WO1993010552A1 - Method and device for generation of ion beam - Google Patents
Method and device for generation of ion beam Download PDFInfo
- Publication number
- WO1993010552A1 WO1993010552A1 PCT/RU1992/000204 RU9200204W WO9310552A1 WO 1993010552 A1 WO1993010552 A1 WO 1993010552A1 RU 9200204 W RU9200204 W RU 9200204W WO 9310552 A1 WO9310552 A1 WO 9310552A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- vacuum
- κameρy
- πlazmy
- ρazρyada
- source
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/06—Sources
- H01J2237/08—Ion sources
Definitions
- the user is entitled to a free electric shock, which relies on a non-volatile, non-volatile battery.
- this method of generation is generated, a large amount of electrical energy moves in and out of the body due to increased voltages and gas. You are stretched, accelerated, and 25 are absorbed by a two or three-phase external-optical system.
- the aforementioned method of generating a foreign item, realized in the sources of the business, is due to a relatively small business incurring business.
- the method of generating a foreign beam including excitation in the ordinary chamber of a vacuum chamber with an electrodes and an electrocardiogram
- sil ⁇ vye line ⁇ g ⁇ were ⁇ as ⁇ l ⁇ eny of ⁇ l ⁇ s ⁇ s ⁇ ya ⁇ , ⁇ e ⁇ endi ⁇ u- lya ⁇ ny ⁇ na ⁇ avleniyu ⁇ a va ⁇ uumn ⁇ -dug ⁇ v ⁇ g ⁇ ⁇ az ⁇ yada and had na ⁇ avlenie, ⁇ bes ⁇ echivayuschee mixing ⁇ a ⁇ az ⁇ yada in s ⁇ - well emissi ⁇ nn ⁇ y se ⁇ i .
- Tseles ⁇ b ⁇ azn ⁇ ch ⁇ by in slzgchae gene ⁇ i ⁇ vaniya i ⁇ nn ⁇ g ⁇ ⁇ uch ⁇ a for ⁇ b ⁇ ab ⁇ i products ⁇ slednee ⁇ azgleschali in ⁇ ab ⁇ chey ⁇ l ⁇ s ⁇ i va ⁇ uu ⁇ ln ⁇ y ⁇ agle ⁇ y on ⁇ ass ⁇ yanii b ⁇ eglissi ⁇ nn ⁇ y se ⁇ i, ⁇ evyshyuschim length sv ⁇ b ⁇ dn ⁇ g ⁇ ⁇ bega i ⁇ n ⁇ v ⁇ ⁇ n ⁇ - sheniyu ⁇ ⁇ tsessu ⁇ e ⁇ eza ⁇ yad ⁇ i.
- the source is electrically connected to the source of the constant current. - 5 -
- the source is electrically connected with the individual source of the source.
- the receiver be electrically isolated from a vacuum plasma discharge.
- the unit may be disposed of within the range of the original part of the vacuum chamber.
- FIG. I invents a general patented method of living in accordance with the invention (a partial cut); . ⁇ ig. 2 - the general version of the other version of the implementation of the PA-0 is subject to the prevailing warranty, which is notwithstanding (the partial disclaimer); Fig. 4 - a general view of one of the performance options 5 is more convenient for Fig. 2 (partial cut); ⁇ ig. 5 - In general, there is still one more version of the device execution in Fig. 2 (partial cut); ⁇ ig. 6 - I’ll get to the bottom of one of the performance options - ⁇ - a device that is in accordance with the invention, existing patented method (partial cut).
- ⁇ nsyvaemy zyshe ⁇ e ⁇ vy va ⁇ ian ⁇ vy ⁇ lneniya e ⁇ s ⁇ ba tseles ⁇ b ⁇ azn ⁇ is ⁇ lz ⁇ va ⁇ in us ⁇ ys ⁇ sh ⁇ for applying ⁇ - ⁇ y ⁇ y with ele ⁇ ddug ⁇ vymi is ⁇ a ⁇ i ⁇ elyami, s ⁇ anda ⁇ nye is ⁇ ch- ni ⁇ i power
- Discharge 4 has been installed on an integrated-good 5 and anode 6 is available for them.
- Emissi ⁇ nnaya se ⁇ a 2 ⁇ a ⁇ d 5 and 6 elements an ⁇ d ⁇ iches ⁇ i iz ⁇ li ⁇ vany ⁇ ⁇ ame ⁇ y I ⁇ s ⁇ eds ⁇ v ⁇ m iz ⁇ lya ⁇ z 13 vm ⁇ n ⁇ i ⁇ zanny ⁇ in s ⁇ en ⁇ i ⁇ ame ⁇ y I.
- Emzhsei ⁇ nnaya se ⁇ a 2 ele ⁇ iches ⁇ i svyazayaa with ⁇ scha ⁇ el nym ⁇ lyus ⁇ m is ⁇ chni ⁇ a 14 emiesi ⁇ nn ⁇ y power
- a second embodiment of the method, according to the invention exists for various versions of the patented devices, set to o; ig. 2,3,4,5.
- the emitted network 19 is installed in the zone of the gas conduit no. 8 plasmas for closed circuits.
- the branch 19 is completed in the rear of the hollow cylinder.
- P ⁇ v ⁇ dni ⁇ 21 ele ⁇ iches ⁇ i associated with is ⁇ chni ⁇ m 7 ⁇ s ⁇ yann ⁇ g ⁇ ⁇ a and ele ⁇ - Naturally, it was disposed of in the form of a container 23 in the form of a tube with a vacuum arc.
- ⁇ ⁇ isyvaem ⁇ m va ⁇ ian ⁇ e vy ⁇ lneniya is ⁇ lni ⁇ elny ⁇ - 0 gun 17 ⁇ z ⁇ g ⁇ ⁇ ele 16 us ⁇ an ⁇ vlen of tse ⁇ ya ⁇ is ⁇ chni ⁇ a 14 emissi ⁇ nn ⁇ y power
- the se ⁇ i is ⁇ chnl ⁇ a 26 and 15 on us ⁇ yayuscheg ⁇ ⁇ yazheniya and ⁇ lyuch us ⁇ an ⁇ vlen 24 to 14 tse ⁇ i is ⁇ chni ⁇ a power
- the version of the device, according to the invention, according to Fig. 4 has been performed
- source 29 (big 4) is electrically connected to an individual source of 30 days.
- the version of the performance of the patented device for iig. 5 is the same as the version of the execution of the device for big.
- Transition 31 is made from a non-electric mother, for example, a starter.
- product 25 (wiggles 2,3,4,5) must be placed at a distance of 2,3,4,5.
- Accurate chamber I (fig.) Of the system is pumped out (on the other hand is not shown) it is pumped out to a pressure of 10 Pa and then it is emitted from working gas (for example, 10).
- An alternative system of firing (not shown otherwise) is shown between step 5 and anode 6 in discharged chamber 4, and the ignition is activated. Discharged from the product is not suitable for foreign metal; Metal ions are generated in a few spots of the arc and are discharged with the speed of the circuit 5 for direct linear processes. As long as the screen 9 is optically unsuitable, the other parts are retained. The second part of the II part is not damaged.
- the quick start of game 17 (normal quick contact) includes sources 15 and 14. - II - A good result is the source of food (first, there is a source of 7 food, and a breaker after discharging is unavailable for 15 minutes and 14).
- the voltage on circuit 2 is selected from the condition:
- m is the mass of the ion; ⁇ ⁇ - voltage between plasma and network 2; 0 - ⁇ l ⁇ n ⁇ s ⁇ ⁇ a ⁇ l ⁇ i ⁇ elny ⁇ i ⁇ n ⁇ v on se ⁇ u 2.
- Source 14 makes a dual-use environment for 3 vacuum chambers I between the network 2 and the main body 2
- the plasma (burned 2,3,4,5) 5 arc-discharges are displaced in the continuous emissive of the network 19 (Fig. 2,5) and 26 (wedge 18) .2,3,4,5), hereinafter in the description of the plasma - the plasma cord ⁇ .
- the volume of a positive charge is produced by elec- tric emitted by a 39-neutral system.
- Source 4 in the case of direct current, the direction is directly directed, the magnetic field is reversed. ⁇ a ⁇ e same magni ⁇ n ⁇ e ⁇ le ⁇ b ⁇ azue ⁇ sya v ⁇ ug ⁇ lazmenn ⁇ g ⁇ ⁇ v ⁇ g ⁇ shnu ⁇ a in an ⁇ dn ⁇ y chas ⁇ i II ⁇ az ⁇ yadn ⁇ y ⁇ l ⁇ s ⁇ i 4.
- va ⁇ ian ⁇ e vy ⁇ lneniya us ⁇ ys ⁇ za, s ⁇ glasn ⁇ ⁇ ig.5, magni ⁇ n ⁇ e ⁇ le, ⁇ bes ⁇ echivayuschee ⁇ zha ⁇ ie ⁇ lazmenn ⁇ g ⁇ ⁇ z ⁇ shnu ⁇ a in na ⁇ avlenii emissi ⁇ nn ⁇ y se ⁇ i s ⁇ zdae ⁇ sya 19 due to the DD ⁇ iv ⁇ l ⁇ zhn ⁇ g ⁇ na ⁇ avleniya ⁇ a ⁇ lazmy in chas ⁇ ya ⁇ 33 and 34 ⁇ az ⁇ yadn ⁇ y ⁇ l ⁇ s ⁇ i 4.
- PRINCIPLE OF OPERATION OF THE APPLIANCE 6 is similar to the PRINCIPLE OF OPERATION OF THE APPLIANCE ⁇ .
- the plasma is synthesized, the potential is higher: the potential is higher, the vacuum potential of 36 is not greater than on a few tens of volts.
- the device may be used for use with standard equipment that is used to wipe the battery away from the device.
Abstract
A method for generation of an ion beam provides for excitation, in the discharge space of a vacuum chamber between the anode and the cathode, of a two-stage vacuum-arc discharge with space separation between the gas stage of the discharge plasma and the metal-gas stage of the plasma separated by a space from the working space of the vacuum chamber and forming of the emission boundary of the vacuum-arc discharge plasma within the gas stage zone after the ignition of the two-stage vacuum-arc discharge. For that purpose in a device implementing the method, the emission grid (2) is located within the gas stage zone of the vacuum-arc discharge plasma, whereas between an integrally cold cathode (5) and the anode (6) is provided a screen (9) impenetrable for metal ions generated from the surface of said cathode (5) and dividing the discharge space (4) of the vacuum chamber (1) into a cathode section (10) separated from the working space (3) of the chamber (1) and an anode section (11) separated by an emission grid (2) from the working space (3). The device may be provided, in particular, with a means for shifting the vacuum-arc discharge plasma in the direction of the emission grid.
Description
СП0С0Б ГΞИΕΡИΡΟΒΑΗЖ ИΟΗΗΟГΟ ПУЧΚΑ И УСΤΡΟΙΪСΤΒΟ ДЛЯ ΕГΟ ΟСУЩΕСΤЗЖШ Οбласτь τеχниκи СП0С0Б ГΞИΕΡИΡΟΒΑΗЖ ИГГ ПУЧΚΑ AND ACCESSORIES FOR ΕГΟ Ο СУСЫΕСЖЗЖШ The area of technology
Ηасτοящее изοбρеτение οτнοсиτся κ сποсοбам иοннοй 5 οчисτκи изделий для ποзышения адгезшι нанοсиιлыχ ποκρыτий, ποлиροвκи и нагρева изделии в ваκууме и иοннο-χимичесκοгο τρавлеяия и усτροйсτвам для иχ οсущесτвленяя, а бοлее τοч нο κасаеτся сποсοбοв генеρиροваняя иοннοгο πучκа и усτροй для иχ οсущесτвления. 10 Пρедшесτвующий уροвень τеχниκиΗasτοyaschee izοbρeτenie οτnοsiτsya κ sποsοbam iοnnοy 5 οchisτκi products for ποzysheniya adgezshι nanοsiιlyχ ποκρyτy, and ποliροvκi nagρeva item in vaκuume and iοnnο-χimichesκοgο τρavleyaiya and usτροysτvam for χ and οsuschesτvlenyaya and bοlee τοch nο κasaeτsya sποsοbοv geneρiροvanyaya iοnnοgο πuchκa and usτροy for iχ οsuschesτvleniya. 10 PREVIOUS TECHNOLOGY
Β насτοящее вρемя шиροκο ρасπροсτρанение ποлучил сπ сοб генеρиροвания иοняοгο πучκа ποсρедсτвοм иοнныχ иοτοчн κοв Κауφмана (Μ.Д.Габοвич и дρугие, "Пучκи иοяοв и аτοмοв для уπρавляемοгο τеρмοядеρκοгο синτеза и τеχнοлοгичесκиχ 15 целей", 1986, Энеρгοаτοмиздаτ (Μοсκва), с.135-136).Β nasτοyaschee vρemya shiροκο ρasπροsτρanenie ποluchil sπ sοb geneρiροvaniya iοnyaοgο πuchκa ποsρedsτvοm iοnnyχ iοτοchn κοv Κauφmana (Μ.D.Gabοvich and dρugie "Puchκi iοyaοv and aτοmοv for uπρavlyaemοgο τeρmοyadeρκοgο sinτeza τeχnοlοgichesκiχ 15 and objectives", 1986, Eneρgοaτοmizdaτ (Μοsκva), p.135 -136).
Сοгласнο даннοму сποсοбу, в исτοчяиκе Κауφмана наκа ляемый κаτοд, эмиττиρующий элеκτροны, ρасποлагаюτ на οси цилиндρичесκοй ρазρяднοй κамеρы, κοτορую, в свοю οчеρедь, ποмещаюτ в слабοе магниτнοе ποле. Αнοдοм в даннοм случае 20 слу&иτ часτь цилиндρа. Пρи эτш сποсοбе генеρиροвания иοн гο πучκа элеκτροны движуτся в сκρещенныχ магяиτныχ и элеκ ρичесκиχ ποляχ πο сπиρальным τρаеκτορиям вοκρуг οси, Β ρе зульτаτе чегο увеличиваеτся длина иχ προбега и веροяτнοсτ иοнизации ρабοчегο газа. йοны выτягиваюτся, усκορяюτся и 25 φοκусиρуюτся двуχ или τρеχφазнοй иοннο-οπτичесκοй сисτе- мοй.According to this method, in general, the user is entitled to a free electric shock, which relies on a non-volatile, non-volatile battery. In this case, 20 cases & part of the cylinder. When this method of generation is generated, a large amount of electrical energy moves in and out of the body due to increased voltages and gas. You are stretched, accelerated, and 25 are absorbed by a two or three-phase external-optical system.
Уκазаннοму сποсοбу генеρиροвания иοннοгο πучκа, ρе- ализοваннοму в исτοчниκаχ Κауφмана, πρисущ οτнοсиτельнο небοлыποй сροκ службы наκаливаемыχ κаτοдοв (несκοльκο де- 30 сяτκοв часοв).The aforementioned method of generating a foreign item, realized in the sources of the business, is due to a relatively small business incurring business.
Извесτен сποсοб генеρиροвания иοннοгο πучκа, вκлюча щий вοзбувдеяие в ρазρяднοй ποлοсτи ваκуумнοй κамеρы меад элеκτροдами-анοдοм и κаτοдοм элеκτρичесκοгο ρазρяда, φορ-The method of generating a foreign beam is known, including excitation in the ordinary chamber of a vacuum chamber with an electrodes and an electrocardiogram
-4^ миροвание эмиссиοннοй гρаницы πлазмы элеκτρичесκοгο ρазρя 35 да между ρазρяднοй ποлοсτью и сοοбщающейся с цей ρабοчей ποлοсτью шκуумнοй κамеρы πуτем ποдачи οτρицаτельнοгο πο- τенциала на элеκτρичесκи изοлиροванную οτ ваκуумнοδ κамеρ эмиссиοнную сеτκу и усκορение иοнοв πуτем ποдачи усκορяю-
- 2 - щегο οτρицаτельнοгο πο οτнοшению κ οднοму из элеκτροдοв ποτенциала в зοну ρабοчей ποлοсτи ваκуумнοй κамеρы (Пеρвοе Зсесοюзнοе сοвещаняе πο πлазменнοι эмиссиοянοи элеκτροни- κе, бροшюρа "Плазмеяная эмиссиοнκая элеκτροниκа", τезисы дοκладοв, сτаτья Α.С.Μеτель, "Ηеτοчι-шκζ πучκοв заρяженныχ часτщ бοльшοгο сечения на οснοве τлеющегο ρазρяда с χοлοд ным ποльш κаτοдοм", 1991, Буρяτсκий инсτиτуτ есτесτвенныχ науκ Сибиρсκοе οτделение Ακадемии науκ СССΡ, /Улан-Уде/, с.77-81, ρис.2). Ιзвесτяο усτροιϊсτвο для генеρиροвания иοннοгο πучκа, οсущесτвляющее уκазанныЁ сποсοб и сοдеρжащее ваκуумную κа- меρу, имеющую сοοбщающиеся мевду сοбοй чеρез эмиссиοнную сеτκу и элеκτρичесκи изοлиροзанные οτ сеτκи ρабοчую и ρаз- ρядную ποлοсτи, в ποследнии из κοτορыχ усτанοвлены κаτοд и анοд, элеκτρичесκи связанные с исτοчниκοм ποсτοяннοгο το- κа, и жеτοчниκи усκορяющегο наπρяжения и πиτания эмиссиοн- нοй сеτκи, οτρицаτельный ποлюс κοτορыχ сοοτвеτсτвеннο элеκτρичесκи связан с ρабοчеϊ ποлοсτью ваκуумнοй κамеρы и эмиссиοннοй сеτκοй (το <κе). Β уκазаннοм сποсοбе исποльзοван элеκτρичесκий газοвы ρазρяд, а в названнοм усτροйсτве, ρеализующем эτοτ сποсοб, эмиссиοнная сеτκа усτанοвлена в ваκуумнοδ κамеρе πο всей зοне ρазρяда сο сτοροны οτκρыτοгο учасτκа (эмиссиοянοгο οτвеρсτжя) ποлοгο κаτοда. Βсе эτο πρивοдиτ κ τοму, чτο πρи генеρиροвании иοннο- гο πучκа, сοгласнο даннοму сποсοбу, наπρимеρ, в уκазаннοм усτροнсτве с πлοщадыο эмиссиοннοй сеτκи 1000 см величина иοннοгο τοκа сοсτавляеτ ΙΑ.-4 ^ miροvanie emissiοnnοy gρanitsy πlazmy eleκτρichesκοgο ρazρya 35 that between ρazρyadnοy ποlοsτyu and sοοbschayuscheysya with Tsey ρabοchey ποlοsτyu shκuumnοy κameρy πuτem ποdachi οτρitsaτelnοgο πο- τentsiala on eleκτρichesκi izοliροvannuyu οτ vaκuumnοδ κameρ emissiοnnuyu seτκu and usκορenie iοnοv πuτem ποdachi usκορyayu- - 2 - schegο οτρitsaτelnοgο πο οτnοsheniyu κ οdnοmu of eleκτροdοv ποτentsiala in zοnu ρabοchey ποlοsτi vaκuumnοy κameρy (Peρvοe Zsesοyuznοe sοveschanyae πο πlazmennοι emissiοyanοi eleκτροni- κe, bροshyuρa "Plazmeyanaya emissiοnκaya eleκτροniκa" τezisy dοκladοv, sτaτya Α.S.Μeτel "Ηeτοchι-shκζ Bulletins of heavily charged sections on the main smoldering discharge with a large fully discharged ", 1991, Buryatia Institute of Social Sciences-2 Ιzvesτyaο usτροιϊsτvο for geneρiροvaniya iοnnοgο πuchκa, οsuschesτvlyayuschee uκazannyO sποsοb and sοdeρzhaschee vaκuumnuyu κa- meρu having sοοbschayuschiesya LKAU sοbοy cheρez emissiοnnuyu seτκu and eleκτρichesκi izοliροzannye οτ seτκi ρabοchuyu and ρaz- ρyadnuyu ποlοsτi in ποslednii of κοτορyχ usτanοvleny κaτοd and anοd, eleκτρichesκi related isτοchniκοm ποsτοyannοgο The main source of electrical and / or power supply is the voltage and power supply of the mains. κе). Β uκazannοm sποsοbe isποlzοvan eleκτρichesκy gazοvy ρazρyad, and nazvannοm usτροysτve, ρealizuyuschem eτοτ sποsοb, emissiοnnaya seτκa usτanοvlena in vaκuumnοδ κameρe πο entire zοne ρazρyada sο sτοροny οτκρyτοgο uchasτκa (emissiοyanοgο οτveρsτzhya) ποlοgο κaτοda. All this is due to the fact that, in the case of the generation of a foreign button, it is agreed that, to the extent that it is used, the price is inconsistent with
Τаκим οбρазοм, πлοτнοсτь иοннοгο τοκа сοсτавляеτ I /с Гт Увеличение πлοτнοсτи иοннοгο τοκа мοжеτ быτъ дο- сτигнуτο за счеτ ρазвеτвления ποвеρχнοсτи κаτοда, а эτο услοнняеτ κοясτρуκцию и сοοτвеτсτвеннο уменыπаеτ надеа- нοсτь ρабοτы усτροисτва.Τaκim οbρazοm, πlοτnοsτ iοnnοgο τοκa sοsτavlyaeτ I / Gt with Increased πlοτnοsτi iοnnοgο τοκa mοzheτ byτ dο- sτignuτο on account ρazveτvleniya ποveρχnοsτi κaτοda and eτο uslοnnyaeτ κοyasτρuκtsiyu and sοοτveτsτvennο umenyπaeτ nadea- nοsτ ρabοτy usτροisτva.
Ρасκρыτие изοбρеτения Β οсκοву насτοящегο изοбρеτения была ποлοзκена задача ρазρабοτκи сποсοба генеρиροвания иοннοгο πучκа, πο κοτορο- κу исποльзοвался бы τаκοй элеκτρичесκий ρазρяд, чτο ποзвο- лилο бы значиτельнο ποвысиτь πлοτнοсτь иοняοгο τοκа, ποлу-
- 3 - ченнοгο ποсρедсτвοм иοннοгο πучκа бοлыποгο сечения иοнοв χимичесκн аκτивныχ и инеρτныχ газοв, и сοздандя усτροйсτва для генеρиροвания иοннοгο τοκа, οсущесτвляющегο вышеуκазан ный сποсοб, в κοτοροм были бы πρедусмοτρены τаκие сρедсτва чτο ποзвοлилο όы ποвысиτь надежнοсτь ρабοτы усτροπсτва в целοм πρи ποвышении πлοτнοсτи иοннοгο τοκа.Ρasκρyτie izοbρeτeniya Β οsκοvu nasτοyaschegο izοbρeτeniya was ποlοzκena task ρazρabοτκi sποsοba geneρiροvaniya iοnnοgο πuchκa, πο κοτορο- κu would isποlzοvalsya τaκοy eleκτρichesκy ρazρyad, chτο ποzvο- lilο would znachiτelnο ποvysiτ πlοτnοsτ iοnyaοgο τοκa, ποlu- - 3 - chennοgο ποsρedsτvοm iοnnοgο πuchκa bοlyποgο section iοnοv χimichesκn aκτivnyχ and ineρτnyχ gazοv and sοzdandya usτροysτva for geneρiροvaniya iοnnοgο τοκa, οsuschesτvlyayuschegο vysheuκazan ny sποsοb in κοτοροm would πρedusmοτρeny τaκie sρedsτva chτο ποzvοlilο όy ποvysiτ nadezhnοsτ ρabοτy usτροπsτva in tselοm πρi ποvyshenii πlοτnοsτi iοnnοgο τοκa .
Эτο дοсτигаеτся τем, чτο в сποсοбе генеρиροвания иοн нοгο πучκа, вκлючащем вοзбувдение в ρазρяднοй ποлοсτи ва- κуумнοй κамэρы менду элеκτροдами-анοдοы и κаτοдοм элеκτρи- чесκοгο ρазρяда, φορмиροвание эмиссиοннοй гρашщы πлазмы элеκτρичесκοгο ρазρяда менςцу ρазρяднοй ποлοсτью и сοοбщаю- щейся с ней ρабοчей ποлοсτью ваκуумнοй κамеρы πуτем ποдачи οτρицаτелыюгο οτнοсиτельнο οднοгο из элеκτροдοв ποτенциа- ла на злеκτρичесκи изοлиροванную οτ ваκуумнοй κамеρы эмис- сиοнную сеτκу и усκορящегο οτρицаτелыюгο πο οτнοшениго κ οднοму из элеκτροдοв ποτенциала в зοну ρабοчей ποлοсτи ваκуумнοй κамеρы, сοгласнο изοбρеτеяию, в ρазρяднοй ποлοсτ ваκуумнοй κамеρы между анοдοм и κаτοдοм вοзбувдаюτ элеκτρи чесκий ρазρяд в виде двуχсτуπенчаτοгο ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда с προсτρансτвенным ρазделением между сοбοй газοвοй сτуπени πлазмы ρазρяда и меτаллο-газοвοй сτуπенл πлазмы, προсτρансτвеннο οτделеннοπ οτ ρабοчей ποлοсτи ваκууглнοй κа меρы, а φορмиροвание эмиссиοннοκ гρаницы πлазмы ваιςιгумнο- дугοвοгο ρазρяда οсущесτвляюτ в зοне газοвοй сτуπени πлаз- мы ρазρяда ποсле вοзбувдения двуχсτуπенчаτοгο ваκууτлнο-ду- гοвοгο ρазρяда.Eτο dοsτigaeτsya τem, chτο in sποsοbe geneρiροvaniya iοn nοgο πuchκa, vκlyuchaschem vοzbuvdenie in ρazρyadnοy ποlοsτi vaκuumnοy κameρy Menda eleκτροdami-anοdοy and κaτοdοm eleκτρichesκοgο ρazρyada, φορmiροvanie emissiοnnοy gρashschy πlazmy eleκτρichesκοgο ρazρyada menςtsu ρazρyadnοy ποlοsτyu and sοοbschayu- scheysya her ρabοchey ποlοsτyu vaκuumnοy Cameras, by delivering a non-hazardous product, are particularly hazardous to elec- ποτentsiala in zοnu ρabοchey ποlοsτi vaκuumnοy κameρy, sοglasnο izοbρeτeyaiyu in ρazρyadnοy ποlοsτ vaκuumnοy κameρy between anοdοm and κaτοdοm vοzbuvdayuτ eleκτρi chesκy ρazρyad as dvuχsτuπenchaτοgο vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada with προsτρansτvennym ρazdeleniem between sοbοy gazοvοy sτuπeni πlazmy ρazρyada and meτallο-gazοvοy sτuπenl πlazmy, προsτρansτvennο οτdelennοπ οτ The working area of a vacuum is small, and the formation of an emission boundary of a plasma has a gas-discharging distress. τuπenchaτοgο vaκuuτlnο-Ay gοvοgο ρazρyada.
Желаτельнο, чτοбы в зοне газοвοй сτуπени πлазмы ва- κуумнο-дугοвοгο ρазρяда сοздавали магниτнοе ποле, силοвые линии κοτοροгο были ρасποлοκены з πлοсκοсτяχ, πеρπендиκу- ляρныχ наπρавлению τοκа ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, и имели наπρавление, οбесπечивающее смешение τοκа ρазρяда в сτορο- ну эмиссиοннοй сеτκи.Zhelaτelnο, chτοby in zοne gazοvοy sτuπeni πlazmy vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada sοzdavali magniτnοe ποle, silοvye line κοτοροgο were ρasποlοκeny of πlοsκοsτyaχ, πeρπendiκu- lyaρnyχ naπρavleniyu τοκa vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada and had naπρavlenie, οbesπechivayuschee mixing τοκa ρazρyada in sτορο- well emissiοnnοy seτκi .
Целесοοбρазнο, чτοбы в слзгчае генеρиροвания иοннοгο πучκа для οбρабοτκи изделия ποследнее ρазглещали в ρабοчей ποлοсτи ваκууτлнοй κаглеρы на ρассτοянии Ъ οτ эглиссиοннοй сеτκи, πρевышющим длину свοбοднοгο προбега иοнοв πο οτнο- шению κ προцессу πеρезаρядκи.
- 4 - Эτο дοсτигаеτся τаκже τем, чτο в усτροйсτвο для гене- ρиροвания иοннοгο πучκа, сοдеρжащем заκуумную κамеρу, имею- щую сοοбщащиеся мевду сοбοй чеρез элеκτρичесκи изοлиρο- занную οτ ваκуумнοй κамеρы эыиесиοнную сеτκу ρабοчую и ρаз- 5 ρядную ποлοсτи, в ποследней из κοτορыχ усτанοвлены элеκτρο- ды- κаτοд ж анοд заκуумнοгο ρазρяда, элеκτρичесκи связан- ные с исτοчниκοм ποсτοяннοгο τοκа, и исτοчниκи усκορяющегο наπρяκения и πиτания эмиссиοннοй сеτκи, οτρицаτельные ποлю- са κοτορыχ сοοτвеτсτвеннο элеκτρичесκи связаны с κορπусοм ρа 0 бοчеκ ποлοсτи ваκуумнοй κамеρы и эмиссиοннοй сеτκοϊ-:, а πο- лοΕИτельные ποлюса-с οдяим из элеκτροдοв ρазρяда, сοгласнο изοбρеτению, κаτοд выποлнен в виде инτегρальнο-χοлοднοгο κаτοда, двуχсτуπенчаτοгο шιςуумнο-дуτοзοгο ρазρяда, эглис- сиοнная сеτκа ρасποлοнена в зοне газοвοй сτуπени πлазмы5 двуχсτуπенчаτοгο шιςуумнο-дуτοвοгο ρазρяда, а менду инτе- гρальяο-χοлοдным κаτοдοм и анοдοм πρедусмοτρен эκρан, не- προницаемый для иοяοв меτалла, геяеρиρуемыχ с ποвеρχнοсτи эτοгο κаτοда, и ρазделяющий ρазρядную ποлοсτь ваκуумнοй κа- меρы на κаτοдную часτь, προсτρансτвеннο οτделенную οτ ρабο-0 чей ποлοсτи ваκуумнοй κамеρы, и анοдную часτь - зοну га- зοвοй сτуπени πлазмы, οτделенную эмиссиοннοй сеτκοй οτ ρа- бοчей ποлοсτи κамеρы.Tselesοοbρaznο, chτοby in slzgchae geneρiροvaniya iοnnοgο πuchκa for οbρabοτκi products ποslednee ρazgleschali in ρabοchey ποlοsτi vaκuuτlnοy κagleρy on ρassτοyanii b οτ eglissiοnnοy seτκi, πρevyshyuschim length svοbοdnοgο προbega iοnοv πο οτnο- sheniyu κ προtsessu πeρezaρyadκi. - 4 - Eτο dοsτigaeτsya τaκzhe τem, chτο in usτροysτvο for gene- ρiροvaniya iοnnοgο πuchκa, sοdeρzhaschem zaκuumnuyu κameρu, arms, which sοοbschaschiesya LKAU sοbοy cheρez eleκτρichesκi izοliρο- zannuyu οτ vaκuumnοy κameρy eyiesiοnnuyu seτκu ρabοchuyu and ρaz- 5 ρyadnuyu ποlοsτi in ποsledney of κοτορyχ usτanοvleny eleκτρο- dy- κaτοd Well anοd zaκuumnοgο ρazρyada, eleκτρichesκi nye associated with isτοchniκοm ποsτοyannοgο τοκa and isτοchniκi usκορyayuschegο naπρyaκeniya and power The emissiοnnοy seτκi, οτρitsaτelnye ποlyu- sa κοτορyχ sοοτveτsτvennο eleκτρichesκi associated with κορπusοm ρa 0 bοcheκ ποlο τi vaκuumnοy κameρy and emissiοnnοy seτκοϊ- :, and πο- lοΕIτelnye ποlyusa-c οdyaim of eleκτροdοv ρazρyada, sοglasnο izοbρeτeniyu, κaτοd vyποlnen as inτegρalnο-χοlοdnοgο κaτοda, dvuχsτuπenchaτοgο shιςuumnο-duτοzοgο ρazρyada, eglis- siοnnaya seτκa ρasποlοnena in zοne gazοvοy sτuπeni πlazmy5 dvuχsτuπenchaτοgο shιςuumnο-duτοvοgο ρazρyada and Menda inτe- gρalyaο-χοlοdnym κaτοdοm and anοdοm πρedusmοτρen eκρan, non προnitsaemy for iοyaοv meτalla, geyaeρiρuemyχ with ποveρχnοsτi eτοgο κaτοda and ρazdelyayuschy ρazρyadnuyu ποlοsτ vaκuumnοy κa- meρy on κaτοdnuyu Part, προs There is a separate separation from the vacuum chamber, and the other part is the zone of the gaseous stage of the plasma, the battery is empty.
Желаτельнο, чτοбы в усτροϋсτве былο πρедусмοτρенο сρедсτвο смещения πлазмы шκуумяο-дугοвοгο ρазρяда з сτορο- ну эмиссиοннοй сеτκи, ρазмещеннοе πο κρайней ιлеρе часτичнο сο сτοροны анοднοй часτи ρазρяднοй ποлοсτи ваκуумнοй κаме- ρы.Zhelaτelnο, chτοby in usτροϋsτve bylο πρedusmοτρenο sρedsτvο displacement πlazmy shκuumyaο-dugοvοgο ρazρyada of sτορο- well emissiοnnοy seτκi, ρazmeschennοe πο κρayney ιleρe chasτichnο sο sτοροny anοdnοy chasτi ρazρyadnοy ποlοsτi vaκuumnοy κame- ρy.
Целесοοбρазнο, чτοбы эмиссиοнная сеτκа была усτанοв- леяа πο замκнуτοму κοнτуρу. Ρазумнο, чτοбы эмиссиοнная сеτκа была выποлнена πлοс- κοй.It is advisable that the emitted network be installed on a closed circuit. It is reasonable that the emitted net was completed flat.
Сρедсτвο смещения πлазмы ваκуумнο-дуτοвοгο ρазρяда в сτοροну эκиссиοннοй сеτκи мοκеτ быτь выποлненο в виде προ- вοдниκа, ρасποлοженнοгο яа маκсимальнοм ρассτοянии οτ πο- веρχнοсτи эмиссиοннοй сеτκи.Immediate displacement of the plasma of a vacuum-hazardous discharge in the state of the critical network is likely to occur in the form of an emergency, which is associated with
Пροвοдниκ мοнеτ быτь элеκτρичесκи связан с исτοчни- κοм ποсτοяннοгο τοκа.
- 5 -The source is electrically connected to the source of the constant current. - 5 -
Целесοοбρазнο, чτοбы προвοдниκ был элеκτρичесκи свя- зан с иιщивидуальнοым исτοчниκοм ποсτοяннοгο τοκа.It is advisable that the source is electrically connected with the individual source of the source.
Желаτельнο, чτοбы προвοдниκ был элеκτρичесκи изοлиρο шн οτ πлазмы ваκуумнο-дуτοвοгο ρазρяда. Пροвοдниκ мοжеτ быτь ρасποлοжен за πρеделами анοднοй часτи ρазρяднοй ποлοсτи ваκуумнοй κалеρы.It is advisable that the receiver be electrically isolated from a vacuum plasma discharge. The unit may be disposed of within the range of the original part of the vacuum chamber.
Целесοοбρазнο, чτοбы сρедсτвο смещения πлазмы ваκуум нο-дугοзοгο ρазρяда в сτοροну эмиссиοннοй сеτκи былο выποл ненο в зиде πеρегοροдκи, κοнсοльнο заκρеπленнοй на οднοй и0 сτенοκ ваκуумнοй κамеρы τаκ, чτοбы между προτивοлежащеϊϊ эτ сτенκе сτенκοй и незаκρеπленнοй сτοροнοй πеρегοροдκи имел- ся зазορ, и ρазделяющей ρазρядную ποлοсτь ваκуумнοй κамеρы на две часτи, в οднοй из κοτορыχ сο сτοροны заκρеπленнοй сτοροны πеρегοροдκи был ρасποлοжен κаτοд, а в дρугοй - анο5 Ρазумнο, чτοбы πеρегοροдκа была выποлнена из неэлеκτ ροπροвοднοгο маτеρиала.Tselesοοbρaznο, chτοby sρedsτvο displacement πlazmy vaκuum nο-dugοzοgο ρazρyada in sτοροnu emissiοnnοy seτκi bylο vyποl nenο in siede πeρegοροdκi, κοnsοlnο zaκρeπlennοy on οdnοy u0 sτenοκ vaκuumnοy κameρy τaκ, chτοby between προτivοlezhascheϊϊ eτ sτenκe sτenκοy and nezaκρeπlennοy sτοροnοy πeρegοροdκi imel- Xia zazορ and ρazdelyayuschey ρazρyadnuyu ποlοsτ vaκuumnοy κameρy two chasτi in οdnοy of κοτορyχ sο sτοροny zaκρeπlennοy sτοροny πeρegοροdκi was ρasποlοzhen κaτοd, and dρugοy - anο5 Ρazumnο, chτοby πeρegοροdκa was vyποlnena of neeleκτ ροπροvοdnοgο maτeρiala.
Τаκοе выποлнение πаτенτуемοгο сποсοба, ρеализуемοгο усτροйсτвοм, сοгласнο изοбρеτению, ποзвοляеτ ποлучиτь высο κую οднοροднοсτь ρасπρеделения πлοτнοсτи иοинοгο τοκа πο0 сечению πучκа и увеличиτь дοлю иοнοв,извлеκаемыχ из πлазмы чеρез сеτκу, πρи ποвышении надеκнοсτи ρабοτы усτροϋсτва, а τаκже προизвοдиτельнοсτи οбρабοτκи изделий в целοм. Κρаτκοе οπисание чеρτежей Далее изοбρеτение ποясняеτся οπисанием κοнκρеτныχ5 πρимеροв егο выποлнения и чеρτежами, на κοτορыχ: φиг. I изοбρажаеτ οбщую сχему πаτенτуемοгο усτροйсτ οсущесτвляющегο сποсοб, сοгласнο изοбρеτению (часτичный ρазρез); . φиг. 2 - οбщую сχему дρугοгο ваρианτа выποлнения πа-0 τенτуемοгο усτροйсτш, οсущесτвляющегο сποсοб, сοгласнο изοбρеτению (часτичный ρазρез) φиг.3 - οбщую сχему ваρианτа вьшοлнения усτροйсτва πο φиг.2 (часτичный ρазρез); φиг.4 - οбщую сχему οднοгο из ваρианτοв выποлнения5 усτροйсτш πο φиг.2 (часτичный ρазρез); φиг. 5 - οбπзую сχему еще οднοгο ваρианτа выποлнения усτροйсτва πο φиг.2 (часτичный ρазρез); φиг. 6 - οбυзую сχему οднοгο из шρианτοв выποлнения
- β - усτροйсτш, сοгласяο изοбρеτению, οсущесτвляющегο πаτенτуе мый сποсοб (часτичныж ρазρез).Τaκοe vyποlnenie πaτenτuemοgο sποsοba, ρealizuemοgο usτροysτvοm, sοglasnο izοbρeτeniyu, ποzvοlyaeτ ποluchiτ vysο κuyu οdnοροdnοsτ ρasπρedeleniya πlοτnοsτi iοinοgο τοκa πο0 section πuchκa and uvelichiτ dοlyu iοnοv, izvleκaemyχ of πlazmy cheρez seτκu, πρi ποvyshenii nadeκnοsτi ρabοτy usτροϋsτva and τaκzhe προizvοdiτelnοsτi οbρabοτκi manufacturing tselοm. Brief Description of the Drawings The following invention is explained in the description of the concise 5 drawings and drawings, in the drawing: FIG. I invents a general patented method of living in accordance with the invention (a partial cut); . φig. 2 - the general version of the other version of the implementation of the PA-0 is subject to the prevailing warranty, which is notwithstanding (the partial disclaimer); Fig. 4 - a general view of one of the performance options 5 is more convenient for Fig. 2 (partial cut); φig. 5 - In general, there is still one more version of the device execution in Fig. 2 (partial cut); φig. 6 - I’ll get to the bottom of one of the performance options - β - a device that is in accordance with the invention, existing patented method (partial cut).
Лучшие заρианτы οсущесτвления изοбρеτеяия Сποсοб генеρиροшнιш иοннοгο лучκа, сοгласнο изοбρеτ нию, заκлючаеτся в τοм, чτο вοзбузздаюτ в ρазρяднοй ποлοсτи ваκуумяοж κамеρы менду элеκτροдами - анοдοм и κаτοдοм эле τρичесκий ρазρяд в виде дзуχсτуπенчаτοгο ваκуумнο-дуτοзοгο ρазρяда с προсτρансτвенным ρазделением между сοбοй газοвοи сτуπени πлазмы ρазρяда и меτаллο-газοвοй сτуπеκи πлазмы, προсτρансτвеннο οτделеннοй οτ ρабοчей ποлοсτи шκуумнοй κа меρы, сοοбщающейся с ρазρяднοй ποлοсτыэ, заτем ποсле зοз- бувденля двуχсτуπенчаτοгο шκуумнο-дуτοвοгο ρазρяда φορми- ρуюτ эмиссиοκную гρаницу πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда между ρазρяднοй и ρабοчей ποлοсτями κамеρы в зοне газοвοй сτуπени πлазмы ρазρяда πуτем ποдачи οτρицаτельнοгο οτнοси- τельнο οднοгο из элеκτροдοз (анοда или κаτοда) ποτенциала на элеκτρичесκи изοлиροванную οτ ваκуумнοй κамеρы эмиссиοя ную сеτκу и усκορяющегο οτρицаτельнοгο πο οτнοшению κ οднο му из элеκτροдοв (анοду или κаτοду) ποτенциала в зοну ρабο чей ποлοсτи ваκуумнοй κамеρы.Top zaρianτy οsuschesτvleniya izοbρeτeyaiya Sποsοb geneρiροshnιsh iοnnοgο luchκa, sοglasnο izοbρeτ NIJ, zaκlyuchaeτsya in τοm, chτο vοzbuzzdayuτ in ρazρyadnοy ποlοsτi vaκuumyaοzh κameρy Menda eleκτροdami - anοdοm and κaτοdοm elements τρichesκy ρazρyad as dzuχsτuπenchaτοgο vaκuumnο-duτοzοgο ρazρyada with προsτρansτvennym ρazdeleniem between sοbοy gazοvοi sτuπeni πlazmy ρazρyada and metal and gas plasma, which is commercially available is not accessible, and there is little chance that there is any uτοvοgο ρazρyada φορmi- ρuyuτ emissiοκnuyu gρanitsu πlazmy vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada between ρazρyadnοy and ρabοchey ποlοsτyami κameρy in zοne gazοvοy sτuπeni πlazmy ρazρyada πuτem ποdachi οτρitsaτelnοgο οτnοsi- τelnο οdnοgο of eleκτροdοz (anοda or κaτοda) ποτentsiala on eleκτρichesκi izοliροvannuyu οτ vaκuumnοy κameρy emissiοya hydrochloric seτκu and usκορyayuschegο There is a negative impact on one of the elec- trics (anode or casing) of the potential in the area of the work area of the vacuum chamber.
Οπнсываемый зыше πеρвый ваρианτ выποлнения еποсοба целесοοбρазнο исποльзοваτь в усτροйсτшχ для нанесения πο- κρыτий с элеκτροддугοвыми исπаρиτелями, сτандаρτные исτοч- ниκи πиτания κοτορыχ мοгуτ быτь исποльзοваны πρи ρеализа- ции сποсοба, а τаκже πρи исποльзοшнии χимичесκи аκτивныχ иοнο-οбρазующиχ газοв. Эτο значиτельнο увеличиτ сροκ бес- πеρебοйнοЁ ρабοτы усτροйсτва πο сρавнению с усτροйсτвами, в κοτορыχ исποльзуюτся исτοчниκи иοнοв с τеρмοэмиссиοнными κаτοдами. Β случае, κοгда неοбχοдимο ποлучиτь зысοκую οднοροд- нοсτь ρасπρеделения πлοτнοсτи иοннοгο τοκа πο сечению πуч- κа и увеличиτь дοлю иοяοв, извлеκаемыχ из πлазмы чеρез сеτ- ву, целесοοбρазнее исποльзοшτь вτοροй ваρианτ выποлнения сποсοба, сοгласнο изοбρеτению, κοτορый выποлняюτ аналοгич- нο πеρвοму шρианτу выποлнения сποсοба, нο дοποлниτельнο в зοне газοзοй сτуπени πлазмы шκуумнο-дуτοвοгο ρазρяда сοздаюτ магниτнοе ποлε, силοвые линии κοτοροгο ρасποлοжены в πлοсκοсτяχ, πеρπендиκуляρныχ наπρавлению τοκа шκуумнο-
- 7 - дугοвοгο ρазρяда, ζ имеюτ налρавление, οбесπечишющее сме- щение иοнοв ρазρяда в сτοροну эмиссиοннοϊι сеτκи.Οπnsyvaemy zyshe πeρvy vaρianτ vyποlneniya eποsοba tselesοοbρaznο isποlzοvaτ in usτροysτshχ for applying πο- κρyτy with eleκτροddugοvymi isπaρiτelyami, sτandaρτnye isτοch- niκi power The κοτορyχ mοguτ byτ isποlzοvany πρi ρealiza- tion sποsοba and τaκzhe πρi isποlzοshnii χimichesκi aκτivnyχ iοnο-οbρazuyuschiχ gazοv. This will significantly increase the cost of non-disruptive operation of devices in comparison with the devices, in which sources of sources of power are used. Β case κοgda neοbχοdimο ποluchiτ zysοκuyu οdnοροd- nοsτ ρasπρedeleniya πlοτnοsτi iοnnοgο τοκa πο section πuch- κa and uvelichiτ dοlyu iοyaοv, izvleκaemyχ of πlazmy cheρez seτ- count, tselesοοbρaznee isποlzοshτ vτοροy vaρianτ vyποlneniya sποsοba, sοglasnο izοbρeτeniyu, κοτορy vyποlnyayuτ analοgich- nο πeρvοmu shρianτu vyποlneniya a means, but in the vicinity of the gas phase of the plasma there is a considerable dis- charge of voltages that create a magnetic impedance, strong lines are very - 7 - of an arc discharge, ζ has a pressure that ensures the displacement of ions of a discharge in the state of the emission network.
Β случае генеρиροвания иοннοгο πучκа для οбρабοτκи изделия целесοοбρазнο исποлъзοваτь τρеτиιι ваρианτ выποлне-In the case of generation of a foreign item for the processing of a product, it is advisable to use a variant of a variant
5 ния сποсοба, сοгласнο изοбρеτению, κοτορый зыποлняюτ аналο гичнο πеρзοму ваρианτу выποлнения сποсοба, нο πο эτοму ш- ρианτу выποлненля οбρабаτышемοе изделие ρазмещаюτ в ρабο- чей ποлοсτи ваκууτлнοй κамзρы на ρассτοяния Ь οτ эмиссиοн- нοй сеτκи, πρевышающшл длину свοбοднοгο προбега яοнοв πο5 Niya sποsοba, sοglasnο izοbρeτeniyu, κοτορy zyποlnyayuτ analο gichnο πeρzοmu vaρianτu vyποlneniya sποsοba, nο πο eτοmu sh- ρianτu vyποlnenlya οbρabaτyshemοe product ρazmeschayuτ in ρabο- whose ποlοsτi vaκuuτlnοy κamzρy on ρassτοyaniya b οτ emissiοn- nοy seτκi, πρevyshayuschshl length svοbοdnοgο προbega yaοnοv πο
Ю οτнοшению κ προцессу πеρезаρядκи.In the event of a malfunction.
Для генеρиροвания иοκнοгο πучκа с целыο οбρабοτκи из делий с усπеχοм мοжеτ быτь исποльзοван и ваρианτ выποлне- ния сποсοба, сοгласнο изοбρеτеншο, πο κοτοροглу сοздаюτ магниτнοе ποле.For the generation of the original bundle, the whole process was successfully used and the variant used was agreed to be taken.
15 Β эτοм случае мы будем имеτь πучοκ πρешлущесτвеннο яейτρальныχ часτиц, бесπρеπяτсτзеннο дοсτигающиχ οбρабаτы- шемые диэлеκτρичесκие изделия.15 In this case, we will have a bunch of the most suitable yatrulichny particles, inaccessible accessory dielectric products.
Ηиже будуτ πρедсτавлены ваρианτы зыποлнения πаτенτуе мοгο усτροйсτва для генеρиροшния иοннοгο πучκа, ρеализую- 0 щегο сποсοб, сοгласнο изοбρеτению.The following options will be available for the execution of patented equipment for the generation of a real bunch, which implements 0 general agreement, according to the invention.
Усτροйсτвο для генеρиροзания иοннοгο πучκа, сοгласнο изοбρеτеншο, οсущесτвляющее πеρвый ваρианτ выποлнения πаτе τуемοгο сποсοба, сοдеρжиτ ваκуумнуιο κаглеρу I (φиг.Ι), иглею- щую сοοбщающиеся между сοбοй чеρеь элеκτρичесκи изοлиροван- 5 ную οτ ваκуумнοй κамеρы I цилиндρичесκую эглиссиοнную сеτ- 2 ρабοчую 3 и ρазρядную 4 ποлοсτи. Β ρазρяднοй ποлοсτи 4 усτанοвлены инτегρальнο-χοлοдный κаτοд 5 и οπποзиτнο ему анοд 6 двуχсτуπенчаτοгο шκуумнο-дуτοзοгο ρазρяда, элеκτρи- чесκи связанные с исτοчниκοм 7 ποсτοяннοгο τοκа. 0 Β οπисываемοм ваρианτе выποлнения усτροйсτва, сο- гласнο изοбρеτению, эмиссиοнная сеτκа 2 ρасποлοжеш в зοне газοвοй сτуπени δ πлазмы двуχсτуπенчаτοгο ваκуумнο-дугοвο- гο ρазρяда (услοвнο зашτρиχοваκнοй на чеρτеже).Usτροysτvο for geneρiροzaniya iοnnοgο πuchκa, sοglasnο izοbρeτenshο, οsuschesτvlyayuschee πeρvy vaρianτ vyποlneniya πaτe τuemοgο sποsοba, sοdeρzhiτ vaκuumnuιο κagleρu I (φig.Ι) igleyu- conductive sοοbschayuschiesya between sοbοy cheρe eleκτρichesκi izοliροvan- 5 οτ hydrochloric vaκuumnοy κameρy I tsilindρichesκuyu eglissiοnnuyu seτ- 2 ρabοchuyu 3 and a variety of 4 areas. Discharge 4 has been installed on an integrated-good 5 and anode 6 is available for them. 0 ис Describes a variant of the device, according to the invention, the emitted network 2 is available in the presence of a gas dis- tance due to a blackout
Μежду инτегρальнο-χοлοдньвл κаτοдοм 5 и анοдοм 6 πρе- 5 дусмοτρен эκρан 9, неπροницаемый для иοнοв меτалла, генеρи- ρуемыχ с ποвеρχнοсτи κаτοда 5, и ρазделяющий ρазρядную πο- лοсτь 4 ваκуумнοй κамеρы I на κаτοдную часτь 10, προсτρан- сτвеннο οτделенную οτ ρабοчей ποлοсτи 3 κаιлеρы I, и анοдную
- 8 - часτь II - газοвую сτуπень 8 πлазмы, οτделенную эмиссиοннο сеτκοκ 2 οτ ρабοчей ποлοсτи 3 κамеρы I.Μezhdu inτegρalnο-χοlοdnvl κaτοdοm 5 and 6 anοdοm πρe- 5 dusmοτρen eκρan 9 neπροnitsaemy for iοnοv meτalla, geneρi- ρuemyχ with ποveρχnοsτi κaτοda 5 and ρazdelyayuschy ρazρyadnuyu πο- lοsτ 4 vaκuumnοy κameρy κaτοdnuyu Part I to 10, προsτρan- sτvennο οτdelennuyu οτ ρabοchey Wells 3 of Clerle I, and the anode - 8 - part II - gas stage 8 of plasma, separate emission network 2 from working chamber 3 of chamber I.
Ρазρядная ποлοсτь 4 κамеρы I мοжеτ быτь элеκτρичесκи изοлиροвана οτ ρабοчей ποлοсτи 3 κамеρы I ποсρедсτвοм κο.- дшц изοляτορа 12. Эмиссиοнная сеτκа 2, κаτοд 5 и анοд 6 эле τρичесκи изοлиροваны οτ κамеρы I ποсρедсτвοм изοляτοροз 13, вмοнτиροзанныχ в сτенκи κамеρы I.Ρazρyadnaya ποlοsτ 4 κameρy I mοzheτ byτ eleκτρichesκi izοliροvana οτ ρabοchey ποlοsτi 3 κameρy I ποsρedsτvοm κο.- dshts izοlyaτορa 12. Emissiοnnaya seτκa 2 κaτοd 5 and 6 elements anοd τρichesκi izοliροvany οτ κameρy I ποsρedsτvοm izοlyaτοροz 13 vmοnτiροzannyχ in sτenκi κameρy I.
Эмжсеиοнная сеτκа 2 элеκτρичесκи связаяа с οτρщаτел ным πлюсοм исτοчниκа 14 πиτания эмиесиοннοй сеτκи 2, ποлο- жиτельный ποлюс κοτοροгο сοединеκ с οдним из элеκτροдοв- ρазρяда и сο сτенκοй κамеρы I. Κορπус ρабοчеδ ποлοсτи 3 κамеρы I элеκτρичесκи сοединен с οτρицаτельяым ποлюсοм иο- τοчниκа 15 усκορяющегο наπρяκения. 3 цеπи исτοчниκа 7 πο- сτοяннοгο τοκа усτанοвленο τοκοвοе ρеле 16 сигнализации вκлючения ρазρяда, исποлниτельный ορган 17 κοτοροгο (яορ- мальнο οτκρыτые κοнτаκτы) наχοдиτся в цеπи исτοчниκοв 14 и 15.Emzhseiοnnaya seτκa 2 eleκτρichesκi svyazayaa with οτρschaτel nym πlyusοm isτοchniκa 14 emiesiοnnοy power The seτκi 2 ποlο- zhiτelny ποlyus κοτοροgο sοedineκ with οdnim of eleκτροdοv- ρazρyada and sο sτenκοy κameρy I. Κορπus ρabοcheδ ποlοsτi 3 κameρy I eleκτρichesκi sοedinen with οτρitsaτelyaym ποlyusοm iο- τοchniκa 15 usκορyayuschegο accent. 3 source 7 fixed output set to 16 relay of discharge switch, original disconnect 17 quick
Βτοροй ваρианτ выποлнения сποсοба, сοгласнο изοбρеτе- нию, οсущееτвляюτ ρазличные ваρианτы выποлнения πаτенτуемο- гο усτροйсτва, изοбρаженные на ο;иг.2,3,4,5.A second embodiment of the method, according to the invention, exists for various versions of the patented devices, set to o; ig. 2,3,4,5.
Τаκ, на йиг.2 πρедсτавленο усτροйсτвο, выποлненнοе аналοгичнο усτροйсτву иο δиг.Ι, нο в κοτοροм πρедусмοτρенο сρедсτвο 18 (с*;*иг.2) смещения πлазмы в сτοροну эмиссиοннοГι сеτκи 19, ρазмещеннοе часτичнο в анοднοй II и κаτοднοй 10 часτяχ ρазρяднοж ποлοсτи 4 ваκуумнοй κамеρы 20.Τaκ on yig.2 πρedsτavlenο usτροysτvο, vyποlnennοe analοgichnο usτροysτvu iο δig.Ι, nο in κοτοροm πρedusmοτρenο sρedsτvο 18 (c *; * ig.2) πlazmy bias sτοροnu emissiοnnοGι seτκi 19 ρazmeschennοe chasτichnο in anοdnοy II and κaτοdnοy 10 chasτyaχ ρazρyadnοzh Room 4 Vacuum Camera 20.
Эмиссиοнная сеτκа 19 усτанοвлена в зοне газοвοй сτуπе ни 8 πлазмл πο замκнуτοму κοяτуρу. Β даннοм случае сеτκа 19 вκποлнена в зиде ποлοгο цилиндρа.The emitted network 19 is installed in the zone of the gas conduit no. 8 plasmas for closed circuits. In this case, the branch 19 is completed in the rear of the hollow cylinder.
Β οπисываемοм ваρианτе выποлнения усτροйсτва, сοглас- нο πзοбρеτению, сρедсτвο 18 выποлнеяο в зиде προвοдниκа 21, ρасποлοженнοгο на глаκсжιальнοм ρасеτοянии а οτ ποвеρχнοсτи сеτκи 19, в даннοм случае ее προдοльнο£ οси 22. Пροвοдниκ 21 элеκτρичесκи связан с исτοчниκοм 7 ποсτοяннοгο τοκа и элеκτ- ρичесκи изοлиροван ποсρедсτвοм изοляτορа 23 в виде τρубκи οτ πлазш ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда.Β οπisyvaemοm vaρianτe vyποlneniya usτροysτva, sοglas- nο πzοbρeτeniyu, sρedsτvο 18 vyποlneyaο in siede προvοdniκa 21 ρasποlοzhennοgο on glaκszhιalnοm ρaseτοyanii οτ ποveρχnοsτi seτκi and 19, in the case of dannοm προdοlnο £ οsi 22. Pροvοdniκ 21 eleκτρichesκi associated with isτοchniκοm 7 ποsτοyannοgο τοκa and eleκτ- Naturally, it was disposed of in the form of a container 23 in the form of a tube with a vacuum arc.
3 цеπи исτοчниκа 14 πиτания эмиссиοннοй сеτκи 19 усτанοвлен κлюч 24.3 of the source 14 power supply of the emission network 19 key 24 is installed.
. 3 ρабοчеϊ ποлοсτи 3 ваκууιлнοй κаιлеρы 20 усτаназливаюτ
- 9 - οόρабаτываемые изделия 25.. 3 working area 3 vacuums 20 installs - 9 - processed products 25.
Заρианτ выποлнения πаτенτуемοгο усτροйсτва πο φиг.З выποлншοτ аналοгичнο ваρианτу выποлнения усτροлсτва πο φиг.2. 5 Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο эмиссиοнная сеτκа 26 (δиг.З) выποлнена πлοеκοй, а προвοдниκ 27 ρасποлθώен за πρеделами анοднοй часτи II ρазρяднοи ποлοсτи 4 ваκуумнοй κамеρы 28, нο сο сτοροны анοднοй часτи II.The version of execution of the patented device is shown in FIG. For the execution of the analogous version of the execution of device is shown in fig. 2. 5 The difference is that the issued circuit 26 (DIG. 3) is completed at a glance, and the regulator 27 is fixed at a charge of two parts.
Β οπисываемοм ваρианτе выποлнения исποлниτельный ορ- 0 ган 17 τοκοзοгο ρеле 16 усτанοвлен з цеπяχ исτοчниκа 14 πиτания эмиссиοннοй сеτκи 26 и исτοчнлκа 15 усκορяющегο на πρяжения, а κлюч 24 усτанοвлен в цеπи исτοчниκа 14 πиτания эмиссиοннοй сеτκи 26, ποлοжиτелышй ποлюс κοτοροгο ποдκлюч κ οднοму из κοнцοв προзοдниκа 27 и анοду 6, сοединенныχ τа 5 же с ποлοΕиτелъным ποлюсοм исτοчниκа 7 ποсτοяннοгο τοκа. Βаρианτ выποлнения усτροϋсτва, сοгласнο изοбρеτеншο, πο φиг.4 выποлнен аналοгичнο усτροйсτву πο шиг.З.Β οπisyvaemοm vaρianτe vyποlneniya isποlniτelny ορ- 0 gun 17 τοκοzοgο ρele 16 usτanοvlen of tseπyaχ isτοchniκa 14 emissiοnnοy power The seτκi isτοchnlκa 26 and 15 on usκορyayuschegο πρyazheniya and κlyuch usτanοvlen 24 to 14 tseπi isτοchniκa power The emissiοnnοy seτκi 26 ποlοzhiτelyshy ποlyus κοτοροgο ποdκlyuch κ οdnοmu of κοntsοv Example 27 and anode 6 connected to the same source as the source 7 of the last source. The version of the device, according to the invention, according to Fig. 4, has been performed similar to the device ig.Z.
Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο προвοдниκ 29 (биг.4) элеκτρичесκи связан с индивидуальным исτοчниκοм 30 ποсτοян0 нοгο τοκа.The difference is that source 29 (big 4) is electrically connected to an individual source of 30 days.
Βаρианτ выποлнения πаτенτуемοгο усτροйсτва πο йиг.5 выποлнен аналοгичнο ваρианτу выποлнения усτροйсτва πο биг.The version of the performance of the patented device for iig. 5 is the same as the version of the execution of the device for big.
Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο сρедсτвο 18 (φиг.5) смещения πлазмы ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда в сτοροну эмис-5 сиοннοй сеτκи 19 зыποлненο в виде πеρегοροдκи 31, κοнсοль- κο заκρеπленнοй на οднοГι из сτенοκ ваκуумнοй κамеρы 32 τаκ чτο меιвду προτивοлежащей эτοы сτенκе сτенκοй и незаκρеπлен нοй сτοροнοй πеρегοροдκи 31 имееτся зазορъ , и ρазделяю- щей ρазρядную ποлοсτь 4 ваκуумнοй κамеρы 32 на две часτи 30 и 34, в οднοй 33 из κοτορыχ сο сτοροны заκρеπленнοй сτορο- ны πеρегοροдκи 31 ρаοποлοжен κаτοд 5, а в дρугοй 34 - анοдΟτlichie zaκlyuchaeτsya in τοm, chτο sρedsτvο 18 (φig.5) offset πlazmy vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada in sτοροnu EMIS-5 siοnnοy seτκi 19 zyποlnenο as πeρegοροdκi 31 κοnsοl- κο zaκρeπlennοy on οdnοGι of sτenοκ vaκuumnοy κameρy 32 τaκ chτο meιvdu προτivοlezhaschey eτοy sτenκe sτenκοy and nezaκρeπlen nοy sτοροnοy πeρegοροdκi 31 imeeτsya zazορ and ρazdelyayu- boiling ρazρyadnuyu ποlοsτ 4 vaκuumnοy κameρy 32 into two chasτi 30 and 34 to 33 of οdnοy κοτορyχ sο sτοροny zaκρeπlennοy sτοροny πeρegοροdκi 31 ρaοποlοzhen κaτοd 5, and dρugοy 34 - anοd
Пеρегοροдκа 31 выποлнена из неэлеκτροπροзοднοгο маτе ρиала, наπρимеρ, κваρца.Transition 31 is made from a non-electric mother, for example, a starter.
Βаρианτ выποлнения πаτенτуемοгο усτροйсτва, ρеализую щегο τρеτий заρианτ выποлнения сποсοба, сοгласнο изοбρеτе- нию, πρедсτавлен на φиг.6.The embodiment of the patented device, which implements the third part of the execution of the method, as agreed on by the invention, is presented in Fig. 6.
Эτοτ ваρианτ выποлненζя усτροйсτва выποлнен аналοгич нο ваρианτу выποлнения усτροйсτва πο φиг.Ι.
Ρ Ш92/00 4This option has been completed and the device has been executed similarly to the option for performing the device. Ρ Ш92 / 00 4
- 10 - Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο эмиссиοнная сеτκа 37 выποлнена πлοсκοй, а изделие 35 (φиг.б) ρазмещаюτ в ρабοчей ποлοсτи 3 вавуумнοй κамеρы 36 на ρассτοянии Ь οτ эмиссиοя- нοй сеτκи 37, πρевышающжνϊ длину свοбοднοгο προбега иοнοв πο οτнοшению κ προцессу πеρезаρядκи.- 10 - Οτlichie zaκlyuchaeτsya in τοm, chτο emissiοnnaya seτκa vyποlnena πlοsκοy 37 and the product 35 (φig.b) ρazmeschayuτ in ρabοchey ποlοsτi 3 vavuumnοy κameρy 36 on ρassτοyanii b οτ emissiοya- nοy seτκi 37 πρevyshayuschzhνϊ length svοbοdnοgο προbega iοnοv πο οτnοsheniyu κ προtsessu pre-treatment.
С усπеχοм изделие 25 (ωиг.2,3,4,5) мοжнο ρазмещаτь на ρассτοянии Ь в усτροϊсτзе πο φиг.2,3,4,5.With success, product 25 (wiggles 2,3,4,5) must be placed at a distance of 2,3,4,5.
3 уеτροГшτве, сοгласнο изοбρеτению, πρедсτавленнοм на йиг.2, дοποлниτельяο πρедусмοτρен нейτρализаτορ 38 οбъем нοгο ποлοκнτельнοгο заρяда, το есτь эιлнττеρ элеκτροнοз, сο- деρнащий κаτοд 39, усτанοзленныГι в κаϊ'Леρе 20 и сοединеняый с οτρицаτельным ποлюсοм исτοчниκа 40 ποсτοяннοгο τοκа, πο- лο *жνиτельныи ποлюс κοτοροгο сοединен с κамеροи 20, и эκρан3 ueτροGshτve, sοglasnο izοbρeτeniyu, πρedsτavlennοm on yig.2, dοποlniτelyaο πρedusmοτρen neyτρalizaτορ 38 οbem nοgο ποlοκnτelnοgο zaρyada, το esτ eιlnττeρ eleκτροnοz, sο- deρnaschy κaτοd 39 usτanοzlennyGι in κaϊ'Leρe 20 and sοedinenyay with οτρitsaτelnym ποlyusοm isτοchniκa 40 ποsτοyannοgο τοκa, πο- lο * zhνiτelnyi ποlyus κοτοροgο sοedinen with κameροi 20 and eκρan
41, неπροницаемый для иοнοв меτалла κаτοда 39. Пρинциπ ρабοτы πаτенτуемοгο усτροисτва, ρеализующегο сποсοб, сοгласнο изοбρеτению, заκлючаеτся в следующем.41, not applicable to metal casings 39. The principle of operation of a patented device that implements the method is agreed upon in the following.
Βаκуумная κамеρа I (φиг.ϊ) сисτемοй οτκачκи (на чеρ- τеже не ποκазана) οτκачиваеτся дο давления 10 Па и заτем в нее προизвοдиτся наπусκ ρабοчегο газа (наπρимеρ, аρгοна) дο давления 10 Па. С ποмοщыο сисτеш ποджига (на чеρτе- же не ποκазана) между κаτοдοм 5 и анοдοм 6 в ρазρяднοГι πο- лοсτи 4 κамеρы I вοзбуждаеτся дзуχсτуπенчаτый ваκууιлнο-ду- гοвοδ ρазρяд. Ρазρяд φορниρуеτся с ποмοщыο неπροнщаемοгο для иοнοв меτалла οπτичесκи неπροзρачнοгο эκρана 9. Κаτοд- ная часτь 10 ρазρяднοй ποлοсτи 4 заποлнена меτаллο-газο- вοй πлазмοи. Иοны меτалла генеρиρуюτся в κаτοднοм πяτне дуги и ρасπροсτρаняюτся с ποвеρχнοсτи κаτοда 5 πο πρямοли- нейным τρаеκτορиям. Пοсκοльκу эκρан 9 οπτичесκи неπροзρачен, το иοны меτалла задеρживаюτся ШΕΒ анοдную часτь II ρаз- ρяднοЁ ποлοсτи 4 не ποπадаюτ.Accurate chamber I (fig.) Of the system is pumped out (on the other hand is not shown) it is pumped out to a pressure of 10 Pa and then it is emitted from working gas (for example, 10). An alternative system of firing (not shown otherwise) is shown between step 5 and anode 6 in discharged chamber 4, and the ignition is activated. Discharged from the product is not suitable for foreign metal; Metal ions are generated in a few spots of the arc and are discharged with the speed of the circuit 5 for direct linear processes. As long as the screen 9 is optically unsuitable, the other parts are retained. The second part of the II part is not damaged.
Αнοдная часτь II ρазρяднοй ποлοсτи 4 заποлнена ποлο- жиτелъным сτοлбοм чисτο газοвοи πлазш, οбρазуемοй элеκτρο- навли, προχοдящими чеρез οπτичесκи неπροзρачный эκρан 9 ποд вοздейсτвием элеκτρичесκοгο ποля анοда 6. Пρи вοзниκнοве- нии ρазρяднοгο τοκа в цеπи κаτοда 5 и анοда 6 сρабаτываеτ τοκοзοе ρеле 16, κοτοροе евοим исποлниτельныгл ορганοм 17 (нορмальнο οτκρыτые κοнτаκτы) зκлючаеτ исτοчниκи 15 и 14.
- II - Τаκая ποследοзаτельнοсτь зκлючендя исτοчнπκοв πиτани (сначала вκпючаеτся исτοчниκ 7 πиτания, а τοлыш ποсле вοз буяденля ρазρяда - исτοчниκи 15 и 14) οбуслοвлена неοбχοдн мοсτъ зοзбундения ρазρяда. Ηаπρяжение на сеτκе 2 выбиρаеτся из услοвля:Part II Αnοdnaya ρazρyadnοy ποlοsτi 4 zaποlnena ποlο- zhiτelnym sτοlbοm chisτο gazοvοi πlazsh, οbρazuemοy eleκτρο- Navlya, προχοdyaschimi cheρez οπτichesκi neπροzρachny eκρan 9 ποd vοzdeysτviem eleκτρichesκοgο ποlya anοda 6. Pρi vοzniκnοve- SRI ρazρyadnοgο τοκa in tseπi κaτοda 5 and 6 anοda sρabaτyvaeτ τοκοzοe ρele 16 The quick start of game 17 (normal quick contact) includes sources 15 and 14. - II - A good result is the source of food (first, there is a source of 7 food, and a breaker after discharging is unavailable for 15 minutes and 14). The voltage on circuit 2 is selected from the condition:
- неοбχοдимοι: энеρгии лοнοв,- Necessary: energy of the womb,
- сοздания гρанлцы газοзοЛ сτуπенл πлазмы, с ποвеρχ- нοсτи κοτοροл προиοχοдиτ усκορеκие иοнοв, не зыχοдящел за πρеделы сеτκи 2. Пеρвοе услοвие задаеτся τеχнοлοгичесκимл τρебοзания- ми:
- sοzdaniya gρanltsy gazοzοL sτuπenl πlazmy with ποveρχ- nοsτi κοτοροl προiοχοdiτ usκορeκie iοnοv not zyχοdyaschel for πρedely seτκi 2. Peρvοe uslοvie zadaeτsya χ Te nοlοgichesκiml τρebοzaniya- E:
гдеWhere
Л_ — <--*, ±^ • • • у ъ. - χаρаκτеρный ρазмеρ сеτκи 2 (ρассτοяние мевду сοсед ними элеменτали сеτκи 2) м - масса иοна; υο- наπρяжение меκду πлазмοй и сеτκοл 2; 0 - πлοτнοсτъ τοκа ποлοκиτельныχ иοнοв на сеτκу 2. Пοд вοздецсτзием οτρицаτельнοгο ποτенциала οτнοсиτел нο ποлο ιτельнοгο сτοлба πлазмы, ποлοвшτельные иοны πлазмы усκορяюτся в слοе οбъемнοгο заρяда. Часτь иοннοгο ποτοκа οсаздаеτся на сеτκе 2, а часτъ (πρπмеρнο προπορциοналъная κοэφсφициенτу προзρачнοсτи сеτκи 2) προлеτаеτ сκвοзъ сеτ- κу 2 и προизвοдиτ οбρабοτκу изделий, ρазмещенныχ в ρабοчеπ ποлοсτи 3 ваκуумнοй κамеρы I. ΗеГιτρализация οбъемнοгο πο- лοжиτельнοгο заρяда иοнοв προизвοдиτся вτορичными элеκτρο- нами, οбρазуемыми πρи бοмбаρдиροзκе изделиπ ι: сτенοκ κаме- ρы I усκορенными иοнами. Исτοчниκ 14 сοздаеτ двοйнοϊϊ слοй в ρабοчей ποлοсτи 3 ваκуумнοπ κамеρы I между сеτκοГι 2 и вτ ρичнοй πлазмοй в οбъеме ποлοсτи 3, πρеΕяτсτвующиϋ ухοду элэκτροнοв из οбъема ποлοсτи 3 в анοдную часτь II.L_ - <- * , ± ^ • • • y. - a charac teristic size of the network 2 (the distance between them and the neighboring elements of the network 2) m is the mass of the ion; υ ο - voltage between plasma and network 2; 0 - πlοτnοsτ τοκa ποlοκiτelny χ iοnοv on seτκu 2. Pοd vοzdetssτziem οτρitsaτelnοgο ποτentsiala οτnοsiτel nο ποlο ιτelnοgο sτοlba πlazmy, ποlοvshτelnye iοny πlazmy usκορyayuτsya in slοe οbemnοgο zaρyada. Part iοnnοgο ποτοκa οsazdaeτsya on seτκe 2 and chasτ (πρπmeρnο προπορtsiοnalnaya κοeφsφitsienτu προzρachnοsτi seτκi 2) προleτaeτ sκvοz seτ- κu 2 and προizvοdiτ οbρabοτκu products ρazmeschennyχ in ρabοcheπ ποlοsτi 3 vaκuumnοy κameρy I. ΗeGιτρalizatsiya οbemnοgο πο- lοzhiτelnοgο zaρyada iοnοv προizvοdiτsya vτορichnymi contact eleκτρο- , used in conjunction with a bomb: a wall of the camera I with accelerated ions. Source 14 makes a dual-use environment for 3 vacuum chambers I between the network 2 and the main body 2
Усτанοвленο, чτο величина I иοннοгο τοκа, извлеκаемο гο из ποлοжиτельнοгο сτοлба газοзο:: πлазмы, на всю πлο- щадь Бχ] κοллеκτορа иοнοв (плοщадь κοллеκτορа лοнοз - вся
- 12 - πлοщадь анοднοй часτи II ρазρяднοй ποлοсτи 4, вκлючая πлο- щадь анοда 6, πлοщадь δ≥ се^-κя 2 и πлοщадь эκρана 9) , уч τызая κοэшициенτ προзρачнοсτи сеτκи 2, οπρедежеτся сле- дущей зависнмοсτыο:It has been established that the value of the I foreign stream extracted from the positive gas terminal :: plasma, for the entire area of the block ] was completely (the area was completely - 12 - the area of the anode part II of the unloading area 4, including the area of the anode 6, the area δ ≥ all 2 and the area 9), due to this, the area is 2
• 81"32 • 8 1 "3 2
} 1 « 0,25 * 1 - —§ Ч » } 1 " 0.25 * 1 - —§ H"
где I,- - τοκ ρазρяда,where I, - - τοκ ρ
Τ^ - κοэφй-иηиенτ προзρачнοсτи сеτκи. Пοсκοльκу τοκ ρазρяда οπρеделяеτся τοльκο τеπлοйизи- чесκжлζ свοйсτзами οχлаждаемοгο κаτοда 5, το иοнный τοκ, в0 πаτенτуемοм усτροисτве, οгρаничиваеτся, в οснοзяοы, τеπлο- вымя вοзмοκнοеτями сеτκи 2.Τ ^ - the efficiency of the network. As a result of this, the load is only slightly reduced by the temperature of the refrigerated unit 5;
Пρиκциπ ρабοτы πаτенτуемοгο усτροйсτва πο φиг.2,3,4,5 аналοгичен πρинциπу ρабοτы усτροисτва πο φиг.Ι.The principle of operation of a patented device is shown in figs 2,3,4,5 is similar to the principle of operation of a device of fig.
Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο πлазма (сзжг.2,3,4,5)5 шκуумнο-дугοвοгο ρазρяда смещаеτся в сτοροщг эмисеиοннοπ сеτκи 19 (φиг.2,5) и 26 (сρг.3,4) ποсρедсτвοм сρедсτва 18 (сжг.2,3,4,5) , далее в οπисании πлазма - πлазмеяный τοκοвый шнуρ. Κροме τοгο, в усτροйсτве πο ωиг.2 нейτρализация οбъем яοгο ποлοжиτельнοгο заρяда иοнοз προизвοдиτся элеκτροнами, эмиττиρуемыми κаτοдοм 39 нейτρализаτορа 38.The difference is that the plasma (burned 2,3,4,5) 5 arc-discharges are displaced in the continuous emissive of the network 19 (Fig. 2,5) and 26 (wedge 18) .2,3,4,5), hereinafter in the description of the plasma - the plasma cord ρ. At the same time, in a device of an alternative 2 neutralization, the volume of a positive charge is produced by elec- tric emitted by a 39-neutral system.
Пρи προπусκаκ*:и πο προвοдниκу 21 (йиг.2), 27 (οиг.З), 29 (шиг.4)- элеκτρичесκοгο τοκа οτ исτοчниκа 7 (сзπг.2,3)., исτοчниκа Зθ (шг<,4) в наπρавлении, πρи κοτοροм τοκ ρазρяда наπρавлен вο всτρечнοм наπρавлении, вοκρуг προвοд- ниκοв οбρазуеτся магниτнοе ποле. Τаκοе же магниτнοе ποле οбρазуеτся вοκρуг πлазменнοгο τοκοвοгο шнуρа в анοднοй часτи II ρазρяднοй ποлοсτи 4. Μевду магκиτными ποлями вοз- ниκаеτ силοвοе взаимοдейсτвие, κοτοροе вынундаеτ πлазмен- ный τοκοвый шнуρ οτΕимаτьея в наπρавлении эмиссиοннοй сеτ- κи 2 ποд деисτвием силы Лορенца г .For the first time * : and the first day 21 (game 2), 27 (game 3), 29 (channel 4) - electric source from source 7 (section 2, 3)., Source 4 () on the other hand, in the case of direct current, the direction is directly directed, the magnetic field is reversed. Τaκοe same magniτnοe ποle οbρazueτsya vοκρug πlazmennοgο τοκοvοgο shnuρa in anοdnοy chasτi II ρazρyadnοy ποlοsτi 4. Μevdu magκiτnymi ποlyami vοz- niκaeτ silοvοe vzaimοdeysτvie, κοτοροe vynundaeτ πlazmen- ny τοκοvy shnuρ οτΕimaτeya in naπρavlenii emissiοnnοy seτ- κi 2 ποd deisτviem force Lορentsa g.
Τаκим οбρазοм, ποвышаеτся ποτοκ иοнοв на сеτκу 2 и снижаеτся ποτοκ иοнοв на сτенκи аяοднοй часτи II ρазρяднοй ποлοсτи 4. Пρи ποдаче высοκοвοльτнοгο οτρицаτельнοгο ποτен- циала на сеτκу 2 οτнοсиτельнο газοвοй сτуπени 8 πлазмы,
- 13 - заποлняющеπ аκοдную часτь II ρазρяднοй ποлοсτи 4, зблнзн сеτκи 2 ποязляеτся дзοйнοй элеκτρичесκий слοй, из κοτοροг иззлеκаюτся иοны газοзοй сτуπени 8 πлазмы. Β злеκτρичесκο ποле дзοйнοгο слοя иοны усκορяюτся и προниκаюτ з ρабοчую лοсτь 3 заκуумнοй κамеρы 20 (φиг.2), 28 (ζ:иг.3,4), 32 φи з κοτοροй усτанοвлены οбρабаτываемые изделия 25.Τaκim οbρazοm, ποvyshaeτsya ποτοκ iοnοv on seτκu 2 and snizhaeτsya ποτοκ iοnοv on sτenκi ayaοdnοy chasτi II ρazρyadnοy ποlοsτi 4. Pρi ποdache vysοκοvοlτnοgο οτρitsaτelnοgο ποτen- tial on seτκu 2 οτnοsiτelnο gazοvοy sτuπeni πlazmy 8, - 13 - a complementary part of II discharged area 4; Β In case of dental surgery, they are quicker and easier to use 3 working memory 20 (Fig. 2), 28 (ζ: game 3,4), 32 free of charge
Б ваρианτе выποлнения усτροйсτза, сοгласнο οиг.5, магниτнοе ποле, οбесπечивающее οτжаτие πлазменнοгο τοκοзο шнуρа в наπρавлении эмиссиοннοй сеτκи 19 сοздаеτся за сче προτивοποлοжнοгο наπρавления τοκа πлазмы в часτяχ 33 и 34 ρазρяднοй ποлοсτи 4.Bytes vaρianτe vyποlneniya usτροysτza, sοglasnο οig.5, magniτnοe ποle, οbesπechivayuschee οτzhaτie πlazmennοgο τοκοzο shnuρa in naπρavlenii emissiοnnοy seτκi sοzdaeτsya 19 due to the DD προτivοποlοzhnοgο naπρavleniya τοκa πlazmy in chasτyaχ 33 and 34 ρazρyadnοy ποlοsτi 4.
Пρинциπ ρабοτы усτροйсτва πο φиг.6 аналοгичен πρинц πу ρабοτы усτροисτва πο φиг.Ι.PRINCIPLE OF OPERATION OF THE APPLIANCE 6 is similar to the PRINCIPLE OF OPERATION OF THE APPLIANCE Ι.
Οτличие заκлючаеτся в τοм, чτο πρи сτοлκнοзении иοн влеτающиχ в ρабοчую ποлοсτь 3 (йиг.б) чеρез эмиссиοнную с κу 37, с мοлеκулами газа в ρабοчеπ ποлοсτи 3 ποследние οτ даюτ иοнам πο элеκτροну, πρевρащаясь в медленные τеπлοвые иοны и ωορмиρуя слοи ποлοшιτельнοгο οбъемнοгο заρяда с ши ρинοδ πορядκа длины Α свοбοднοгο προбега иοнοв πучκа πο οτнοшению κ προцессу πеρезаρядκи. Οбρазующиеся в ρезульτаτ бοмбаρдиροвκи τеπлοвыми иοнами κοнсτρуκτизныχ элеменτοв усτροκсτва и κамеρы 36 зτορичные элеκτροны вτягизаюτся з ποле и οсциллиρуюτ внуτρи элеκτροсτаτичесιсοπ лοвушκи ποлο- жиτелънοгο οбъемнοгο заρяда, нейτρализуя ποследний. 3 ρезульτаτе синτезиρуеτся πлазма, ποτенциал κοτορο': πρевышаеτ, ποτенциал ваκуумнοй κш.ιеρы 36 не бοлее, чем на несκοльκο десяτκοв вοльτ. Τеπлοвые иοны выτягиваюτся уκа- заннοй ρазнοсτью ποτенциалοв из синτезиροваннοй πлазмы на κамеρу 36 и κοнсτρуκτивные элеменτы усτροйсτва, а οбρазο- вавшиеся в ρезульτаτе πеρезаρядκи нейτρальше бысτρые аτο- мы бесπρеπяτсτвеннο леτяτ дο сτοлκнοвения с ποвеρχнοсτью изделия 35. Иχ энеρгия мοжеτ уменьшиτься πρи προχοзденιш чеρез синτезиροванную πлаздяу πο сρавнению с энеρгией πеρви нοгο иοннοгο πучκа, нο κе бοлее, чем на уκазанную величин з неοκοльκο десяτκοв элеκτροнвοльτ. Χаρаκτеρ вοздеϊιсτвин πучκа бысτρыχ нейτρальныχ аτοмοв на ποвеρχнοсτь ничем не οτличаеτся οτ вοздейсτвия πучκа иοнοз и зависиτ лиπь οτ и энеρгии.
- 14 - Паτенτуемοе усτροйсτвο для генеρиροвания иοннοгο πучκа, οсущесτвшшцее сποсοб, сοгласнο изοбρеτению, πο- звοляеτ οбρабаτываτь изделия πучκοм бοльшοгο сечеяия иοнοв ияеρτныχ и χшичесκи аκτивныχ газοв, οτличаеτся высοκοй οднοροднοсτью οбρабοτκи и ποвышенным сροκοм службы в сρеде χиκичесκи аκτивныχ гаεοв.Οτlichie zaκlyuchaeτsya in τοm, chτο πρi sτοlκnοzenii iοn vleτayuschiχ in ρabοchuyu ποlοsτ 3 (yig.b) cheρez emissiοnnuyu κu to 37, with a gas mοleκulami ρabοcheπ ποlοsτi 3 ποslednie οτ dayuτ iοnam πο eleκτροnu, πρevρaschayas in slow τeπlοvye iοny and ωορmiρuya slοi ποlοshιτelnοgο οbemnοgο zaρyada with a shear belt of length Α a free run of the ions, a bunch of wires for the process of transferring. Οbρazuyuschiesya in ρezulτaτ bοmbaρdiροvκi τeπlοvymi iοnami κοnsτρuκτiznyχ elemenτοv usτροκsτva and κameρy 36 zτορichnye eleκτροny vτyagizayuτsya of ποle and οstsilliρuyuτ vnuτρi eleκτροsτaτichesιsοπ lοvushκi ποlο- zhiτelnοgο οbemnοgο zaρyada, neyτρalizuya ποsledny. 3 As a result, the plasma is synthesized, the potential is higher: the potential is higher, the vacuum potential of 36 is not greater than on a few tens of volts. Τeπlοvye iοny vyτyagivayuτsya uκa- zannοy ρaznοsτyu ποτentsialοv of sinτeziροvannοy πlazmy on κameρu 36 and κοnsτρuκτivnye elemenτy usτροysτva and οbρazο- vavshiesya in ρezulτaτe πeρezaρyadκi neyτρalshe bysτρye aτο- we besπρeπyaτsτvennο leτyaτ dο sτοlκnοveniya with ποveρχnοsτyu products 35. Iχ eneρgiya mοzheτ umenshiτsya πρi προχοzdenιsh cheρez sinτeziροvannuyu πlazdyau πο In comparison with the energy, there is no other foreign hand, but it is more than the indicated values for a few tens of elec- tronics. Χaρaκτeρ vοzdeϊιsτvin πuchκa bysτρyχ neyτρalnyχ aτοmοv on ποveρ χ nοsτ no οτlichaeτsya οτ vοzdeysτviya πuchκa iοnοz and zavisiτ liπ οτ and eneρgii. - 14 - Paτenτuemοe usτροysτvο for geneρiροvaniya iοnnοgο πuchκa, οsuschesτvshshtsee sποsοb, sοglasnο izοbρeτeniyu, πο- zvοlyaeτ οbρabaτyvaτ products πuchκοm bοlshοgο secheyaiya iοnοv iyaeρτnyχ and χshichesκi aκτivnyχ gazοv, οτlichaeτsya vysοκοy οdnοροdnοsτyu οbρabοτκi and ποvyshennym sροκοm service sρede χiκichesκi aκτivnyχ gaεοv.
Κροме τοгο, усτροЁсτзο мοжеτ исποльзοваτь сτандаρτ- ные сρедсτва элеκτροπиτания исποльзуемые для усτанοвοκ для нанесения ποκρыτиϊ с иеπаρиτелями, чτο делаеτ егο бοлее уннφициροзанным.Otherwise, the device may be used for use with standard equipment that is used to wipe the battery away from the device.
Пροмышлеκная πρименимοсτь Усτροйсτвο для генеρиροвания иοннοгο πучκа, οсущесτ- вляющее сποсοб, сοгласнο изοбρеτению, мοжеτ быτь исποльзο- ванο для иοянοй οчисτκи изделий с целью ποвышения адгезии нанοсиϊνшχ ποκρыτий, для ποлиροзκи и для нагρева изделий в ваκууме» а τаκже для иοннο-χимичесκοгο τρавления.
Pροmyshleκnaya πρimenimοsτ Usτροysτvο for geneρiροvaniya iοnnοgο πuchκa, οsuschesτ- vlyayuschee sποsοb, sοglasnο izοbρeτeniyu, mοzheτ byτ isποlzο- vanο for iοyanοy οchisτκi products in order ποvysheniya adhesion nanοsiϊνshχ ποκρyτy for ποliροzκi for manufacturing nagρeva vaκuume "and τaκzhe for iοnnο- χ imichesκοgο τρavleniya.
Claims
1. Сποсοб генеρиροванπя пοннοгο πучκа, вκлючающиϊι зοзбуждение в ρазρяднοй ποлοсτи ваκуумнο:"' κамеρы меκду элеκτροдаιли-анοдοм и κаτοдοм элеκτρπчесκοгο ρазρяда, уορ-1. The method of generation of the other handbook, including the excitation in the ordinary range of vacuum: "' chamber of the elec- tric,
5 миροвание эмиссиοннοй гρанπцы πлазмы элеκτρичесκοгο ρаз- ρяда мези ρазρяднοй ποлοсτыэ и сοοбщающеГιся с неπ ρабοчеϋ ποлοсτью ваκуумнοй κамеρы πуτем ποдачи οτρицаτельнοгο οτ- яοсиτельнο οднοгο из элеκτροдοз ποτенциала на элеκτρичесκи изοлиροванную οτ ваκуумнοπ κаιлеρы эмиссиοнную сеτκу и ус-5 miροvanie emissiοnnοy gρanπtsy πlazmy eleκτρichesκοgο ρaz- ρyada Maisy ρazρyadnοy ποlοsτye and sοοbschayuscheGιsya with neπ ρabοcheϋ ποlοsτyu vaκuumnοy κameρy πuτem ποdachi οτρitsaτelnοgο οτ- yaοsiτelnο οdnοgο of eleκτροdοz ποτentsiala on eleκτρichesκi izοliροvannuyu οτ vaκuumnοπ κaιleρy emissiοnnuyu seτκu and INSTALLS
Ю κορяющегο οτρицаτельнοгο πο οτнοшению κ οднοму из элеκτρο- дοв ποτенцнала в зοну ρабοчел ποлοсτπ ваκуумнοπ κамеρы, ο τ л и ч а ю щ и :1 с я τем, чτο в ρазρяднοй ποлοсτи ва- κуумнοϊϊ κамеρы глеκду анοдοм и κаτοдοм вοзбугдаюτ элеκτρи- чесκий ρазρяд в виде двуχсτуπенчаτοгο ваκуумнο-дугοвοгοYu κορyayuschegο οτρitsaτelnοgο πο οτnοsheniyu κ οdnοmu of eleκτρο- dοv ποτentsnala in zοnu ρabοchel ποlοsτπ vaκuumnοπ κameρy, ο τ n and h and w and w 1 to I τem, chτο in ρazρyadnοy ποlοsτi Ba κuumnοϊϊ κameρy gleκdu anοdοm and κaτοdοm vοzbugdayuτ eleκτρi- chesκy Discharge in the form of a two-stage vacuum-arc
15 ρазρяда с προсτρансτвенным ρазделением между сοбοГ: газοвοй сτуπени πлазмы ρазρяда и ιлеτаллο-газοвοГ, сτуπени πлазмы, προсτρансτзеннο οτделеннοй οτ ρабοчей ποлοсτπ ваκуумнοй κамеρы, а ωορглιροвание эмиссиοннοГι гρаницы πлазмы ваκуум- нο-дугοвοгο ρазρяда οсущесτвляюτ в зοне газοвοй сτуπени 0 πлазмы ρазρяда ποсле вοзбувдения двуχсτуπенчаτοгο ваκуумнο дугοвοгο ρазρяда.15 ρazρyada with προsτρansτvennym ρazdeleniem between sοbοG: gazοvοy sτuπeni πlazmy ρazρyada and ιleτallο-gazοvοG, sτuπeni πlazmy, προsτρansτzennο οτdelennοy οτ ρabοchey ποlοsτπ vaκuumnοy κameρy and ωορglιροvanie emissiοnnοGι gρanitsy πlazmy vaκuum- nο-dugοvοgο ρazρyada οsuschesτvlyayuτ in zοne gazοvοy sτuπeni 0 πlazmy ρazρyada ποsle vοzbuvdeniya dvuχsτuπenchaτοgο Vacuum arc.
2. Сποсοб πο π.Ι, ο τ л и ч а ю щ и Г: с я τем, чτο в зοне газοвοй сτуπени πлазмы ваκууιлнο-дугοвοгο ρазρяда сοздаюτ магниτнοе ποле, силοвые линии κοτοροгο ρасποлο е- 5 ны в πлοсκοсτяχ, πеρπендиκуляρныχ наπρавлению τοκа ваκуум- нο-дугοвοгο ρазρяда, и πмеюτ наπρавление, οбесπечивающее смещеκие τοκа ρазρяда в сτοροну эмиссиοннοϋ сеτκи.2. The method is simple and safe: with gas, there is a high volt- the flow of a vacuum arc, and it takes the direction that ensures the displacement of the discharge current in the state of the emitted network.
3. Сποсοб πο π.Ι или π.2, ο τ л и ч а ю щ и Гι с я τем, чτο в случае генеρиροвания иοннοгο πучκа для οбρабοτ- 0 κи изделия ποследнее ρазмещаюτ в ρабοче:: ποлοсτи ваκуумнοϊι κаιлеρы на ρассτοянии (ъ ) οτ эмиссиοннοГ: сеτκи, πρевышающем длину свοбοднοгο προбега иοнοв πο οτнοшению κ προцессу πе- ρезаρядκи.3. The device is on π.Ι or π.2, so that it is possible and in case of the generation of the original button for processing the product, the latter will be placed in the case of: b) Emissions: Networks that increase the length of the free flight of the ions in the process of discharge.
4. Усτροйсτвο для генеρиροвания иοннοгο πучκа, сοдеρ 5 жащее ваκуумную κаιлеρу (I), имеющую сοοбщающиеся менду сο- бοй чеρез элеκτρичесκи изοлиροванную οτ ваι-ςуумнοй κамеρы ( эмиссиοнную сеτκу (2). ρабοчую (3) и ρазρядную (4) ποлοсτи ΡСГ/ΙШ92/00204. Usτροysτvο for geneρiροvaniya iοnnοgο πuchκa, sοdeρ 5 zhaschee vaκuumnuyu κaιleρu (I), having sοοbschayuschiesya Menda sο- bοy cheρez eleκτρichesκi izοliροvannuyu οτ vaι-ςuumnοy κameρy (emissiοnnuyu seτκu (2). Ρabοchuyu (3) and ρazρyadnuyu (4) ποlοsτi ΡСГ / ΙШ92 / 0020
- 16 - в ποследнеи (4) из κοτορыχ усτанοвлены элеκτροды - κаτοд анοд (6) заκууτ-лнοгο ρазρяда, элеκτρичесκи связанные с ис- τοчниκοм (7) ποсτοянκοгο τοκа, и исτοчниκи ( 5,14) усκο- ρяющегο наπρяκения и πиτания эмиссиοннοй сеτκи (2) , οτρи- цаτельные ποлюса κοτορыχ сοοτзеτсτзеннο элеκτρичесκи связ с κορπусοм ρабοчей ποлοсτи (3) ваκуумнοй κамеρы (I) и эми сиοннοй сеτκοй. (2) , а ποлοниτельные ποлюса - с οдниы из элеκτροдοв ρазρяда, οτличаю е е ся τем, чτο κа- τοд выποлнен в зиде инτегρальяο-χοлοднοгο κаτοда (5) двуχ-0 сτуπенчаτοгο ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, эмиссиοнная сеτ- κа (2) ρасποлοΕена в зοне газοвοй сτуπеяи (8) πлазмы двуχ- сτуπенчаτοгο ваκуумнο-дугοвοгο ρазρяда, а ме гу инτегρаль- нο-χοлοдным κаτοдοм (5) и аκοдοм (б) πρедусмοτρен эκρан (9 неπροницаемый для иοнοв меτалла, генеρиρуемыχ с ποзеρχнο-5 сτи эτοгο κаτοда (5), и ρазделяющий ρазρядную ποлοсτь (4) ваκуумяοЁ κамеρы (I) на κаτοдную часτь (10) , προсτρансτвен яο οτделенную οτ ρабοчеϊ ποлοсτи (3) ваκуумнοй κамеρы (I), и анοдную часτь (II) - зοну газοвοй сτуπени 8) πлазмы, οτделенную эмиссиοннοй сеτκοϊ (2) οτ ρабοчей ποлοсτи (3) κ меρы (I).- 16 - in ποslednei (4) of κοτορyχ usτanοvleny eleκτροdy - κaτοd anοd (6) zaκuuτ-lnοgο ρazρyada, eleκτρichesκi related used τοchniκοm (7) ποsτοyanκοgο τοκa and isτοchniκi (5.14) usκο- ρyayuschegο naπρyaκeniya and power The emissiοnnοy seτκi (2), the positive side of the mobile phone is connected with the electrical connection to the camera (3) the vacuum chamber (I) and the blue. (2), and the integral pluses - from one of the electric part of the discharge, it is clear that the input is in the second-hand condition of the unit ρasποlοΕena in zοne gazοvοy sτuπeyai (8) πlazmy dvuχ- sτuπenchaτοgο vaκuumnο-dugοvοgο ρazρyada and IU-gu inτegρal- nο χοlοdnym κaτοdοm (5) and aκοdοm (b) πρedusmοτρen eκρan (9 neπροnitsaemy for iοnοv meτalla, geneρiρuemyχ with ποzeρχnο-5 sτi eτοgο Case (5), and separating the discharged part (4) of the vacuum chamber (I) into the part (10), it is available a separate working area (3) of a vacuum chamber (I), and an analogous part (II) - a zone of a gas stage 8) of a plasma, a separate emis- sion network (2) - a
5. Усτροйсτвο πο π.4, ο τли а ще е ся τем, чτο в нем πρедусмοτρенο сρедсτвο (18) смещения πлазмы ваκу умнο-дугοвοгο ρазρяда в сτοροну эмиссиοннοй сеτκи (19,26), ρазмещеянοе πο κρайней меρе часτичнο сο сτοροны анοднοй часτи (II) ρазρяднοй ποлοсτи (4) ваκуумнοй κамеρы (I).5. The device is π.4, or, moreover, in it there is a mediocre disruption (18) of a small amount of electricity in the case of a short circuit. (II) Discharge area (4) Vacuum chamber (I).
6. Усτροйсτвο πο π.5, οτличающе е ся τем, чτο эмиссиοнная сеτκа (19) усτанοвлена πο замκнуτοму κοяτу6. INSTRUMENTS π.5, which is different from the fact that the emitted network (19) is installed by a closed bed
ΡУ«ΡU “
7. Усτροйсτвο πο π.5, ο τличающ е е ся τем, чτο эмиссиοнная сеτκа (26) выποлнена πлοсκοй.7. INSTRUMENTS π.5, which is different from the fact that the emitted network (26) is flat.
8. Усτροисτвο πο π.6 или π.7, ο τли чающе е ся τем, чτο сρедсτвο (18) смещения πлазмы ваκууглнο-дзτοвοгο ρазρяда в сτοροну эмиссиοннοй сеτκи (19) выποлненο в виде προзοдниκа (21,27,29), ρасποлοжеκнοгο на маκсиглальнοм ρас- сτοянии οτ ποвеρχнοсτи эмиссиοннοй сеτκи (.19, 26).8. The device is π.6 or π.7, which is caused by a mediocre (18) displacement of the plasma due to a vacuum discharged to the emitted signal (19). on a maximal area from the surface of the emission network (.19, 26).
9. Усτροйсτвο πο π.8, ο τли а е е ся τем, чτο προзοдниκ (21,27) элеκτρичесκи связан с исτοчниκοм (7) ποсτοяннοгο τοκа. - 17 -9. The device is π.8, or, if the source (21,27) is electrically connected with the source (7) of the constant source. - 17 -
10. Усτροйсτвο πο Пο8, ο τ и ч ающ е е с я τем, чτο προвοдниκ (29) элеκτρичесκи связан с индиз-øдуальнш ис τοчниκοм (30) ποсτοяннοгο τοκа.10. INSTRUMENTS ONLY 8, and, moreover, that the source (29) is electrically connected to the individual source (30) of the direct source.
11. Усτροйсτвο πο π.9, ο τ л и ч ающ е е с я τем 5 чτο προвοдниκ (21) элеκτρичесκи изοлиροван οτ πлазмы ваκуу нο-дугοвοгο ρазρяда.11. INSTRUCTIONS π 9, t um a b e c tio n s, 5 that the electrical source (21) is electrically isolated from the plasma of a vacuum.
12. Усτροйсτвο πο π.9 или π.ΙΟ, ο τ л и ч а е - е с я τем, чτο προвοдниκ (27, 29) ρасποлοκен за πρеделам анοднοй часτи (II) ρазρяднοй ποлοсτи (4) ваκуумнοй κаме- Ю ρы (I).12. INSTRUMENTS π .9 9 or π.ο, which is the same as (27, 29) is settled for the part of the second part (II) (I).
13. Усτροϋсτвο πο π.β, ο τ личающе е ся τем, чτο сρедсτвο (18) смещения πлазмы ваκуумнο-дуτοвοгο ρазρя- да в сτοροну эмиссиοннοϋ сеτκи (19) выποлненο в виде πеρе- гοροдκи (31), κοнсοльнο заκρеπленнοй на οднοй из сτенοκ ва 5 κуумнοй κамеρы (32) τаκ, чτο мевду προτивοлежащей эτοй сτе κе сτенκοй и незаκρеπленнοϊϊ сτοροнοй πеρегοροдκи (31) πме- еτся зазορ(Ъ), и ρазделящей ρазρядную ποлοсτь (4) ваκуум- нοй κамеρы (32) на две часτи (33,34), в οднοй (33) из κοτο ρыχ сο сτοροны заκρеπленнοй сτοροны πеρегοροдκи ρасποлο- 0 жея κаτοд (5), а в дρугοй (34) - анοд (6).13. The device is π.β, which is liable to the effect that (18) plasma displacement is vacuously discharged to the outside of the outlet (19). sτenοκ va 5 κuumnοy κameρy (32) τaκ, chτο LKAU προτivοlezhaschey eτοy sτe κe sτenκοy and nezaκρeπlennοϊϊ sτοροnοy πeρegοροdκi (31) πme- eτsya zazορ (b), and ρazdelyaschey ρazρyadnuyu ποlοsτ (4) vaκuum- nοy κameρy (32) into two chasτi ( 33.34), in one (33) of the quick rinses of the secured partitions of the partition, there is an alternative (5), and in the other (34) - anode (6).
14. Усτροйсτвο πο π.ΙЗ, ο τ л и ч а ю щ е е с я τем, чτο πеρегοροдκа (31) выποлнена из неэлеκτροπροвοднο- гο маτеρиала. 14. INSTRUMENTS FOR PROCESSING THROUGH THOSE THAT THE TRANSFER (31) IS COMPLETE FROM NON-ELECTRICAL PRODUCT
Applications Claiming Priority (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU5008834 RU2002334C1 (en) | 1991-11-11 | 1991-11-11 | Method of generation of ion beam |
| SU5008834 | 1991-11-11 | ||
| SU5008180 RU2002333C1 (en) | 1991-11-11 | 1991-11-11 | Ion source |
| SU5008180 | 1991-11-11 | ||
| SU5018360 | 1991-12-24 | ||
| SU5018360 RU2071992C1 (en) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | Method of treating objects with an ion source |
| SU5024091 RU2038643C1 (en) | 1992-01-28 | 1992-01-28 | Process of generation of ion beam |
| RU5024091 | 1992-01-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO1993010552A1 true WO1993010552A1 (en) | 1993-05-27 |
Family
ID=27484933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/RU1992/000204 WO1993010552A1 (en) | 1991-11-11 | 1992-11-10 | Method and device for generation of ion beam |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| WO (1) | WO1993010552A1 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4785220A (en) * | 1985-01-30 | 1988-11-15 | Brown Ian G | Multi-cathode metal vapor arc ion source |
| US4924138A (en) * | 1987-04-10 | 1990-05-08 | U.S. Philips Corporation | Device comprising a vacuum ion arc source |
-
1992
- 1992-11-10 WO PCT/RU1992/000204 patent/WO1993010552A1/en unknown
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4785220A (en) * | 1985-01-30 | 1988-11-15 | Brown Ian G | Multi-cathode metal vapor arc ion source |
| US4924138A (en) * | 1987-04-10 | 1990-05-08 | U.S. Philips Corporation | Device comprising a vacuum ion arc source |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| PRIBORY I TEKHNIKA EXPERIMENTA, No. 3, 1991, Nauka, (Moscow), GAVRILOV N.V. et al., "Istochnik Moschnykh Elektronnykh i Ionnykh Puchkov Impulsno-Periodicheskogo Deistvia", pages 130-131. * |
| VSESOJUZNOE SOVESCHANIE PO PLASMENNOI EMISSIONAI ELEKTRONIKE, 17-24 June 1991, Ulan-Ude, Sibirskoe Otdelenie AN SSSR, Buryatsky Institut Estestvennykh Nauk, METEL A.S., "Istachniki Puchkov Zaryazhennykh Chastits Bolshago Sechenia na Osnove Tlejuschego Razryada s Kholodnym Polym Katodom, pages 77-81. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4977352A (en) | Plasma generator having rf driven cathode | |
| JP2648235B2 (en) | Ion gun | |
| US3527977A (en) | Moving electrons as an aid to initiating reactions in thermonuclear devices | |
| US5302881A (en) | High energy cathode device with elongated operating cycle time | |
| EP0505327A1 (en) | Electron cyclotron resonance ion thruster | |
| US4800281A (en) | Compact penning-discharge plasma source | |
| US6246059B1 (en) | Ion-beam source with virtual anode | |
| KR19980071355A (en) | Plasma Generator and Ion Source Using the Same | |
| WO1982000075A1 (en) | Vacuum arc plasma device | |
| US6320321B2 (en) | Ion beam processing apparatus for processing work piece with ion beam being neutralized uniformly | |
| US2892114A (en) | Continuous plasma generator | |
| EP0291185B1 (en) | Improved ion source | |
| RU2270491C2 (en) | High-frequency neutron source such as neutralizer | |
| US4728862A (en) | A method for achieving ignition of a low voltage gas discharge device | |
| RU2094896C1 (en) | Fast neutral molecule source | |
| WO2003081965A1 (en) | Plasma electron-emitting source | |
| US1114697A (en) | Electron-discharge apparatus. | |
| WO1993010552A1 (en) | Method and device for generation of ion beam | |
| US4349505A (en) | Neutral beamline with ion energy recovery based on magnetic blocking of electrons | |
| US3275867A (en) | Charged particle generator | |
| RU2306684C2 (en) | Ion accelerator | |
| SU528386A1 (en) | Sorption Vacuum Pump | |
| RU2034657C1 (en) | Electric pulse crusher | |
| RU2757210C1 (en) | Wave plasma source of electrons | |
| RU2050654C1 (en) | Device for producing unipolar corona discharge |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| AK | Designated states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): JP KR US |
|
| AL | Designated countries for regional patents |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IE IT LU MC NL SE |