UA89911U - Высокочастотный генератор нетермической плазмы атмосферного давления - Google Patents

Высокочастотный генератор нетермической плазмы атмосферного давления

Info

Publication number
UA89911U
UA89911U UAU201307319U UAU201307319U UA89911U UA 89911 U UA89911 U UA 89911U UA U201307319 U UAU201307319 U UA U201307319U UA U201307319 U UAU201307319 U UA U201307319U UA 89911 U UA89911 U UA 89911U
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
electrodes
low
potential
plate
dielectric plate
Prior art date
Application number
UAU201307319U
Other languages
English (en)
Ukrainian (uk)
Inventor
Володимир Юрійович Баженов
Анатолій Іванович Кузьмичев
Віктор Михайлович Піун
В'ячеслав Володимирович Ціолко
Роман Юрійович Чаплинський
Original Assignee
Інститут Фізики Національної Академії Наук України
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Інститут Фізики Національної Академії Наук України filed Critical Інститут Фізики Національної Академії Наук України
Priority to UAU201307319U priority Critical patent/UA89911U/ru
Publication of UA89911U publication Critical patent/UA89911U/ru

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Высокочастотный генератор нетермический плазмы атмосферного давления содержит плоские металлические низкопотенциальный и высокопотенциальный электроды, первую диэлектрическую пластину, размещенную на одном из электродов, нижний конец которой выступает за пределы электродов, каналы подвода рабочих газов в разрядный промежуток между названными электродами, подложку, которая размещена напротив открытого торца названных электродов на подвижном металлическом рабочем столике, который соединен с землей и покрыт второй диэлектрической пластиной, причем дополнительно содержит третью диэлектрическую пластину таким образом, что первая диэлектрическая пластина размещена на поверхности высокопотенциального электрода, вторая размещена на поверхности металлического рабочего столика, а третья находится на поверхности низкопотенциального электрода, нижний конец первой и третьей диэлектрических пластин выступает за пределы металлических электродов, а напряжение от источника питания к высокопотенциальному электроду подается через конденсатор, а к низкопотенциальнму – при помощи емкостного делителя напряжения.
UAU201307319U 2013-06-10 2013-06-10 Высокочастотный генератор нетермической плазмы атмосферного давления UA89911U (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAU201307319U UA89911U (ru) 2013-06-10 2013-06-10 Высокочастотный генератор нетермической плазмы атмосферного давления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAU201307319U UA89911U (ru) 2013-06-10 2013-06-10 Высокочастотный генератор нетермической плазмы атмосферного давления

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA89911U true UA89911U (ru) 2014-05-12

Family

ID=52281272

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UAU201307319U UA89911U (ru) 2013-06-10 2013-06-10 Высокочастотный генератор нетермической плазмы атмосферного давления

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA89911U (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MX2018001259A (es) Aparato y método de diseño de energía eléctrica para soplete de plasma cc.
WO2010117970A3 (en) Multifrequency capacitively coupled plasma etch chamber
EP3631836A4 (en) PIECE RF POWER SYSTEMS AND METHODS FOR PROVIDING PRE-DISTRIBUTED RF POLARIZATION VOLTAGE SIGNALS TO AN ELECTRODE IN A PROCESSING CHAMBER
TR201901068T4 (tr) Bir dielektrik bariyer plazma deşarjı oluşması için elektrot düzenlemesi.
MY183557A (en) Plasma cvd device and plasma cvd method
TW200943413A (en) Plasma processing apparatus
AR087334A1 (es) Atomizador electrostatico, y metodo para atomizar electrostaticamente mediante el uso del mismo
WO2012134199A3 (ko) 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치
WO2013156352A3 (de) Plasmaroller
MX2015008261A (es) Dispositivo de bombardeo de iones y metodo para usar el mismo para limpiar una superficie de sustrato.
WO2013130046A3 (en) Extended cascade plasma gun
MX2016013234A (es) Generacion de plasma de resonador de cavidad coaxial de señal doble.
IN2014DN07683A (ru)
NZ704253A (en) Apparatus and method for the plasma coating of a substrate, in particular a press platen
MX2014006252A (es) Celda de plasma no termica.
EP4226999A3 (en) Plasma reactor for liquid and gas and related methods
EP2738381A3 (en) Ignition system
UA89911U (ru) Высокочастотный генератор нетермической плазмы атмосферного давления
MX2017014909A (es) Dispositivo portátil utilizado especialmente para electrofulguracion y electrodesecacion.
WO2020239221A8 (en) Integrated component and power switching device
WO2015048827A3 (en) Measurement of electrical variables on a dc furnace
TW201612944A (en) Plasma processing apparatus
RU2012100143A (ru) Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом
WO2013130149A3 (en) Gas treatment using surface plasma and devices therefrom
WO2012036491A3 (ko) 누설 전류형 변압기를 이용한 플라즈마 처리장치