Институт Металлофизики Им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии Наук Украины
Общество с ограниченной ответственностью "СЕМПОН-2"
Открытое Акционерное Общество "Нии Точного Машиностроения"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Металлофизики Им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии Наук Украины, Общество с ограниченной ответственностью "СЕМПОН-2", Открытое Акционерное Общество "Нии Точного Машиностроения"filedCriticalИнститут Металлофизики Им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии Наук Украины
Priority to UAA201015237UpriorityCriticalpatent/UA87747U/ru
Priority to RU2011113235Aprioritypatent/RU2482216C2/ru
Publication of UA87747UpublicationCriticalpatent/UA87747U/ru
Плазменное устройство нанесения многослойных пленочных покрытий содержит технологическую вакуумную камеру со средствами откачки и систему напуска и дозирования технологического газа, два или более расположенных вертикально по периферии камеры дуговых источника материалов, наносимых с источниками питания, столик с подкладкой, который расположен горизонтально и осесимметрично в нижней части камеры, и магнитную систему. Технологическая камера сверху имеет диэлектрическое окно с электродом возбуждения разряда, который через устройство согласования соединен с ВЧ генератором. Магнитная система, которая охватывает камер
UAA201015237U2010-12-172010-12-17ПЛАЗМЕННое УСТРОЙСТВО НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ пленочных покрытий
UA87747U
(ru)