WO1991006395A1 - Verfahren und vorrichtung zur regelung gepulster lasersysteme - Google Patents

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shock wave
pressure
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Gerhard J. MÜLLER
Ludger H. WÖSTE
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Laser-Medizin-Zentrum Gmbh Berlin
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/032—Observing, e.g. monitoring, the workpiece using optical means
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    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece

Definitions

  • the invention relates to a method of the type specified in the preamble of claim 1 and an apparatus for performing the method.
  • the invention is based on the object of specifying, in a method of the type mentioned at the outset, measures which allow a control effect which is in conformity with the mechanical forces achieved to be produced with little technical outlay.
  • the light impulses of a high-energy pulsed laser that strike the material trigger a mechanical shock wave or an acoustic sound front due to various mechanisms of action.
  • the amplitude and frequency spectrum of these mechanical shock wave or acoustic wave fronts depend on this both from the pulse shape and the pulse energy of the laser on the one hand and from the structure of the applied material on the other.
  • a method has now been developed which, at given laser parameters, detects material-specific signals which, in turn, can be used with heterogeneous materials to readjust the laser pulses. Such a measuring method is of general importance.
  • a miniature pressure transducer is coupled to the transmission link in such an acoustically rigid manner that the shock waves generated during the machining process can be obtained directly from the laser radiation source as an electrical signal.
  • This table forms a reference scale within a controlled system for comparing the respective current measurements and can be used in this way for setpoint control of the laser in order to reproducibly generate specified forces within the material.
  • threshold values for the use of the process must be overcome, which can be easily detected in this way, so that the laser system can be regulated very quickly in the desired work area. It is also very easy to set upper limit values in this way to prevent the fiber end from being destroyed.
  • the transmission link is designed on the coupling side in the form of a plug, which on the one hand enables precise optical adjustment in the beam of the active laser due to its mechanical spatial shape and on the other hand allows the integration of a pressure sensor.
  • a pressure sensor it has surprisingly been found that the pickup of a turntable has sufficient sensitivity and thus contributes to an inexpensive solution. If higher sensitivity is required, other pressure sensors can also be integrated according to the invention.
  • the electrical output signal is applied to the input of a discriminator amplifier by an electrical bandpass filter which can be set depending on the selected machining process and which in turn supplies an output signal for regulating the laser.
  • the pulsed laser is a so-called excimer laser with pulse lengths in the range between 5 and 400 nsec, typically at approx. 100 nsec.
  • the light energy is used via a quartz light guide to remove constrictions and occlusions in tubular hollow systems, for example in calcified arteries.
  • Such a switchover between two or more operating states of the laser for example a 10 Hz repetition rate at 40 mJ laser energy on hard material and a 40 Hz repetition rate at 20 mJ laser energy on soft material, can be carried out in a simple manner depending on the detected shock wave amplitude a discriminator circuit takes place.
  • the method can also be used when transmitting the laser energy over air gaps in such a way that in this case the resulting shock wave is picked up directly on the material, be it by attaching an acoustically stiff transmission finger to the material to be processed, at the end of the material facing away from it then the pressure sensor is attached.
  • an acoustically stiff transmission finger can consist of a thin metal wire or also of a glass fiber which is inserted into the tissue in the vicinity of the removal site.
  • FIGS. 1 to 3 give schematic diagrams of devices for using the method according to the invention in three preferred variants:
  • FIG. 1 shows the device for sensing the laser-induced shock wave via the applicator of the laser radiation itself
  • FIG. 3 the sensing via a separate sensor inserted into the sample.
  • FIG. 4 shows typical signals as recorded by the sensors according to FIGS. 1 to 3.
  • a laser device 1 containing the laser radiation source is provided with a sensor 2, which forms a pressure sensor, for receiving the shock wave signal on an optical fiber 6, which transmits the laser energy from laser 1 to material 4 .
  • a sensor 2 which forms a pressure sensor
  • an optical fiber 6 which transmits the laser energy from laser 1 to material 4 .
  • the ability of the optical fiber to use not only light waves but also signals with mechanical coupling in the form of structure-borne noise is used, so that the feedback signal is available directly at the laser source and the entire arrangement can be summarized in a compact design .
  • the primary signal of the sensor 2 is transmitted through a signal line 9 to the evaluation unit 7 containing a discriminator amplifier and a control stage, which in turn forwards a control signal to the laser 1 via the feedback line 8.
  • the material sample 4 to be treated is located in a material environment 3, which can either be air-like or consist of a protective gas or a liquid.
  • the shock wave occurring when the sample is irradiated with short laser pulses is indicated by dashed lines.
  • the control stage in the evaluation unit 7 adjusts the laser source via its intensity control by varying the amplitude and / or pulse rate so that the forces arising in the material remain within a predetermined range of values.
  • the control characteristic curve is formed by a stored table that contains the recorded shock events relates to the force effects to be achieved.
  • An external setting of the evaluation unit 7 prescribes a force effect (arrow), which is then internally assigned a measured value for the intensity of the corresponding impact event. If the predetermined intensity is exceeded, the laser energy is reduced by the control stage and increased in the
  • the sensor 2 is followed by an electrical bandpass filter (not shown in the drawing), which suppresses interference signals that do not originate from the shock waves.
  • the device according to FIG. 2 differs from the embodiment according to FIG. 1 in that the shock wave emanating from the material sample 4 is detected by a separate sensor 22, which also transmits its signal via a signal line 9 to a discriminator amplifier and evaluation unit 7 .
  • the sensor is located in the area of the material to be treated, the coupling between the material and the sensor being carried out by a gaseous or liquid line medium.
  • the sensor 22 contains a mechanoelectric converter in the manner of a microphone.
  • the device shown in FIG. 3 differs from the embodiment according to FIG. 1 in that, in addition to the optical fiber 6, which triggers the shock wave by means of transmitted short laser pulses in the material 4, a shock wave sensor 23 is provided, which has an additional acoustically stiff signal Transmission link 21 is derived from the sample by structure-borne sound transmission. The output signal of the sensor 23 is then transmitted again via the signal line 9 to the discriminator amplifier and the evaluation unit.
  • the sensor mentioned in the preceding examples contains a converter which converts the mechanical input variable caused by the shock waves into an electrical, magnetic or optical variable which can be processed further by the subsequent stages. These are preferably used in an integrated design as a semiconductor component, so that the sensor, which is small in size, does not in any way hinder the material processing.
  • FIG. 4 show typical amplitude-time records for the extreme cases of very hard (FIG. 4a) and very soft (FIG. 4b) materials, such as occur when a series of successive laser pulses are triggered.
  • the amplitude values a are reproduced vertically as a function of the time t plotted on the horizontal axis.

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Abstract

Verfahren und Vorrichtung zur Regelung eines gepulsten Lasersystems bei der Materialbearbeitung, wobei eine bei der Bearbeitung auftretende mechanische Stosswelle oder ein auftretender akustischer Impuls durch einen Druckaufnehmer erfasst und das Ausgangssignal des Druckaufnehmers das Eingangssignal für eine Regelstufe zur Beeinflussung der Laserstrahlung bildet.

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Regelung gepulster Lasersysteme
B e s c h r e i b u n g
Die Erfindung betrifft ein Verfahren der im Oberbegriff des Anspruchs 1 angegebenen Art sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
Es ist bekannt, mit kurz gepulsten Lasersystemen Material abzutragen. Auch sind Verfahren aus der Literatur bekannt, bei denen das durch den Abtragungsprozeß entstehende Plas¬ ma bzw. Fluoreszenzleuchten zur Analyse des zu bearbeiten¬ den Materials genutzt wird und das analytische Ergebnis dann sekundär zur Steuerung des Lasers verwendet wird. Diese Verfahren sind jedoch relativ aufwendig, da die Zu¬ sammenhänge zwischen den beobachteten Effekten und der sich daraus ableitenden notwendigen Beeinflussung der La¬ serquelle sehr komplex und vielfach auch nicht eindeutig sind, so daß damit in den meisten Fällen keine zielgerich- tete Steuerung der Laserquelle erfolgen kann. Insbesondere lassen derartige optische Regelungsverfahren auch keiner¬ lei Rückschlüsse auf die beim Prozeß entstehenden mechani¬ schen Kräfte zu.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Ver¬ fahren der eingangs genannten Gattung Maßnahmen anzugeben, welche es gestatten, bei geringem technischen Aufwand eine mit den erzielten mechanischen Kräften konforme Re¬ gelwirkung zu erzeugen.
Diese Aufgabe wird mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Bei der Anwendung gepulster Lasersysteme in der Material- bearbei υng, vorzugsweise im Bereich nichtmetallischer insbesondere organischer Werkstoffe, lösen die im Material auftreffenden Lichtimpulse eines hochenergetisch gepulsten Lasers aufgrund verschiedener Wirkmechanismen eine mecha¬ nische Stoßwelle bzw. eine akustische Schallfront aus. Am- plitude und Frequenzspektrum dieser mechanischen Sto߬ wellen- bzw. dieser akustischen Wellenfronten hängen dabei sowohl von der Pulsform und der Pulsenergie des Lasers auf der einen Seite als auch von der Struktur des beaufschlag¬ ten Materials auf der anderen Seite ab. Es wurde nun ein Verfahren entwickelt, das bei vorgegebenen Laserparametern materialspezifische Signale erfaßt, die ihrerseits bei he¬ terogenen Materialien zur Nachregelung der Laserimpulse benutzt werden können. Ein solches Meßverfahren ist von allgemeiner Bedeutung.
Hierbei sind insbesondere diejenigen Anwendungen bedeut¬ sam, bei denen die Laserenergie über Lichtleitfasern transportiert wird und das Faserende in mehr oder weniger innigem Kontakt mit dem zu bearbeitenden Material steht. Mit der Erfindung wird eine unkontrollierte Zerstörung aufgrund zu hoher mechanischer Stoßwellen des Faserendes vermieden.
Vorteilhaften Weiterbildungen der Erfindung liegt die Er¬ kenntnis zugrunde, daß bei Übertragung von hochenergeti- scher Laserstrahlung durch Lichtleitfasern die am Material entstehende Stoßwelle auf das Übertragungssystem rück¬ wirkt, wobei der Kopplungsgrad der Rückwirkung vom Koppel¬ medium zwischen Faserende und Materialoberfläche abhängt. Besonders intensiv ist die Kopplung bei direktem Aufsetzen des Lichtleiters auf das zu bearbeitende Material. Bei ei¬ ner Ank pplung über geeignete Flüssigkeiten, deren Elasti¬ zitätsmodul in dem Zeitbereich kurzer Laserimpulse extrem hoch ist, ist die Kopplung ebenfalls sehr gut. Die derart auf das Übertragungssystem der Laserstrahlung rückgekop- pelte mechanische Stoßwelle pflanzt sich über das Übertra- gungssystem zur Senderseite hin fort, wobei in Abhängig- keit vom Material der Übertragungsstrecke gewisse Dämp¬ fungskonstanten zu berücksichtigen sind.
Es wurde gefunden, daß mit den heute technisch verfügbaren Druckaufnehmern, seien sie nun piezoelektrischer, elektro- striktiver oder magnetostriktiver Natur, auf Halbleiterba¬ sis hergestellt oder optischer Natur (z.B. nach dem Prin¬ zip der Golay-Zelle) , diese rückgekoppelten mechanischen Stoßwellen am einkoppelseitigen Ende der Übertragungs- strecke detektiert werden können.
Bei einer bevorzugten Ausführung der Erfindung wird an der Einkoppelseite eines derartigen Lichtleitfaserübertra- gungssystems ein Miniaturdruckaufnehmer derart akustisch steif an die Übertragungsstrecke angekoppelt, daß die bei Bearbeitungsprozeß entstehenden Stoßwellen direkt bei der Laserstrahlungsquelle als elektrisches Signal gewonnen werden können.
Mit einem derartigen System ist es in günstiger Weise möglich, Meßwerttabellen zu erstellen, die einen Zusammen¬ hang zwischen den beim Prozeß auftretenden mechanischen Kräfte und den ermittelten Stoßwellen enthalten.
Diese Tabelle bildet, abgespeichert in ROM, innerhalb ei¬ nes geregelten Systems einen Bezugsmaßstab zum Vergleich der jeweils aktuellen Messungen und kann auf diese Weise zur Sollwertregelung des Lasers benutzt werden, um vorge¬ gebene Kräfte innerhalb des Materials reproduzierbar zu erzeugen. Insbesondere wurde gefunden, daß bei kurz gepulsten Laser¬ systemen, bei denen mindestens die Initialphase der Abtra¬ gungsmechanismen auf stark materialabhängigen, ionisieren¬ den Prozessen beruhen, Schwellwerte für den Einsatz des Prozesses überwunden werden müssen, die auf diese Weise einfach erfaßt werden können, so daß das Lasersystem sehr schnell in den gewünschten Arbeitsbereich geregelt werden kann. Ebenso können auf diese Weise sehr einfach obere Grenzwerte festgelegt werden, um damit ein Zerstören des Faserendes zu verhindern.
In einer anderen bevorzugten Ausführungsform ist die Über- tragungsstrecke einkoppelseitig in Form eines Steckers ausgelegt, der zum einen aufgrund seiner mechanischen Raumform eine präzise optische Justage im Strahl des Wirk¬ lasers ermöglicht, und zum anderen die Integration eines Druckaufnehmers erlaubt. Hierbei hat sich überraschender¬ weise gezeigt, daß der Tonabnehmer eines Plattenspielers eine ausreichende Empfindlichkeit besitzt und somit zu ei- ner kostengünstigen Lösung beiträgt. Bei notwendiger höhe¬ rer Empfindlichkeit können erfindungsgemäß auch andere Druckaufnehmer integriert werden. Das elektrische Aus¬ gangssignal wird durch einen je nach gewähltem Bearbei¬ tungsprozeß einstellbares elektrisches Bandpaßfilter auf den Eingang eines Diskriminatorverstärkers gegeben, das seinerseits ein Ausgangssignal zur Regelung des Lasers liefert.
In einem anderen bevorzugten Ausführungsbeispiel ist der gepulste Laser ein sogenannter Excimer-Laser mit Pulslän¬ gen im Bereich zwischen 5 und 400 nsec typischerweise bei ca. 100 nsec. Die Lichtenergie wird über einen Quarzlicht¬ leiter zur Beseitigung von Engstellen und Verschlüssen in röhrenförmigen Hohlsystemen, beispielsweise bei verkalkten Arterien, benutzt.
Wie eingangs geschildert, hat sich gezeigt, daß beim Prozeß der Abtragung vom Material mechanische Stoßwellen entstehen, die typischerweise bei weichem Material, wie es beispielsweise normales Gewebe darstellt, geringere Ampli- tuden haben als bei hartem Material, wie sie z.B. im ge¬ nannten Fall an Verkalkungsarealen auftreten.
Um eine Zerstörung des Faserendes zu vermeiden, ist es da¬ bei insbesondere von Vorteil, wenn bei härteren Materiali- en mit geringer Wiederholrate, aher hohen Laserenergien gearbeitet wird und bei weichen Materialien mit hohen Wie¬ derholraten jedoch geringeren Laserenergien. Ein derarti¬ ges Umschalten zwischen zwei oder mehreren Betriebszustän- den des Lasers, beispielsweise 10 Hz Wiederholrate bei 40 mJ Laserenergie am harten Material und 40 Hz Wiederhol¬ rate bei 20 mJ Laserenergie bei weichem Material kann in Abhängigkeit von der detektierten Stoßwellenamplitude in einfacher Weise durch eine Diskriminatorschaltung erfol¬ gen.
Grundsätzlich kann das Verfahren jedoch auch bei Übertra¬ gung der Laserenergie über Luftstrecken derart verwendet werden, daß in diesem Fall die entstehende Stoßwelle am Material direkt abgegriffen wird, sei es durch Anbringen eines akustisch steifen Übertragungsfingers am zu bearbei¬ tenden Material, an dessen materialabgewandtem Ende sodann der Druckaufnehmer angebracht wird. Selbst eine luft-, gas- oder flüssigkeitsgebundene rein akustische Kopplung durch Schallübertragung in diesen nicht-festen Medien mittels eines Mikrofons ist möglich. In dem eingangs ge¬ nannten Beispiel der Abtragung von biologischem Gewebe kann der akustisch steife Abtastfinger aus einem dünnen Metalldraht oder ebenfalls aus einer Glasfaser bestehen, die in die Nähe des Abtragungsortes in das Gewebe einge¬ stochen wird.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Un¬ teransprüchen gekennzeichnet bzw. werden nachstehend zu¬ sammen mit der Beschreibung der bevorzugten Ausführung der Erfindung anhand der Figuren näher dargestellt. Dabei ge- ben insbesondere die Figuren 1 bis 3 Prinzipskizzen von Vorrichtungen zur Anwendung des erfindungsgemäßen Verfah¬ rens in drei bevorzugten Varianten:
Figur 1 zeigt dabei die Vorrichtung zur Sensierung der la- serinduzierten Stoßwelle über den Applikator der Laser¬ strahlung selbst,
Figur 2 die Sensierung der Stoßwelle durch ein separat an¬ gebrachtes Mikrofon in der Umgebung des Probenvolumens und
Figur 3 die Sensierung über einen getrennten in die Probe eingeführten Sensor.
Figur 4 zeigt typische Signale, wie sie durch die Sensoren gemäß Figuren 1 bis 3 aufgenommen werden. In dem in Figur l dargestellten Prinzipschaltbild einer Vor¬ richtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist ein die Laserstrahlungsquelle enthaltendes Lasergerät 1 mit einem einen Druckaufnehmer bildenden Sensor 2 zur Abnahme des Stoßwellensignals an einer Lichtleitfaser 6 versehen, die die Laserenergie von Laser 1 zum Material 4 überträgt. Auf diese Weise sind keinerlei zusätzliche Zu¬ leitungen zum Bearbeitungsort erforderlich. Es wird dabei die Fähigkeit der Lichtleitfaser ausgenutzt, neben Licht- wellen auch Signale mit mechanischer Kopplung in Form der Körperschallübertragung zu leiten, so daß das Rückkopp¬ lungssignal direkt an der Laserquelle zur Verfügung steht und die gesamte Anordnung in kompakter Bauform zusammenge¬ faßt werden kann.
Das primäre Signal des Sensors 2 wird dabei durch eine Si¬ gnalleitung 9 auf die einen Diskriminatorverstärker und eine Regelstufe enthaltende Auswerteeinheit 7 übertragen, die ihrerseits ein Steuersignal an den Laser 1 über die Rückkoppelleitung 8 weitergibt. Dabei befindet sich die zu behandelnde Materialprobe 4 in einer Materialumgebung 3, die entweder luftförmig bzw. aus einem Schutzgas oder ei¬ ner Flüssigkeit bestehend kann. Die bei Bestrahlung der Probe mit kurzen Laserimpulsen auftretende Stoßwelle ist gestrichelt angedeutet. Die in der Auswerteeinheit 7 vor¬ handene Regelstufe stellt dabei die Laserquelle über ihre Intensitätssteuerung durch Variation von Amplitude und/oder Impulsrate so ein, daß die im Material entstehen¬ den Kräfte innerhalb eines vorgegebenen Wertebereichs bleiben. Die Regelkennlinie wird dabei gebildet durch eine abgespeicherte Tabelle, welche die erfaßten Stoßereignisse mit den zu erzielenden Kraftwirkungen in Beziehung setzt. Durch externe Einstellung der Auswerteeinheit 7 wird eine Kraftwirkung vorgeben (Pfeil), der intern dann ein Meßwert für die Intensität des entsprechenden Stoßereignisses zu- geordnet wird. Wird die vorgegebene Intensität überschrit¬ ten, so wird durch die Regelstufe die Laserenergie vermin¬ dert und im umgekehrten Fall heraufgesetzt.
Dem Sensor 2 ist ein - in der Zeichnung nicht dargestell- tes - elektrisches Bandpaßfilter nachgeschaltet, welches Störsignale unterdrückt, die nicht von den Stoßwellen her¬ rühren.
Von der Ausführung gemäß Figur 1 unterscheidet sich Vor- richtung gemäß Figur 2 dadurch, daß die von der Material¬ probe 4 ausgehende Stoßwelle durch einen getrennten Sensor 22 detektiert wird, der sein Signal ebenfalls wieder über eine Signalleitung 9 an einen Diskriminatorverstärker und Auswerteeinheit 7 weitergibt. Der Sensor befindet sich im Bereich des zu behandelnden Materials, wobei die Kopplung zwischen Material und Sensor durch ein gasförmiges oder flüssiges Leitungsmedium erfolgt. Der Sensor 22 enthält einen mechanoelektrischen Wandler nach Art eines Mikro¬ fons.
Die in Figur 3 dargestellte Vorrichtung unterscheidet sich gegenüber der Ausführung gemäß Figur 1 dadurch, daß zu¬ sätzlich zur Lichtleitfaser 6, die die Stoßwelle mittels übertragener kurzer Laserimpulse im Material 4 auslöst, ein Stoßwellensensor 23 vorgesehen ist, der sein Signal über eine zusätzliche akustisch steife Übertragungsstrecke 21 durch Körperschallübertragung aus der Probe ableitet. Das Ausgangssignal des Sensors 23 wird sodann wieder über die Signalleitung 9 an den Diskriminatorverstärker und die Auswerteeinheit übertragen.
Der in den vorstehenden Beispielen erwähnte Sensor enthält einen Wandler, der die mechanische, durch die Stoßwellen bedingte Eingangsgröße in eine elektrische, magnetische oder optische Größe umsetzt, welche durch die nachfolgen- den Stufen weiterverarbeitet werden kann. Diese werden be¬ vorzugt in integrierter Bauform als Halbleiterbauelement verwendet, so daß der in kleiner Baugröße ausgeführte Sen¬ sor die Materialbearbeitung in keiner Weise behindert.
Die Diagramme gemäß Figur 4 zeigen für die Extremfälle sehr harten (Figur 4a) und sehr weichen (Figur 4b) Mate¬ rials typische Amplituden-Zeit-Schriebe, wie sie bei der Auslösung einer Reihe von aufeinanderfolgenden Laserimpul¬ sen entstehen. Die Amplitudenwerte a sind dabei vertikal in Abhängigkeit von der auf der horizontalen Achse aufge¬ tragenen Zeit t wiedergegeben.
Die Erfindung beschränkt sich in ihrer Ausführung nicht auf das vorstehend angegebene bevorzugte Ausführungsbei- spiel, vielmehr ist eine Anzahl von Varianten denkbar, welche von der dargestellten Lösung auch bei grundsätzlich anders gearteten Ausführungen Gebrauch macht.
* * * * *

Claims

A n s p r ü c h e
1. Verfahren zur Regelung eines gepulsten Lasersystems bei der Materialbearbeitung,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t ,
daß eine bei der Bearbeitung auftretende mechanische Stoß- welle oder ein auftretender akustischer Impuls durch einen Druckaufnehmer erfaßt und das Ausgangssignal des Druckauf¬ nehmers das EingangsSignal für eine Regelstufe zur Beein¬ flussung der Laserstrahlung bildet.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach An¬ spruch 1,
g e k e n n z e i c h n e t d u r c h
einen Druckaufnehmer (2, 22, 23) zum Erfassen der bei der Bearbeitung auftretenden mechanischen Stoßwelle oder eines auftretenden akustischen Impulses vorgesehen ist, wobei der Ausgang des Druckaufnehmers mit dem Eingang einer Re- gelstufe zur Beeinflussung der Laserstrahlung elektrisch verbunden ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e - k e n n z e i c h n e t , daß der Druckaufnehmer einen piezoelektrischen Wandler aufweist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß der Druckaufnehmer einen elektrostriktiven Wandler aufweist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß der Druckaufnehmer auf dem agnetostriktiven Wandler aufweist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß der Druckaufnehmer einen kapazitiven Wandler aufweist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß der Drucka fnehmer als Halbleiterbauelement ausgebildet ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß der D uckaufnehmer einen mechano-optischen Wandler aufweist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß der Druckaufnehmer (2) ein- koppelseitig mit der Übertragungsstrecke, vorzugsweise ei¬ nem Lichtwellenleiter (6), akustisch steif verbunden ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß der Druckaufnehmer (23) mit dem zu bearbeitenden Material (4) akustisch steif verbun¬ den ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß der Druckaufnehmer (22) einentsprechend einem Mikrofon über eine gas-, insbesonde- re luft-, oder flüssigkeitsgebundene akustische Übertra¬ gungsstrecke mit dem zu bearbeitenden Material (4) verbun¬ den ist.
12. Vorrichtung nach einem Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß das Ausgangssignal des Druckaufnehmers stoßwellenproportional ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß dem Druckaufnehmer ein elektrisches Bandpaßfilter nachgeschaltet ist, welches für Störsignalen, die durch die normale Handhabung entstehen können, sperrend wirkt.
14. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß die Regelstufe zur Beein¬ flussung der Laserstrahlung einen Diskriminatorverstärker aufweist.
15. Vorrichtung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß die Regelstufe eine Schal¬ tung zur Veränderung der Impulsrate und/oder der Intensi¬ tät der Laserquelle aufweist. * * * * *
PCT/DE1990/000822 1989-10-25 1990-10-25 Verfahren und vorrichtung zur regelung gepulster lasersysteme WO1991006395A1 (de)

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