WO2000032362A1 - Dispositif de retenue d'objet par succion - Google Patents

Dispositif de retenue d'objet par succion Download PDF

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WO2000032362A1
WO2000032362A1 PCT/JP1999/006710 JP9906710W WO0032362A1 WO 2000032362 A1 WO2000032362 A1 WO 2000032362A1 JP 9906710 W JP9906710 W JP 9906710W WO 0032362 A1 WO0032362 A1 WO 0032362A1
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work
suction device
suction
rail member
along
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French (fr)
Inventor
Shigekazu Nagai
Masayoshi Yamamoto
Original Assignee
Smc Kabushiki Kaisha
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0091—Shock absorbers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/914—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers provided with drive systems incorporating rotary and rectilinear movements

Definitions

  • the present invention relates to a work suction device that suctions and conveys a work by a suction member under the action of a supplied negative pressure fluid.
  • a suction device provided with a suction pad has been used as a means for sucking and transporting a work.
  • a buffer mechanism is provided which has a function of absorbing a shock generated when the work is sucked by the suction pad or when the work is separated from the suction pad.
  • a rotation preventing mechanism having a function of preventing rotation of the work when the work sucked by the suction pad is transported is provided.
  • the buffer mechanism and the detent mechanism are configured separately from each other.
  • An object of the present invention is to provide a work suction device capable of reducing the size of the entire device and greatly expanding the use environment based on temperature conditions. Disclosure of the invention According to the present invention, the shock absorbing mechanism that absorbs the shock generated when the work is attached and detached also has the function of preventing the work from rotating, so that the entire apparatus is reduced in size. Further, by forming all the constituent elements including the retainer and excluding the suction member from a metal material, the range of use depending on the temperature condition is expanded.
  • the suction pad functioning as the suction member is formed of a conductive fluorine-based rubber composed of vulcanized fluorine-based rubber and a force.
  • FIG. 1 is a front view of a work suction device according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an operation explanatory view showing a state where the slider and the connecting member are displaced from the initial position shown in FIG. 1 along the rail member.
  • FIG. 3 is a partially cutaway perspective view of a rail member and a slider that constitute a buffer mechanism.
  • FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a suction pad included in the work suction device shown in FIG.
  • reference numeral 10 indicates a work suction device according to an embodiment of the present invention.
  • the work suction device 10 is attached to a lower end of the body 12 through a connector 14 and a body 12 formed with a hole (not shown) penetrating along the axial direction. It has a suction pad (suction member) 16 and a joint member 18 formed with a port (not shown) connected to the upper end of the body 12 and communicating with the hole.
  • a shock absorbing mechanism 22 is provided which absorbs an impact generated when the work 20 (see FIG. 2) is attached and detached and has a function of preventing rotation when the work 20 is transported. Have been.
  • the other components except the suction pad 16 are all made of a metal material.
  • the suction pad 16 is made of, for example, a conductive fluorine-based rubber. As shown, a skirt portion 24 formed to be thin and in contact with the work 20 and a hole 26 integrally formed with the skirt portion 24 and having a hole portion 26 connected to the connector 14. Part 28.
  • the body 12 has a cylindrical member 30 having a through hole (not shown) formed therein, which functions as a passage through which the negative pressure fluid flows. An end of the cylindrical member 30 faces outward and Thus, a stopper portion 32 protruding by a predetermined dimension is formed.
  • the buffer mechanism 22 includes a rail member 34 fixed to the side of the body 12 via a screw member (not shown) inserted into the mounting hole 33, and
  • the slider (slide member) 36 provided linearly displaceable along the rail member 34 under the guide action of the roller member 34 and the mounting hole 37 are not shown.
  • a connecting member 38 fixed to the slider 36 via a screw member and displaced integrally with the slider 36.
  • a plurality of balls 4 rolling along rolling grooves 40 formed on the sides of the rail member 34 are provided between the rail member 34 and the slider 36.
  • the retainer 46 is fixed to the slider 36 and provided so as to be displaced integrally with the slider 36.
  • the buffer mechanism 22 including the retainer 46 is entirely formed of a metal material.
  • a stop plate 47 functioning as a stopper for the slider 36 with respect to the rail member 34 is connected via a screw member 49.
  • a cover member 51 for locking the retainer 46 is connected to the end via a screw member 53.
  • the sliding surface between the ball 42 and the rolling groove 40 held by the retainer 46 and the sliding surface between the rail member 34 and the slider 36 have a wide temperature range (for example, It is recommended to apply lubricating oil with low dust generation that can be used at a temperature of 40 ° (: up to 200 ° C).
  • the connecting member 38 is formed with a pair of mounting holes 48 a and 48 b spaced from each other by a predetermined distance.
  • the work suction device 10 can be fixed to a robot arm 56 (not shown) via a fastening member 55 screwed into the wires 8a and 48b.
  • a projection 50 is formed at an end of the connecting member 38 so as to abut against a stopper 32 provided on the body 12 and restrict its displacement operation.
  • a spring 52 is engaged between the protrusion 50 and the rail member 34, and the protrusion 50 is separated from one end of the rail member 34 under the action of the elastic force of the spring 52. The direction, that is, the protrusion 50 is urged so as to abut the stopper portion 32. The impact generated when the work 20 is attached and detached is absorbed by the elastic force of the spring 52. Note that one end of the spring 52 is locked to the rail member 34, and the other end of the spring 52 is locked to the protrusion 50.
  • the joint member 18 is formed of a so-called one-touch joint, is connected to a negative pressure supply source (not shown) via a tube 54 inserted into a port, and the negative pressure fluid supplied from the negative pressure supply source is a body. It is led into the suction pad 16 through the through hole 12 (not shown).
  • the work suction device 10 is basically configured as described above. Next, the operation and effect of the device will be described. In the following description, the state shown in FIG. 1 will be described as an initial position.
  • the rail member 34 is connected to the side of the body 12 by screwing a screw member (not shown) into the mounting hole 33 formed in the rail member 34.
  • the connecting member 38 is fixed to the slider 36 by screwing a screw member (not shown) into the mounting hole 37 formed on the slider 36.
  • the fastening member 55 is screwed into the mounting holes 48a and 48b formed in the connecting member 38, and the work suction device 10 is connected to the arm 56 of the mouth pot, for example. Secure to one end.
  • the work suction device 10 is lowered under the action of the displacement of the arm 56 of the robot, and the work 20 is suctioned via the suction pad 16.
  • the connecting member 38 and the slider 36 are moved down along the rail member 34 by being piled on the resilient force of the spring 52, and the connecting member 3
  • the projection 50 of FIG. 8 is separated from the stopper 32. Therefore, due to the elastic force of the spring 56, The shock at the time of adsorbing 20 can be absorbed.
  • the arm 56 of the mouth pot is displaced, and the work suction device 10 is moved to a predetermined position.
  • the projection 50 returns to the initial position where it comes into contact with the stopper 32 by the elastic force of the spring 52 (see FIG. 1).
  • the robot arm 56 After sucking the workpiece 20, the robot arm 56 is rotated in a predetermined direction to stop the rotation at a predetermined position, and the workpiece suction device 10 is moved by the displacement of the robot arm 56. By lowering the workpiece 20, the workpiece 20 can be positioned and transported at a predetermined position.
  • the rail member 34 and the slider 36 are engaged with each other, so that the work 20 is prevented from rotating. That is, the rail member 34 and the slider 36 functioning as guide means are provided with a function of preventing the work 20 sucked by the suction pad 16 from rotating, so that the suction pad 16 By preventing the work 20 from falling off, the work 20 can be stably conveyed.
  • the slider 36 is provided so as to be displaceable only in the axial direction of the rail member 34 by the pawl 42 rolling along the rolling groove 40, and the axis of the rail member 34 is provided. Since it is not provided so as to rotate around the rotation center, the rotation stopping function is achieved.
  • the transfer position can be positioned with high accuracy.
  • the suction pad 16 needs to be formed of a conductive material.
  • the suction pad 16 is formed of a non-conductive material, the electric current charged in the IC chip flows from the IC chip to the outside of the chip. This can result in damage to the IC chip.
  • the suction pad 16 is also required to have heat resistance.
  • conductive silicon rubber made of silicon rubber and carbon black
  • the conductive silicon rubber has been widely used as a material for a suction pad.
  • the conductive silicon rubber has poor durability, and when used as a suction pad, there is a problem that the durability is deteriorated by repeatedly performing suction and transfer of the work.
  • the suction pad 16 included in the work suction device 10 according to the present embodiment is made of conductive fluorine-based rubber.
  • the conductive fluororubber is a composite material composed of vulcanized fluororubber and carbon black.
  • vulcanized fluoro rubber provides superior strength, durability, and heat resistance to conductive fluoro rubber, but it is used for adsorption made using unvulcanized fluoro rubber. Pads cannot provide sufficient durability and heat resistance.
  • carbon black itself is a good conductor, and is therefore a component that provides conductivity to the conductive fluororubber.
  • the ratio between the fluorine-based rubber and the carbon black is set so that the adsorption pad 16 has desired heat resistance, durability, and electrical conductivity.
  • the suction pad 16 incorporated in the work suction device 10 according to the present embodiment can be manufactured, for example, as follows.
  • the fluororubber, the vulcanizing agent for the fluororubber, and carbon black are uniformly mixed at a predetermined ratio to form a mixture.
  • the mixture is heated at about 180 ° C. while maintaining it for about 10 minutes (primary vulcanization). Furthermore, after the temperature is raised stepwise to around 230 ° C, it is maintained and heated for about 24 hours (secondary vulcanization).
  • the fluororubber is vulcanized by a vulcanizing agent, and the vulcanized fluororubber and carbon black are compounded to obtain a conductive fluororubber. . In this way, raise the temperature and maintain the constant temperature By doing so, it is possible to avoid the occurrence of cracks due to the expansion of the gas component generated from the conductive fluororubber during vulcanization.
  • the adsorption pad 16 is manufactured.
  • the suction pad 16 manufactured in this way has excellent heat resistance and electrical conductivity, and also has excellent durability. Therefore, even if the suction and transfer of the high-temperature IC chip are repeatedly performed for a long time, the IC chip is not adversely affected, and the durability of the suction pad 16 can be further improved. Industrial applicability
  • the shock absorbing mechanism for absorbing the shock generated when the work is attached and detached also has the function of preventing the work from rotating, it is not necessary to provide each work separately, and the entire apparatus can be downsized. be able to.
  • the use environment based on the temperature condition can be greatly expanded by forming all of the constituent elements other than the suction pad functioning as a suction member from a metal material.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

明 細 ワーク吸着装置 技術分野
本発明は、 供給される負圧流体の作用下に吸着部材によってワークを吸着搬送 するワーク吸着装置に関する。 背景技術
従来から、 ワークを吸着して搬送する手段として吸着用パッドが装着された吸 着装置が用いられている。 この従来技術に係る吸着装置では、 吸着用パッドによ つてワークを吸着する際、 あるいは該吸着用パッドからワークを離脱させる際に 発生する衝撃を吸収する機能を営む緩衝機構が設けられている。
また、 従来技術に係る吸着装置では、 吸着用パッドによって吸着されたワーク を搬送する際、 前記ワークの回転を阻止する機能を営む回り止め機構が設けられ ている。
この場合、 前記緩衝機構と前記回り止め機構は、 それぞれ別体で構成されてい る。
しかしながら、 前記の従来技術に係る吸着装置では、 前記緩衝機構と前記回り 止め機構とをそれぞれ別個に設けているため、 吸着装置の小型化を図ることがで きないという不都合がある。
また、 吸着装置に樹脂製材料を用いた場合、 温度条件によって使用環境が限定 され、 高温 （例えば、 1 0 0 °C以上） または低温 （例えば、 o °c以下） からなる 設置環境では、 使用することが困難であるという不都合がある。
本発明は、 装置全体を小型化するとともに、 温度条件に基づく使用環境を大幅 に拡大することが可能なワーク吸着装置を提供することを目的とする。 発明の開示 本発明によれば、 ワークを着脱する際に発生する衝撃を吸収する緩衝機構が、 ワークの回り止め機能をも併有しているため、 装置全体が小型化される。 また、 保持器を含み、 吸着部材を除いた他の構成要素の全てを金属製材料によって形成 することにより、 温度条件による使用範囲が拡大される。
なお、 吸着部材として機能する吸着用パッドを、 加硫されたフッ素系ゴムと力 ックとからなる導電性フッ素系ゴムによって形成すると好適である。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明の実施の形態に係るワーク吸着装置の正面図である。
図 2は、 図 1に示す初期位置からレール部材に沿ってスライダおよび連結部材 が変位した状態を示す動作説明図である。
図 3は、 緩衝機構を構成するレール部材およびスライダの一部切欠斜視図であ る。
図 4は、 図 1に示すワーク吸着装置を構成する吸着用パッドの縦断面図である
発明を実施するための最良の形態
図 1において参照数字 1 0は、 本発明の実施の形態に係るワーク吸着装置を示 す。
このワーク吸着装置 1 0は、 軸線方向に沿って貫通する孔部 （図示せず） が形 成されたボディ 1 2と、 コネクタ 1 4を介して前記ボディ 1 2の下端部に装着さ れた吸着用パッド （吸着部材） 1 6と、 前記ボディ 1 2の上端部に連結され前記 孔部に連通するポート （図示せず） が形成された継手部材 1 8とを有する。 前記ボディ 1 2の側部には、 ワーク 2 0 (図 2参照） を着脱する際に発生する 衝撃を吸収するとともに、 ワーク 2 0の搬送時における回り止め機能を併有する 緩衝機構 2 2が設けられている。 なお、 前記吸着用パッド 1 6を除く他の構成要 素は、 全て金属製材料によって形成されている。
吸着用パッド 1 6は、 例えば、 導電性フッ素系ゴムによって形成され、 図 4に 示されるように、 薄肉に形成されてワーク 2 0に接触するスカート部 2 4と、 前 記スカート部 2 4と一体的に形成されコネクタ 1 4に連結される孔部 2 6を有す る連結部 2 8とから構成される。
ボディ 1 2は、 内部に負圧流体が流通する通路として機能する図示しない貫通 孔が形成された筒状部材 3 0を有し、 前記筒状部材 3 0の端部には外方に向かつ て所定寸法だけ突出するストツバ部 3 2が形成される。
緩衝機構 2 2は、 図 3に示されるように、 取付用孔部 3 3に挿入される図示し ないねじ部材を介してボディ 1 2の側部に固定されたレール部材 3 4と、 前記レ —ル部材 3 4の案内作用下に該レール部材 3 4に沿って直線状に変位自在に設け られたスライダ （スライド部材） 3 6と、 取付用孔部 3 7に挿入される図示しな いねじ部材を介して前記スライダ 3 6に固定され該スライダ 3 6と一体的に変位 する連結部材 3 8とを含む。
前記レール部材 3 4とスライダ 3 6との間には、 図 3に示されるように、 前記 レール部材 3 4の側部に形成された転動溝 4 0に沿って転動する複数のボール 4 2と、 前記ポール 4 2を円形状の孔部 4 4内に転動自在に保持する保持器 4 6と が設けられる。 前記保持器 4 6は、 前記スライダ 3 6に固設されて該スライダ 3 6と一体的に変位するように設けられている。 なお、 前記保持器 4 6を含む緩衝 機構 2 2は、 全て金属製材料によって形成されている。
前記レ一ル部材 3 4の端部には、 該レール部材 3 4に対するスライダ 3 6の抜 け止めとして機能するストツバプレート 4 7がねじ部材 4 9を介して連結され、 前記スライダ 3 6の端部には、 保持器 4 6を係止するカバー部材 5 1がねじ部材 5 3を介して連結されている。
この場合、 前記保持器 4 6に保持されたボール 4 2と転動溝 4 0との摺動面、 およびレール部材 3 4とスライダ 3 6との摺動面等に、 広い温度範囲 （例えば、 一 4 0 ° (：〜 2 0 0 °Cの範囲） で使用することが可能な低発塵性の潤滑油を塗布す るとよい。
前記連結部材 3 8には、 図 2に示されるように、 所定間隔離間する一組の取付 用孔部 4 8 a、 4 8 bが形成され、 後述するアーム 5 6側から前記取付用孔部 4 8 a、 4 8 bに螺入される締結部材 5 5を介してワーク吸着装置 1 0を図示しな いロボッ卜のアーム 5 6に固定することができる。
また、 前記連結部材 3 8の端部には、 ボディ 1 2に設けられたストッパ部 3 2 に当接し、 その変位動作が規制される突起部 5 0が形成されている。 前記突起部 5 0とレール部材 3 4との間にはスプリング 5 2が係着され、 前記スプリング 5 2の弾発力の作用下にレール部材 3 4の一端部から突起部 5 0が離間する方向、 すなわち突起部 5 0がストツバ部 3 2に当接するように付勢されている。 前記ス プリング 5 2の弾性力によってワーク 2 0を着脱する際に発生する衝撃が吸収さ れる。 なお、 前記スプリング 5 2の一端部はレール部材 3 4に係止され、 該スプ リング 5 2の他端部は突起部 5 0に係止されている。
継手部材 1 8は、 いわゆるワンタッチ継手からなり、 ポートに挿入されるチュ ーブ 5 4を介して図示しない負圧供給源に接続され、 前記負圧供給源から供給さ れる負圧流体は、 ボディ 1 2の図示しない貫通孔を介して吸着用パッド 1 6に導 入される。
本発明の実施の形態に係るワーク吸着装置 1 0は、 基本的には以上のように構 成されるものであり、 次にその動作並びに作用効果について説明する。 なお、 以 下の説明では、 図 1に示す状態を初期位置として説明する。
先ず、 レール部材 3 4に形成された取付用孔部 3 3に図示しないねじ部材を螺 入することにより前記レール部材 3 4をボディ 1 2の側部に連結し、 続いて、 ス ライダ 3 6に形成された取付用孔部 3 7に図示しないねじ部材を螺入して連結部 材 3 8をスライダ 3 6に固定する。 さらに、 連結部材 3 8に形成された取付用孔 部 4 8 a、 4 8 bに対して締結部材 5 5を螺入し、 ワーク吸着装置 1 0を、 例え ば、 口ポットのアーム 5 6の一端部に固定する。
そこで、 ロポットのアーム 5 6の変位作用下にワーク吸着装置 1 0を下降させ 、 吸着用パッド 1 6を介してワーク 2 0を吸着する。 この場合、 図 2に示される ように、 スプリング 5 2の弾発力に杭して連結部材 3 8およびスライダ 3 6がー 体的にレール部材 3 4に沿って下降することにより、 連結部材 3 8の突起部 5 0 がストツバ部 3 2から離間する。 従って、 スプリング 5 6の弾性力によってヮ一 ク 2 0を吸着する際の衝撃を吸収することができる。
図示しない負圧供給源から供給される負圧作用下にワーク 2 0が吸着用パッド 1 6によって吸着された後、 口ポットのアーム 5 6を変位させ、 ワーク吸着装置 1 0を所定の位置まで上昇させることにより、 スプリング 5 2の弾発力によって 突起部 5 0がストツバ部 3 2に当接する初期位置に復帰する （図 1参照） 。
ワーク 2 0を吸着した後、 ロボットのアーム 5 6を所定方向に回動させ、 所定 の位置で回動動作を停止させるとともに、 前記ロボッ卜のアーム 5 6の変位作用 下にワーク吸着装置 1 0を下降させることにより、 ワーク 2 0を所定の位置に位 置決めして搬送することができる。
ワーク 2 0を搬送する際、 レール部材 3 4とスライダ 3 6とが係合することに より、 ワーク 2 0の回り止め機能が発揮される。 すなわち、 ガイド手段として機: 能するレール部材 3 4およびスライダ 3 6に対して、 吸着用パッド 1 6によって 吸着されたワーク 2 0の回り止め機能を併有させて、 吸着用パッド 1 6からヮー ク 2 0が脱落することを阻止することにより、 安定してワーク 2 0を搬送するこ とができる。
換言すると、 スライダ 3 6は、 転動溝 4 0に沿って転動するポール 4 2によつ てレール部材 3 4の軸線方向に沿ってのみ変位自在に設けられ、 前記レール部材 3 4の軸線を回転中心として回動するようには設けられていないため、 その回り 止め機能が達成される。
また、 ポール 4 2の転動作用下にレール部材 3 4に沿ってスライダ 3 6を直線 状に円滑に変位させることにより、 長期間使用してもガタを発生させることがな く、 ワーク 2 0に対して高精度な搬送位置の位置決めを行うことができる。
さらに、 吸着用パッド 1 6を除いた他の構成要素を全て金属製材料によって形 成することにより、 温度条件に基づく使用環境を大幅に拡大させることができる ところで、 ワーク 2 0が、 例えば、 I Cチップである場合、 吸着用パッド 1 6 を導電性材料で形成する必要がある。 吸着用パッド 1 6を非導電性材料で形成し た場合、 前記 I Cチップに帯電した電流が該 I Cチップからチップ外部へと流れ ることができなくなり、 その結果、 I Cチップの破損を招くからである。
さらに、 I Cチップが付勢されると該 I Cチップは比較的高温になるので、 吸 着用パッド 1 6には耐熱性も要求される。
耐熱性が良好な伝導体としては、 シリコンゴムとカーボンブラックとからなる 導電性シリコンゴムが用いられ、 前記導電性シリコンゴムは、 吸着用パッドの材 料として広汎に使用されるに至っている。 しかしながら、 前記導電性シリコンゴ ムは耐久性に乏しく、 吸着用パッドとして使用した場合、 ワークの吸着、 搬送を 繰り返して行うことにより、 その耐久性が劣化するという問題がある。
本実施の形態に係るワーク吸着装置 1 0を構成する吸着用パッド 1 6は、 導電 性フッ素系ゴムから構成されている。 ここで、 導電性フッ素系ゴムとは、 加硫さ れたフッ素系ゴムとカーボンブラックとからなる複合材である。
フッ素系ゴムは、 加硫されることによって強度、 耐熱性が著しく向上する。 す なわち、 加硫されたフッ素系ゴムは、 導電性フッ素系ゴムに対して優れた強度、 耐久性、 耐熱性をもたらすが、 加硫されていないフッ素系ゴムを用いて製造され た吸着用パッドでは、 耐久性、 耐熱性を充分に得ることができない。
なお、 カーボンブラックはそれ自体が良好な導電体であり、 よって導電性フッ 素系ゴムに導電性をもたらす成分である。
フッ素系ゴムとカーボンブラックとの割合は、 吸着用パッド 1 6が所望の耐熱 性、 耐久性、 電気伝導度となるように設定される。
本実施の形態に係るワーク吸着装置 1 0に組み込まれた吸着用パッド 1 6は、 例えば、 次のようにして製造することができる。
まず、 フッ素系ゴムと、 前記フッ素系ゴム用の加硫剤と、 カーボンブラックと を所定の割合で均一に混合し、 混合物とする。
次いで、 前記混合物を、 1 8 0 °C付近で 1 0分程度保持して加熱する （一次加 硫） 。 さらに、 温度を段階的に 2 3 0 °C付近まで上昇させた後、 2 4時間程度保 持して加熱する （二次加硫） 。 これらの加熱の間にフッ素系ゴムが加硫剤によつ て加硫され、 かつ、 加硫されたフッ素系ゴムとカーボンブラックとの複合化が進 行し、 導電性フッ素系ゴムが得られる。 このように昇温 '一定温度の保持を段階 的に行うことにより、 加硫中に導電性フッ素系ゴムから発生するガス成分が膨張 することによる亀裂の発生を回避することができる。
最後に、 この導電性フッ素系ゴムを公知の成形法により成形すれば、 吸着用パ ッド 1 6が製造される。
このようにして製造された吸着用パッド 1 6は、 優れた耐熱性および電気導電 性を有し、 かつ優れた耐久性を兼ね備えている。 したがって、 高温の I Cチップ の吸着、 搬送を長期間繰り返して行っても、 I Cチップに対して悪影響を及ぼす ことがなく、 該吸着用パッド 1 6の耐久性をより一層向上させることができる。 産業上の利用可能性
本発明によれば、 ワークを着脱する際に発生する衝撃を吸収する緩衝機構が、 ワークの回り止め機能をも併有しているため、 それぞれ別個に設ける必要がなく 、 装置全体を小型化することができる。
また、 本発明では、 吸着部材として機能する吸着用パッドを除いた他の構成要 素の全てを金属製材料によって形成することにより、 温度条件に基づく使用環境 を大幅に拡大することができる。

Claims

請求の範囲
1. 供給される負圧流体の作用下に吸着部材によってワークを吸着搬送する装置 において、
前記吸着部材 （16) を支持するボディ （12) と、
前記ボディ （12) の側部に設けられ、 ワーク （20) を着脱する際に発生す る衝撃を吸収する緩衝機構 （22) と、
を備え、 前記緩衝機構 （22) は、 前記ボディ （12) の軸線方向に沿って該 ボディ （12) に固定された直線状のレール部材 （34) と、 前記レール部材 （ 34) に沿って摺動変位するスライド部材 （36) とを含み、 前記レール部材 （ 34) にスライド部材 （36) が係合することにより、 ワーク （20) の回動を 阻止する回り止めがなされることを特徴とするワーク吸着装置。
2. 請求項 1記載のワーク吸着装置において、
前記緩衝機構 （22) は、 スライド部材 （36) と一体的に変位する連結部材 (38) と、 前記連結部材 （38) の突起部 （50) とレール部材 （34) の端 部との間に介装されるばね部材 （52) とを有することを特徴とするワーク吸着
3. 請求項 1記載のワーク吸着装置において、
前記レール部材 （34) と前記スライド部材 （36) との間には、 該レール部 材 （34) の転動溝 （40) に沿って転動する複数のボール （42) と、 前記ボ —ル （42) を転動自在に保持する孔部 （44) が形成された保持器 （46) と が設けられ、 前記保持器 （46) を含み、 吸着部材 （16) を除いた構成要素の 全てを金属製材料によって形成することを特徴とするワーク吸着装置。
4. 請求項 1記載のワーク吸着装置において、
前記吸着部材は、 吸着用パッド （16) からなり、 前記吸着用パッド （16) は、 加硫されたフッ素系ゴムと力一ボンブラックとからなる導電性フッ素系ゴム によって形成されることを特徴とするワーク吸着装置。
5. 請求項 1記載のワーク吸着装置において、
前記ボディ （12) の軸線方向に沿った一端部には、 スライド部材 （36) の 突起部 （50) に当接して該スライド部材 （36) の変位を規制するストツバ部 (32) が設けられることを特徴とするワーク吸着装置。
6. 請求項 1記載のワーク吸着装置において、
前記ボディ （12) は軸線方向に沿って貫通する孔部が形成された筒状部材 （ 30) からなり、 前記筒状部材 （30) の軸線方向に沿った一端部には管体 （5 4) が接続される継手部材 （18) が連結され、 前記筒状部材 （30) の軸線方 向に沿った他端部にはコネクタ （14) を介して吸着部材 （16) が同軸状に連 結されることを特徴とするワーク吸着装置。
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