WO2001069297A3 - Verstellvorichtung zum verschieben einzelner elemente von optischen systemen oder von messsystemen - Google Patents

Verstellvorichtung zum verschieben einzelner elemente von optischen systemen oder von messsystemen Download PDF

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Karlheinz Bartzke
Stefan Mack
Matthias Burkhardt
Thomas Hartmann
Reinhard Steiner
Peter Dittrich
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Abstract

Bei einer Verstellvorichtung zum Verschieben einzelner Elemente (2) von optischen Systemen oder von Messsystemen, bei der das zu verschiebende Element auf einer Unterlage (1) längs einer vorgegebenen Richtung (x) mittels einer piezoelektrischen Aktuatoranordnung (21, 22) bewegbar ist, die von dem Element (2) getragen wird und derart ausgebildet sowie ansteuerbar ist, dass sie zur Ausführung einer schrittweisen Bewegung des Elementes (2) auf der Unterlage (1) Stossimpulse auf diese ausübt, ist das Element (2) in einem Körper (1; 27) angebracht, der einen offen oder einen geschlossenen Hohlquerschnitt aufweist, und stützt sich an diesem an mindestens einer Stelle unter Zwischenschaltung einer vorgespannten Federeinrichtung (8, 8') reibschlüssig ab.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10347774B4 (de) * 2003-10-14 2006-04-13 Siemens Ag Aufnahmehülse für einen Aktorkörper
GB0506358D0 (en) * 2004-09-29 2005-05-04 Nanomotion Ltd Assembly
WO2006035435A2 (en) * 2004-09-29 2006-04-06 Nanomotion Ltd. Camera modules with lens drive device
EP1877849A1 (de) * 2005-04-29 2008-01-16 Koninklijke Philips Electronics N.V. Schrittaktuator für ein kompaktobjektiv einer mobilen kamera
US8059346B2 (en) 2007-03-19 2011-11-15 New Scale Technologies Linear drive systems and methods thereof
US8675287B2 (en) * 2011-11-14 2014-03-18 Tdk Taiwan Corp. Piezoelectric driving module for lens
DE102012022146A1 (de) * 2012-11-12 2014-05-15 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Ultraschallaktor für einen linearen Ultraschallmotor sowie linearer Ultraschallmotor mit einem Ultraschallaktor
DE102012224022A1 (de) * 2012-12-20 2013-10-31 Carl Zeiss Smt Gmbh Anordnung zur Aktuierung wenigstens eines optischen Elementes in einem optischen System
JP7254285B2 (ja) * 2019-04-23 2023-04-10 株式会社サタケ 圧電式バルブ及び該圧電式バルブの製造方法
JP7193804B2 (ja) * 2019-06-05 2022-12-21 株式会社サタケ 圧電アクチュエータ、圧電式バルブ、及び圧電アクチュエータの製造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5237238A (en) * 1990-07-21 1993-08-17 Omicron Vakuumphysik Gmbh Adjusting device for microscopic movements
EP0675589A1 (de) * 1994-03-29 1995-10-04 Minolta Co., Ltd. Antriebsgerät unter Verwendung eines Wandlers
US5751090A (en) * 1995-05-17 1998-05-12 Burleigh Instruments Inc Peristaltic driver apparatus
JPH11146668A (ja) * 1997-11-10 1999-05-28 Minolta Co Ltd 駆動装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE6912597U (de) * 1968-04-10 1969-10-16 John Vilhelm Lundman Zivilinge Advents- oder weihnachtsstern
DE3610540A1 (de) * 1986-03-27 1987-10-01 Kernforschungsanlage Juelich Bewegungseinrichtung zur mikrobewegung von objekten
JPS63299785A (ja) * 1987-05-29 1988-12-07 Res Dev Corp Of Japan 圧電・電歪素子を用いた衝撃力による微小移動装置
US5225941A (en) * 1990-07-03 1993-07-06 Canon Kabushiki Kaisha Driving device
US5281875A (en) * 1992-08-18 1994-01-25 Dynamotive Corporation Magnetostrictive ambler motor
US6211602B1 (en) * 1997-06-24 2001-04-03 Minolta Co., Ltd. Actuator using electromechanical transducer capable of being used in high temperature and high humidity environment and apparatus having the same
US6067421A (en) * 1998-01-16 2000-05-23 Ricoh Company, Ltd. Camera focus adjusting device for moving an imaging unit

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5237238A (en) * 1990-07-21 1993-08-17 Omicron Vakuumphysik Gmbh Adjusting device for microscopic movements
EP0675589A1 (de) * 1994-03-29 1995-10-04 Minolta Co., Ltd. Antriebsgerät unter Verwendung eines Wandlers
US5751090A (en) * 1995-05-17 1998-05-12 Burleigh Instruments Inc Peristaltic driver apparatus
JPH11146668A (ja) * 1997-11-10 1999-05-28 Minolta Co Ltd 駆動装置
US6153963A (en) * 1997-11-10 2000-11-28 Minolta Co., Ltd. Drive device

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1999, no. 10 31 August 1999 (1999-08-31) *

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