WO2002046824A2 - Commutateur optique integre, 2x2 voies - Google Patents

Commutateur optique integre, 2x2 voies Download PDF

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WO2002046824A2
WO2002046824A2 PCT/FR2001/003676 FR0103676W WO0246824A2 WO 2002046824 A2 WO2002046824 A2 WO 2002046824A2 FR 0103676 W FR0103676 W FR 0103676W WO 0246824 A2 WO0246824 A2 WO 0246824A2
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Patrick Mottier
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Opsitech-Optical System On A Chip
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Definitions

  • the present invention relates to the field of optical wave transmission in optical guide structures.
  • the patent FR-A-95 00 201 describes an opto-mechanical device with integrated optical guide means, which comprises a body and a movable platform placed between two parts of this body and connected to the latter by arms. Different arrangements are described. This document only specifies that the platform carries integrated optical micro-guides arranged so as to switch, when it is moved, a light wave arriving by an optical microguide from one of the parts of the body towards selectively two micro-guides optics of its other part.
  • the object of the present invention is to improve the above opto-mechanical device so as to increase its capacities.
  • the optical wave transmission device comprises a structure having optical guidance means, the structure comprising a body and a deformable part subjected to actuation means and having a platform placed between two parts of said body , said platform and said parts of said body having facing flanks sliding relative to one another under the effect of said actuating means.
  • each part of said body comprises at least two optical guide means, the ends of which open onto said corresponding sides and said platform comprises at least four optical guide means, the ends of which open onto said corresponding sides.
  • the movable part and the actuating means are arranged such that, in a first position of said platform, the end surfaces of a first and a third optical guide means of the platform are optically coupled with on the one hand the end surfaces of the optical guide means of one of the parts of said body and on the other hand the end surfaces of the other part of said body.
  • the end surfaces of a second and a fourth optical guide means of the platform are optically coupled with on the one hand the end surfaces optical guide means of one of the parts of said body and on the other hand the end surfaces of the other part of said body, so that the optical guide means of the platform constitute an inverter.
  • the ends of the first, second, third and fourth means for optical guidance of the platform are preferably arranged successively on one of the sides of this platform while the ends of its first, fourth, third and second means for optical guidance of the platform are arranged successively on the other side of this platform.
  • the optical guide means of the platform are preferably integrated so that the second and fourth optical guide means cross once, that the third optical guide means crosses once the second and fourth means of optical guidance and that the first optical guidance means does not cross the others.
  • the second and fourth optical guide means preferably extend by forming elongated S which intersect.
  • said platform is preferably connected to said body by arms subjected to biasing means making it possible to deform them and to move this platform.
  • the biasing means preferably comprise capacitive or inductive means delivering a biasing force of said arms under the effect of an electric control voltage and / or current.
  • said sides of said parts of said body preferably carry layers either of a light-reflecting substance or of a light-absorbing substance, placed opposite the ends of said uncoupled optical guide means of said platform .
  • said sides of said parts of said body and / or of said platform can advantageously be provided with at least one anti-reflection layer covering the end surfaces of said optical guide means, in particular a stack silicon nitride and silica.
  • FIG. 1 shows a top view of an optical wave transmission device according to the present invention
  • FIG. 1 shows a cross section along II-II of the optical wave transmission device of Figure 1.
  • a device 1 for transmitting optical waves which comprises an integrated structure 2 for optical guidance with integrated optical micro-guides.
  • the integrated structure 2 comprises a body 3 in which is formed a hollowed-out cavity 4 at the same time as a rectangular platform 5 is made, the corners of which are connected to the body 3 by four opposite longitudinal branches 6.
  • the body 3 has two parts 7 and 8 spaced apart longitudinally, which have, in the cavity 4, opposite transverse sides 9 and 10 between which is the platform 5.
  • This platform 5 has opposite transverse sides 11 and 12 which are located opposite and at short distances from the sides 9 and 10 so as to slide relative to each other when the platform 5 moves transversely by deformation of the arms 6 which carry it.
  • the parts 7 and 8 of the body 2 respectively comprise two integrated optical micro-guides 13 and 14 and two integrated optical micro-guides 15 and 16, which are spaced transversely and which extend longitudinally, the transmission cores 13a and 15a of the micro optical guides 13 and 15 being aligned and the transmission cores 14a and 16a of the optical micro-guides 14 and 16 being aligned.
  • the transmission hearts 13a and 14a on the one hand and the transmission hearts 15a and 16a on the other hand open respectively into the cavity 4 through the sides 9 and 10 of the parts 7 and 8 of the body 3, by surfaces corresponding transverse ends 13b, 14b, 15b and 16b.
  • the platform 5 carries a first integrated micro-guide 17, a second integrated micro-guide 18, a third integrated micro-guide 19 and a fourth integrated optical micro-guide guide 20, which respectively have transmission cores 17a, 18a , 19a and 20a which open respectively, on either side of the platform 5, through its sides 11 and 12.
  • the transmission cores 17a-20a are arranged so that their transverse end surfaces are arranged in the following manner.
  • a first light wave can be transmitted between the transmission core 13a of the optical micro-guide 13 and the transmission core 15a of the optical micro-guide 15 via the transmission core 17a of the optical micro-guide 17, thanks to the optical coupling of their ends, and a second light wave can be transmitted between the transmission core 14a of the optical micro-guide 14 and the transmission core 16a of the optical micro-guide 16 via the heart of transmission 19a of the optical micro-guide 19, thanks to the optical coupling of their ends.
  • a first light wave can be transmitted between the transmission core 13a of the optical micro-guide 13 and the transmission core 16a of the micro-guide 16 via the transmission core 18a of the optical micro-guide 18, thanks to the optical coupling of their ends, and a second light wave can be transmitted between the transmission core 14a of the optical micro-guide 14 and the transmission core 15 a of the optical micro-guide 15 via the transmission core 20a of the optical micro-guide 20, thanks to the optical coupling of their ends.
  • the transmission core 17a of the optical micro-guide 17 extends longitudinally.
  • the transmission cores 18a and 20a of the optical micro-guides 18 and 20 intersect once and extend in the form of elongated S, their end portions extending longitudinally.
  • the transmission core 19a of the optical micro-guide 19 crosses once the transmission core 18a of the optical micro-guide 18 and once the transmission core 20a of the optical micro-guide 20.
  • the transmission core 19a extends forming an elongated omega, its end portions extending longitudinally.
  • angles between the transmission cores of the platform 5 are preferably adapted in order to prevent the transmitted light waves from being disturbed as little as possible.
  • the transmission cores 17a, 18a, 19a and 20a have ends al, bl, cl and dl which succeed one another transversely.
  • the ends a 1 and b 1 are in the vicinity of the end 13 b of the transmission core 13 a of the optical micro-guide 13 and the ends c 1 and d 1 are in the vicinity of the end 14 b of the transmission core 14 a of the optical microguide 14.
  • the end a2 of the transmission core 17a, the end d2 of the transmission core 20a, the end c2 of the transmission core 19a and the end b2 of the transmission core 18a follow one another transversely.
  • the end surfaces a2 and d2 are in the vicinity of the end surface 15b of the transmission core 15a of the optical micro-guide 15 and the end surfaces c2 and b2 are in the vicinity of the end surface 16b of the transmission core 16a of the optical micro-guide 16.
  • the transmission cores carried by the platform 5 could be arranged, extend and intersect differently.
  • the device 1 which has just been described constitutes an inverter.
  • the platform 5 when the platform 5 is selectively placed at its two transverse positions mentioned above, light waves entering for example through the transmission cores 13a and 14a of the optical micro-guides 13 and 14 are selectively oriented either towards the heart transmission 15a of the optical micro-guide 15 and the transmission core 16a of the optical micro-guide 16 or towards the transmission core 16a of the optical micro-guide 16 and the transmission core 15a of the optical micro-guide 15.
  • this structure comprises a substrate 2a for example of silicon on which are deposited a first layer 2b for example of undoped silica then a second layer 2c, for example in undoped silica.
  • a first layer 2b for example of undoped silica On the upper surface of the layer 2b and under the layer 2c are formed the aforementioned transmission cores of the aforementioned optical micro-guides, for example made of doped silica, silicon nitride or silicon oxynitride.
  • the refractive index of the material constituting their transmission cores is lower than the refractive index of the material or materials constituting the layers surrounding them.
  • the transmission cores of the optical micro-guides could be flush with the surface of the structure 2.
  • the aforementioned transmission hearts which are co-planar, are of rectangular or square section and have dimensions between five and fourteen microns. The aforementioned transmission cores are arranged so that the travel of the platform 5 is approximately one hundred microns.
  • the flexible arms 6 carrying the mobile platform 5 are covered, on either side, with metal layers 21 and 22 and with the longitudinal surfaces of the body 3, located on either side of the arms 6, are covered with metallic layers 23 and 24, so as to constitute the electrodes of capacitive or inductive drive members 6a, these electrodes being connected to supply lines not represented for example by tracks and / or wire bridges not shown.
  • These drive members 6a are adapted and are capable of being electrically controlled so as to deform the arms 6 according to determined amplitudes so as to place the platform 5 at said first and second positions and to move it between these positions as required light wave transfer as described above.
  • the sidewall 9 of the part 7 and the sidewall 10 of the part 8 of the structure 2 are respectively provided, on either side of the end surfaces 14b and 16b of the optical micro-guides 14 and 16, of layers 25 and 26 either in a light-reflecting material, for example aluminum, or, on the contrary, in a light-absorbing material, for example in amorphous silicon.
  • these layers 25 and 26 are either to limit optical losses or to avoid optical disturbances in the light waves passing through the transmission cores 18a, 19a and 20a of the platform which intersect as described above.
  • the sides 9 and 10 of the parts 7 and 8 of the body 3 and the sides 11 and 12 of the platform 5 can advantageously be provided with at least one anti-reflection layer covering the abovementioned end surfaces of the hearts.
  • this layer comprising in particular a stack of silicon nitride and silica, the thickness of which is chosen as a function of the wavelength of the light waves transmitted.

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Abstract

Dispositif de transmission d'ondes optiques comprenant une structure présentant des moyens de guidage optique, la structure comprenant un corps et une partie déformable soumise à des moyens d'actionnement et présentant une plate-forme placée entre deux parties dudit corps, ladite plate-forme et lesdites parties dudit corps présentant des flancs en vis-à-vis glissant les unes par rapport aux autres sous l'effet dudit moyen d'actionnement. Chaque partie (7, 8) dudit corps (3) comprend au moins deux moyens de guidage optique (13, 14; 15, 16) dont les extrémités débouchent sur lesdits flancs correspondants (9, 100) et ladite plate-forme (5) comprend au moins quatre moyens de guidage optique (17, 18, 19, 20) dont les extrémités débouchent sur lesdits flancs correspondants (11, 12). La partie mobile et le moyen d'actionnement sont agencés de telle sorte que lesdits moyens de guidage optique constituent un inverseur.

Description

DISPOSITIF DE TRANSMISSION D'ONDES OPTIQUES DANS UNE STRUCTURE À INVERSIONS
La présente invention concerne le domaine de la transmission d'ondes optiques dans des structures de guidage optiques.
Le brevet FR-A-95 00 201 décrit un dispositif opto- mécanique à moyens de guidage optique intégrés, qui comprend un corps et une plate-forme mobile placée entre deux parties de ce corps et reliée à ce dernier par des bras. Différentes dispositions sont décrites. Ce document spécifie uniquement que la plate-forme porte des micro-guides optiques intégrés disposés de façon à commuter, lorsqu'elle est déplacée, une onde lumineuse arrivant par un microguide optique de l'une des parties du corps vers sélectivement deux micro-guides optiques de son autre partie.
Le but de la présente invention est de perfectionner le dispositif opto-mécanique ci-dessus de façon à augmenter ses capacités.
Le dispositif de transmission d'ondes optiques selon l'invention comprend une structure présentant des moyens de guidage optique, la structure comprenant un corps et une partie deformable soumise à des moyens d'actionnement et présentant une plate-forme placée entre deux parties dudit corps, ladite plate-forme et lesdites parties dudit corps présentant des flancs en vis-à-vis glissant les unes par rapport aux autres sous l'effet dudit moyen d'actionnement.
Selon l'invention, chaque partie dudit corps comprend au moins deux moyens de guidage optique dont les extrémités débouchent sur lesdits flancs correspondants et ladite plate-forme comprend au moins quatre moyens de guidage optique dont les extrémités débouchent sur lesdits flancs correspondants.
Selon l'invention, la partie mobile et le moyen d'actionnement sont agencés de telle sorte que, dans une première position de ladite plate-forme, les surfaces d'extrémité d'un premier et d'un troisième moyens de guidage optique de la plate-forme sont optiquement couplées avec d'une part les surfaces d'extrémité des moyens de guidage optique de l'une des parties dudit corps et d'autre part les surfaces d'extrémité de l'autre partie dudit corps.
Selon l'invention, dans une seconde position de ladite partie deformable, les surfaces d'extrémité d'un second et d'un quatrième moyens de guidage optique de la plate-forme sont optiquement couplées avec d'une part les surfaces d'extrémité des moyens de guidage optique de l'une des parties dudit corps et d'autre part les surfaces d'extrémité de l'autre partie dudit corps, de telle sorte que les moyens de guidage optique de la plate-forme constituent un inverseur.
Selon l'invention, les extrémités des premier, deuxième, troisième et quatrième moyens de guidage optique de la plate-forme sont de préférence disposées de façon successive sur l'un des flancs de cette plate-forme tandis que les extrémités de ses premier, quatrième, troisième et deuxième moyens de guidage optique de la plate-forme sont disposées de façon successive sur l'autre flanc de cette plateforme.
Selon l'invention, les moyens de guidage optique de la plateforme sont de préférence intégrés de telle sorte que les deuxième et quatrième moyens de guidage optique se croisent une fois, que le troisième moyen de guidage optique croise une fois les deuxième et quatrième moyens de guidage optique et que le premier moyen de guidage optique ne croise pas les autres.
Selon l'invention, les deuxième et quatrième moyens de guidage optique s'étendent de préférence en formant des S allongés qui se croisent.
Selon l'invention, ladite plate-forme est de préférence reliée audit corps par des bras soumis à des moyens de sollicitation permettant de les déformer et de déplacer cette plate-forme. Selon l'invention, les moyens de sollicitation comprennent de préférence des moyens capacitifs ou inductifs délivrant une force de sollicitation desdits bras sous l'effet d'une tension et/ou d'un courant électriques de commande. Selon l'invention, lesdits flancs desdites parties dudit corps portent de préférence des couches soit d'une substance réfléchissant la lumière soit d'une substance absorbant la lumière, placées en face des extrémités desdits moyens de guidage optique non couplés de ladite plate-forme.
Selon l'invention, lesdits flancs desdites parties dudit corps et/ou de ladite plate-forme peuvent avantageusement être munies d'au moins une couche anti-reflets recouvrant les surfaces d'extrémité desdits moyens de guidage optique, en particulier d'un empilement de nitrure de silicium et de silice.
La présente invention sera mieux comprise à l'étude d'un dispositif de transmission d'ondes optiques ou lunineuses, décrit à titre d'exemple non limitatif et illustré par le dessin sur lequel :
- la figure 1 représente une vue de dessus d'un dispositif de transmission d'ondes optiques selon la présente invention ;
- et la figure 2 représente une coupe transversale selon II-II du dispositif de transmission d'ondes optiques de la figure 1.
En se reportant aux figures, on voit qu'on a représenté un dispositif 1 de transmission d'ondes optiques qui comprend une structure intégrée 2 de guidage optique à micro-guides optiques intégrés.
La structure intégrée 2 comprend un corps 3 dans lequel est ménagée une cavité creusée 4 en même temps qu'est réalisée une plateforme 5 rectangulaire dont les coins sont reliés au corps 3 par quatre branches longitudinales opposées 6.
Le corps 3 présente deux parties 7 et 8 espacées longitudinalement, qui présentent, dans la cavité 4, des flancs transversaux opposés 9 et 10 entre lesquels se trouve la plate-forme 5. Cette plate-forme 5 présente des flancs transversaux opposés 11 et 12 qui sont situés en vis-à-vis et à des faibles distances des flancs 9 et 10 de façon à glisser les uns par rapport aux autres lorsque la plate-forme 5 se déplace transversalement par déformation des bras 6 qui la portent. Les parties 7 et 8 du corps 2 comprennent respectivement deux micro-guides optiques intégrés 13 et 14 et deux micro-guides optiques intégrés 15 et 16, qui sont espacés transversalement et qui s'étendent longitudinalement, les coeurs de transmission 13a et 15a des micro-guides optiques 13 et 15 étant alignés et les coeurs de transmission 14a et 16a des micro-guides optiques 14 et 16 étant alignés. Ainsi, les coeurs de transmission 13a et 14a d'une part et les coeurs de transmission 15a et 16a d'autre part débouchent respectivement dans la cavité 4 au travers des flancs 9 et 10 des parties 7 et 8 du corps 3, par des surfaces d'extrémité transversales correspondantes 13b, 14b, 15b et 16b.
La plate-forme 5 porte un premier micro-guide intégré 17, un second micro -guide intégré 18, un troisième micro -guide intégré 19 et un quatrième guide micro-guide optique intégré 20, qui présentent respectivement des coeurs de transmission 17a, 18a, 19a et 20a qui débouchent respectivement, de part et d'autre de la plate-forme 5, au travers de ses flancs 11 et 12.
Les coeurs de transmission 17a-20a sont disposés de telle sorte que leurs surfaces transversales d'extrémités soient agencées de la manière suivante.
Lorsque la plate-forme 5 est à une première position, une première onde lumineuse peut être transmise entre le coeur de transmission 13a du micro-guide optique 13 et le coeur de transmission 15a du micro-guide optique 15 via le coeur de transmission 17a du micro-guide optique 17, grâce au couplage optique de leurs extrémités, et une seconde onde lumineuse peut être transmise entre le coeur de transmission 14a du micro-guide optique 14 et le coeur de transmission 16a du micro-guide optique 16 via le coeur de transmission 19a du micro-guide optique 19, grâce au couplage optique de leurs extrémités.
Lorsque la plate-forme 5 est à une deuxième position, une première onde lumineuse peut être transmise entre le coeur de transmission 13a du micro-guide optique 13 et le coeur de transmission 16a du micro-guide 16 via le coeur de transmission 18a du micro-guide optique 18, grâce au couplage optique de leurs extrémités, et une deuxième onde lumineuse peut être transmise entre le coeur de transmission 14a du micro-guide optique 14 et le coeur de transmission 15 a du micro-guide optique 15 via le coeur de transmission 20a du micro-guide optique 20, grâce au couplage optique de leurs extrémités.
Les transmissions ci-dessus peuvent être atteintes grâce aux dispositions suivantes des micro-guides de la plate-forme 5.
Le coeur de transmission 17a du micro-guide optique 17 s'étend longitudinalement.
Les coeurs de transmission 18a et 20a des micro-guides optiques 18 et 20 se croisent une fois et s'étendent en forme de S allongés, leurs parties d'extrémité s'étendant longitudinalement.
Le coeur de transmission 19a du micro-guide optique 19 croise une fois le coeur de transmission 18a du micro-guide optique 18 et une fois le coeur de transmission 20a du micro-guide optique 20. Le coeur de transmission 19a s'étend en formant un oméga allongé, ses parties d'extrémité s'étendant longitudinalement.
A l'endroit où ils se croisent, les angles entre les coeurs de transmission de la plate-forme 5 sont de préférence adaptés afin d'éviter que les ondes lumineuses transmises soient perturbées le moins possible.
Sur le flanc 11 de la plate-forme 5, les coeurs de transmission 17a, 18a, 19a et 20a présentent des extrémités al, bl, cl et dl qui se succèdent transversalement. Les extrémités al et bl sont dans le voisinage de l'extrémité 13b du coeur de transmission 13a du micro-guide optique 13 et les extrémités cl et dl sont dans le voisinage de l'extrémité 14b du coeur de transmission 14a du microguide optique 14. Sur le flanc 12 de la plate-forme 5, l'extrémité a2 du coeur de transmission 17a, l'extrémité d2 du coeur de transmission 20a, l'extrémité c2 du coeur de transmission 19a et l'extrémité b2 du coeur de transmission 18a se succèdent transversalement. Les surfaces d'extrémité a2 et d2 sont dans le voisinage de la surface d'extrémité 15b du coeur de transmission 15a du micro-guide optique 15 et les surfaces d'extrémité c2 et b2 sont dans le voisinage de la surface d'extrémité 16b du coeur de transmission 16a du micro-guide optique 16.
Bien entendu, les coeurs de transmission portés par la plate- forme 5 pourraient pourraient être agencés, s'étendre et se croiser de façon différente.
Le dispositif 1 qui vient d'être décrit constitue un inverseur. En effet, lorsque la plate-forme 5 est sélectivement placée à ses deux positions transversales mentionnées plus haut, des ondes lumineuses entrant par exemple par les coeurs de transmission 13a et 14a des micro-guides optiques 13 et 14 sont orientées sélectivement soit vers le coeur de transmission 15a du micro-guide optique 15 et le coeur de transmission 16a du micro-guide optique 16 soit vers le coeur de transmission 16a du micro-guide optique 16 et le coeur de transmission 15a du micro-guide optique 15.
Pour constituer la structure de guidage optique intégrée 2 qui vient d'être décrite, comme le montre la figure 2, cette structure comprend un substrat 2a par exemple en silicium sur lequel sont déposées une première couche 2b par exemple en silice non dopée puis une deuxième couche 2c par exemple en silice non dopée. Sur la surface supérieure de la couche 2b et sous la couche 2c sont formés les coeurs de transmission précités des micro-guides optiques précités, par exemple en silice dopée, en nitrure de silicium ou en oxynitrure de silicium. Pour, constituer les micro-guides optiques précités, l'indice de réfraction du matériau constituant leurs coeurs de transmission est inférieur à l'indice de réfraction du ou des matériaux constituant les couches les entourant. Dans une variante, les coeurs de transmission des micro-guides optiques pourraient affleurer la surface de la structure 2. A titre indicatif, les coeurs de transmission précités, qui sont co-planaires, sont de section rectangulaire ou carrée et présentent des dimensions comprises entre cinq et quatorze microns. Les coeurs de transmission précités sont disposés de telle sorte que la course de la plate-fόrme 5 soit d'environ cent microns. Comme le montre la figure 1, les bras flexibles 6 portant la plate-forme mobile 5 sont recouverts, de part et d'autre, de couches métalliques 21 et 22 et des surfaces longitudinales du corps 3, situées de part et d'autre des bras 6, sont recouvertes de couches métalliques 23 et 24, de façon à constituer les électrodes d'organes d'entraînement capacitifs ou inductifs 6a, ces électrodes étant reliées à des lignes d'alimentation non représentées par exemple par des pistes et/ou des ponts filaires non représentés.
Ces organes d'entraînement 6a sont adaptés et sont susceptibles d'être commandés électriquement de manière à déformer les bras 6 selon des amplitudes déterminées de façon à placer la plateforme 5 auxdites première et seconde positions et à la déplacer entre ces positions en fonction des besoins de transfert des ondes lumineuses comme décrit précédemment. Par ailleurs, le flanc 9 de la partie 7 et le flanc 10 de la partie 8 de la structure 2 sont respectivement munis, de part et d'autre des surfaces d'extrémité 14b et 16b des micro-guides optiques 14 et 16, de couches 25 et 26 soit en un matériau réfléchissant la lumière, par exemple en aluminium, soit, au contraire, en un matériau absorbant la lumière, par exemple en silicium amorphe. Ces couches 25 et 26 ont pour but soit de limiter les pertes optiques soit d'éviter des perturbations optiques, dans les ondes lumineuses transitant par les coeurs de transmission 18a, 19a et 20a de la plate-forme qui se croisent comme décrit précédemment. En outre, les flancs 9 et 10 des parties 7 et 8 du corps 3 et les flancs 11 et 12 de la plate-forme 5 peuvent avantageusement être munies d'au moins une couche anti-reflets recouvrant les surfaces d'extrémité précitées des coeurs de transmission des micro-guides optiques précités, cette couche comprenant en particulier un empilement de nitrure de silicium et de silice, dont l'épaisseur est choisie e fonction de la longueur d'onde des ondes lumineuses transmises.
La présente invention ne se limite pas à l'exemple ci-dessus décrit. Bien des variantes de réalisation sont sortir du cadre défini par les revendications annexées.

Claims

REVENDICATIONS
1. Dispositif de transmission d'ondes optiques comprenant une structure présentant des moyens de guidage optique, la structure comprenant un corps et une partie deformable soumise à des moyens d'actionnement et présentant une plate-forme placée entre deux parties dudit corps, ladite plate-forme et lesdites parties dudit corps présentant des flancs en vis-à-vis glissant les unes par rapport aux autres sous l'effet dudit moyen d'actionnement, caractérisé par le fait que chaque partie (7, 8) dudit corps (3) comprend au moins deux moyens de guidage optique (13, 14 ; 15, 16) dont les extrémités débouchent sur lesdits flancs correspondants (9, 10) et ladite plate-forme (5) comprend au moins quatre moyens de guidage optique (17, 18, 19, 20) dont les extrémités débouchent sur lesdits flancs correspondants (11, 12) ; et par le fait que la partie mobile et le moyen d'actionnement sont agencés de telle sorte que, dans une première position de ladite plate-forme, les surfaces d'extrémité d'un premier (17) et d'un troisième (19) moyens de guidage optique de la plate-forme sont optiquement couplées avec d'une part les surfaces d'extrémité des moyens de guidage optique de l'une des parties dudit corps et d'autre part les surfaces d'extrémité de l'autre partie dudit corps et que, dans une seconde position de ladite partie deformable, les surfaces d'extrémité d'un second (18) et d'un quatrième (20) moyens de guidage optique de la plate-forme sont optiquement couplées avec d'une part les surfaces d'extrémité des moyens de guidage optique de l'une des parties dudit corps et d'autre part les surfaces d'extrémité de l'autre partie dudit corps, de telle sorte que les moyens de guidage optique (17, 18, 19, 20) de la plate-forme (5) constituent un inverseur.
2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que les extrémités des premier, deuxième, troisième et quatrième moyens de guidage optique de la plate-forme sont disposées de façon successive (al, bl, cl, dl) sur l'un des flancs de cette plate-forme tandis que les extrémités de ses premier, quatrième, troisième et deuxième moyens de guidage optique de la plate-forme sont disposées de façon successive (a2, d2, c2, b2) sur l'autre flanc de cette plate- forme.
3. Dispositif selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé par le fait que les moyens de guidage optique de la plateforme sont intégrés de telle sorte que les deuxième et quatrième moyens de guidage optique (18, 20) se croisent une fois, que le troisième moyen de guidage optique (19) croise une fois les deuxième et quatrième moyens de guidage optique (18, 20) et que le premier moyen de guidage optique ne croise pas les autres.
4. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé par le fait que les deuxième et quatrième moyens de guidage optique s'étendent en formant des S allongés qui se croisent.
5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé par le fait que ladite plate-forme (5) est reliée audit corps (3) par des bras (6) soumis à des moyens de sollicitation (21, 23) permettant de les déformer et de déplacer cette plate-forme.
6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé par le fait que les moyens de sollicitation comprennent des moyens capacitifs ou inductifs (21, 23) délivrant une force de sollicitation desdits bras sous l'effet d'une tension et/ou d'un courant électriques de commande.
7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que lesdits flancs (9, 10) desdites parties dudit corps (3) portent des couches (25, 26) soit d'une substance réfléchissant la lumière soit d'une substance absorbant la lumière, placées en face des extrémités desdits moyens de guidage optique non couplés de ladite plate-forme.
8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que lesdits flancs desdites parties dudit corps (3) et/ou de ladite plate-forme (5) sont munies d'au moins une couche anti-reflets recouvrant les surfaces d'extrémité desdits moyens de guidage optique, en particulier d'un empilement de nitrure de silicium et de silice.
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