JP2000158374A - ワーク吸着装置 - Google Patents

ワーク吸着装置

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JP2000158374A
JP2000158374A JP10342070A JP34207098A JP2000158374A JP 2000158374 A JP2000158374 A JP 2000158374A JP 10342070 A JP10342070 A JP 10342070A JP 34207098 A JP34207098 A JP 34207098A JP 2000158374 A JP2000158374 A JP 2000158374A
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slider
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Shigekazu Nagai
茂和 永井
Masayoshi Yamamoto
正義 山本
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SMC Corp
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    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0091—Shock absorbers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
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    • B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
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Abstract

(57)【要約】 【課題】装置全体を小型化するとともに、温度条件に基
づく使用環境を大幅に拡大することにある。 【解決手段】ワークを着脱する際に発生する衝撃を吸収
する緩衝機構２２を備え、前記緩衝機構２２は、ボデイ
１２に固定された直線状のレール部材３４と、前記レー
ル部材３４に沿って摺動変位するスライダ３６とを含
み、前記レール部材３４にスライダ３６が係合すること
により、ワークの回動を阻止する回り止めがなされる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、供給される負圧流
体の作用下に吸着手段によってワークを吸着搬送するワ
ーク吸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ワークを吸着して搬送する手
段として吸着用パッドが装着された吸着装置が用いられ
ている。この従来技術に係る吸着装置では、吸着用パッ
ドによってワークを吸着する際、あるいは該吸着用パッ
ドからワークを離脱させる際に発生する衝撃を吸収する
機能を営む緩衝機構が設けられている。
【０００３】また、従来技術に係る吸着装置では、吸着
用パッドによって吸着されたワークを搬送する際、前記
ワークの回転を阻止する機能を営む回り止め機構が設け
られている。
【０００４】この場合、前記緩衝機構と前記回り止め機
構は、別体で構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来技術に係る吸着装置では、前記緩衝機構と前記回り
止め機構とを別個に設けているため、吸着装置の小型化
を図ることができないという不都合がある。
【０００６】また、吸着装置に樹脂製材料を用いた場
合、温度条件によって使用環境が限定され、高温（例え
ば、１００℃以上）または低温（例えば、０℃以下）か
らなる設置環境では、使用することが困難であるという
不都合がある。
【０００７】本発明は、前記の不都合を考慮してなされ
たものであり、装置全体を小型化するとともに、温度条
件に基づく使用環境を大幅に拡大することが可能なワー
ク吸着装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、供給される負圧流体の作用下に吸着手
段によってワークを吸着搬送する装置において、前記吸
着手段を支持するボデイと、前記ボデイの側部に設けら
れ、ワークを着脱する際に発生する衝撃を吸収する緩衝
機構と、を備え、前記緩衝機構は、前記ボデイに固定さ
れた直線状のレール部材と、前記レール部材に沿って摺
動変位するスライド部材とを含み、前記レール部材にス
ライド部材が係合することにより、ワークの回動を阻止
する回り止めがなされることを特徴とする。
【０００９】この場合、前記緩衝機構は、スライド部材
と一体的に変位する連結部材と、前記連結部材の突起部
とレール部材の端部との間に介装されるばね部材とを有
する。前記レール部材と前記スライド部材との間には、
該レール部材の転動溝に沿って転動する複数のボール
と、前記ボールを転動自在に保持する孔部が形成された
保持器とが設けられ、前記保持器を含み、吸着手段を除
いた他の構成要素の全てを金属製材料によって形成する
とよい。
【００１０】また、前記吸着手段は、吸着用パッドから
なり、前記吸着用パッドを、加硫されたフッ素系ゴムと
カーボンブラックとからなる導電性フッ素系ゴムによっ
て形成すると好適である。
【００１１】本発明によれば、ワークを着脱する際に発
生する衝撃を吸収する緩衝機構が、ワークの回り止め機
能をも併有しているため、装置全体が小型化される。ま
た、保持器を含み、吸着手段を除いた他の構成要素の全
てを金属製材料によって形成することにより、温度条件
による使用範囲が拡大される。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明に係るワーク吸着装置につ
いて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。
【００１３】図１において参照数字１０は、本発明の実
施の形態に係るワーク吸着装置を示す。
【００１４】このワーク吸着装置１０は、軸線方向に沿
って貫通する孔部（図示せず）が形成されたボデイ１２
と、コネクタ１４を介して前記ボデイ１２の下端部に装
着された吸着用パッド（吸着手段）１６と、前記ボデイ
１２の上端部に連結され前記孔部に連通するポート（図
示せず）が形成された継手部材１８とを有する。
【００１５】前記ボデイ１２の側部には、ワーク２０
（図２参照）を着脱する際に発生する衝撃を吸収すると
ともに、ワーク２０の搬送時における回り止め機能を併
有する緩衝機構２２が設けられている。なお、前記吸着
用パッド１６を除く他の構成要素は、全て金属製材料に
よって形成されている。
【００１６】吸着用パッド１６は、例えば、導電性フッ
素系ゴムによって形成され、図４に示されるように、薄
肉に形成されてワーク２０に接触するスカート部２４
と、前記スカート部２４と一体的に形成されコネクタ１
４に連結される孔部２６を有する連結部２８とから構成
される。
【００１７】ボデイ１２は、内部に負圧流体が流通する
通路として機能する図示しない貫通孔が形成された筒状
部材３０を有し、前記筒状部材３０の端部には外方に向
かって所定寸法だけ突出するストッパ部３２が形成され
る。
【００１８】緩衝機構２２は、ボデイ１２の側部に固定
されたレール部材３４と、前記レール部材３４の案内作
用下に前記レール部材３４に沿って直線状に変位自在に
設けられたスライダ（スライド部材）３６と、前記スラ
イダ３６に固定され該スライダ３６と一体的に変位する
連結部材３８とを含む。
【００１９】前記レール部材３４とスライダ３６との間
には、図３に示されるように、前記レール部材３４の側
部に形成された転動溝４０に沿って転動する複数のボー
ル４２と、前記ボール４２を円形状の孔部４４内に転動
自在に保持する保持器４６とが設けられる。前記保持器
４６は、前記スライダ３６に固設されて該スライダ３６
と一体的に変位するように設けられている。なお、前記
保持器４６を含む緩衝機構２２は、全て金属製材料によ
って形成されている。
【００２０】この場合、前記保持器４６に保持されたボ
ール４２と転動溝４０との摺動面およびレール部材３４
とスライダ３６との摺動面等に、広い温度範囲（例え
ば、−４０℃〜２００℃の範囲）で使用することが可能
な低発塵性の潤滑油を塗布するとよい。
【００２１】前記連結部材３８には、所定間隔離間する
一組の取付用孔部４８ａ、４８ｂが形成され、前記取付
用孔部４８ａ、４８ｂに螺入される図示しないねじ部材
を介してワーク吸着装置１０を図示しない他の部材に固
定することができる。
【００２２】また、前記連結部材３８の端部には、ボデ
イ１２に設けられたストッパ部３２に当接し、その変位
動作が規制される突起部５０が形成されている。前記突
起部５０とレール部材３４との間にはスプリング５２が
係着され、前記スプリング５２の弾発力の作用下にレー
ル部材３４の一端部から突起部５０が離間する方向、す
なわち突起部５０がストッパ部３２に当接するように付
勢されている。前記スプリング５２の弾発力を介してワ
ーク２０を着脱する際に発生する衝撃が吸収される。
【００２３】継手部材１８は、いわゆるワンタッチ継手
からなり、ポートに挿入されるチューブ５４を介して図
示しない負圧供給源に接続され、前記負圧供給源から供
給される負圧流体は、ボデイ１２の図示しない貫通孔を
介して吸着用パッド１６に導入される。
【００２４】本発明の実施の形態に係るワーク吸着装置
１０は、基本的には以上のように構成されるものであ
り、次にその動作並びに作用効果について説明する。な
お、以下の説明では、図１に示す状態を初期位置として
説明する。
【００２５】先ず、連結部材３８に形成された取付用孔
部４８ａ、４８ｂに対して図示しないねじ部材を螺入
し、ワーク吸着装置１０を、例えば、ロボットのアーム
等の他の部材に固定する。
【００２６】そこで、ロボットのアームの変位作用下に
ワーク吸着装置１０を下降させ、吸着用パッド１６を介
してワーク２０を吸着する。この場合、図２に示される
ように、スプリング５２の弾発力に抗して連結部材３８
およびスライダ３６が一体的にレール部材３４に沿って
下降し、連結部材３８の突起部５０がストッパ部３２か
ら離間することにより、ワーク２０を吸着する際の衝撃
を吸収することができる。
【００２７】負圧供給源から供給される負圧作用下にワ
ーク２０が吸着用パッド１６によって吸着された後、ロ
ボットのアームを変位させ、ワーク吸着装置１０を所定
の位置まで上昇させることにより、スプリング５２の弾
発力によって突起部５０がストッパ部３２に当接する初
期位置に復帰する（図１参照）。
【００２８】ワーク２０を吸着した後、ロボットのアー
ムを所定方向に回動させ、所定の位置で回動動作を停止
させるとともに、前記ロボットのアームの変位作用下に
ワーク吸着装置１０を下降させることにより、ワーク２
０を所定の位置に位置決めして搬送することができる。
【００２９】ワーク２０を搬送する際、レール部材３４
とスライダ３６とが係合することにより、ワーク２０の
回り止め機能が発揮される。すなわち、ガイド手段とし
て機能するレール部材３４およびスライダ３６に対し
て、吸着用パッド１６によって吸着されたワーク２０の
回り止め機能を併有させて、吸着用パッド１６からワー
ク２０が脱落することを阻止することにより、安定して
ワーク２０を搬送することができる。
【００３０】また、ボール４２の転動作用下にレール部
材３４に沿ってスライダ３６を直線状に円滑に変位させ
ることにより、長期間使用してもガタを発生させること
がなく、ワーク２０に対して高精度な搬送位置の位置決
めを行うことができる。
【００３１】さらに、吸着用パッド１６を除いた他の構
成要素を全て金属製材料によって形成することにより、
温度条件に基づく使用環境を大幅に拡大させることがで
きる。
【００３２】ところで、ワーク２０が、例えば、図示し
ないＩＣチップである場合、吸着用パッド１６を導電性
材料で形成する必要がある。吸着用パッド１６を非導電
性材料で形成した場合、ＩＣチップに帯電した電流が該
ＩＣチップからチップ外部へと流れることができなくな
り、その結果、ＩＣチップの破損を招くからである。
【００３３】さらに、ＩＣチップが付勢されると該ＩＣ
チップは比較的高温になるので、吸着用パッド１６には
耐熱性も要求される。
【００３４】耐熱性が良好な伝導体としては、シリコン
ゴムとカーボンブラックとからなる導電性シリコンゴム
が用いられ、前記導電性シリコンゴムは、吸着用パッド
の材料として広汎に使用されるに至っている。しかしな
がら、導電性シリコンゴムは耐久性に乏しく、吸着用パ
ッドとして使用した場合、ワークの吸着、搬送を繰り返
して行うことにより、その耐久性が劣化するという問題
がある。
【００３５】本実施の形態に係るワーク吸着装置１０を
構成する吸着用パッド１６は、導電性フッ素系ゴムから
構成されている。ここで、導電性フッ素系ゴムとは、加
硫されたフッ素系ゴムとカーボンブラックとからなる複
合材である。
【００３６】フッ素系ゴムは、加硫されることによって
強度、耐熱性が著しく向上する。すなわち、加硫された
フッ素系ゴムは、導電性フッ素系ゴムに対して優れた強
度、耐久性、耐熱性をもたらすが、加硫されていないフ
ッ素系ゴムを用いて製造された吸着用パッドでは、耐久
性、耐熱性を充分に得ることができない。
【００３７】なお、カーボンブラックはそれ自体が良好
な導電体であり、もって導電性フッ素系ゴムに導電性を
もたらす成分である。
【００３８】フッ素系ゴムとカーボンブラックとの割合
は、吸着用パッド１６が所望の耐熱性、耐久性、電気伝
導度となるように設定される。
【００３９】本実施の形態に係るワーク吸着装置１０に
組み込まれた吸着用パッド１６は、例えば、次のように
して製造することができる。
【００４０】まず、フッ素系ゴムと、前記フッ素系ゴム
用の加硫剤と、カーボンブラックとを所定の割合で均一
に混合し、混合物とする。
【００４１】次いで、前記混合物を、１８０℃付近で１
０分程度保持して加熱する（一次加硫）。さらに、温度
を段階的に２３０℃付近まで上昇させた後、２４時間程
度保持して加熱する（二次加硫）。これらの加熱の間に
フッ素系ゴムが加硫剤によって加硫され、かつ、加硫さ
れたフッ素系ゴムとカーボンブラックとの複合化が進行
し、導電性フッ素系ゴムが得られる。このように昇温・
一定温度の保持を段階的に行うことにより、加硫中に導
電性フッ素系ゴムから発生するガス成分が膨張すること
による亀裂の発生を回避することができる。
【００４２】最後に、この導電性フッ素系ゴムを公知の
成形法により成形すれば、吸着用パッド１６が製造され
る。
【００４３】このようにして製造された吸着用パッド１
６は、優れた耐熱性および電気導電性を有し、かつ優れ
た耐久性を兼ね備えている。したがって、高温のＩＣチ
ップの吸着、搬送を長期間繰り返して行っても、ＩＣチ
ップに対して悪影響を及ぼすことがなく、該吸着用パッ
ド１６の耐久性をより一層向上させることができる。
【００４４】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
【００４５】すなわち、装置全体を小型化するととも
に、温度条件に基づく使用環境を大幅に拡大することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るワーク吸着装置の正
面図である。
【図２】図１に示す初期位置からレール部材に沿ってス
ライダおよび連結部材が変位した状態を示す動作説明図
である。
【図３】緩衝機構を構成するレール部材およびスライダ
の一部切欠斜視図である。
【図４】図１に示すワーク吸着装置を構成する吸着用パ
ッドの縦断面図である。
【符号の説明】
１０…ワーク吸着装置 １２…ボデイ １６…吸着用パッド １８…継手部材 ２０…ワーク ２２…緩衝機構 ２４…スカート部 ２８…連結部 ３０…筒状部材 ３２…ストッパ
部 ３４…レール部材 ３６…スライダ ３８…連結部材 ４０…転動溝 ４２…ボール ４６…保持器 ５０…突起部 ５２…スプリン
グ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】供給される負圧流体の作用下に吸着手段に
    よってワークを吸着搬送する装置において、 前記吸着手段を支持するボデイと、 前記ボデイの側部に設けられ、ワークを着脱する際に発
    生する衝撃を吸収する緩衝機構と、 を備え、前記緩衝機構は、前記ボデイに固定された直線
    状のレール部材と、前記レール部材に沿って摺動変位す
    るスライド部材とを含み、前記レール部材にスライド部
    材が係合することにより、ワークの回動を阻止する回り
    止めがなされることを特徴とするワーク吸着装置。
  2. 【請求項２】請求項１記載のワーク吸着装置において、 前記緩衝機構は、スライド部材と一体的に変位する連結
    部材と、前記連結部材の突起部とレール部材の端部との
    間に介装されるばね部材とを有することを特徴とするワ
    ーク吸着装置。
  3. 【請求項３】請求項１記載のワーク吸着装置において、 前記レール部材と前記スライド部材との間には、該レー
    ル部材の転動溝に沿って転動する複数のボールと、前記
    ボールを転動自在に保持する孔部が形成された保持器と
    が設けられ、前記保持器を含み、吸着手段を除いた構成
    要素の全てを金属製材料によって形成することを特徴と
    するワーク吸着装置。
  4. 【請求項４】請求項１記載のワーク吸着装置において、 前記吸着手段は、吸着用パッドからなり、前記吸着用パ
    ッドは、加硫されたフッ素系ゴムとカーボンブラックと
    からなる導電性フッ素系ゴムによって形成されることを
    特徴とするワーク吸着装置。
JP10342070A 1998-12-01 1998-12-01 ワーク吸着装置 Pending JP2000158374A (ja)

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