Інститут Проблем Матеріалознавства Ім. І.М. Францевича Ан України
Институт проблем материаловедения им. И.М. Францевича АН Украины
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Інститут Проблем Матеріалознавства Ім. І.М. Францевича Ан України, Институт проблем материаловедения им. И.М. Францевича АН УкраиныfiledCriticalІнститут Проблем Матеріалознавства Ім. І.М. Францевича Ан України
Priority to UA4474161ApriorityCriticalpatent/UA8682A1/uk
Publication of UA8682A1publicationCriticalpatent/UA8682A1/uk
Спосіб включає азотування кремнію азотом при високих температурах. З метою підвищення виходу нітриду кремнію, перед азотуванням кремній обробляють рідким азотом або воднем.
UA4474161A1988-08-151988-08-15СПОСІБ ОДЕРЖАHHЯ HІТРИДУ КРЕМHІЮ З ПЕРЕВАЖHИМ ВМІСТОМ alРha-ФАЗИ
UA8682A1
(uk)