WO2002065161A2 - Dispositif d'actionnement d'une partie mobile d'une structure integree, en particulier munie de moyens de guidage optique - Google Patents

Dispositif d'actionnement d'une partie mobile d'une structure integree, en particulier munie de moyens de guidage optique Download PDF

Info

Publication number
WO2002065161A2
WO2002065161A2 PCT/FR2002/000500 FR0200500W WO02065161A2 WO 2002065161 A2 WO2002065161 A2 WO 2002065161A2 FR 0200500 W FR0200500 W FR 0200500W WO 02065161 A2 WO02065161 A2 WO 02065161A2
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
electrodes
faces
pairs
fixed part
mobile part
Prior art date
Application number
PCT/FR2002/000500
Other languages
English (en)
Other versions
WO2002065161A3 (fr
Inventor
Michel Bruel
Original Assignee
Opsitech-Optical System On A Chip
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Opsitech-Optical System On A Chip filed Critical Opsitech-Optical System On A Chip
Priority to AU2002241010A priority Critical patent/AU2002241010A1/en
Publication of WO2002065161A2 publication Critical patent/WO2002065161A2/fr
Publication of WO2002065161A3 publication Critical patent/WO2002065161A3/fr

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3502—Optical coupling means having switching means involving direct waveguide displacement, e.g. cantilever type waveguide displacement involving waveguide bending, or displacing an interposed waveguide between stationary waveguides
    • G02B6/3504—Rotating, tilting or pivoting the waveguides, or with the waveguides describing a curved path
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/02—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light

Definitions

  • the present invention relates to the field of integrated structures, in particular integrated structures provided with optical guidance means for the purpose of transporting optical or light waves.
  • Patent FR-A-90 03 902 describes integrated optical switches in which a structure has a flexible beam, which carries an optical micro-guide longitudinally, is capable of being deformed in order to selectively bring the axis of the core of the microphone -guide of the beam in coincidence with the axis of fixed micro-guides of the structure, via a space separating the end surface of the beam and a fixed surface of the structure.
  • patent FR-A-95 00 201 describes switches in which the aforementioned flexible beam is replaced by a platform carried by arms and moving in translation.
  • the object of the present invention is in particular to propose a device for actuating a movable part of an integrated structure, capable of acting in a precise, efficient manner and without disturbance.
  • the present invention relates in particular to a device for actuating a mobile part of an integrated structure, in particular provided with optical guide means, comprising two spaces arranged successively in the direction of movement of said mobile part and delimited by faces of the movable part and of the fixed part of said structure, the faces delimiting each space belonging one to the fixed part and the other to the movable part of the structure and said faces comprising an electrically conductive material so as to constitute, in each space, pairs of electrodes.
  • this actuation device comprises a control device adapted to selectively connect the electrodes of one of said pairs of electrodes to the poles of an electrical energy source and electrically connect the electrodes of the another pair of electrodes.
  • the mobile part comprises a branch provided on either side with electrodes and engaged between two faces of the fixed part provided with electrodes.
  • the fixed part comprises a branch provided on either side with electrodes and engaged between two faces of the movable part provided with electrodes.
  • the distance between the electrodes of one of said pairs of electrodes is preferably equal to the distance between the electrodes of the other pair of electrodes.
  • control device preferably comprises electrical switches with two positions and a control member for simultaneously switching these switches.
  • FIG. 1 shows a horizontal section of a transmission device provided with an actuating device according to the present invention
  • FIG. 3 shows an electrical control diagram of the above actuation device
  • FIG. 4 shows a cross section of the aforementioned transmission device, according to IV-IV of Figure 1; - And Figure 5 shows an enlarged horizontal section of an alternative embodiment of the actuating device.
  • the device 1 for transmitting a light wave shown comprises an integrated structure 2 for optical guidance constituted by a block which comprises integrated optical micro-guides.
  • the integrated structure 2 comprises a fixed part 2a having a cavity 3 in which extends, in cantilever, a mobile part constituted by a flexible longitudinal beam 4, this beam 4 extending from a wall 5 vertical and transverse of this cavity 3 and in the direction of a coupling face 6 vertical and transverse of the cavity 3.
  • the transverse end surface 7 of the beam 4, which constitutes a coupling face, extends at a short distance of the transverse plane of the coupling face 6 of the cavity 3, forming a coupling space 8 between these coupling faces 6 and 7.
  • the integrated structure 2 comprises a longitudinal transmission core 9a of an optical micro-guide 9 which extends on the side of the wall 5 of the cavity 3 and which extends along the beam 4 to its coupling face 7.
  • the fixed part 2a of the integrated structure 2 also comprises, on the side of the coupling face 6, a longitudinal transmission core 10a of a fixed optical micro-guide 10 and a longitudinal transmission core 11a of an optical mircoguide fixed 11.
  • These transmission cores 10a and 11a are arranged on either side of the longitudinal direction of the transmission core 9a carried by the beam 4 when the latter is in its rest position.
  • the end of its mobile transmission core 10a, on the coupling face 7 can be optically coupled with the end of the fixed transmission core 10a or the end of the fixed transmission core 11a, on the coupling face 6 of the fixed part 2a, through the coupling space 8.
  • An optical switch is thus obtained.
  • the flexible beam 4 is provided with an actuating device
  • the flexible beam 4 has, in the cavity 3, a lateral arm 13 which extends perpendicular to its longitudinal direction.
  • This arm 13 carries, on either side, a longitudinal branch 14 which is engaged, at a distance, between two longitudinal and vertical faces 15 and 16 of the fixed part 2a formed in the cavity 3, so that respectively between the longitudinal and vertical faces 18 and 19 of the branch 14 connected to the beam 4 and the faces 15 and 16 of the fixed part
  • the face 15 of the fixed part 2a and the face 18 of the branch 14 are covered with metal layers so as to constitute electrodes 22 and 23 of a first pair of electrodes.
  • the face 19 of the branch 14a and the face 15 of the fixed part 2a are covered with metal layers so as to constitute electrodes 24 and 25 of a second pair of electrodes.
  • the distance separating the electrodes 22 and 23 from the first pair of electrodes and the distance separating the electrodes 24 and 25 from the second pair of electrodes are equal.
  • the electrodes 22-25 are connected to a control device 26 which comprises four electrical switches 27-30, in particular electromechanical or electronic, which for example have switching members
  • the electrodes 22-25 are respectively connected to the input / output pads 27a-30a.
  • the switching pads 27b and 30c are connected to the pole (+) of an electrical energy source 36.
  • the pads 28b and 29c are connected to the pole (-) of this source 36.
  • the pads 27c and 28c are interconnected and the pads 29b and 30b are interconnected.
  • the poles of the electrical source 36 could be connected symmetrically.
  • the switching members 31-34 are in their aforementioned first position, on the one hand the electrodes 22 and 23 of the first pair of electrodes are connected to the poles of the electric source 36 to produce an attractive force between they and on the other hand the electrodes 24 and 25 of the second pair of electrodes are connected together and produce no disturbing force.
  • the electrodes 22 and 23 of the first pair of electrodes are connected to the poles of the electric source 36 to produce an attractive force between they and on the other hand the electrodes 24 and 25 of the second pair of electrodes are connected together and produce no disturbing force.
  • the switching members 31-34 When the switching members 31-34 are in their aforementioned second position, on the one hand the electrodes 22 and 23 of the first pair of electrodes are connected to one another and produce no disturbing force and on the other hand the electrodes 24 and 25 of the second pair of electrodes are connected to the poles of the electric source 36 to produce an attractive force between them.
  • the integrated structure 2a comprises a base layer 37 on which a lower layer 38 is formed then an upper layer 39, the transmission cores 9a, 10a and lia being formed on the lower layer 38 and in the upper layer 39.
  • the cavity 3 is hollowed out so that the flexible beam 4, the arm 13 and the branch 14 are formed by parts of the layers 21 and 22.
  • the cavity 3 is also covered by a cover 23.
  • the refractive index of the material constituting the transmission cores 9a, 10a and 11a is greater than the refractive index of the material or materials constituting the layers 38 and 39.
  • the base layer 37 is constituted by a silicon substrate, the layers 38 and 39 are made of undoped silica and the transmission cores 9a, 10a and 11a are made of doped silica, of silicon nitride or of silicon oxynitride.
  • the transmission cores 9a, 10a and 11a of the optical micro-guides 9, 10 and 11 are of rectangular or square section and have sides of dimensions between five and fourteen microns.
  • the distance between the fixed transmission cores 10a and 11a can be between thirty microns and sixty microns.
  • the metal layers constituting the electrodes 22-25 can be made of aluminum or gold.
  • the integrated structure 2 can be provided, in a manner known per se, with connection tracks and / or wired connection bridges to connection pads.
  • the arm 13 could carry at least two branches 14a and 14b spaced apart in the direction of movement of the flexible beam 4 and provided on their faces in opposite directions.
  • opposite electrodes 22a and 25a, corresponding to electrodes 22 and 25 of the previous example, and the fixed part 2a could have a fixed branch 37 carrying on either side electrodes 23a and 24a, corresponding to electrodes 23 and 24 from the previous example.
  • the actuation device 12 which has just been described in a simplified manner could be completed so as to adapt the force necessary for actuation by bending of the flexible beam 4.
  • the arm 13 carried by the flexible beam 4 could indeed be provided with other branches 14 located on the same side or opposite, associated with other faces 15 and 16 of the fixed part 2a of the integrated structure 2, so as to produce other pairs of pairs of electrodes 23, 23 and 24, 25, connected in parallel to the electrical switches 27-30.
  • the actuating device 12 could moreover be associated with a platform with displacement by translation replacing the flexible beam 4.
  • the present invention is not limited to the example described above. Many variations are possible without departing from the scope defined by the appended claims.

Abstract

Dispositif d'actionnement d'une partie mobile d'une structure intégrée, en particulier munie de moyens de guidage optique, comprenant deux espaces disposés successivement selon la direction du déplacement de ladite partie mobile et délimités par des faces de la partie mobile et de la partie fixe de ladite structure, les faces délimitant chaque espace appartenant l'une à la partie fixe et l'autre à la partie mobile de la structure et lesdites faces comprenant une matière conductrice de l'électricité de façon à constituer, dans chaque espace, des paires d'électrodes, et comprenant un dispositif de commande adapté pour sélectivement relier les électrodes de l'une (22, 23) desdites paires d'électrodes (22, 23; 24, 25) aux pôles d'une source d'énergie électrique et relier entre elles électriquement les électrodes de l'autre paire d'électrodes (24, 25).

Description

DISPOSITIF D'ACTIONNEMENT
D'UNE PARTIE MOBILE D'UNE STRUCTURE INTÉGRÉE,
EN PARTICULIER MUNIE DE MOYENS DE GUIDAGE OPTIQUE
La présente invention concerne le domaine des structures intégrées, en particulier des structures intégrées munies de moyens de guidage optique en vue de transporter des ondes optiques ou lumineuses.
Le brevet FR-A-90 03 902 décrit des commutateurs optiques intégrés dans lesquels une structure présente une poutre flexible, qui porte longitudinalement un micro-guide optique, est susceptible d'être déformée afin d'amener sélectivement l'axe du coeur du micro-guide de la poutre en coïncidence avec l'axe de micro-guides fixes de la structure, via un espace séparant la surface d'extrémité de la poutre et une surface fixe de la structure.
Par ailleurs, le brevet FR-A-95 00 201 décrit des commutateurs dans lesquels la poutre flexible précitée est remplacée par une plate-forme portée par des bras et se déplaçant en translation.
Dans les documents ci-dessus, il est proposé de provoquer l'actionnement de la poutre flexible ou de la plateforme grâce à des systèmes de commande capacitifs à électrodes. Il apparaît cependant que ces systèmes sont insuffisants, voire inopérants.
La présente invention a notamment pour but de proposer un dispositif d'actionnement d'une partie mobile d'une structure intégrée, susceptible d'agir de façon précise, efficace et sans perturbation.
La présente invention a notamment pour objet un dispositif d'actionnement d'une partie mobile d'une structure intégrée, en particulier munie de moyens de guidage optique, comprenant deux espaces disposés successivement selon la direction du déplacement de ladite partie mobile et délimités par des faces de la partie mobile et de la partie fixe de ladite structure, les faces délimitant chaque espace appartenant l'une à la partie fixe et l'autre à la partie mobile de la structure et lesdites faces comprenant une matière conductrice de l'électricité de façon à constituer, dans chaque espace, des paires d'électrodes. Selon l'invention, ce dispositif d'actionnement comprend un dispositif de commande adapté pour sélectivement relier les électrodes de l'une desdites paires d'électrodes aux pôles d'une source d'énergie électrique et relier entre elles électriquement les électrodes de l'autre paire d'électrodes. Selon une variante de l'invention, la partie mobile comprend une branche munie de part et d'autre d'électrodes et engagée entre deux faces de la partie fixe munies d'électrodes.
Selon une autre variante de l'invention, la partie fixe comprend une branche munie de part et d'autre d'électrodes et engagée entre deux faces de la partie mobile munies d'électrodes.
Selon l'invention, la distance entre les électrodes de l'une desdites paires d'électrodes est de préférence égale à la distance entre les électrodes de l'autre paire d'électrodes.
Selon l'invention, le dispositif de commande comprend de préférence des commutateurs électriques à deux positions et un organe de pilotage pour commuter simultanément ces commutateurs.
La présente invention sera mieux comprise à l'étude d'un dispositif de transmission d'ondes optiques ou lumineuses à commutateur muni d'un dispositif d'actionnement, décrit à titre d'exemple non limitatif et illustré par le dessin sur lequel :
- la figure 1 représente une coupe horizontale d'un dispositif de transmission muni d'un dispositif d'actionnement selon la présente invention ;
- la figure 2 représente une coupe horizontale agrandie de ce dispositif d'actionnement ;
- la figure 3 représente un schéma électrique de commande du dispositif d'actionnement ci-dessus ;
- la figure 4 représente une coupe transversale du dispositif de transmission précité, selon IV-IV de la figure 1 ; - et la figure 5 représente une coupe horizontale agrandie de d'une variante d'exécution du dispositif d'actionnement.
Le dispositif 1 de transmission d'une onde lumineuse représenté comprend une structure intégrée 2 de guidage optique constituée par un bloc qui comprend des micro-guides optiques intégrés.
La structure intégrée 2 comprend une partie fixe 2a présentant une cavité 3 dans laquelle s'étend, en porte-à-faux, une partie mobile constituée par une poutre flexible longitudinale 4, cette poutre 4 s'étendant à partir d'une paroi 5 verticale et transversale de cette cavité 3 et en direction d'une face de couplage 6 verticale et transversale de la cavité 3. La surface d'extrémité transversale 7 de la poutre 4, qui constitue une face de couplage, s'étend à faible distance du plan transversal de la face de couplage 6 de la cavité 3, en formant un espace de couplage 8 entre ces faces de couplage 6 et 7.
La structure intégrée 2 comprend un coeur longitudinal de transmission 9a d'un micro-guide optique 9 qui s'étend du côté de la paroi 5 de la cavité 3 et qui se prolonge le long de la poutre 4 jusqu'à sa face de couplage 7. La partie fixe 2a de la structure intégrée 2 comprend également, du côté de la face de couplage 6, un coeur longitudinal de transmission 10a d'un micro-guide optique fixe 10 et un coeur longitudinal de transmission lia d'un mircoguide optique fixe 11.
Ces coeurs de transmission 10a et lia sont disposés de part et d'autre de la direction longitudinale du coeur de transmission 9a porté par la poutre 4 lorsque cette dernière est à sa position de repos.
Lorsque la poutre 4 est fléchie horizontalement d'un côté ou de l'autre, à partir de sa position de repos, l'extrémité de son coeur de transmission mobile 10a, sur la face de couplage 7, peut être couplée optiquement avec l'extrémité du coeur de transmission fixe 10a ou l'extrémité du coeur de transmission fixe lia, sur la face de couplage 6 de la partie fixe 2a, au travers de l'espace de couplage 8. On obtient ainsi un commutateur optique. La poutre flexible 4 est munie d'un dispositif d'actionnement
12 constitué de la manière suivante et plus précisément représenté sur la figure 2.
A faible distance de son extrémité, la poutre flexible 4 présente, dans la cavité 3, un bras latéral 13 qui s'étend perpendiculairement à sa direction longitudinale. Ce bras 13 porte, de part et d'autre, une branche longitudinale 14 qui est engagée, à distance, entre deux faces longitudinales et verticales 15 et 16 de la partie fixe 2a ménagées dans la cavité 3, de telle sorte qu'entre respectivement les faces longitudinales et verticales 18 et 19 de la branche 14 reliée à la poutre 4 et les faces 15 et 16 de la partie fixe
2a, situées en vis-à-vis, sont prévus des espaces transversaux 20 et 21.
La face 15 de la partie fixe 2a et la face 18 de la branche 14 sont recouvertes de couches métalliques de façon à constituer des électrodes 22 et 23 d'une première paire d'électrodes. La face 19 de la branche 14a et la face 15 de la partie fixe 2a sont recouvertes de couches métalliques de façon à constituer des électrodes 24 et 25 d'une seconde paire d'électrodes.
De préférence, la distance séparant les électrodes 22 et 23 de la première paire d'électrodes et la distance séparant les électrodes 24 et 25 de la seconde paire d'électrodes sont égales.
Comme le montre la figure 3, les électrodes 22-25 sont reliées à un dispositif de commande 26 qui comprend quatre commutateurs électriques 27-30, en particulier électromécaniques ou électroniques, qui présentent par exemple des organes de commutation
31-34 à deux positions, commandables simultanément grâce à un organe de pilotage 35 de façon à connecter, dans une première position, leurs plots d'entrée/sortie 27a-30a à leurs plots de commutation 27b-30b et, dans une seconde position, leurs plots d'entrée/sortie 27a-30a à leurs plots de commutation 27c-30c.
Les électrodes 22-25 sont respectivement reliées aux plots d'entrée/sortie 27a-30a. Les plots de commutations 27b et 30c sont reliés au pôle (+) d'une source d'énergie électrique 36. Les plots 28b et 29c sont reliés au pôle (-) de cette source 36. Les plots 27c et 28c sont reliés entre eux et les plots 29b et 30b sont reliés entre eux. Dans une variante, les pôles de la source électrique 36 pourraient être connectés de façon symétrique.
Ainsi, lorsque les organes de commutation 31-34 sont à leur première position précitée, d'une part les électrodes 22 et 23 de la première paire d'électrodes sont reliées aux pôles de la source électrique 36 pour produire une force d'attraction entre elles et d'autre part les électrodes 24 et 25 de la seconde paire d'électrodes sont reliées entre elles et ne produisent aucune force perturbatrice. On obtient alors un rapprochement de la branche 14 vers la face 15 de la partie fixe 2a et un fléchissement dans le sens correspondant de la poutre flexible 4.
Lorsque les organes de commutation 31-34 sont à leur seconde position précitée, d'une part les électrodes 22 et 23 de la première paire d'électrodes sont reliées entre elles et ne produisent aucune force perturbatrice et d'autre part les électrodes 24 et 25 de la seconde paire d'électrodes sont reliées aux pôles de la source électrique 36 pour produire une force d'attraction entre elles. On obtient alors un rapprochement de la branche 14 vers la face 16 de la partie fixe 2a et un fléchissement dans le sens correspondant de la poutre flexible 4, inverse du précédent.
Comme le montre plus particulièrement la figure 4, la structure intégrée 2a comprend une couche de base 37 sur laquelle est formée une couche inférieure 38 puis une couche supérieure 39, les coeurs de transmission 9a, 10a et lia étant formés sur la couche inférieure 38 et dans la couche supérieure 39. La cavité 3 est creusée de telle sorte que la poutre flexible 4, le bras 13 et la branche 14 soient formés par des parties des couches 21 et 22. La cavité 3 est par ailleurs recouverte par un couvercle 23. Pour constituer les micro-guides optiques 9, 10 et 11, l'indice de réfraction du matériau constituant les coeurs de transmission 9a, 10a et lia est supérieur à l'indice de réfraction du ou des matériaux constituant les couches 38 et 39. Dans un exemple de réalisation, la couche de base 37 est constituée par un substrat en silicium, les couches 38 et 39 sont en silice non dopée et les coeurs de transmission 9a, 10a et lia sont en silice dopée, en nitrure de silicium ou en oxynitrure de silicium. A titre indicatif, les coeurs de transmission 9a, 10a et lia des micro-guides optiques 9, 10 et 11 sont de section rectangulaire ou carrée et présentent des côtés de dimensions comprises entre cinq et quatorze microns. La distance entre les coeurs de transmission fixes 10a et lia peut être comprise entre trente microns et soixante microns. Les couches métalliques constituant les électrodes 22-25 peuvent être en aluminium ou en or.
Pour relier les électrodes 22-25 aux commutateurs électriques 27-30, la structure intégrée 2 peut être munie, de façon connue en soi, de pistes de connexion et/ou de ponts filaires de connexion vers des plots de connexion.
Comme le montre la figure 5, dans une variante inverse et équivalente de l'exemple précédent, le bras 13 pourrait porter au moins deux branches 14a et 14b espacées dans le sens du déplacement de la poutre flexible 4 et munies sur leurs faces en vis-à-vis d'électrodes 22a et 25a, correspondant aux électrodes 22 et 25 de l'exemple précédent, et la partie fixe 2a pourrait présenter une branche fixe 37 portant de part et d'autre des électrodes 23a et 24a, correspondant aux électrodes 23 et 24 de l'exemple précédent.
Le dispositif d'actionnement 12 qui vient d'être décrit de façon simplifiée pourrait être complété de façon à adapter la force nécessaire à l'actionnement par flexion de la poutre flexible 4. Le bras 13 porté par la poutre flexible 4 pourrait en effet être muni d'autres branches 14 situées d'un même côté ou opposées, associées à d'autres faces 15 et 16 de la partie fixe 2a de la structure intégrée 2, de façon à réaliser d'autres couples de paires d'électrodes 23, 23 et 24, 25, reliées en parallèle aux commutateurs électriques 27-30.
Le dispositif d'actionnement 12 pourrait par ailleurs être associer à une plateforme à déplacement par translation remplaçant la poutre flexible 4. La présente invention ne se limite pas à l'exemple ci-dessus décrit. Bien des variantes sont possibles sans sortir du cadre défini par les revendications annexées.

Claims

REVENDICATIONS
1. Dispositif d'actionnement d'une partie mobile d'une structure intégrée, en particulier munie de moyens de guidage optique, comprenant deux espaces disposés successivement selon la direction du déplacement de ladite partie mobile et délimités par des faces de la partie mobile et de la partie fixe de ladite structure, les faces délimitant chaque espace appartenant l'une à la partie fixe et l'autre à la partie mobile de la structure et lesdites faces comprenant une matière conductrice de l'électricité de façon à constituer, dans chaque espace, des paires d'électrodes, caractérisé par le fait qu'il comprend un dispositif de commande (26) adapté pour sélectivement relier les électrodes de l'une (22, 23) desdites paires d'électrodes (22, 23 ; 24, 25) aux pôles d'une source d'énergie électrique (36) et relier entre elles électriquement les électrodes de l'autre paire d'électrodes (24, 25).
2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que la partie mobile (4) comprend une branche (14) munie de part et d'autre d'électrodes (23, 24) et engagée entre deux faces (15, 16) de la partie fixe (2a) munies d'électrodes (22, 25).
3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que la partie fixe comprend une branche munie de part et d'autre d'électrodes et engagée entre deux faces de la partie mobile munies d'électrodes.
4. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que la distance entre les électrodes (22, 23) de l'une desdites paires d'électrodes est égale à la distance entre les électrodes (24, 25) de l'autre paires d'électrodes.
5. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que le dispositif de commande comprend des commutateurs électriques (27-30) à deux positions et un organe de pilotage (35) pour commuter simultanément ces commutateurs.
PCT/FR2002/000500 2001-02-12 2002-02-08 Dispositif d'actionnement d'une partie mobile d'une structure integree, en particulier munie de moyens de guidage optique WO2002065161A2 (fr)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AU2002241010A AU2002241010A1 (en) 2001-02-12 2002-02-08 Device for actuating a mobile part of an integrated structure, in particular provided with optical guide means

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR01/01874 2001-02-12
FR0101874A FR2820832B1 (fr) 2001-02-12 2001-02-12 Dispositif d'actionnement d'une partie mobile d'une structure integree, en particulier munie de moyens de guidage optique

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2002065161A2 true WO2002065161A2 (fr) 2002-08-22
WO2002065161A3 WO2002065161A3 (fr) 2003-03-13

Family

ID=8859899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/FR2002/000500 WO2002065161A2 (fr) 2001-02-12 2002-02-08 Dispositif d'actionnement d'une partie mobile d'une structure integree, en particulier munie de moyens de guidage optique

Country Status (3)

Country Link
AU (1) AU2002241010A1 (fr)
FR (1) FR2820832B1 (fr)
WO (1) WO2002065161A2 (fr)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1346947A3 (fr) * 2002-03-19 2004-04-14 Japan Aviation Electronics Industry, Limited Dispositifs d'attenuation ou commutation optique contrôlés électrostatiquement

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1598334A (en) * 1977-12-13 1981-09-16 Standard Telephones Cables Ltd Switch arrangement
FR2725038A1 (fr) * 1994-09-27 1996-03-29 Dassault Automatismes Commutateur optique integre bidirectionnel destine a commuter le faisceau lumineux d'une fibre optique
EP0712004A1 (fr) * 1994-11-10 1996-05-15 Commissariat A L'energie Atomique Dispositif de compensation des déformations d'une partie d'un système optomécanique ou micromécanique
FR2729232A1 (fr) * 1995-01-10 1996-07-12 Commissariat Energie Atomique Dispositif optique pour application optomecanique

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1598334A (en) * 1977-12-13 1981-09-16 Standard Telephones Cables Ltd Switch arrangement
FR2725038A1 (fr) * 1994-09-27 1996-03-29 Dassault Automatismes Commutateur optique integre bidirectionnel destine a commuter le faisceau lumineux d'une fibre optique
EP0712004A1 (fr) * 1994-11-10 1996-05-15 Commissariat A L'energie Atomique Dispositif de compensation des déformations d'une partie d'un système optomécanique ou micromécanique
FR2729232A1 (fr) * 1995-01-10 1996-07-12 Commissariat Energie Atomique Dispositif optique pour application optomecanique

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1346947A3 (fr) * 2002-03-19 2004-04-14 Japan Aviation Electronics Industry, Limited Dispositifs d'attenuation ou commutation optique contrôlés électrostatiquement

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002065161A3 (fr) 2003-03-13
AU2002241010A1 (en) 2002-08-28
FR2820832A1 (fr) 2002-08-16
FR2820832B1 (fr) 2003-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2524658A1 (fr) Commutateur optique et matrice de commutation comprenant de tels commutateurs
EP0218546B1 (fr) Dispositif de micropositionnement
JPWO2008072688A1 (ja) フォトダイオード
EP1752803B1 (fr) Dispositif optoélectronique integré
US20040071395A1 (en) Low loss optical switching system
WO2002065161A2 (fr) Dispositif d'actionnement d'une partie mobile d'une structure integree, en particulier munie de moyens de guidage optique
US6647168B2 (en) Low loss optical switching system
EP0908753B1 (fr) Systeme de positionnement d'une microstructure optique
EP1805100B1 (fr) Microsysteme comportant un pont deformable
EP0521797A1 (fr) Commutateur optique à commande électrique
FR2725038A1 (fr) Commutateur optique integre bidirectionnel destine a commuter le faisceau lumineux d'une fibre optique
WO2002046824A2 (fr) Commutateur optique integre, 2x2 voies
CA2730189C (fr) Element optique bimorphe
FR2706075A1 (fr) Dispositif de commande du type actionneur à pièce mobile conservant son orientation au cours du mouvement.
Chen et al. Silicon photonic beam steering module with backside coupling elements toward dense heterogeneous integration with drive electronics
FR2950194A1 (fr) Actionneur electromecanique a electrodes interdigitees
EP1332386B1 (fr) Commutateur optique integre munie d'une fibre optique
EP3660563A1 (fr) Test de circuit photonique intégré
WO2003064316A1 (fr) Structure integree a partie mobile, en particulier structure optique integree
FR2706074A1 (fr) Dispositif de commande du type actionneur à structure symétrique.
TWI286610B (en) Optical variable attenuator and optical module
FR2823860A1 (fr) Commutateur optique multivoie
FR2819594A1 (fr) Structure optique a poutre isolee et son procede de fabrication
WO2002093199A2 (fr) Structure optique integree a parties conductrices de l'electricite
FR2807844A1 (fr) Commutateur optique a pieces mobiles et son procede de realisation, et dispositif de brassage optique utilisant le commutateur optique

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NO NZ OM PH PL PT RO RU SD SE SG SI SK SL TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
AK Designated states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV MA MD MG MK MN MW MX MZ NO NZ OM PH PL PT RO RU SD SE SG SI SK SL TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): GH GM KE LS MW MZ SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8642

122 Ep: pct application non-entry in european phase
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

WWW Wipo information: withdrawn in national office

Country of ref document: JP