WO1994007258A3 - Spectrometre d'energie d'electrons - Google Patents

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Abstract

Un échantillon (2) est placé dans un porte-échantillon (13), une surface (3) de cet échantillon (2) étant perpendiculaire à l'axe (4) d'une paire de cônes tronqués (5, 6) électroconducteurs qui sont coaxiaux et dont les apex se rencontrent au niveau de la surface (3) de l'échantillon. Une source d'excitation (7) est montée dans le cône interne (5), lequel est solide et est maintenu au niveau du potentiel de la masse pour servir de première électrode. Le cône externe (6) est en mailles métalliques très transparentes et est maintenu à un potentiel positif +V (par ex. 1000v) par rapport à la surface (3) de l'échantillon pour servir de seconde électrode. Les composants du spectromètre (1) sont contenus dans un système à vide (15), et les potentiels sont appliqués aux cônes (5, 6) par un élément de polarisation (14). Les électrons générés lorsque le faisceau provenant de la source d'excitation (7) heurte l'échantillon sont émis en 2π stéradians vers une couronne d'entrée (8). Une petite fraction de ces électrons pénètre dans la couronne d'entrée (8) et se trouvent dans un champ électrique qui les fait dévier vers les mailles du cône externe (6). Les électrons d'une énergie cinétique fixe quittant l'échantillon (2) et pénétrant dans la couronne (8) sont accélérés vers le cône externe (6) sur des trajectoires qui s'entrecroisent. Les électrons qui traversent le cône externe (6) pénètrent dans une région d'espace sans champ dans laquelle leurs trajectoires en ligne droite s'entrecroisent sur la surface d'un troisème cône (11, Figure 2) qui est le lieu focal du spectromètre. Au moment où les électrons de l'énergie cinétique fixe pénètrent dans le spectromètre par la couronne (8) située entre les cônes (5, 6), ceux-ci sont focalisés dans un anneau sur le lieu focal.
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