WO1997015943A1

WO1997015943A1 - Pompe ionique a anode ajouree

Info

Publication number: WO1997015943A1
Application number: PCT/FR1996/001685
Authority: WO
Inventors: Michel Bolore; Bruno Delomez; Claude Henriot; Jérôme MARTIGNAC
Original assignee: Commissariat A L'energie Atomique
Priority date: 1995-10-27
Filing date: 1996-10-28
Publication date: 1997-05-01
Also published as: EP0857352A1; FR2740607B1; FR2740607A1

Abstract

Cette pompe comprend au moins un bloc de pompage comprenant une anode (2) comportant un ensemble de cylindres conducteurs juxtaposés (4) et deux cathodes (6, 8) placées de part et d'autre de l'anode et faites d'un métal qui, lorsque la pompe est en fonctionnement, forme sur l'anode un dépôt capable d'adsorber et d'absorber le gaz, une enceinte à paroi étanche (18) dans laquelle est placé chaque bloc de pompage et qui est pourvue d'une ouverture (20) par laquelle pénètre le gaz et d'une zone interne dans le prolongement de cette ouverture. Dans au moins un bloc de pompage placé en regard de cette zone la paroi latérale (5) d'au moins une partie des cylindres de l'anode est ajourée, les ajours latéraux de ces cylindres sont en vue directe de la zone et pour chaque cylindre ajouré, la surface ajourée de ce cylindre est inférieure à 30 % de la surface latérale totale de ce cylindre. Application aux accélérateurs de particules et aux enceintes à vide poussé ou à ultravide.

Description

POMPE IONIQUE A ANODE AJOUREE

DESCRIPTION

DOMAINE TECHNIQUE

La présente invention concerne une pompe ionique.

Elle s'applique notamment à l'obtention de très basses pressions dans des accélérateurs de particules et plus généralement dans αes enceintes a vide poussé ou à ultravide.

ETAT DE LA TECHNIQUE ANTERIEURE

Un exemple de pompe ionique connue est schématiquement représenté sur les figures 1 et 2.

La figure 1 est une vue en perspective schématique et partielle de cette pompe ionique connue tandis que la figure 2 est une vue en coupe schématique de cette pompe ionique.

La pompe ionique des figures 1 et 2 comprend un seul bloc de pompage comprenant :

• une anode 2 comprenant un ensemble de cylindres électriquement conducteurs juxtaposés 4 dont les axes respectifs tels que l'axe X sont parallèles les uns aux autres, et

• deux cathodes planes 6 et 8, pleines ou découpées, parallèles l'une à l'autre, placées de part et d'autre de l'anode 2, perpendiculairement aux axes des cylindres de cette anode, et faites d'un métal qui, lorsque la pompe est en fonctionnement, forme sur les cylindres de l'anode 2 un dépôt capable d'adsorber et d'absorber le gaz que l'on veut piéger avec cette pompe. Chacun des cylindres 4 de l'anode 2 est bien entendu creux et ouvert en ses deux extrémités.

Ces cylindres 4 sont maintenus les uns contre les autres grâce à des moyens appropriés comme par exemple des lames métalliques 10, 12, 14 et 16 qui encadrent l'ensemble des cylindres 4.

Des moyens non représentés sont prévus pour porter l'ensemble des cylindres 4 à un potentiel positif par rapport aux cathodes 6 et 8. On crée ainsi un champ électrique entre ces cathodes 6 et 8 et l'anode 2, parallèlement aux axes des cylindres 4.

Comme on le voit sur la figure 2, cette pompe ionique comprend également une enceinte 18 a parois étanches dans laquelle sont placées l'anode 2 et les deux cathodes 6 et 8 et qui est pourvue d'une ouverture 20 par laquelle pénètre le gaz que l'on veut piéger grâce à cette pompe.

Le flux de gaz est symbolisé par les flèches 22 sur la figure 2.

Comme on le voit sur cette figure 2, l'enceinte 18 est pourvue d'une bride 24 placée au niveau de l'ouverture 20 et permettant de raccorder la pompe ionique à une enceinte ou une canalisation contenant un gaz que l'on veut piéger avec la pompe.

Cette pompe comprend aussi des moyens 26 extérieurs à l'enceinte 18 et permettant de créer dans celle-ci un champ magnétique B parallèle aux axes des cylindres 4. L'enceinte 18 est bien entendu faite d'un matériau amagnetique qui permet l'établissement de ce champ magnétique B à l'intérieur de cette enceinte.

On crée par exemple un champ électrique de l'ordre de 1 à 1,8 MV.πf^" entre chacune des cathodes β et 8 et l'anode 2. Le champ magnétique B, qui est parallèle à ce champ électrique, vaut par exemple 0,14 T.

Une décharge électrique spontanée d'électrons se produit entre les cathodes 6 et 8 et 1 ' anode 2.

La trajectoire de ces électrons est allongée par le mouvement spirale que leur donne le champ magnétique.

Les cathodes 6 et 8 sont faites d'un matériau métallique de type "getter" qui peut être du titane ou de l'aluminium.

Au cours de la trajectoire en spirale des électrons, de nombreuses collisions ont lieu avec les molécules du gaz que l'on veut piéger au moyen de la pompe .

Il en résulte une ionisation de ces molécules .

Les ions positifs ainsi créés sont attires par les cathodes 6 et 8 et bombardent celles-ci. Sous l'effet de ce bombardement, des atomes du matériau de type "getter" sont arrachés aux cathodes 6 et 8 et viennent se déposer sur les cylindres 4 de 1 ' anode 2, créant ainsi des couches minces αe ce matériau. Ces couches minces permettent d'adsorber et d'absorber le gaz comme dans une pompe à sublimation.

Une pompe ionique est ainsi une pompe à pulvérisation cathodique d'un matériau de type "getter" en présence d'un champ magnétique. On précise que les cylindres conducteurs 4 sont généralement en acier inoxydable.

On remarquera que l'ensemble de ces cylindres 4 a une structure du type "nid d'abeilles", et que les bases de ces cylindres peuvent revêtir des formes diverses (cercles, hexagones, carrés ...) . Les cathodes 6 et 8 peuvent être pleines ou, au contraire, ajourées.

Dans ce dernier cas, l'enceinte de la pompe ionique est avantageusement réalisée en un matériau électriquement conducteur et amagnetique et portée au même potentiel que l'anode de cette pompe ionique.

Dans ces conditions, le matériau de type "getter" est susceptible d'être projeté sur les parois internes de l'enceinte de cette pompe et la surface de pompage est augmentée.

Le débit d'une pompe ionique du genre de celle des figures 1 et 2 est proportionnel à l'espace existant entre les cathodes 6 et 8 et l'anode 2.

La distance entre cette anode 2 et chacune des cathodes 6 et 8 est par exemple égale à 3 mm.

Pour obtenir un débit supérieur a celui de la pompe ionique des figures 1 et 2, il est connu d'utiliser plusieurs modules de pompage qui sont du genre de cette pompe et que l'on fait fonctionner en parallèle, dans une même enceinte pour une même pompe.

On obtient ainsi un ensemble qui est lourd, encombrant et coûteux.

On a aussi propose de raccourcir les cylindres périphériques mais l'accroissement de débit qui en résulte est peu sensible.

EXPOSÉ DE L' INVENTION

La présente invention a pour objet une pompe ionique dont le débit est supérieur à celui des pompes ioniques connues et qui ne présente pas les inconvénients mentionnés ci-dessus.

Selon la présente invention, pour augmenter le débit de la pompe ionique, on utilise une anode ou une pluralité d'anodes dont au moins une partie des cylindres sont ajourés : ainsi on fait pénétrer le gaz non seulement à la base de l'anode, mais aussi perpendiculairement à cette anode.

De façon précise, la présente invention a pour objet une pompe ionique destinée à piéger un gaz, cette pompe ionique comprenant au moins un bloc de pompage, chaque bloc de pompage comprenant :

• une anode comprenant un ensemble de cylindres électriquement conducteurs juxtaposés, dont les axes respectifs sont parallèles les uns aux autres, et

• deux cathodes planes, parallèles l'une à l'autre, placées de part et d'autre de l'anode, perpendiculairement aux axes des cylindres de cette anode, et faites d'un métal qui, lorsque la pompe est en fonctionnement, forme sur l'anode un dépôt capable d'adsorber et d'absorber le gaz, cette pompe ionique comprenant aussi une enceinte à paroi étanche dans laquelle est placé chaque bloc de pompage et qui est pourvue d'une ouverture par laquelle pénètre le gaz et d'une zone interne de l'enceinte, appelée puits de pompage, qui est dans le prolongement de cette ouverture, cette pompe ionique étant caractérisée en ce que, dans au moins un bloc de pompage placé en regard du puits de pompage, la paroi latérale d'au moins une partie des cylindres de l'anode est ajourée, en ce que les ajouts latéraux de ces cylindres sont en vue directe du puits de pompage et en ce que, pour chaque cylindre ajouré, la surface ajourée de ce cylindre est inférieure à 30* de la surface latérale totale de ce cylindre.

Selon un premier mode de réalisation particulier de l'invention, la paroi latérale de ces cylindres ajourés de l'anode est ajourée dans sa partie centrale, le plan médian des ajours passant par le puits de pompage. En effet, les parties d'extrémité des cylindres sont plus efficaces pour le pompage que les parties centrales de ces cylindres.

Selon une première variante correspondant à ce premier mode de réalisation particulier, la paroi latérale de ces cylindres ajourés de l'anode de cette pompe est pourvue de trous constituant les ajours.

Selon une deuxième variante, cette paroi latérale est pourvue d'ouvertures de forme allongée qui constituent les ajours et s'étendent parallèlement à l'axe du cylindre correspondant à cette paroi latérale.

Selon une troisième variante, cette paroi latérale comprend une partie grillagée périphérique au voisinage du plan médian de section droite du cylindre correspondant.

Selon une quatrième variante, cette paroi latérale est en deux parties longituαmaiement espacées 1 'une de 1 ' autre .

Selon un deuxième mode de réalisation particulier αe l'invention, les ajours ont la forme de deux fentes longitudinales diamétralement opposes dont le plan passe par le puits de pompage.

Selon une première variante correspondant a ce deuxième mode de réalisation particulier, cette paroi latérale comprend des parties grillagées de forme allongée qui s'étendent parallèlement à l'axe du cylindre correspondant à cette paroi latérale.

Selon une deuxième variante correspondant à ce deuxième mode de réalisation particulier, les parois latérales des cylindres d'une même ligne de cylindres de l'anode sont réalisées sous la forme de deux plaques ondulées diamétralement espacées l'une de l'autre.

Les ajours peuvent être formés dans les premiers cylindres de l'anode, disposés directement devant le puits de pompage, permettant une communication directe avec ce puits de pompage.

La pompe ionique peut comprendre un seul bloc de pompage qui est placé en regard de l'ouverture de l'enceinte, les ajours latéraux desdits cylindres étant en vue directe de cette ouverture.

Dans ce cas, les ajours peuvent être formés dans les premiers cylindres de l'anode, disposés directement devant l'entrée de la pompe, permettant une communication directe avec ladite entrée.

BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS

La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés ci-après, à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexes sur lesquels :

• la figure 1 est une vue schématique et partielle en perspective d'une pompe ionique connue et a déjà été décrite,

• la figure 2 est une vue en coupe schématique de la pompe ionique de la figure 1,

• la figure 3 est une vue en coupe schématique d'un mode de réalisation particulier de la pompe ionique objet de l'invention,

• les figures 4A, 4B, 4C, 4D, 4E et 4F sont des vues schématiques de divers modes de réalisation particuliers de cylindres que l'on peut utiliser pour former l'anode d'une pompe ionique conforme à l'invention, et

• la figure 5 est une vue en coupe schématique d'un autre mode de réalisation particulier à pluralité de blocs de pompage. EXPOSE DETAILLE DE MODES DE REALISATION PARTICULIERS

La pompe ionique conforme à l'invention, qui est schématiquement représentée en coupe sur la figure 3, a un seul bloc de pompage (anode 2 et cathodes 6) qui est placé en regard de l'ouverture 20 de l'enceinte 18, et cette pompe diffère simplement de la pompe ionique de la figure 2 par le fait que les cylindres 4, dont l'ensemble constitue l'anode 2 de la pompe de la figure 3, sont ajourés.

Plus exactement, c'est la paroi latérale 5 de chacun de ces cylindres de la pompe de la figure 3 (qui sont creux et ouverts en leurs extrémités) qui est ajourée. Pour chaque cylindre, la surface ajourée est inférieure à 30% de la surface latérale totale de ce cylindre.

En effet le phénomène de pompage est lié à deux causes :

- absorption des ions dans les cathodes, surtout dans l'axe de chacun des cylindres constituant l'anode ;

- adsorption des gaz sur les parois de l'anode ou est venu se déposer le matériau getter provenant des cathodes (phénomène de pulvérisation cathodique) .

Ce dernier mode de pompage est prépondérant et il convient de ne pas diminuer la surface de l'anode dans de trop grandes proportions. Par exemple, de simples fils métalliques priveraient la pompe d'une grande efficacité. C'est pour cela que les ouvertures pratiquées sur les cylindres ne doivent pas être excessives, d'où le choix de la valeur-limite de 30% mentionnée plus haut pour la surface ajourée. De préférence, pour chaque cylindre, cette surface ajourée est inférieure à une valeur de l'ordre de 10% à 30* de la surface latérale totale de ce cylindre. Dans le cas de la figure 2, la paroi latérale des cylindres ne comporte aucune ouverture.

L'utilisation de cylindres ajourés permet d'augmenter la surface d'acceptance de pompage au niveau de l'anode 2 de la pompe ionique de la figure 3 par rapport à la pompe ionique de la figure 2.

Divers exemples de cylindres ajourés sont schématiquement représentés sur les figures 4A à 4F qui seront décrites par la suite. Dans tous les cas, on obtient une anode que l'on peut qualifier de "transparente".

Dans les pompes ioniques connues, comme par exemple celle des figures 1 et 2, les molécules de gaz ne peuvent passer, pour être pompées, qu'entre les petits espaces séparant l'anode des cathodes de ces pompes connues .

Dans une pompe ionique conforme à l'invention comme celle de la figure 3, on dispose, grâce aux cylindres ajoures, d'ouvertures supplémentaires qui augmentent le débit de cette pompe par rapport aux pompes ioniques connues : les molécules du gaz à pomper peuvent passer d'un cylindre de l'anode de cette pompe conforme à l'invention a un autre cylindre de celle-ci. De plus, dans le cas de la figure 3, les ajours latéraux des cylindres 4 de l'anode 2 sont en vue directe de l'ouverture 20 de l'enceinte de cette pompe ionique.

Evidemment, les lames métalliques de maintien sont retirées aux endroits où elles obstrueraient les ajours des cylindres.

On peut les supprimer complètement, comme représenté en figure 3, et solidariser l'ensemble des cylindres par soudage. On peut aussi maintenir les cylindres à l'aide d'une lame en forme de U, l'ouverture du U étant orientée vers l'ouverture 20 de l'enceinte 18.

On peut également remplacer la lame 10 disposée en regard de l'ouverture 20 par deux tirants latéraux.

Divers exemples de cylindres ajourés, utilisables dans la présente invention, sont schématiquement représentés en perspective sur les figures 4A à 4F.

Le cylindre 2 de la figure 4A est percé de trous 30 sur tout son pourtour.

Le cylindre 2 de la figure 4B est percé d'ouvertures 32 de forme allongée qui s'étendent parallèlement à l'axe X de ce cylindre et sont réparties sur tout le pourtour de celui-ci.

Dans le cas de la figure 4C, la paroi latérale 5 du cylindre 2 comprend une partie grillagée périphérique 34, ce qui correspond au mode de réalisation de la figure 3.

Dans le cas de la figure 4D, ia paroi latérale du cylindre 2 comprend des parties grillagées

36 et 38 de forme allongée, qui s'étendent parallèlement à l'axe X de ce cylindre sur toute la longueur de celui-ci.

Dans le cas de la figure 4E, la paroi latérale du cylindre 2 est formée de αeux parties 40 et 42 qui sont espacées l'une de l'autre.

Dans le cas de cette figure 4E, l'anode comprenant de tels cylindres juxtaposés est formée de deux parties et laisse un passage entièrement libre en son milieu.

Ces deux parties de l'anode sont maintenues espacées l'une de l'autre par une lame métallique en forme de U dont il a été question plus haut dans la description de la figure 3.

Dans le cas de la figure 4F, les parois latérales des cylindres d'une même ligne de cylindres de l'anode sont réalisées sous la forme de deux plaques ondulées 44 et 46 diamétralement espacées l'une de l' autre.

L'utilisation de cylindres ajourés conformément à l'invention ne perturbe pas les champs électrique et magnétique nécessaires au fonctionnement de la pompe ionique.

En ce qui concerne le potentiel électrostatique, les lignes équipotentielles sont les mêmes, que les cylindres de l'anode aient des parois latérales pleines ou ajourées.

Ainsi, le champ électrique entre l'anode et les cathoαes conserve sa valeur.

En ce qui concerne le champ magnétique, la disposition interne reste la même, la distribution de l'induction magnétique ne dépendant que des moyens 26 de création du champ magnétique.

Ces moyens 26 comprennent généralement deux aimants permanents placés de part et d'autre de l'enceinte 18 et formés de plaques en ferrite ainsi qu'un blindage magnétique (non représenté) permettant au champ magnétique engendré par ces aimants de se refermer à l'extérieur de l'enceinte 18.

Avec une pompe ionique conforme à l'invention, utilisant des cylindres du genre de celui de la figure 4D, on a obtenu, par rapport à une pompe ionique classique, des gains qui vont de 10s à 40Î, pour des pressions d'utilisation de 10^"π Pa.

On notera que l'on peut distinguer deux groupes de pompes ioniques conformes à l'invention au vu des figures 3 à 4F. Dans le premier groupe, les ajours sont disposés dans la partie centrale des cylindres, le plan médian des ajours passant par l'ouverture de l'enceinte. C'est le cas des figures 3, 4A, 4B, 4C et 4E. Ce plan médian, qui est perpendiculaire aux axes des cylindres, a la référence P sur la figure 3.

Dans le deuxième groupe, les ajours forment deux fentes longitudinales diamétralement opposées. Le plan de ces fentes passe par l'ouverture de l'enceinte. C'est le cas des figures 4D et 4F où ce plan des fentes a la référence PI.

On précise que tous les cylindres d'une pompe ionique conforme à l'invention, comme par exemple celle de la figure 3, n'ont pas a être ajourés. Seule une partie d'entre eux peut l'être. Dans ce cas, il est préférable que les ajours soient formes dans les cylindres places directement devant l'entrée de la pompe pour pemettre une communication directe avec cette entrée, c'est-a-dire avec l'ouverture de l'enceinte de cette pompe.

Une autre pompe ionique conforme a l'invention est schématiquement représentée en coupe sur la figure 5 et comprend deux blocs de pompage 48 dans une enceinte 18. On voit encore sur la figure 5 l'ouverture 20 de cette enceinte et la bride 24 dont elle est munie.

Chaque bloc de pompage 48 est constitue comme celui de la figure 3.

On a représenté par des pointillés la zone PP interne a l'enceinte 18, qui prolonge l'ouverture 20 de celle-ci et qui est appelée puits de pompage.

Chaque bloc de pompage 48 est place en regard de ce puits de pompage PP. Les axes des cylindres des anodes des blocs sont parallèles a ce puits tandis que les cathodes 8 lui sont perpendiculaires.

Les ajours latéraux des cylindres ajourés sont en vue directe de ce puits PP. On a symbolisé par une flèche B les moyens de création d'un champ magnétique approprié dans chaque bloc, le champ magnétique étant ici parallèle au puits de pompage PP.

Le flux du gaz pompé a la référencé F. Bien entendu, dans le cas des pompes conformes à l'invention comprenant un puits de pompage, on peut encore distinguer deux groupes comme on l'a fait plus haut.

Dans ce cas, pour le premier groupe, la paroi latérale de chaque cylindre ajouré est ajourée dans sa partie centrale et le plan médian P des ajours passe par le puits de pompage PP. Pour le deuxième groupe, les ajours ont la forme αe deux fentes longitudinales diamétralement opposées dont le plan passe par ce puits de pompage.

De plus, tous les cylindres n'ont pas a être ajourés dans chaque bloc de pompage. Il suffit qu'une partie des cylindres de l'anode de cnaque bloc de pompage le soit. De préférence, ces ajours sont formés dans les cylindres disposés directement devant le puits de pompage, ce qui permet une communication directe avec ce puits de pompage PP.

Il est à noter que la notion de puits de pompage PP a encore un sens dans le cas où il n'y a qu'un bloc de pompage (figure 3) . Dans ce cas, ce bloc est encore en regard de ce puits de pompage et les ajours latéraux sont encore en vue directe de ce puits mais, comme on le voit sur la figure 3, les axes des cylindres et le champ magnétique sont perpendiculaires au puits PP tandis que les cathodes sont disposées parallèlement à celui-ci.

Dans un mode de réalisation particulier non représenté, il n'y a qu'un seul bloc de pompage à cylindre (s) ajouré (s) en regard du puits de pompage.

Les autres blocs ne sont pas placés en regard de ce puits et n'ont aucun cylindre ajouré.

Il peut aussi y avoir plusieurs blocs de pompage en regard de ce puits, parmi lesquels quelques uns seulement ont un ou plusieurs cylindres ajourés, les autres blocs n'étant pas placés en regard de ce puits et n'ayant aucun cylindre ajoure.

Claims

REVENDICATIONS

1. Pompe ionique destinée à piéger un gaz, cette pompe ionique comprenant au moins un bloc de pompage, chaque bloc de pompage comprenant : • une anode (2) comprenant un ensemble de cylindres électriquement conducteurs juxtaposés (4), dont les axes respectifs sont parallèles les uns aux autres, et • deux cathodes (6, 8), parallèles l'une à l'autre, placées de part et d'autre de l'anode, perpendiculairement aux axes des cylindres de cette anode, et faites d'un métal qui, lorsque la pompe est en fonctionnement, forme sur l'anode un dépôt capable d'adsorber et d'absorber le gaz, cette pompe ionique comprenant aussi une enceinte à paroi étanche (18) dans laquelle est placé chaque bloc de pompage et qui est pourvue d'une ouverture (20) par laquelle pénètre le gaz et d'une zone interne de l'enceinte, appelée puits de pompage, qui est dans le prolongement de cette ouverture, cette pompe ionique étant caractérisée en ce que, dans au moins un bloc de pompage placé en regard du puits de pompage, la paroi latérale (5) d'au moins une partie des cylindres (4) de l'anode (2) est ajourée, en ce que les ajours latéraux de ces cylindres sont en vue directe du puits de pompage et en ce que, pour chaque cylindre ajouré, la surface ajourée de ce cylindre est inférieure à 30% de la surface latérale totale de ce cylindre.

2. Pompe ionique selon la revendication 1, caractérisée en ce que cette paroi latérale est ajourée dans sa partie centrale, le plan médian des ajours passant par le puits de pompage.

3. Pompe ionique selon la revendication 2, caractérisée en ce que cette paroi latérale est pourvue de trous (30) constituant les ajours.

4. Pompe ionique selon la revendication 2, caractérisée en ce que cette paroi latérale est pourvue d'ouvertures de forme allongée (32) qui constituent les ajours et s'étendent parallèlement à l'axe (X) du cylindre correspondant à cette paroi latérale.

5. Pompe ionique selon revendication 2, caractérisée en ce que cette paroi latérale comprend une partie grillagée périphérique (34) au voisinage du plan médian de section droite du cylindre correspondant.

6. Pompe ionique selon la revendication 2, caractérisée en ce que cette paroi latérale est en deux parties longitudinalement espacées l'une de l'autre (40, 42) .

7. Pompe ionique selon la revendication 1, caractérisée en ce que les ajours ont la forme de deux fentes longitudinales diamétralement opposées dont le plan passe par le puits de pompage.

8. Pompe ionique selon la revendication 7, caractérisée en ce que cette paroi latérale comprend des parties grillagées de forme allongée (36, 38) qui s'étendent parallèlement a l'axe du cylindre correspondant a cette paroi latérale.

9. Pompe ionique selon la revendication 7, caractérisée en ce que les parois latérales des cylindres d'une même ligne de cylindres de l'anode sont réalisées sous la forme de deux plaques ondulées (44, 46), diamétralement espacées l'une de l'autre.

10. Pompe ionique selon l'une quelconque des revendications 1 a 9, caractérisée en ce que les ajours sont formes dans les premiers cylindres de l'anode, disposés directement devant le puits de pompage, permettant une communication directe avec ce puits de pompage.

11. Pompe ionique selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisée en ce qu'elle comprend un seul bloc de pompage qui est placé en regard de l'ouverture de l'enceinte et en ce que les ajours latéraux desdits cylindres sont en vue directe de cette ouverture.

12. Pompe ionique selon la revendication 11, caractérisée en ce que les ajours sont formés dans les premiers cylindres de l'anode, disposés directement devant l'entrée de la pompe, permettant une communication directe avec ladite entrée.