WO1998027410A1 - Gehäuse für einen sensor - Google Patents

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Günter DOEMENS
Markus Gilch
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Siemens Aktiengesellschaft
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
    • G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
    • G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
    • G01L3/10—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
    • G01L3/106—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving electrostatic means

Definitions

  • the invention relates to a housing for a sensor for measuring changes in length or distance, in particular for a torque sensor with a capacitive converter.
  • a measuring sensor for changes in length or distance is known, which is particularly suitable for the contactless measurement of torques on rotating shafts.
  • a capacitor arrangement with two electrode structures which can be adjusted in parallel is provided as the adjustable capacitance.
  • the interdigitated electrode structures which are preferably comb-shaped, each consist of a plurality of planar electrodes arranged parallel to one another, which are assigned to one another in pairs.
  • a highly asymmetrical arrangement of the electrode structures achieves capacitive decoupling, so that the total capacitance of the capacitor arrangement results from a parallel connection of electrode pairs, which are each formed by electrodes which are assigned to one another.
  • the change in capacitance caused by the variable electrode spacing of the electrode pairs serves as the measured variable.
  • electrode structures designed as microstructures for example, torsions of a few micrometers can be detected.
  • the actual sensor element essentially consists of the functional groups comb structure and the necessary elastic and hermetic encapsulation.
  • the need for hermetic encapsulation results from the capacitive sensor principle.
  • the elasticity is determined by the transfer of the elongation to be measured, ie a change in length or also by the transfer of an extension. Change in position to the electrode spacing of the capacitor arrangement is required.
  • high demands are to be placed on the fatigue strength with respect to vibrations.
  • the transmission of the change in length or distance through the housing to the capacitor arrangement must be designed in such a way that only displacements in the measuring direction have an influence on the measurement result.
  • Thermal expansions of the measurement object and expansions of the second order which are caused, for example, by transverse forces, bending moments or axial forces, must not cause any additional change in the electrode spacing.
  • the double-comb structure of the capacitor arrangement is fastened in isolation in a metallic housing frame, which converts the displacement to be measured as a parallelogram guide into a corresponding change in the distance between the electrode pairs.
  • the housing frame is designed with corresponding weak points.
  • the hermetic encapsulation of the capacitor arrangement can then take place by covering the housing frame with metallic foils on both sides, the housing frame and foils being connected by resistance welding, preferably by roller seam welding.
  • the parallelogram arrangement ensures that the capacitor electrodes are guided exactly to one another, but the corners of the welded cover foils occur considerable voltages, which can lead to problems in the case of continuous load changes in the order of magnitude of, for example, 10 10 . It can also hermetically seal the weld at the weak points in the corner areas of the housing frame when there is a permanent load change.
  • the invention has for its object to provide a housing for a sensor for measuring changes in length or distance, in which the requirements for permanent tightness, elastic deformability and high fatigue strength are met at the same time.
  • a generic housing with a sensor guide arranged inside the housing that only allows movement in the measuring direction, at least elastically deformable in the measuring direction, mechanically largely decoupled from the sensor guide and continuously running in the circumferential direction, and with two cylinder segments the housing interior tightly sealing, at least elastically deformable in the measuring direction housing covers.
  • housings designed according to the invention are suitable for accommodating the capacitive torque sensors described at the outset, but also for other sensors for measuring changes in length or distance. Conventional strain gauges can be mentioned here as an example. Preferred embodiments of the invention are specified in the subclaims.
  • Figure 1 and Figure 2 in plan view and in side view of a housing for a torque sensor with a capacitive converter without the associated housing covers.
  • Figure 3 shows a housing according to Figures 1 and 2, but with the associated housing covers in perspective Dar position and
  • Figure 4 shows a housing according to Figures 1 and 2 without housing covers and without torque sensor in perspective.
  • FIGS. 1 and 2 show a top view and a side view of a housing for a capacitive torque sensor denoted by DS, the structure and mode of operation of which can be found in EP-B-0 354 386.
  • DS capacitive torque sensor
  • the housing fuselage shown which consists for example of steel, is produced in one piece, for example by injection molding, by laser cutting or by wire EDM.
  • the one-piece housing body comprises a sensor guide SF designed as a parallelogram guide with two transverse webs QS and four elastically deformable joints GE, two mutually opposite external fastening parts BT, each connected to the sensor guide SF via a leaf spring BF, and a circular cylindrical housing jacket GM two opposite, elastically deformable circular cylinder segments ZS.
  • the fastening parts BT each provided with two fastening holes BL, are fastened in the circumferential region of a shaft by means of corresponding fastening screws (not shown in the drawing), a torsion of the shaft indicated by arrows PF being transmitted to the sensor guide SF as a change in length.
  • the attachment via the fastening parts BT can, however, also be carried out in a radial alignment in the end region of a shaft or an elastic transmission member.
  • the torsion measured by the strain sensor DS represents a measure of the transmitted torque. It is important that the sensor guide SF only allows movement in the measuring direction MR running parallel to the arrows PF.
  • FIG 1 the course of a weld SN is indicated by a circular, dash-dotted line, with which two corresponding housing covers are to be connected to the housing jacket GM.
  • FIG 3 the upper of these two housing covers designated GA can be seen.
  • the housing covers GA are structured by a concentric, circular undulation W. This structuring W in the form of several concentric, bead-like grooves semicircular in cross section results in a slight elastic deformability of the housing covers GA, i.e. the housing covers GA can easily undergo elastic deformations of the circular cylinder segments ZS.
  • the hermetically sealed connection of the housing covers GA, which is designed as a steel foil, to the housing body is preferably carried out by roller seam welding, the circular course of the weld seam SN, as already mentioned in FIG. 1, being indicated by a dash-dotted line.
  • FIG. 4 shows the open housing body without the torque sensor DF shown in FIG. 1. It can be seen that the sensor guide SF two parallel to the crossbars QS and Has extensions FO oriented perpendicular to the measuring direction MR. The torque sensor DS is attached to these two extensions FO in the position shown in FIG. 1, for example by soldering.
  • the housing covers GA required for hermetic encapsulation are circular, so that the roll seam welding can be carried out on arcs of constant width, this width being, however, significantly larger than the weak points forming the joints GE the cross bars QS of the sensor guide SF.
  • the circular arc shape ensures easy deformability and a more even distribution of stress.
  • the parallel movement of the electrodes of the torque sensor DS is ensured, as already mentioned, by the sensor guide SF designed as a parallelogram with the four joints GE.
  • the structure of the housing covers GA explained above results in an extremely easy deformability of these covers.
  • FIGS. 1 to 4 Further advantages of the housing shown in FIGS. 1 to 4 result from the one-piece connection of the fastening parts BT to the housing body via the leaf springs BF, which are likewise formed by weak points.
  • These leaf springs BF mechanically decouple temperature-related expansions or expansions of the second order, as well as the shape and position tolerances of the fastening surfaces or the measurement object.
  • the number of degrees of freedom of this mechanical decoupling depends on the fastening method chosen. This ensures that only the change in elongation or length in the measuring direction is transmitted exactly to the measuring capacitor of the torque sensor DS and that no additional voltages are introduced into the area of the elastic encapsulation.
  • the proposed design of a hermetic-elastic encapsulation for a capacitive tive torque sensor or strain sensor the following decisive improvements: significantly less stress on the material and the roller seam welding, thereby significantly improved fatigue strength, much better durability of the hermetic encapsulation,

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Abstract

Ein Gehäuse für einen Sensor zur Messung von Längen- oder Abstandsänderungen, das bei hoher Dauerlastfestigkeit dicht und elastisch verformbar sein soll, umfaßt eine im Gehäuseinneren angeordnete Sensorführung, zumindest in Meßrichtung verformbare und von der Sensorführung mechanisch weitgehend entkoppelte Zylindersegmente des Gehäusemantels und zwei elastisch verformbare Gehäuseabdeckungen.

Description

Beschreibung
Gehäuse für einen Sensor
Die Erfindung betrifft ein Gehäuse für einen Sensor zur Messung von Längen- oder Abstandsanderungen, insbesondere für einen Drehmomentensensor mit kapazitivem Wandler.
Aus der EP- B-0 354 386 ist ein Meßaufnehmer für Längen- oder Abstandsändeungen bekannt, der insbesondere für die berührungslose Messung von Drehmomenten an rotierenden Wellen geeignet ist. Bei diesem Meßaufnehmer mit mechanisch elektrischer Meßgrößenumformung ist als verstellbare Kapazität eine Kondensatoranordnung mit zwei parallel verstellbaren Elektro- denstrukturen vorgesehen. Die vorzugsweise kammförmig ausgebildeten und ineinandergreifenden Elektrodenstrukturen bestehen jeweils aus mehreren ebenen, parallel zueinander angeordneten Elektroden, die paarweise einander zugeordnet sind. Durch eine stark unsymmetrische Anordnung der Elektroden- Strukturen wird eine kapazitive Entkoppelung erreicht, so daß die Gesamtkapazität der Kondensatoranordnung sich aus einer Parallelschaltung von Elektrodenpaaren ergibt, die jeweils durch einander zugeordnete Elektroden gebildet sind. Als Meßgröße dient die durch den variablen Elektrodenabstand der Elektrodenpaare hervorgerufene Kapazitätsänderung. Mit als MikroStrukturen ausgebildeten Elektrodenstrukturen können beispielsweise Torsionen von wenigen Mikrometern erfaßt werden.
Bei einem entsprechend ausgebildeten Sensor für die Kraft- oder Drehmomentenmessung besteht das eigentliche Sensorelement im wesentlichen aus den Funktionsgruppen Kammstruktur und der notwendigen elastischen und hermetischen Kapselung. Die Notwendigkeit der hermetischen Kapselung ergibt sich da- bei aus dem kapazitiven Sensorprinzip. Das Elastizität wird durch die Übertragung der zu messenden Dehnung, d.h. einer Längenänderung oder aber auch durch die Übertragung einer Ab- Standsänderung auf den Elektrodenabstand der Kondensatoranordnung erforderlich. Dabei sind beispielsweise im Hinblick auf Schwingungen an die Dauerlastwechselfestigkeit hohe Anforderungen zu stellen. Ferner ist die Übertragung der Län- gen- oder Abstandsänderung durch das Gehäuse auf die Kondensatoranordnung so zu gestalten, daß nur Verschiebungen in Meßrichtung einen Einfluß auf das Meßergebnis haben. Auch thermische Dehnungen des Meßobjekts und Dehnungen zweiter Ordnung, die beispielsweise durch Querkräfte, Biegemomente oder Axialkräfte hervorgerufen werden, dürfen keine zusätzliche Veränderung des Elektrodenabstandes bewirken.
Bei einem in der EP-B-0 354 386 dargestelltgen Ausführungs- beispiel wird die Doppelkammstruktur der Kondensatoranordnung isoliert in einem metallischen Gehäuserahmen befestigt, der die zu messende Verschiebung als Parallelogrammführung in eine entsprechende Abstandsänderung der Elektrodenpaare umwandelt. Um die Kräfte für die elastische Verformung der als Viergelenk ausgebildeten Parallelogrammführung gering zu hal- ten, ist der Gehäuserahmen mit entsprechenden Schwachstellen ausgeführt. Die hermetische Kapselung der Kondensatoranordnung kann dann durch eine beidseitige Abdeckung des Gehäu- serahmens mit metallischen Folien erfolgen, wobei die Verbindung von Gehäuserahmen und Folien durch Widerstandschweißung vorzugsweise durch Rollnahtschweißen vorgenommen wird.
Die hermetische Kapselung und die gleichzeitige elastische Verformbarkeit des Gehäuses bei geringen Kräften und hoher Dauerlastwechselbeanspruchung stellen gegenläufige Forderun- gen dar. Bei der vorstehend beschriebenen Ausführungsform wird durch die Parallelogrammanordnung zwar eine exakte Führung der Kondensatorelektroden zueinander gewährleistet, in den Ecken treten jedoch bei den verschweißten Abdeckfolien erhebliche Spannungen auf, welche bei Dauerlastwechsel in der Größenordnung von beispielsweise 1010 zu Problemen führen können. Außerdem kann die hermetische Dichtigkeit der Schweißung an den Schwachstellen in den Eckbereichen des Gehäuserahmens bei Dauerlastwechsel gefährdet sein.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Gehäuse für ei- nen Sensor zur Messung von Längen- oder Abstandsanderungen zu schaffen, bei welchem die Forderungen nach dauerhafter Dichtigkeit, elastischer Verformbarkeit und hoher Dauerlastfestigkeit gleichzeitig realisiert sind.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt durch ein gattungsgemäßes Gehäuse, mit einer im Gehäuseinneren angeordneten Sensorführung, die nur eine Bewegung in Meßrichtung erlaubt, zumindest in Meßrichtung elastisch verformbaren, von der Sensorführung mechanisch weitgehend entkoppelten und in Um- fangsrichtung stetig verlaufenden Zylindersegmenten des Gehäusemantels und mit zwei das Gehäuseinnere dicht verschließenden, zumindest in Meßrichtung elastisch verformbaren Gehäuseabdeckungen.
Bei dem erfindungsgemäßen Gehäuse ist also eine Trennung der Funktionen einer dichten Kapelsung und einer Sensorführung in Meßrichtung vorgesehen. Der Gehäusemantel wird in seinen von der Sensorführung durch einen entsprechenden körperlichen Ab- stand mechanisch weitgehend entkoppelten, elastisch verformbaren Bereichen durch in Umfangsrichtung stetig verlaufende Zylindersegmente gebildet, d.h. Unstetigkeiten bzw. Ecken mit einem entsprechenden Anstieg der Spannungen werden von vor- neherein vermieden. Durch die deutlich geringere Beanspruch- gung des Materials und der Verbindungen zwischen Gehäuserumpf und Gehäuseabdeckungen wird eine erhebliche Steigerung der Dauerlastfestigkeit ermöglicht. Erfindungsgemäß ausgebildete Gehäuse sind für die Unterbringung der eingangs geschilderten kapazitiven Drehmomentensensoren aber auch von anderen Senso- ren zur Messung von Längen- oder Abstandsanderungen geeignet. Als Beispiel können hier konventionelle Dehnungsmeßstreifen genannt werden. Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert .
Es zeigen
Figur 1 und Figur 2 in der Draufsicht bzw. in der Seitenansicht ein Gehäu se für einen Drehmomentensensor mit kapazitivem Wandler ohne die zugehörigen Gehäuseabdeckungen. Figur 3 ein Gehäuse gemäß den Figuren 1 und 2, jedoch mit den zugehörigen Gehäuseabdeckungen in perspektivischer Dar Stellung und Figur 4 ein Gehäuse gemäß den Figuren 1 und 2 ohne Gehäuseabdec kungen und ohne Drehmomentensensor in perspektivischer Darstellung.
Die Figuren 1 und 2 zeigen in der Draufsicht bzw. in der Seitenansicht ein Gehäuse für einen mit DS bezeichneten kapazitiven Drehmomentensensor, dessen Aufbau und Wirkungsweise aus der EP-B-0 354 386 hervorgeht. Von diesem Gehäuse ist nur der Gehäuserumpf dargestellt, d.h. die beiden zur hermetisch dichten Kapselung des Drehmomentensensors DS erforderlichen Gehäuseabdeckungen sind hier noch nicht angebracht. Der dargestellte Gehäuserumpf, der beispielsweise aus Stahl besteht, wird beispielsweise durch Spritzgießen, durch Laserschneiden oder auch durch Drahterodieren einstückig hergestellt. Der einstückige Gehäuserumpf umfaßt dabei eine als Parallelogrammführung mit zwei Querstegen QS und vier elastisch verformbaren Gelenken GE ausgebildete Sensorführung SF, zwei einander gegenüberliegende und jeweils über eine Blattfeder BF mit der Sensorführung SF verbundene äußere Befestigungε- teile BT und einen kreiszylindrischen Gehäusemantel GM mit zwei einander gegenüberliegenden, elastisch verformbaren Kreis-Zylindersegmenten ZS. Die mit jeweils zwei Befestigungslöchern BL versehenen Befestigungsteile BT werden über entsprechende, in der Zeichnung nicht dargestellte Befesti- gungεschrauben im Umfangsbereich einer Welle befestigt, wobei eine durch Pfeile PF angedeutete Torsion der Welle als Längenänderung auf die Sensorführung SF übertragen wird. Die Anbringung über die Befestigunsteile BT kann aber auch in radialer Ausrichtung im Stirnbereich einer Welle oder eines elastischen Übertragungsgliedeε vorgenommen werden. In beiden Fällen stellt die vom Dehnungssensor DS gemessene Torsion ein Maß für das übertragene Drehmoment dar. Wichtig ist dabei, daß die Sensorführung SF nur eine Bewegung in der parallel zu den Pfeilen PF verlaufenden Meßrichtung MR erlaubt.
In Figur 1 ist durch eine kreisförmige, strichpunktierte Linie der Verlauf einer Schweißnaht SN angedeutet, mit welcher zwei entsprechende Gehäuseabdeckungen mit dem Gehäusemantel GM verbunden werden sollen. In Figur 3 ist die obere dieser beiden mit GA bezeichneten Gehäuseabdeckungen zu erkennen. Es ist ferner zu erkennen, daß die Gehäuseabdeckungen GA durch eine konzentrische, kreisförmige Welligkeit W strukturiert sind. Durch diese Strukturierung W in Form von mehreren konzentrischen, sickenartigen im Querschnitt halbrunden Rillen ergibt sich eine leichte elastische Verformbarkeit der Gehäuseabdeckungen GA, d.h. die Gehäuseabdeckungen GA können problemlos elastische Verformungen der Kreis- Zylindersegmente ZS mitmachen. Die hermetisch dichte Verbindung der als Stahlfolie ausgebildeten Gehäuseabdeckungen GA mit dem Gehäu- serumpf erfolgt vorzugsweise durch Rollnahtschweißen, wobei der kreisrunde Verlauf der Schweißnaht SN, wie bereits erwähnten Figur 1 durch eine strichpunktierte Linie angedeutet ist .
Figur 4 zeigt den offenen Gehäuserumpf ohne den in Figur 1 dargestellten Drehmomentensensor DF. Es ist erkennbar, daß die Sensorführung SF zwei parallel zu den Querstegen QS bzw. senkrecht zur Meßrichtung MR ausgerichtete Fortsätze FO besitzt. Auf diese beiden Fortsätze FO wird der Drehmomentensensor DS in der in Figur 1 dargestellten Lage beispielsweise durch Löten befestigt.
Bei dem vorstehend anhand der Figuren 1 bis 4 erläuterten Gehäuse sind die für eine hermetische Kapselung erforderlichen Gehäuseabdeckungen GA kreisrund ausgeführt, so daß die Rollnahtschweißung an Kreisbögen mit konstanter Breite erfolgen kann, wobei diese Breite jedoch deutlich größer ist, als die die Gelenke GE bildenden Schwachstellen der Querstege QS der Sensorführung SF . Durch die Kreisbogenform wird eine leichte Verformbarkeit, sowie eine gleichmäßigere Spannungsverteilung gewährleistet. Die Sicherstellung der parallelen Bewegungε- führung der Elektroden des Drehmomentsenεorε DS erfolgt wie bereits erwähnt, durch die als Parallelogrammführung ausgebildete Sensorführung SF mit den vier Gelenken GE. Durch die vorstehend erläuterte Struktur der Gehäuεeabdeckungen GA ergibt εich eine εehr leichte Verformbarkeit dieεer Abdeckun- gen.
Weitere Vorteile deε in den Figuren 1 biε 4 dargeεtellten Gehäuses ergeben sich durch die einstückige Verbindung der Be- festigungsteile BT mit dem Gehäuserumpf über die ebenfalls durch Schwachstellen gebildeten Blattfedern BF. Durch diese Blattfedern BF werden temperaturbedingte Dehnungen bzw. Dehnungen zweiter Ordnung εowie Form- und Lagetoleranzen der Befestigungsflächen oder des Meßobjekts mechanisch entkoppelt. Die Anzahl der Freiheitsgrade dieser mechanischen Entkoppe- lung hängt vom gewählten Befestigungsverfahren ab. Damit wird sichergestellt, daß nur die Dehnung- bzw. Längenänderung in Meßrichtung exakt auf den Meßkondensator des Drehmomentensensors DS übertragen wird und keine zusätzlichen Spannungen in den Bereich der elastischen Kapselung eingeleitet werden.
Zusammenfassend erhält man durch die vorgeschlagene Auεfüh- rung einer hermetiεch-elaεtiεchen Kapεelung für einen kapazi- tiven Drehmomentensensor oder Dehnungsgeber folgende entscheidende Verbesserungen: deutlich geringere Beanspruchung des Materials und der Rollnahtschweißung, dadurch erheblich verbesserte Dauer- lastfestigkeit, wesentlich bessere Haltbarkeit der hermetischen Kapselung,
Kostenreduzierung bei der Rollnahtεchweißung.

Claims

Patentansprüche
1. Gehäuse für einen Sensor zur Messung von Längen- oder Abstandsanderungen, insbesondere für einen Drehmomentensensor mit kapazitivem Wandler, mit einer im Gehäuseinneren angeordneten Sensorführung (SF) , die nur eine Bewegung in Meßrichtung (MR) erlaubt, zumindest in Meßrichtung (MR) elaεtisch verformbaren, von der Sensorführung (SF) mechanisch weitgehend entkoppelten und in Um angεrichtung stetig verlaufenden Zylindersegmenten (ZS) des Gehäusemantels, und mit zwei das Gehäuseinnere dicht verschließenden, zumindeεt in Meßrichtung (MR) elaεtiεch verformbaren Gehäuεeabdeckungen (GA) .
2. Gehäuse nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Senεorführung (SF) alε Parallelogrammführung auεge- bildet ist.
3. Gehäuse nach Anspruch 2, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Parallelogrammführung vier elastiεch verformbare Ge- lenke (GE) aufweiεt .
4. Gehäuεe nach Anεpruch 3 , dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die vier Gelenke (GE) durch Schwachstellen von zwei Quer- Stegen (QS) der einstückig auεgebildeten Parallelogrammführung gebildet sind.
5. Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Sensorführung (SF) über Blattfedern (BF) mit äußeren Befestigungεteilen (BT) verbunden ist.
6. Gehäuse nach Anspruch 5, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß Sensorführung (SF) , Blattfedern (BF) und Befestigungsteile (BT) insgesamt einstückig ausgebildet sind.
7. Gehäuεe nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Zylindersegmente (ZS) des Gehäusemantels als Kreis- Zylinderεegmente auεgebildet sind.
8. Gehäuse nach Anspruch 7, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Gehäuεeabdeckungen (GA) kreiεförmig auεgebildet εind.
9. Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 biε 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Gehäuseabdeckungen (GA) durch eine konzentrische, kreiεförmige Welligkeit (W) εtrukturiert sind.
10. Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 biε 9, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Gehäuεeabdeckungen (GA) jeweilε über eine Schweißnaht (SN) mit den angrenzenden Gehäuseteilen hermetisch dicht verbunden sind.
11. Gehäuse nach Anεpruch 10, g e k e n n z e i c h n e t durch eine kreisrunde, mittels Rollnahtεchweißung erzeugte
Schweißnaht (SN) .
12. Gehäuεe nach einem der Anεprüche 1 und 6, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Zylindersegmente (ZS) , die Sensorführung (SF) , die Blattfedern (BF) und die Befestigungεteile (BT) inεgeεamt einεtückig ausgebildet sind.
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