposit is 0.4 g / cm 3 to 1.0 gZcm 3 , impurities are hardly reduced according to the conventional technique, but can be easily reduced according to the method of the present invention.
  • the average bulk density of 0. 4g / cm 3 ⁇ l. 0 g / cm 3 the method of the present invention is particularly effective.
  • the average bulk density of the soot glass deposit body is 0 ⁇ 4 gZcm 3 ⁇ 0. 8 g / cm 3.
  • the average bulk density exceeds 0.9 g / cm 3 , it becomes somewhat difficult to make the vitreous glass deposit transparent vitrified. 0. A gZ cm SO .8 g / cm 3 .
  • the glass fine particle deposit is characterized in that glass fine particles are deposited outside a starting glass load prepared by melting a dummy glass load at both ends of a core glass rod having a core / cladding or a core.
  • the heating step in the gas atmosphere containing a chlorine-based gas is characterized in that a total heating time is 140 minutes or more.
  • the glass particle deposit is formed by an OVD method.
  • the glass base material of the present invention includes a core, and a clad formed so as to cover the periphery of the core, wherein the residual chlorine concentration of at least a part of the clad is 0.2% by weight or more. It is characterized by.
  • the residual chlorine concentration in the entire cladding is 0.2% by weight or more.
  • a glass base material is produced by heating while sequentially moving the glass fine particle deposit including a part of the clad in the longitudinal direction to make the glass fine particle deposit transparent and forming a base material.
  • heating is performed while moving at least the glass base material upward or downward using an elevator that traverses the glass fine particle deposit body (glass base material) upward or downward throughout the entire process.
  • a gas containing a chlorine-based gas is contained in the atmosphere in the furnace tube.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram of an apparatus for performing the method of the present invention.
  • 1 is a furnace body
  • 2 is a furnace tube
  • 3 is a heater
  • 4 is an upper lid
  • 5 is a lower lid
  • 6 is a radiation thermometer
  • 7 is a lifting device
  • 8 is a hanging rod
  • 9 is a base material
  • S is a start position
  • F Is the end position.
  • the glass particles are placed in a gas atmosphere containing a chlorine-based gas at a temperature lower than the transparency temperature.
  • a gas atmosphere containing chlorine-based gas After exposing the sediment (first heat treatment), and prior to vitrification of the glass particulate deposit in a gas atmosphere containing chlorine-based gas (second heat treatment), a gas atmosphere containing chlorine-based gas (3rd heat treatment).
  • the strength of the optical fiber manufactured using the glass base material can be increased.
  • a third heat treatment step is provided, and the atmosphere is heated at a lower temperature than in the second heat treatment in which the atmosphere is a gas atmosphere containing a chlorine-based gas. This is effective for converting metal-based foreign matter into chloride.
  • the strength of the glass can be increased by making the metallic foreign matter substantially spherical.
  • chlorine-based gas cannot be added to the glass when the surface of the deposit is completely transparent.
  • a chlorine addition treatment step third heat treatment prior to the transparent vitrification step, metal-based foreign matter can be removed or metal-based foreign matter can be efficiently made spherical.
  • Chlorine addition treatment is also possible in the transparency process (second heat treatment process).
  • the reason why chlorine can be added to the glass particles at the clarification temperature is thought to be that the diffusion rate of chlorine into the glass particles is faster than the vitrification rate of the glass particle deposit.
  • a chlorine addition treatment step that is, a third heat treatment step (metallic foreign matter removing step) is not provided, and a transparent step is performed.
  • the heating step for vitrification may be used for the chlorine addition step for removing foreign substances. As a result, the processing time can be reduced.
  • FIG. 1 shows an apparatus suitable for carrying out the method for producing a glass base material of the present invention.
  • This apparatus comprises a furnace body 1 having a vertically inserted inlet and outlet for a furnace tube 2, and a furnace.
  • Heater 3 installed in body 1, Core tube 2 that separates heater 3 from base material 9, It consists of an upper lid 4 that seals the inlet and outlet of the base material above the furnace tube 2 after the base material 9 is inserted, a radiation thermometer 6 that monitors the heater temperature, and an elevator 7 that traverses the base material 9 up or down.
  • dehydration and sintering of the glass particle deposit is performed as follows. First, a glass dummy rod is welded to both ends of a core glass rod having a core / cladding portion to produce a starting glass rod 10d. Fine glass particles are deposited on the outer periphery of the starting load 10d by the OVD method, and the base material is subjected to dehydration and sintering using the obtained deposit by the apparatus having the configuration shown in FIG. At this time, the bulk density of the glass particle deposit is measured in advance. It is preferable that the bulk density be in the range of 0.4 to 1.0 g / cm 3 on average for each part of the base material. The glass preform was placed in the start position S in FIG.
  • the heater temperature is maintained within a specific temperature range, from which the base material is lowered at an appropriate speed (first heating step).
  • first heating step When the base material arrives at the final position (lowest end) F of the traverse shown in Fig. 1, the base material is pulled up and returned to the start position S. Perform heating again, the furnace tube flushed with a gas mixture of C 1 2 and H e a particular ratio, lowering the preform at an appropriate rate as it becomes specific temperature range (third heating step), When reaching the end point F, that is, at the lowest end, the base material is pulled up.
  • the heating starts again, the furnace tube flushed with a gas mixture of C 1 2 and H e a particular ratio, lowering the preform at an appropriate rate at which heat Isseki first temperature becomes a particular temperature range (Second heating step)
  • the base material is pulled up, and the power in the furnace is turned off.
  • the prepared base material is converted into a fiber and a screening test is performed to investigate the frequency of disconnection and confirm the effect.
  • the heater temperature during the dehydration step is preferably maintained at 100 to 135 ° C .; particularly preferably at 100 to 130 ° C., and more preferably 1 to 130 ° C. It is preferable to maintain the temperature in the range of 200 to 130 ° C. It is preferable that the heater temperature in the chlorine addition step (third heating step) is set to 135 ° C. to 140 ° C. Further, the heater temperature in the sintering step (second heating step) is preferably maintained at 150 to 160 ° C., more preferably, 150 to 150 ° C. It is preferable to maintain the temperature in the range of ° C. [2] In one heating step, dehydration, transparent vitrification, removal of metallic foreign matter or spheroidizing of metallic foreign matter are performed simultaneously. By doing so, the processing time can be shortened, and the cost can be reduced.
  • Another heating step is provided between the first heat treatment step and the second heat treatment step, and during the other heating step, the inside of the furnace core tube is set to a gas atmosphere containing a chlorine-based gas, thereby depositing glass particles.
  • the effect of removing metallic foreign matter in the body or making the metallic foreign matter substantially spherical is further enhanced. As a result, the processing time becomes longer, but the effect of increasing the fiber strength is obtained as compared with the above (1) and (2).
  • the residual chlorine concentration in the glass base material after the second heat treatment step is 0.20% by weight or more, preferably 0.2 to 0.33% by weight.
  • the OH group is efficiently removed by limiting the temperature in the first heat treatment step to 1000 to 1350 ° C.
  • the heater temperature is set to 1350 to 1450 °.
  • the chlorine-based gas / inert OH groups can be more efficiently removed by limiting the ratio of the input amount of the reactive gas to 1: 0. However, if the ratio of the input amounts exceeds 1:10, the chlorine concentration in the atmosphere in the furnace tube is too low, and the effect of removing OH groups is low.
  • the ratio of the input amount of the chlorine-based gas Z and the inert gas is limited to 1: 0 to 10 to efficiently remove metal-based foreign matter. Or the metal-based foreign matter is substantially spheroidized.
  • the ratio of input is more than 1:10, the chlorine concentration in the atmosphere in the furnace core tube is too low, and the effect of removing metallic foreign substances is low.
  • the ratio of the amount of chlorine-based gas / He gas charged in the newly provided heating step is limited to 1: 0 to 10 so that metal can be more efficiently used.
  • the system foreign matter is removed.
  • the ratio of the input amounts is more than 1:10, the chlorine concentration in the atmosphere in the reactor core tube is too low, and the effect of removing metallic foreign substances is low.
  • the glass fine particle deposit one in which glass fine particles are deposited on the outer periphery of a core glass rod having a core Z clad.
  • the reason is that the core rod occupies a small proportion in the fiber and the probability of metallic foreign matter being contained in the core rod is low. % Or more, and there is a high probability that metal-based foreign matter is contained.
  • the heating region is defined from the upper end to the lower end of the heater, and each position in the longitudinal direction of the glass fine particle deposit passes through the heating region in the chlorine atmosphere in the furnace tube.
  • Time heating time for dehydration (heating time for) + clarification (heating time for) or clarification (heating time for) only or dehydration (heating time for) + h + clarification (for Heating time) or h + transparent (for Heating time)
  • time that is, by setting the heating time in a chlorine atmosphere to 140 minutes or more in total, metal-based foreign matter is reduced. If the time is less than 140 minutes, the metallic foreign matter tends to remain in the glass base material.
  • the third heat treatment step which is the chlorine addition heating step added between the dehydration and the clarification in the method (1) above, or the chlorine addition added before the clarification in the method (4) above
  • the residual chlorine concentration becomes 0.20% by weight or more, and accordingly, the amount of metallic foreign matter in the fiber is reduced.
  • the screening test performed in each case is a fiber strength test.
  • a load (1.8 to 2.2 kgf, 1 s) at which the elongation is 2% in the longitudinal direction of the fiber is applied to the fiber. And cut the low-strength spots before shipping the product. As a result, if the number of fiber breaks increases, the frequency of inspections and connection points will increase, and the final fiber cost will jump many times.
  • a glass glass rod was welded to both ends of a core glass port having a diameter of 20 mm having a core / cladding part to prepare a starting glass rod.
  • Glass particles are deposited on the outer circumference of the starting load by the OVD method, and the deposited material is subjected to dehydration and sintering using an apparatus having the configuration shown in Fig. 1 (heater length: 400 mm) to obtain a glass mother.
  • the material was formed.
  • the bulk density of the glass particle deposit was measured in advance and was confirmed to be 0.7 g / cm 3 on average at each location in the base material.
  • the residual chlorine concentration in the glass base material thus obtained was 0.25% by weight.
  • An ion chromatograph was used for chlorine concentration measurement (the same applies hereinafter).
  • the heater temperature during dehydration is preferably maintained at 1000 to 1350 ° C, more preferably within the range of 1250 to 1350 ° C. Further, the temperature of the heat during sintering is preferably maintained at 1450 to 1600 ° C, more preferably at 1520 to 1570 ° C.
  • a starting glass rod was prepared by welding glass dummy rods to both ends of a core glass rod having a diameter of 20 mm having a core / cladding portion. Glass particles are deposited on the outer periphery of the starting load by the OVD method, and the deposited material is used to dehydrate the base material using an apparatus having the configuration shown in FIG. Yuki was done. The bulk density of the glass fine particle deposit was measured in advance and confirmed to be 0.7 gZcm 3 on average at each location in the base metal. The glass preform start position established in (Fig. 1), C 1 2 to the furnace at the same time the core tube when the temperature is raised: 5 SLM and He: flowed a gaseous mixture of 20S LM.
  • the heater temperature was kept at 1550 ° C, from which the base material was lowered at a speed of 2 mm / min. When it reached the end position F, that is, at the lowest end, the base material was pulled up, and at the same time, the furnace heater was turned off and the base material was pulled up.
  • the total time when each position in the longitudinal direction of the glass particle deposit passed through the furnace in the chlorine atmosphere in the furnace tube was 200 minutes.
  • the disconnection frequency was 10 times / Mm.
  • the residual chlorine concentration in the base material was 0.22% by weight.
  • the heater temperature during sintering should be maintained between 1450 and 1600 ° C. Preferably, the temperature is maintained in the range of 1520 to 1570 ° C.
  • a starting glass rod was prepared by welding glass dicing rods to both ends of a core glass rod having a diameter of 20 mm having a core / crad and a sword. Glass particles are deposited on the outer periphery of the starting load by OVD method, and the deposited material is used to dehydrate and sinter the base material using an apparatus with the configuration shown in Fig. 1 (one day long: 40 Omm). Was done. The bulk density of the glass microparticle deposit was measured in advance and confirmed to be 0.7 g / cm 3 on average at each location in the base metal. The glass preform was placed in the start position S (FIG. 1), C 1 at the same time the core tube when heated in the furnace 2: 5 SLM and He: shed 20 S LM mixed gas.
  • the temperature was kept at 1300 ° C and the base material was lowered at a rate of 1 Omm / min.
  • the base material reached the end position F, that is, the lowest end of the traverse (Fig. 1), the base material was raised and returned to the start position.
  • start the heated furnace center the tube C 1 2: 5 SLM and He: was flushed with 20 SLM mixed gas.
  • the temperature reached 1400 ° C, the base material was lowered at a speed of 5 mmZ.
  • the base material was lifted and returned to the start position.
  • heating was started, and a mixed gas of Cl 2 : 5 SLM and He: 20 SLM was flowed into the reactor core tube.
  • a starting glass rod was fabricated by welding glass dummy rods to both ends of a core glass rod having a diameter of 20 mm having a core / cladding portion. Glass particles are deposited on the outer periphery of the starting load by OVD method, and the deposited material is used to dehydrate and sinter the base material using the equipment (Fig. 1) (Fig. 1). Was done. The bulk density of the glass fine particle deposited body is measured in advance, the average of the base material in each location at 0. 2 g / cm 3 Confirmed that there is. The glass preform was placed in the start position S (FIG. 1), C 1 at the same time the core tube when heated in the furnace 2: 2 SLM and He: shed 20 S LM mixed gas.
  • the heater temperature was kept at 1300 ° C, from which the base material was lowered at a rate of 1 Omm / min.
  • the base material reached the end position F, that is, the lowest end of the traverse (Fig. 1), the base material was pulled up and returned to the start position S.
  • the temperature was raised, and a mixed gas of Cl 2 : 2 SLM and He: 20 SLM was flowed into the reactor core tube.
  • the temperature reaches 1550 ° C, the base material is lowered at a speed of 3 mm / min. Was turned off and the base material was raised.
  • the disconnection frequency was 11 mm / m.
  • the residual chlorine concentration in the glass base material injection was 0.32% by weight.
  • a starting glass rod was prepared by welding glass dummy ports to both ends of a core glass rod having a diameter of 20 mm having a core / cladding portion. Glass particles are deposited on the outer periphery of the starting port by the OVD method, and the deposited material is used to dehydrate and sinter the base material using an apparatus (Heiji-ichi: 400 mm) with the configuration shown in Fig. 1. Was done. The bulk density of the glass fine particle deposit was measured in advance and confirmed to be 1.2 g / cm 3 on average at each location in the base material. The glass preform was placed in the start position S (FIG. 1), C 1 at the same time the core tube when heated in the furnace 2: 5 SLM and He: shed 20 S LM mixed gas.
  • the temperature was kept at 1300 ° C and the base material was lowered at a speed of 2 mm / min.
  • the base material arrived at the end position F, that is, the lowest end of the traverse (Fig. 1), the base material was raised and returned to the start position.
  • the furnace tube C 1 2: 5 S LM and H e: was flushed with 20 SLM mixed gas.
  • the base metal was lowered at a speed of 0.5 mm / min, and when it reached the lowest point, the base metal was raised and the furnace heater was turned off.
  • the base material was raised.
  • Each position in the longitudinal direction of the glass particle deposit is in the chlorine atmosphere in the furnace tube.
  • the total time passed by Yuichi was 1,000 minutes.
  • the glass particle deposit was too hard to apply heat and took a long time to process, the base material produced was converted into a fiber and subjected to a screening test.
  • the disconnection frequency was 13 times / Mm.
  • the residual chlorine concentration was 0.2% by weight.
  • a starting glass rod was prepared by welding glass dummy rods to both ends of a core glass rod having a core / cladding part and having a diameter of 2 Omm. Glass particles are deposited on the outer periphery of the starting load by the OVD method, and the deposited material is used for dehydration and sintering of the base material using an apparatus (Header length: 40 Omm) shown in Fig. 1. went. The bulk density of the glass fine particle deposit was measured in advance and confirmed to be 0.7 gZcm 3 on average at each location in the base material. The glass preform was placed in the start position S (FIG. 1), C 1 at the same time the core tube when heated in the furnace 2: 5 SLM and He: shed 20 S LM mixed gas.
  • the temperature was kept overnight at 1300 ° C, from which the base material was lowered at a speed of 1 Omm / min.
  • the base material reached the end position F, that is, the lowest end of the traverse (Fig. 1), the base material was pulled up and returned to the start position S.
  • heating was started, and only He gas was flowed into the reactor core tube by 25 SLM.
  • the temperature of the furnace reached 1550 ° C overnight, the base material was lowered at a speed of 3 mm / min.At the end position F, that is, when the base material reached the lowermost end, the base material was pulled up and the furnace heater was turned on. The power was turned off and the base material was pulled up.
  • a starting glass rod was prepared by welding glass dummy rods to both ends of a core glass rod having a diameter of 2 Omm having a core / cladding portion. Glass particles are deposited on the outer periphery of the starting load by OVD method, and the deposited material is used for dehydration and sintering of the base material using an apparatus (Header length: 40 Omm) with the configuration shown in Fig. 1. went. The bulk density of the glass fine particle deposited body is measured in advance, at 0. 7 gZcm 3 by the average of the base material in each location Confirmed that there is. This glass preform was placed at the start position S (Fig.
  • a starting glass rod was prepared by welding glass dummy rods to both ends of a core glass rod having a diameter of 20 mm having a core / cladding portion. Glass particles are deposited on the outer circumference of the starting rod by the OVD method, and the deposited material is used for dehydration and sintering of the base material using an apparatus (heat-length: 400 mm) with the configuration shown in Fig. 1. Was. The bulk density of the glass fine particle deposit was measured in advance and confirmed to be 0.2 g / cm 3 on average at each location in the base material. The glass preform was placed in the start position S (FIG. 1), C 1 2 and at the same time heating the furnace to furnace tube: 5 SLM and He: was flushed with 20 SLM mixed gas.
  • the temperature was kept at 1300 ° C overnight, and the base material was lowered at a speed of 10 mm Z from there.
  • the base material reached the end position F, that is, the lowest end of the traverse (Fig. 1), the base material was pulled up and returned to the start position S.
  • the temperature was raised, and a mixed gas of Cl 2 : 5 SLM and He: 20 SLM was flowed into the reactor core tube.
  • the temperature of the heater reaches 1550 ° C, the base material is lowered at a speed of 4 mm / min.At the end position F, that is, when the base material arrives at the lowest end, the base material is pulled up and the furnace heater is turned off at the same time. , Raised the base material.
  • the starting glass rod was prepared by welding the rod. Glass particles were deposited on the outer periphery of the starting rod by OVD method, and the base material was dehydrated and sintered using this deposited body by using the equipment (one heater length: 400 mm) shown in Fig. 1. . The bulk density of the glass fine particle deposit was measured in advance and confirmed to be 1.2 g / cm 3 on average at each location in the base material.
  • the glass preform was placed in the start position S (FIG. 1), C 1 2 and at the same time heating the furnace to furnace tube: 5 SLM and He: was flushed with 20 SLM mixed gas.
  • the temperature was kept overnight at 1300 ° C, and the base material was lowered at a speed of 10 mm / min.
  • the base material reached the end position F, that is, the lowest end of the traverse (Fig. 1), the base material was raised and returned to the start position.
  • the furnace center tube CI 2 5 S LM and H e: shed 20 S LM mixed gas.
  • the base material was lowered at a speed of 4 mmZ.When the base material reached the bottom, the base material was pulled up and the heater inside the furnace was turned off, and the base material was turned off. Raised.
  • the total time when each position in the longitudinal direction of the glass particle deposit passed through the heater in the chlorine atmosphere in the furnace tube was 140 minutes.
  • the prepared base material was too hard to apply heat because the glass particle deposit was too hard, and was not sintered, and could not be made into a fiber. Residual chlorine concentration cannot be measured.
  • a one-step heating step only for the transparentization step or a dehydration step and a two-step heating step for the transparentization step or a dehydration step and the transparent A new heating step is provided between the gasification steps, and by flowing a gas containing a chlorine-based gas in any of the heating steps, the effect of reducing metal-based foreign matter due to chlorine can be enhanced.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Description

明 細 書 ガラス母材の製造方法およびガラス母材 技術分野
本発明は、 ガラス母材の製造方法およびガラス母材にかかり、 O VD法による ガラス微粒子堆積体の合成を経て光ファイバ母材を製造する方法、 特に金属系異 物が低減された光ファイバ用ガラス母材に関する。
背景技術
従来、 ガラス微粒子堆積体の製造方法としては V A D法や 0 V D法が知られて いる。 これらの合成方法は、 ガラス微粒子合成用バーナーにガラス原料ガス及び 燃焼ガス等を供給してガラス原料を酸水素火炎中で加水分解若しくは酸化するこ とによりガラス微粒子を生成することを基本としている。
上記方法において、 ガラス微粒子堆積体の脱水処理及び透明ガラス化処理方法 としては特開昭 6 1 - 2 7 0 2 3 2号公報に示されているような手段がある。 こ こでは第 1加熱処理においてガラス微粒子堆積体を脱水剤を用いて脱水し、 続く 第 2加熱処理においては、 不活性ガス （02を含む） 雰囲気中で透明ガラス化処 理を行っている。 これではガラス微粒子堆積体中の金属系異物を取り除く効果は 低い。 また、 特開昭 6 1 - 9 7 1 4 1号公報では、 ガラス微粒子堆積体を透明ガ ラス化する前に 1 1 0 0〜1 3 0 0 °Cの温度で加熱処理を行い、 径方向の嵩密度 分布を均一化させた後、 透明ガラス化させている。
この場合、 H e種等の気泡数を低減する効果はあるかもしれないが、 ガラス微 粒子堆積体中に混入している金属系異物を取り除く効果は低く、 ファイバの断線 は免れない。 また、 特閧平 9—1 6 9 5 3 5号公報ではガラス微粒子堆積体 （コ ァ /クラッド） 中の金属系異物を除去する手段が開示されている。 ここでは、 ガ ラス微粒子の原料ガスをろ過することで原料中の金属不純物を除去しているが、 これではガラス微粒子堆積物を製造する雰囲気中に含まれる金属系異物がガラス 微粒子堆積体中に混入するのを防く、ことができなかった。 特開 2 0 0 0 - 6 3 1 4 7号公報には石英系光ファイバ母材を製造する方法に おいて、 径方向の塩素濃度分布の段差が塩素濃度として 0 . 1重量％以下になる ように作製することが開示されており、 所望の特性を有する光ファイバ母材を得 ることができるとしている。 この場合、 第 2クラッド付きガラス口ヅドを焼結反 応炉で不活性ガスと塩素ガスの混合ガス （塩素ガス濃度 1 6モル％) 雰囲気下に 1 4 7 0 °Cで脱水 '焼結し、 塩素ガスをド一プして透明ガラス化しているが、 ガ ラス微粒子堆積体中の金属系異物を低減する効果は不十分である。
上記方法では、 ガラス微粒子堆積体中の金属系異物を効率的に低減することが できないという問題があった。 すなわち、 ガラス微粒子堆積体を 1 0 0 0〜 1 3 0 0 °Cといった透明化温度より低い温度で脱水処理 He雰囲気中で透明ガラス 化処理したガラス母材をファイバ化すると、ファイバのスクリーニング試験時に、 金属系異物に起因する断線が生じ易いことがわかった。 その対策としてガラス微 粒子堆積体中に混入する不純物を抑制するための種々の研究を行ってはいるが、 望ましい効果を得ることはできなかった。 発明の開示
本発明は、 前記実情に鑑みてなされたもので、 透明ガラス化工程時に炉心管内 雰囲気中に塩素系ガスを添加することでガラス微粒子堆積体中の金属系異物を効 率的に低減し、 それにより高純度、 高品質のガラス母材を提供することを目的と する。
そこで、 本発明者らは、 ガラス微粒子堆積体に取り込まれた金属系異物を加熱 処理によって低減すべく検討を進めた結果、 透明ガラス化工程時に炉心管内雰囲 気中に塩素系ガスを添加した （塩素を含むガス） 雰囲気中で作製したガラス母材 を用いて作製したファイバのスクリーニング試験時の断線頻度が激減することを 確認した。ここで塩素系ガスとは、塩素ガス、塩素化合物ガスを含むものとする。 この金属系異物の除去メカニズムはガラス微粒子堆積体を高温の塩素雰囲気に露 呈することで、 ガラス微粒子堆積体中の金属系異物が塩化物化し易くなり、 揮発 除去されるものと考えられる。 また、 揮発除去されない場合にも、 ガラス微粒子 堆積体中で角のある形状を有している金属系異物が塩素の存在により、 エツチン グされほぼ球状に近づくため、 スクリーニング試験時に金属系異物の混入箇所に おける応力集中を抑止することができるものと考えられる。
上記の本発明の目的は、以下の各発明又は態様によって達成することができる。 なお、 本明細書で 「ヒー夕温度」 とは、 「ヒータ中心位置におけるヒ一夕外表面 温度」 を意味する。 またガラス微粒子堆積体とは、 コアロッドの表面にクラッド 層を形成するためのガラス微粒子堆積体を形成したもの、 コアロッド表面にクラ ヅ ド層の一部が形成されたコア/クラヅ ドロ ッ ド表面にさらにクラヅド層 （ジャ ケット層） を形成するためのガラス微粒子堆積体を形成したものをさすものとす る。
本発明の第 1では、 ガラス微粒子堆積体を、 塩素を含むガス雰囲気中、 すなわ ち塩素系ガスを含む雰囲気中で透明化する加熱工程を含むことを特徴とする。 望ましくは、 前記加熱工程は、 ガラス微粒子堆積体を脱水剤となる塩素系ガス を含むガス雰囲気中に露呈してガラス微粒子堆積体に吸着あるいはガラス微粒子 堆積体内に含まれる水分を脱水処理する第 1の加熱処理工程と、 前記第 1の加熱 処理工程後、 塩素系ガスを含むガス雰囲気中で前記ガラス微粒子堆積体を透明化 する第 2の加熱処理工程とを含むことを特徴とする。
望ましくは、 前記加熱工程は、 前記第 1の加熱処理工程と第 2の加熱処理工程 との間に、 さらに塩素系ガスを含むガス雰囲気中で加熱する第 3の加熱処理工程 を含むことを特徴とする。
望ましくは、 前記加熱処理工程は、 透明化に先立ち、 塩素系ガスを含むガス雰 囲気中で前記ガラス微粒子堆積体を加熱する第 3の加熱処理工程とを含むことを 特徴とする。
望ましくは、 前記加熱工程は、 前記ガラス微粒子堆積体を長手方向に順次移動 させながら加熱を行う工程を含むことを特徴とする。
望ましくは、 前記加熱工程は、 各加熱処理工程の少なくとも一つにおいて、 塩 素系ガスを含む炉心管内雰囲気中に前記ガラス微粒子堆積体を曝し、 加熱するェ 程を含むことを特徴とする。 望ましくは、 前記加熱工程で透明化されたガラス母材のクラッド部中の残留塩 素濃度が 0. 20重量％以上となるように加熱処理を行うようにしたことを特徴 とする。 なお残留塩素濃度は炉心管内の、塩素濃度、加熱温度、 および加熱時間に よってきまるため、これらの条件を調整するのが望ましい。
望ましくは、 前記第 1の加熱処理工程は、 ヒー夕温度が 1000〜1350°C となるようにして加熱する工程であることを特徴とする。
望ましくは、 前記第 2の加熱処理工程は、 ヒ一夕温度が 1450〜1600°C となるようにして加熱する工程であることを特徴とする。
望ましくは、 前記第 3の加熱処理工程は、 ヒー夕温度が 1350~1450°C であることを特徴とする。
望ましくは、前記第 1の加熱処理工程は、投入量（ S LM)の比が塩素系ガス ： Heガス =1 ： 0〜 10となるように、 脱水剤の塩素系ガスを含むガスとともに H eガスを含む雰囲気中で加熱する工程であることを特徴とする。
望ましくは、前記第 2の加熱処理工程は、投入量（SLM)の比が塩素系ガス ： Heガス = 1 ： 0〜 10となるように、 塩素系ガスを含むガスとともに Heガス を含む雰囲気中で加熱する工程であることを特徴とする。
望ましくは、 前記加熱工程、 前記第 3の加熱処理工程ば、 投入量 （SLM) の 比が塩素系ガス ： Heガス = 1 ： 0〜10となるように、 脱水剤としての塩素系 ガスを含むガスとともに H eガスを含む雰囲気中で加熱する工程であることを特 徴とする。
望ましくは、 ガラス微粒子堆積体の平均嵩密度が 0. 4g/cm3〜l. 0 g /cm3であることを特徴とする。 ガラス微粒子堆積体の平均嵩密度が 0. 4g /cm3〜l . 0 gZcm3である場合は従来技術によると不純物が低減しにくい が、 本発明の方法によれば容易に低減することができ、 平均嵩密度が 0. 4g/ cm3〜l. 0 g/cm3である場合に本発明の方法は特に有効である。
望ましくは、 ガラス微粒子堆積体の平均嵩密度が 0 · 4 gZcm3〜0. 8 g /cm3であることを特徴とする。特に、 平均嵩密度が 0. 9 g/ cm3を越える とガラス微粒子堆積体の透明ガラス化がやや困難となるため、 より有効な範囲は 0 . A gZ c m S O . 8 g/ c m 3である。
望ましくは、 ガラス微粒子堆積体がコア/クラヅド若しくはコアを有するコア ガラスロヅドの両端にダミーガラスロヅドを溶融して作製した出発ガラスロヅド の外側にガラス微粒子が堆積したものであることを特徴とする。
望ましくは、 前記塩素系ガスを含むガス雰囲気中における加熱工程は、 総加熱 時間が 1 4 0分以上であることを特徴とする。
望ましくは、 前記ガラス微粒子堆積体は OVD法によって形成されたものである ことを特徴とする。
本発明のガラス母材は、 コアと、 前記コアの周りを覆うように形成されたクラ ッドとを含み、 前記クラッドの少なくとも一部の残留塩素濃度が 0 . 2重量％以 上であることを特徴とする。
望ましくは、 前記クラッド全体の残留塩素濃度が 0 . 2重量％以上であること を特徴とする。
すなわち、 クラッドの一部を含むガラス微粒子堆積体を長手方向に順次移動さ せながら加熱を行い、 該ガラス微粒子堆積体を透明化して母材を形成する加熱処 理工程からなるガラス母材の製造方法において、 好ましくは、 全工程を通じてガ ラス微粒子堆積体 （ガラス母材） を上若しくは下にトラバースさせる昇降機を用 いて少なくともガラス母材を上若しくは下に移動させながら加熱を行い、 かつ、 母材を透明化する加熱工程においては炉心管内雰囲気中に塩素系ガスを含むガス を含ませることを特徴とする。
図面の簡単な説明
図 1は本発明の方法を実施するための装置の概念図である。
1は炉体、 2は炉心管、 3はヒーター、 4は上蓋、 5は下蓋、 6は放射温度計、 7は昇降装置、 8は吊り棒、 9は母材、 Sはスタート位置、 Fは終了位置 発明を実施するための最良の形態
次に本発明の実施の形態について説明する。
この方法では、ガラス微粒子堆積体中に取り込まれた 0 H基を除去するために、 透明化温度より低い温度において塩素系ガスを含むガス雰囲気中にガラス微粒子 堆積体を露呈 （第 1加熱処理） させた後、 塩素系ガスを含むガス雰囲気中でガラ ス微粒子堆積体を透明ガラス化する際 （第 2加熱処理） に先立ち、 塩素系ガスを 含むガス雰囲気で加熱する （第 3加熱処理） 。
これにより、 ガラス微粒子堆積体内の金属系異物が効率的に低減されるので、 このガラス母材を用いて作製した光ファイバの強度を高めることができる。 この ように雰囲気を塩素系ガスを含むガス雰囲気とした第 2加熱処理に先立ち、 第 3 加熱処理工程を設け、 雰囲気を塩素系ガスを含むガス雰囲気とした第 2加熱工程 より低い温度で加熱することにより、 金属系異物を塩化物化するのに効果的であ る。 これにより金属系異物が除去される、 もしくは除去できなくても、 金属系異 物をほぼ球状化することによってガラスの強度を高めることができる。
ここで、 堆積体表面が完全に透明化した状態では塩素系ガスをガラス中に添加 することはできない。 透明ガラス化工程に先立ち、 塩素添加処理工程 （第 3加熱 処理） を設けることにより、 効率的に金属系異物の除去もしくは金属系異物の球 状化を行うことができる。
また透明化工程 （第 2加熱処理工程） でも塩素添加処理は可能である。 透明化 温度で塩素をガラス微粒子中に添加可能な理由はガラス微粒子堆積体のガラス化 速度より、 塩素のガラス微粒子内への拡散速度のほうが速いためと考えられる。 また、 第 1加熱工程 （脱水） と第 2加熱工程 （透明ガラス化） に対して別工程 としては、塩素添加処理工程すなわち第 3の加熱処理工程（金属系異物除去工程） を設けず、 透明ガラス化のための加熱工程を異物除去のための塩素添加工程に利 用してもよい。 これにより、 処理時間の短縮化をはかることができる。
さらにまた、 第 2加熱工程におけるトラバース速度はヒータ長さによっても異 なるが、 通常 1〜1 0 mm/分であり、 金属系異物の低減効果と生産性、 母材の 引き伸び等を考慮すると好ましくは 2〜 5 mm/分である。 図 1は、 本発明のガラス母材の製造方法を実施するのに適した装置を示すもの で、 この装置は、 炉心管 2を揷入するための出し入れ口を上下に有する炉体 1、 炉体 1中に設置されたヒーター 3、 ヒーター 3と母材 9とを隔離する炉心管 2、 母材 9挿入後に炉心管 2上部の母材の出し入れ口を密封する上蓋 4、 ヒー夕温度 をモニターする放射温度計 6、 及び母材 9を上若しくは下にトラバースさせる昇 降機 7からなる。
この装置を用いて、 ガラス微粒子堆積体の脱水 ·焼結を次のようにして行う。 先ず、 コア/クラッド部を有するコアグラスロッドの両端にガラスダミーロヅド を溶着して出発ガラスロヅド 1 0 dを作製する。 この出発ロヅド 1 0 dの外周に ガラス微粒子を O V D法により堆積させ、 得られた堆積体を用いて上記図 1に示 される構成の装置により母材の脱水 ·焼結を行う。 この際、 ガラス微粒子堆積体 の嵩密度を予め測定しておく。 嵩密度は母材各個所の平均で 0 . 4〜1 . 0 g/ c m3の範囲としておくのが好ましい。 このガラス母材を図 1におけるスタート 位置 Sに設置し、 ヒー夕温度を昇温させると同時に、 炉心管内に特定比率の C 12 と H eとの混合ガスを流す。 ヒータ温度を特定温度範囲に保持し、 そこから母材 を適当な速度で下降させる （第 1加熱工程） 。 母材が図 1のトラバースの最終位 置 （最下端） Fに到着した時点で母材を引き上げてスタート位置 Sに戻す。 再度昇 温を行い、 炉心管内には特定比率の C 1 2 と H eとの混合ガスを流し、 特定温度 範囲になった時点で母材を適当な速度で下降させ （第 3加熱工程） 、 終点位置 F すなわち最下端に到着した時点で母材を引き上げる。
再び昇温を開始し、 炉心管内には特定比率の C 1 2と H eとの混合ガスを流し、 ヒ一夕一温度が特定温度範囲になった時点で母材を適当な速度で下降させ （第 2 加熱工程） 、 終点位置 Fすなわち最下端に到着した時点で母材を引き上げ、 炉内 ヒ—夕—の電源を切る。 こうして、 作製した母材をファイバ化しスクリーニング 試験を行い断線の頻度を調査して効果を確認する。
脱水工程 （第 1加熱工程） 時のヒーター温度は、 1 0 0 0〜 1 3 5 0 °C；、 特に 1 0 0 0〜1 3 0 0 °Cに維持するのが好ましく、 更に好ましくは 1 2 0 0〜 1 3 0 0 °Cの範囲に維持するのが好ましい。 塩素添加工程 （第 3加熱工程） のヒータ 温度は 1 3 5 0〜1 4 5 0 °Cとするのが好ましい。 また、 焼結工程 （第 2加熱ェ 程） のヒーター温度は、 1 4 5 0〜1 6 0 0 °Cに維持するのが良く、 更に好まし くは、 1 5 2 0〜 1 5 7 0 °Cの範囲で維持することが好ましい。 〔2〕 1つの加熱工程で、 脱水と、 透明ガラス化と、 金属系異物の除去もしくは 金属系異物の球状化を同時に行う。このようにすることで、処理時間が短縮され、 コストの低減をはかることができるという効果を奏効する。
〔 3〕第 1加熱処理工程と第 2加熱処理工程の間に別の加熱工程を設け、さらに、 別の加熱工程の間も炉心管内を塩素系ガスを含むガス雰囲気とすることでガラス 微粒子堆積体中の金属系異物の除去もしくは金属系異物のほぼ球状化の効果はさ らに高まる。 これにより、 処理時間は長くなるが、 前記 （1) 、 （2) よりファ ィバ強度が上がる効果が得られる。
〔4〕 母材を透明化する加熱工程においては炉心管内雰囲気中に塩素を含ませる が、 該透明化加熱工程の前に別の加熱工程を設け、 この加熱工程中においても炉 心管内雰囲気中に塩素を含ませることによってガラス微粒子堆積体中の金属系異 物の除去もしくは金属系異物のほぼ球状化の効果を更に高めることができる。
〔5〕 上記 （1) 〜 （4) の方法において、 第 2加熱処理工程後のガラス母材中 の残留塩素濃度が 0. 20重量％以上、 好ましくは 0. 2〜0. 33重量％とな るようにすることにより、 得られるファイバのスクリーニング試験時の断線頻度 が減少するという効果が顕著に現れる。
〔6〕 上記 （1) 又は （3) の方法において、 第 1加熱処理工程におけるヒ一夕 —温度を 1000〜 1350°Cに限定することで、 OH基の除去が効率的に行わ れる。
〔7〕 上記 （1) 〜 （4) の方法において、 透明ガラス化時のヒータ一温度を 1 450〜1600°Cに限定することで、 金属系異物の除去もしくは金属系異物の ほぼ球状化とともにガラス微粒子堆積体を透明ガラス化できる。また、 1600°C を超えると、 ガラス母材が軟化して引き伸びる問題が生じる。
〔8〕 上記 （1) 又は （4) の方法において、 第 1加熱工程と第 2加熱工程の間 に設けた加熱工程又は透明化工程の前に設ける加熱工程において、 ヒーター温度 を 1350〜1450°Cに限定することで効果的に金属系異物が除去されるもし くは金属系異物のほぼ球状化が達成される。
〔9〕 上記 （1) 又は （3) の方法において、 第 1加熱工程で塩素系ガス/不活 性ガスの投入量の比を 1 ： 0〜10に限定することでさらに効率よく OH基が除 去される。 ただし投入量の比が 1 ： 10超の場合は炉心管内雰囲気中の塩素濃度 が低すぎるため、 OH基の除去効果が低い。
〔10〕 上記 （ 1) 〜 （4) の方法において、 透明ガラス化工程において塩素系 ガス Z不活性ガスの投入量の比を 1 ： 0〜10に限定することで効率よく金属系 異物が除去されるもしくは金属系異物のほぼ球状化がなされる。 ただし投入量の 比が 1 ： 10超の場合は炉心管内雰囲気中の塩素濃度が低すぎるため、 金属系異 物の除去効果が低い。
〔11〕 上記 （ 1) 又は （4) の方法において、 新たに設けた加熱工程で塩素系 ガス/ Heガスの投入量の比を 1 ： 0〜 10に限定することでさらに効率的に金 属系異物が除去される。 ただし投入量の比が 1 ： 10超の場合は炉心管内雰囲気 中の塩素濃度が低すぎるため、 金属系異物の除去効果が低い。
C12〕 上記 （1) 〜 （11) の方法において、 ガラス微粒子体積体のクラヅド 部分の平均嵩密度を 0. AgZcmS l. 0 gZcm3に限定する。 0. 4 c m 3未満の場合は透明ガラス化時に炉心管雰囲気中に塩素系ガスを添加すると ガラス中に塩素が入りすぎて気泡が生じる場合がある。 また、 1. OgZcm3 をこえる嵩密度では熱が伝わりにくく、 透明ガラス化が困難である。
〔13〕 上記 （ 1) ~ ( 12) の方法において、 ガラス微粒子堆積体としては、 コア Zクラヅドを有するコアガラスロ ヅドの外周にガラス微粒子を堆積させたも のを用いるのが好ましい。 その理由は、 ファイバ中においてコアロッドの占める 堆積割合は小さくコアロッド中に金属系異物が含まれる確率は低いが、 逆にコア ガラスロッドの外周に堆積したガラス微粒子をガラス化した部分はファイバ体積 の 90%以上を占め金属系異物が含まれる確率が高いためである。
〔14〕 上記 （1) 〜 （13) の方法において、 ヒーターの上端から下端までを 加熱領域とし、 ガラス微粒子堆積体の長手方向各位置が炉心管内塩素雰囲気中に おいて上記加熱領域を通過した時間 （脱水 （のための加熱時間） +透明化 （のた めの加熱時間） 若しくは透明化 （のための加熱時間） のみ若しくは脱水 （のため の加熱時間） +ひ +透明化 （のための加熱時間） 若しくはひ +透明化 （のための 加熱時間） ） 、 すなわち塩素雰囲気中で加熱した時間をトータルで 140分以上 とすることで金属系異物が低減される。 140分未満の場合は金属系異物がガラ ス母材中に残存し易くなる。 （ここで は上記 （1) の方法で脱水と透明化の間 に追加した塩素添加加熱工程である第 3の加熱処理工程若しくは上記 （4) の方 法で透明化の前に追加した塩素添加加熱工程である第 3の加熱処理工程の時間を 意味する） 。
〔15〕 特に、 上記 （1) 〜 （14) の方法により得られたガラス母材は、 残存 する塩素濃度が 0. 20重量％以上となり、 それに伴いファイバ中の金属系異物 が低減される。
以下、 本発明を実施例、 比較例により更に詳細に説明するが限定を意図するも のではない。
各例で行われるスクリーニング試験は、 ファイバ強度試験のことであり、 通常 海底用ファイバではファイバ長手方向で 2%の引き伸び率となる荷重 （1. 8〜 2. 2 kgf , 1 s) をファイバに与えて製品出荷前に低強度箇所を事前に切断 しておく。 これによつてファイバ断線が多くなると、 検査頻度や接続箇所が増加 し、 最終的なファイバコストが何倍にも跳ね上がることになる。
(実施例 1 )
コア/クラヅド部を有する直径 20mmのコアガラス口ヅドの両端にガラスダ ミ一ロ ヅドを溶着して出発ガラスロッドを作製した。 この出発ロヅドの外周にガ ラス微粒子を OVD法により堆積させ、 この堆積体を用いて、 図 1に示す構成の 装置 （ヒー夕一長： 400mm) を用いて脱水■焼結を行い、 ガラス母材を形成 した。 ガラス微粒子堆積体の嵩密度は事前に測定し、 母材内各箇所の平均で 0. 7 g/cm3であることを確認した。 このガラス母材をスタート位置 （図 1) に 設置し、 炉内を昇温すると同時に炉心管内に C 12 ： 5 S LMと He ： 20 S L Mの混合ガスを流した。 ヒー夕一温度を 1300°Cにキープし、 そこから母材を 速度 1 OmmZ分で下降させた。 トラバースの最下端 （図 1) に母材が到着した 時点で母材を引き上げてスタート位置 Sに戻した。 同時に昇温を開始し、 炉心管 内には C 12 ： 5 S LMと H e ： 20 S LMの混合ガスを流した。 ヒーター温度 が 1550°Cになった時点で母材を速度 3 mm/分で下降させて、 終了位置 Fす なわち最下端に到着した時点で、 母材を引き上げると同時に炉内ヒーターの電源 を切り、 母材を引き上げた。 ガラス微粒子堆積体の長手方向各位置が炉心管内塩 素雰囲気中においてヒーターを通過したトータル時間は 173分であった。 作製 した母材をファイバ化し、 スクリーニング試験を行った結果、 10回/ Mmの断 線頻度となった。
このようにして得られたガラス母材中の残留塩素濃度は 0. 25重量％であつ た。 塩素濃度測定にはイオンクロマトグラフを用いた （以下同じ） 。
脱水時のヒーター温度は 1000〜1350°Cに維持するのが良く、 さらに好 ましくは 1250〜 1350°Cの範囲で維持する事が好ましい。 また、 焼結時の ヒー夕一温度は 1450~1600°Cに維持するのが良く、 さらに好ましくは 1 520〜1570°Cの範囲で維持する事が好ましい。
(実施例 2 )
コア/クラッド部を有する直径 20mmのコアガラスロ ヅドの両端にガラスダ ミーロ ヅドを溶着して出発ガラスロッドを作製した。 この出発ロ ヅドの外周にガ ラス微粒子を OVD法により堆積させ、 この堆積体を用いて、 図 1に示す構成の 装置 （ヒ一夕一長： 400mm) を用いて母材の脱水 '焼結を行った。 ガラス微 粒子堆積体の嵩密度は事前に測定し、 母材内各箇所の平均で 0. 7 gZcm3で あることを確認した。 このガラス母材をスタート位置 （図 1) に設置し、 炉内を 昇温すると同時に炉心管内に C 12 : 5 SLMと He : 20S LMの混合ガスを 流した。 ヒーター温度を 1550°Cにキープし、 そこから母材を速度 2 mm/分 で下降させた。 終了位置 Fすなわち最下端に到着した時点で、 母材を引き上げる と同時に炉内ヒーターの電源を切り、 母材を引き上げた。 ガラス微粒子堆積体の 長手方向各位置が炉心管内塩素雰囲気中においてヒ一夕一を通過したトータル時 間は 200分であった。 作製した母材をファイバ化し、 スクリーニング試験を行 つた結果、 10回/ Mmの断線頻度となった。 母材中の残留塩素濃度は 0. 22 重量％であった。
焼結時のヒーター温度は 1450〜1600°Cに維持するのが良く、 さらに好 ましくは 1520〜 1570°Cの範囲で維持する事が好ましい。
(実施例 3)
コア/クラ、ソド部を有する直径 20 mmのコアガラスロヅドの両端にガラスダ ミ一ロッドを溶着して出発ガラスロッドを作製した。 この出発ロヅドの外周にガ ラス微粒子を OVD法により堆積させ、 この堆積体を用いて、 図 1に示す構成の 装置 （ヒ一夕一長： 40 Omm) を用いて母材の脱水 ·焼結を行った。 ガラス微 粒子堆積体の嵩密度は事前に測定し、 母材内各箇所の平均で 0. 7 g/cm3で あることを確認した。 このガラス母材をスタート位置 S (図 1) に設置し、 炉内 を昇温すると同時に炉心管内に C 12 ： 5 SLMと He ： 20 S LMの混合ガス を流した。 ヒー夕一温度を 1300°Cにキープし、 そこから母材を速度 1 Omm /分で下降させた。 終了位置 Fすなわちトラバースの最下端 （図 1) に母材が到 着した時点で母材を引き上げてスタート位置に戻した。 同時に昇温を開始し、 炉 心管内には C 12 ： 5 SLMと He ： 20 S L Mの混合ガスを流した。 ヒー夕一 温度が 1400°Cになった時点で母材を速度 5 mmZ分で下降させて、 最下端に 到着した時点で、母材を引き上げてスタート位置に戻した。同時に昇温を開始し、 炉心管内には C l2 ： 5 SLMと He ： 20 S L Mの混合ガスを流した。 ヒ一夕 一温度が 1550°Cになった時点で母材を速度 AmmZ分で下降させて、 最下端 に到着した時点で、 母材を引き上げると同時に炉内ヒーターの電源を切り、 母材 を引き上げた。 ガラス微粒子堆積体の長手方向各位置が炉心管内塩素雰囲気中に おいてヒー夕一を通過したトータル時間は 220分であった。 作製した母材をフ アイバ化し、スクリーニング試験を行った結果、 7回 ZMmの断線頻度となった。 こうして得られたガラス母材中の残留塩素濃度は 0. 3重量％であった。 (実施例 4)
コア/クラッド部を有する直径 20 mmのコアガラスロッドの両端にガラスダ ミーロッドを溶着して出発ガラスロッドを作製した。 この出発ロヅドの外周にガ ラス微粒子を OVD法により堆積させ、 この堆積体を用いて、 図 1に示す構成の 装置 （ヒ一夕一長： 40 Omm) を用いて母材の脱水 '焼結を行った。 ガラス微 粒子堆積体の嵩密度は事前に測定し、 母材内各箇所の平均で 0. 2 g/cm3で あることを確認した。 このガラス母材をスタート位置 S (図 1) に設置し、 炉内 を昇温すると同時に炉心管内に C 12 ： 2 SLMと He ： 20 S LMの混合ガス を流した。 ヒーター温度を 1300°Cにキープし、 そこから母材を速度 1 Omm /分で下降させた。 終了位置 Fすなわちトラバースの最下端 （図 1) に母材が到 着した時点で母材を引き上げてスタート位置 Sに戻した。 同時に昇温を開始し、 炉心管内には Cl2 ： 2 S LMと H e ： 20 S LMの混合ガスを流した。 ヒ一夕 一温度が 1550°Cになった時点で母材を速度 3mm/分で下降させて、 終了位 置 Fすなわち最下端に到着した時点で、 母材を引き上げると同時に炉内ヒー夕一 の電源を切り、 母材を引き上げた。 ガラス微粒子堆積体の長手方向各位置が炉心 管内塩素雰囲気中においてヒーターを通過したトータル時間は 173分であった c 作製した母材は塩素が入りすぎたため、 ガラス母材中に気泡が若干発生したもの の、 ファイバ化し、 スクリーニング試験を行った結果、 11回ノ Mmの断線頻度 となった。 ガラス母材注の残留塩素濃度は 0. 32重量％であった。
(実施例 5)
コア/クラッド部を有する直径 20 mmのコアガラスロ ヅドの両端にガラスダ ミー口ヅドを溶着して出発ガラスロッドを作製した。 この出発口ヅドの外周にガ ラス微粒子を OVD法により堆積させ、 この堆積体を用いて、 図 1に示す構成の 装置 （ヒー夕一長： 400mm) を用いて母材の脱水 '焼結を行った。 ガラス微 粒子堆積体の嵩密度は事前に測定し、 母材内各箇所の平均で 1. 2g/cm3で あることを確認した。 このガラス母材をスタート位置 S (図 1) に設置し、 炉内 を昇温すると同時に炉心管内に C 12 ： 5 SLMと He ： 20 S LMの混合ガス を流した。 ヒー夕一温度を 1300°Cにキープし、 そこから母材を速度 2mm/ 分で下降させた。 終了位置 Fすなわちトラバースの最下端 （図 1) に母材が到着 した時点で母材を引き上げてスタート位置に戻した。 同時に昇温を開始し、 炉心 管内には C 12 ： 5 S LMと H e ： 20 S L Mの混合ガスを流した。 ヒ一夕一温 度が 1550°Cになった時点で母材を速度 0. 5mm/分で下降させて、 最下端 に到着した時点で、 母材を引き上げると同時に炉内ヒーターの電源を切り、 母材 を引き上げた。 ガラス微粒子堆積体の長手方向各位置が炉心管内塩素雰囲気中に おいてヒー夕一を通過したトータル時間は 1000分であった。 ガラス微粒子堆 積体が硬すぎたため熱がかかりにくく処理時間が長くかかったものの作製した母 材を、 ファイバ化し、 スクリーニング試験を行った結果、 13回/ Mmの断線頻 度となった。 残留塩素濃度は 0. 2重量％であった。
(比較例 1 )
コア/クラヅド部を有する直径 2 Ommのコアガラスロッドの両端にガラスダ ミーロヅドを溶着して出発ガラスロッドを作製した。 この出発ロヅドの外周にガ ラス微粒子を OVD法により堆積させ、 この堆積体を用いて、 図 1に示す構成の 装置 （ヒー夕一長： 40 Omm) を用いて母材の脱水 ·焼結を行った。 ガラス微 粒子堆積体の嵩密度は事前に測定し、 母材内各箇所の平均で 0. 7gZcm3で あることを確認した。 このガラス母材をスタート位置 S (図 1) に設置し、 炉内 を昇温すると同時に炉心管内に C 12 ： 5 SLMと He ： 20 S LMの混合ガス を流した。 ヒ一夕一温度を 1300°Cにキープし、 そこから母材を速度 1 Omm /分で下降させた。 終了位置 Fすなわちトラバースの最下端 （図 1) に母材が到 着した時点で母材を引き上げてスタート位置 Sに戻した。 同時に昇温を開始し、 炉心管内には H eガスのみを 25 S LM流した。 ヒ一夕一温度が 1550°Cにな つた時点で母材を速度 3 mm/分で下降させて、 終了位置 Fすなわち最下端に到 着した時点で、 母材を引き上げると同時に炉内ヒーターの電源を切り、 母材を引 き上げた。 ガラス微粒子堆積体の長手方向各位置が炉心管内塩素雰囲気中におい てヒー夕一を通過したトータル時間は 40分であった。 作製した母材をファイバ 化し、 スクリーニング試験を行った結果、 100回 ZMmの断線頻度となった。 こうして得られたガラス母材中の残留塩素濃度は 0. 17重量％であった。 (比較例 2)
コア /クラヅド部を有する直径 2 Ommのコアガラスロ ヅドの両端にガラスダ ミーロッドを溶着して出発ガラスロ ヅドを作製した。 この出発ロヅドの外周にガ ラス微粒子を OVD法により堆積させ、 この堆積体を用いて、 図 1に示す構成の 装置 （ヒー夕一長： 40 Omm) を用いて母材の脱水 '焼結を行った。 ガラス微 粒子堆積体の嵩密度は事前に測定し、 母材内各箇所の平均で 0. 7 gZcm3で あることを確認した。 このガラス母材をスタート位置 S (図 1) に設置し、 炉内 を昇温すると同時に炉心管内には H eガスのみを 25 S LM流した。 ヒーター温 度を 1550°Cにキープし、 そこから母材を速度 2mm/分で下降させた。 終了 位置 Fすなわち最下端に到着した時点で、 母材を引き上げると同時に炉内ヒー夕 一の電源を切り、 母材を引き上げた。 ガラス微粒子堆積体の長手方向各位置が炉 心管内塩素雰囲気中においてヒーターを通過したトータル時間は 0分であった。 作製した母材をファイバ化し、 スクリーニング試験を行った結果、 200回/1 mの断線頻度となった。こうして得られた母材中の残留塩素濃度は 0%であった。 (比較例 3)
コア/クラッド部を有する直径 20mmのコアガラスロッドの両端にガラスダ ミーロッドを溶着して出発ガラスロッドを作製した。 この出発ロッドの外周にガ ラス微粒子を OVD法により堆積させ、 この堆積体を用いて、 図 1に示す構成の 装置 （ヒー夕一長： 400mm) を用いて母材の脱水 '焼結を行った。 ガラス微 粒子堆積体の嵩密度は事前に測定し、 母材内各箇所の平均で 0. 2 g/cm3で あることを確認した。 このガラス母材をスタート位置 S (図 1) に設置し、 炉内 を昇温すると同時に炉心管内に C 12 ： 5 SLMと He ： 20 SLMの混合ガス を流した。 ヒ一夕一温度を 1300°Cにキープし、 そこから母材を速度 10mm Z分で下降させた。 終了位置 Fすなわちトラバースの最下端 （図 1) に母材が到 着した時点で母材を引き上げてスタート位置 Sに戻した。 同時に昇温を開始し、 炉心管内には C l2 ： 5 S LMと H e ： 20 S LMの混合ガスを流した。 ヒータ 一温度が 1550°Cになった時点で母材を速度 4mm/分で下降させて、 終了位 置 Fすなわち最下端に到着した時点で、 母材を引き上げると同時に炉内ヒーター の電源を切り、 母材を引き上げた。 ガラス微粒子堆積体の長手方向各位置が炉心 管内塩素雰囲気中においてヒーターを通過したトータル時間は 140分であった c 作製した母材は塩素が入りすぎたため、 ガラス母材中に気泡が多発し、 ファイバ 化できなかった。 残留塩素濃度は 0. 35重量％であった。
(比較例 4)
コア/クラッド部を有する直径 20mmのコアガラス口ヅドの両端にガラスダ ミ一ロッドを溶着して出発ガラスロッドを作製した。 この出発ロッドの外周にガ ラス微粒子を OVD法により堆積させ、 この堆積体を用いて、 図 1に示す構成の 装置 （ヒータ一長： 400mm) を用いて母材の脱水 '焼結を行った。 ガラス微 粒子堆積体の嵩密度は事前に測定し、 母材内各箇所の平均で 1. 2 g/cm3で あることを確認した。 このガラス母材をスタート位置 S (図 1) に設置し、 炉内 を昇温すると同時に炉心管内に C 12 ： 5 SLMと He： 20 SLMの混合ガス を流した。 ヒ一夕一温度を 1300°Cにキープし、 そこから母材を速度 10mm /分で下降させた。 終了位置 Fすなわちトラバースの最下端 （図 1) に母材が到 着した時点で母材を引き上げてスタート位置に戻した。 同時に昇温を開始し、 炉 心管内には CI 2 ： 5 S LMと H e ： 20 S LMの混合ガスを流した。 ヒ一夕一 温度が 1550°Cになった時点で母材を速度 4mmZ分で下降させて、 最下端に 到着した時点で、 母材を引き上げると同時に炉内ヒーターの電源を切り、 母材を 引き上げた。 ガラス微粒子堆積体の長手方向各位置が炉心管内塩素雰囲気中にお いてヒーターを通過したトータル時間は 140分であった。 作製した母材はガラ ス微粒子堆積体が硬すぎたため熱がかかりにくく未焼結となり、 ファイバ化でき なかった。 残留塩素濃度は測定不能。
産業上の利用可能性
OVD法によるガラス微粒子堆積体の合成を經てガラス母材を製造する方法に おいて、 透明化工程のみの 1段階加熱工程若しくは脱水工程及び透明化工程の 2 段階加熱工程若しくは、 脱水工程と透明化工程の間に新たな加熱工程を設けて、 どの加熱工程においても塩素系ガスを含むガスを流すことにより塩素による金属 系異物低減効果が高められる。

Claims

請求の範囲
1 . ガラス微粒子堆積体を塩素系ガスを含むガス雰囲気中で透明化する加熱ェ 程を含むことを特徴とするガラス母材の製造方法。
2 . 前記加熱工程は、 ガラス微粒子堆積体を脱水剤となる塩素系ガスを含むガ ス雰囲気中に露呈してガラス微粒子堆積体に吸着あるいはガラス微粒子堆積体内 に含まれる水分を脱水処理する第 1の加熱処理工程と、
前記第 1の加熱処理工程後、 塩素系ガスを含むガス雰囲気中で前記ガラス微粒 子堆積体を透明化する第 2の加熱処理工程とを含むことを特徴とする請求の範囲 1に記載のガラス母材の製造方法。
3 . 前記加熱工程は、前記第 1の加熱処理工程と第 2の加熱処理工程との間に、 さらに塩素系ガスを含むガス雰囲気中で加熱する第 3の加熱処理工程を含むこと を特徴とする請求の範囲 2に記載のガラス母材の製造方法。
4 . 前記加熱処理工程は、 透明化に先立ち、 塩素系ガスを含むガス雰囲気中で前 記ガラス微粒子堆積体を加熱する第 3の加熱処理工程とを含むことを特徴とする 請求の範囲 1に記載のガラス母材の製造方法。
5 . 前記加熱工程は、 前記ガラス微粒子堆積体を長手方向に順次移動させながら 加熱を行う工程を含むことを特徴とする請求の範囲 1乃至 4のいずれかに記載の ガラス母材の製造方法。
6 . 前記加熱工程は、 各加熱処理工程の少なくとも一つにおいて、 塩素系ガスを 含む炉心管内雰囲気中に前記ガラス微粒子堆積体を曝し、 加熱する工程を含むこ とを特徴とする請求の 1乃至 4のいずれかに記載のガラス母材の製造方法。
7 .前記加熱工程で透明化されたガラス母材のクラッド部中の残留塩素濃度が 0 . 2 0重量％以上となる量の塩素を含有するように前記加熱処理を行うことを特徴 とする請求の範囲 1乃至 4のいずれかに記載のガラス母材の製造方法。
8 . 前記第 1の加熱処理工程は、 ヒータ温度が 1 0 0 0〜 1 3 5 0 °Cとなるよ うにして加熱する工程であることを特徴とする請求の範囲 2または 3に記載のガ ラス母材の製造方法。
9. 前記第 2の加熱処理工程は、 ヒー夕温度が 1450〜1600°Cとなるよ うにして加熱する工程であることを特徴とする請求の範囲 1乃至 4のいずれかに 記載のガラス母材の製造方法。
10. 前記第 3の加熱処理工程は、 ヒータ温度が 1350〜1450°Cである ことを特徴とする請求の範囲 3又は 4記載のガラス母材の製造方法。
11. 前記第 1の加熱処理工程は、 投入量 （SLM) の比が素系ガス ： Heガ ス =1 ： 0〜 10となるように、 脱水剤の塩素系ガスとともに Heガスを含む雰 囲気中で加熱する工程であることを特徴とする請求の範囲項 2又は 3に記載のガ ラス母材の製造方法。
12. 前記第 2の加熱処理工程は、 投入量 （SLM) の比が塩素系ガス ： He ガス = 1 ： 0〜 10となるように、 塩素系ガスとともに H eガスを含む雰囲気中 で加熱する工程であることを特徴とする請求の範囲 1乃至 4のいずれかに記載の ガラス母材の製造方法。
13. 前記加熱工程、 前記第 3の加熱処理工程は、 投入量 （SLM) の比が塩 素系ガス ： Heガス =1 ： 0〜 10となるように、 塩素系ガスとともに Heガス を含む雰囲気中で加熱する工程であることを特徴とする請求の範囲 3または 4に 記載のガラス母材の製造方法。
14. ガラス微粒子堆積体の平均嵩密度が 0. 4 g/cm3〜l. O gZcm3 であることを特徴とする請求の範囲 1乃至 4のいずれかに記載のガラス母材の製 造方法。
15. ガラス微粒子堆積体の平均嵩密度が 0. 4 g/cm3〜0. 8 gZcm3 であることを特徴とする請求の範囲 1乃至 4のいずれかに記載のガラス母材の製 造方法。
16. ガラス微粒子堆積体がコアのみ若しくはコア/クラッドを有するコアガ ラスロ ヅドの両端にダミーガラスロッドを溶融して作製した出発ガラスロ ヅドの 外側にガラス微粒子が堆積したものであることを特徴とする請求の範囲 1乃至 4 のいずれかに記載のガラス母材の製造方法。
17. 前記塩素系ガスを含むガス雰囲気中における加熱工程は、 総加熱時間が 1 4 0分以上であることを特徴とする請求の範囲 1乃至 4いずれかに記載のガラ ス母材の製造方法。
1 8 . 前記ガラス微粒子堆積体は OVD法によって形成されたものであることを 特徴とする請求の範囲 1乃至 4いずれかに記載のガラス母材の製造方法。
1 9 . コアと、 前記コアの周りを覆うように形成されたクラッドとを含み、 前 記クラッドの少なくとも一部の残留塩素濃度が 0 . 2重量％以上であることを特 徴とするガラス母材。
2 0 . 前記クラッド全体の残留塩素濃度が 0 . 2重量％以上であることを特徴 とする請求の範囲 1 9に記載のガラス母材。
PCT/JP2002/003863 2001-06-13 2002-04-18 Materiau a base de verre et son procede de fabrication WO2002102725A1 (fr)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003505277A JP4165397B2 (ja) 2001-06-13 2002-04-18 ガラス母材の製造方法及びガラス母材
US10/344,349 US20040007026A1 (en) 2001-06-13 2002-04-18 Glass base material and method of manufacturing glass base material
EP02722704A EP1405830A4 (en) 2001-06-13 2002-04-18 GLASS BASED MATERIAL AND METHOD FOR PRODUCING GLASS BASED MATERIAL

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001-178240 2001-06-13
JP2001178240 2001-06-13
JP2001357965 2001-11-22
JP2001-357965 2001-11-22

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2002102725A1 true WO2002102725A1 (fr) 2002-12-27

Family

ID=26616812

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2002/003863 WO2002102725A1 (fr) 2001-06-13 2002-04-18 Materiau a base de verre et son procede de fabrication

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP1405830A4 (ja)
JP (1) JP4165397B2 (ja)
CN (1) CN1285522C (ja)
WO (1) WO2002102725A1 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007269527A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ母材の製造方法および多孔質ガラス母材の脱水条件の決定方法
JP2011237796A (ja) * 2010-04-30 2011-11-24 Corning Inc 複屈折差機構を有する光ファイバ
JP2016003150A (ja) * 2014-06-13 2016-01-12 住友電気工業株式会社 ガラス母材の製造方法
JP2020055721A (ja) * 2018-10-04 2020-04-09 株式会社フジクラ 光ファイバ用ガラス体の製造方法
US20220081345A1 (en) * 2020-09-16 2022-03-17 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Manufacturing method of glass base material for optical fiber
WO2024063136A1 (ja) * 2022-09-21 2024-03-28 信越化学工業株式会社 光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、および光ファイバ

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015107931A1 (ja) * 2014-01-16 2015-07-23 古河電気工業株式会社 光ファイバ母材の製造方法および光ファイバの製造方法
US10947149B2 (en) * 2017-10-30 2021-03-16 Corning Incorporated Halogen-doped silica for optical fiber preforms
CN113385519A (zh) * 2021-05-24 2021-09-14 江苏天楹等离子体科技有限公司 一种基于等离子体的报废光伏组件回收装置及其方法
CN114735927A (zh) * 2022-04-15 2022-07-12 江苏亨芯石英科技有限公司 一种生产半导体掩模版用合成石英材料的方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0189865A1 (en) * 1985-01-25 1986-08-06 Sumitomo Electric Industries Limited Optical fiber and method for producing the same
JPS63190734A (ja) * 1987-01-30 1988-08-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ用母材の製造方法
JPH04119940A (ja) * 1990-09-11 1992-04-21 Fujikura Ltd ガラス体の製造方法
JPH05116976A (ja) * 1991-10-24 1993-05-14 Furukawa Electric Co Ltd:The 光フアイバ母材の製造方法
JPH06263468A (ja) * 1993-03-12 1994-09-20 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス母材の製造方法
JP2000063147A (ja) * 1998-08-10 2000-02-29 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ母材およびその製造方法
US6116055A (en) * 1996-08-09 2000-09-12 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method of making synthetic silica glass

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0829956B2 (ja) * 1986-11-25 1996-03-27 株式会社フジクラ ハロゲン含有ガラスの製造法
JP3106564B2 (ja) * 1991-07-24 2000-11-06 住友電気工業株式会社 光ファイバの製造方法及び石英系光ファイバ
US20030079504A1 (en) * 2001-10-26 2003-05-01 Boek Heather D. Methods and apparatus for forming a chlorine-doped optical waveguide preform

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0189865A1 (en) * 1985-01-25 1986-08-06 Sumitomo Electric Industries Limited Optical fiber and method for producing the same
JPS63190734A (ja) * 1987-01-30 1988-08-08 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ用母材の製造方法
JPH04119940A (ja) * 1990-09-11 1992-04-21 Fujikura Ltd ガラス体の製造方法
JPH05116976A (ja) * 1991-10-24 1993-05-14 Furukawa Electric Co Ltd:The 光フアイバ母材の製造方法
JPH06263468A (ja) * 1993-03-12 1994-09-20 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス母材の製造方法
US6116055A (en) * 1996-08-09 2000-09-12 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method of making synthetic silica glass
JP2000063147A (ja) * 1998-08-10 2000-02-29 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ母材およびその製造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1405830A4 *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007269527A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ母材の製造方法および多孔質ガラス母材の脱水条件の決定方法
JP2011237796A (ja) * 2010-04-30 2011-11-24 Corning Inc 複屈折差機構を有する光ファイバ
JP2016003150A (ja) * 2014-06-13 2016-01-12 住友電気工業株式会社 ガラス母材の製造方法
CN105314830A (zh) * 2014-06-13 2016-02-10 住友电气工业株式会社 玻璃母材的制造方法
JP2020055721A (ja) * 2018-10-04 2020-04-09 株式会社フジクラ 光ファイバ用ガラス体の製造方法
JP7164384B2 (ja) 2018-10-04 2022-11-01 株式会社フジクラ 光ファイバ用ガラス体の製造方法
US20220081345A1 (en) * 2020-09-16 2022-03-17 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Manufacturing method of glass base material for optical fiber
WO2024063136A1 (ja) * 2022-09-21 2024-03-28 信越化学工業株式会社 光ファイバ母材の製造方法、光ファイバ母材、および光ファイバ

Also Published As

Publication number Publication date
EP1405830A1 (en) 2004-04-07
CN1516681A (zh) 2004-07-28
JPWO2002102725A1 (ja) 2004-09-30
JP4165397B2 (ja) 2008-10-15
CN1285522C (zh) 2006-11-22
EP1405830A4 (en) 2011-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2049898C (en) Method for manufacturing a silica glass base material
US4082420A (en) An optical transmission fiber containing fluorine
JPS5813503B2 (ja) ガラス物品の製造方法
US4161505A (en) Process for producing optical transmission fiber
WO2002102725A1 (fr) Materiau a base de verre et son procede de fabrication
US4295869A (en) Process for producing optical transmission fiber
US4165152A (en) Process for producing optical transmission fiber
CN111615499B (zh) 光纤母材的制造方法、光纤母材以及光纤的制造方法、光纤
EP0167054B1 (en) Method for producing glass preform for optical fiber
JP4181226B2 (ja) 高純度、高耐熱性石英ガラスの製造方法
KR101084393B1 (ko) 광섬유 모재의 제조 방법 및 그 장치
CN1197798C (zh) 一种制备光纤预制棒的方法
EP0968972B1 (en) Process for fabricating optical fiber
WO2008001673A1 (fr) processus de fabrication de base de fibre optique, PROCESSUS DE FABRICATION DE FIBRE OPTIQUE, et fibre optique
JPH09169535A (ja) 光ファイバの製造方法
US20040007026A1 (en) Glass base material and method of manufacturing glass base material
JP2002104830A (ja) ガラス母材の製造方法
CN101426742B (zh) 光纤母材的制造方法
WO2005054144A1 (en) Fabrication method of optical fiber preform and optical fiber containing few hydroxyl groups
JPS5842136B2 (ja) 光フアイバ母材の製造方法
JP2004338992A (ja) ガラス母材の製造方法
JP2003335537A (ja) 光ファイバ母材の製造方法およびこれを用いた光ファイバの製造方法
JP2003286033A (ja) ガラス微粒子堆積体の製造方法及び製造装置
JP4071348B2 (ja) 光ファイバ母材の脱水処理方法
JPH0524854A (ja) ガラス物品の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AU CN JP KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10344349

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2002722704

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 02811826X

Country of ref document: CN

Ref document number: 2003505277

Country of ref document: JP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2002722704

Country of ref document: EP