UA8682A1 - СПОСІБ ОДЕРЖАHHЯ HІТРИДУ КРЕМHІЮ З ПЕРЕВАЖHИМ ВМІСТОМ alРha-ФАЗИ - Google Patents

СПОСІБ ОДЕРЖАHHЯ HІТРИДУ КРЕМHІЮ З ПЕРЕВАЖHИМ ВМІСТОМ alРha-ФАЗИ

Info

Publication number
UA8682A1
UA8682A1 UA4474161A UA4474161A UA8682A1 UA 8682 A1 UA8682 A1 UA 8682A1 UA 4474161 A UA4474161 A UA 4474161A UA 4474161 A UA4474161 A UA 4474161A UA 8682 A1 UA8682 A1 UA 8682A1
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
silicon nitride
alpha
preparation
phase
predominant content
Prior art date
Application number
UA4474161A
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Inventor
Тетяна Яківна Косолапова
Татьяна Яковна Косолапова
Леонід Леонідович Сухих
Леонид Леонидович Сухих
Леонід Михайлович Авербух
Леонид Михайлович Авербух
Михайло Шикович Окунєв
Михаил Шикович Окунев
Тамара Сергіївна Бартницька
Тамара Сергеевна Бартницкая
Світлана Hикифорівна Мацегора
Сергій Олексійович Фірстов
Сергей Алексеевич Фирстов
Original Assignee
Інститут Проблем Матеріалознавства Ім. І.М. Францевича Ан України
Институт проблем материаловедения им. И.М. Францевича АН Украины
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Інститут Проблем Матеріалознавства Ім. І.М. Францевича Ан України, Институт проблем материаловедения им. И.М. Францевича АН Украины filed Critical Інститут Проблем Матеріалознавства Ім. І.М. Францевича Ан України
Priority to UA4474161A priority Critical patent/UA8682A1/uk
Publication of UA8682A1 publication Critical patent/UA8682A1/uk

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

Спосіб включає азотування кремнію азотом при високих температурах. З метою підвищення виходу нітриду кремнію, перед азотуванням кремній обробляють рідким азотом або воднем.
UA4474161A 1988-08-15 1988-08-15 СПОСІБ ОДЕРЖАHHЯ HІТРИДУ КРЕМHІЮ З ПЕРЕВАЖHИМ ВМІСТОМ alРha-ФАЗИ UA8682A1 (uk)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA4474161A UA8682A1 (uk) 1988-08-15 1988-08-15 СПОСІБ ОДЕРЖАHHЯ HІТРИДУ КРЕМHІЮ З ПЕРЕВАЖHИМ ВМІСТОМ alРha-ФАЗИ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA4474161A UA8682A1 (uk) 1988-08-15 1988-08-15 СПОСІБ ОДЕРЖАHHЯ HІТРИДУ КРЕМHІЮ З ПЕРЕВАЖHИМ ВМІСТОМ alРha-ФАЗИ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA8682A1 true UA8682A1 (uk) 1996-09-30

Family

ID=74594184

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA4474161A UA8682A1 (uk) 1988-08-15 1988-08-15 СПОСІБ ОДЕРЖАHHЯ HІТРИДУ КРЕМHІЮ З ПЕРЕВАЖHИМ ВМІСТОМ alРha-ФАЗИ

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA8682A1 (uk)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO942415L (no) Fremgangsmåte for fremstilling av behandling av surgass og hydrokarbonvæskeströmmer
ZA897579B (en) Process for the synthesis of polymers based on boron and nitrogen
AU620518B2 (en) Process for the preparation of a, w -diamines
DE3471292D1 (en) A process for the production of silicon nitride
AU6975587A (en) Process for the preparation of iminodiacetonitrile
UA8682A1 (uk) СПОСІБ ОДЕРЖАHHЯ HІТРИДУ КРЕМHІЮ З ПЕРЕВАЖHИМ ВМІСТОМ alРha-ФАЗИ
EP0264744A3 (en) Process for the preparation of 4,4'-diaminodiphenylmethane and its derivatives.
GB8709648D0 (en) Chemical process
EP0240869A3 (en) Process for the preparation of silicon nitride
JPS53133600A (en) Production of silicon nitride
IL82937A (en) 4-benzoyloxy-3-pyrrolin-2-on-1-yl acetamide,process for the preparation thereof and the use thereof
AU596688B2 (en) Process for the production of low carbon silicon
EP0328345A3 (en) Method of preparing beta-2',2'-difluoronucleosides
JPS6437028A (en) Manufacture of semiconductor element
DE3660188D1 (en) Process for the preparation of methyl n-methylanthranilate
EP0237860A3 (en) Process for the preparation of low carbon content silicon nitride
ES458767A1 (es) Procedimiento para la separacion de 4 4'-diaminodifenilmeta-no.
JPS5326663A (en) Manu facture of semiconductor device
EP0294921A3 (en) Thiapyrylium dyes useful as anti-cancer agents
JPS6414199A (en) Production of high purity beta-form silicon nitride whisker
DE3060595D1 (en) Process for preparing 4-amino-5-chloro-1-phenylpyridazone-(6)
IL82503A0 (en) Process for the promination of biphenols
IL66693A0 (en) Preparation of tetramethyloxirane
UA18649A (uk) Пристрій для вирощуваhhя плоских хвилеводів hа осhові сполук a2b6
CA2019997A1 (en) Process for preparing bromodifluoroacetylfluoride