UA30450U - Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів - Google Patents

Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів Download PDF

Info

Publication number
UA30450U
UA30450U UAU200712422U UAU200712422U UA30450U UA 30450 U UA30450 U UA 30450U UA U200712422 U UAU200712422 U UA U200712422U UA U200712422 U UAU200712422 U UA U200712422U UA 30450 U UA30450 U UA 30450U
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
chamber
reaction chamber
vacuum
vacuum seal
application
Prior art date
Application number
UAU200712422U
Other languages
English (en)
Russian (ru)
Inventor
Татьяна Владимировна Лоскутова
Марина Николаевна Бобина
Виктор Гаврилович Хижняк
Инна Сергеевна Погребова
Андрей Борисович Бобин
Андрей Иванович Дегула
Тарас Михайлович Згурской
Original Assignee
Национальный Технический Университет Украины "Киевский Политехнический Институт"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Национальный Технический Университет Украины "Киевский Политехнический Институт" filed Critical Национальный Технический Университет Украины "Киевский Политехнический Институт"
Priority to UAU200712422U priority Critical patent/UA30450U/uk
Publication of UA30450U publication Critical patent/UA30450U/uk

Links

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів містить корпус та кришку, які виготовлені з жаростійкої сталі, між якими розташоване вакуумне ущільнення, при цьому до кришки камери прикріплена з можливістю перегортання ємність, в яку завантажують насичуючу суміш, всередині камери розміщена вставка для розташування виробів, що підлягають обробці, яка розташована в стакані з графітовим дном. Вакуумне ущільнення виготовлено з силастику.

Description

Опис винаходу
Корисна модель відноситься до галузі хіміко-термічної обробки та може широко використовуватись в 2 машинобудуванні, приладобудуванні та інших галузях промисловості для підвищення експлуатаційних характеристик виробів.
Найбільш близькою є реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів на основі перехідних металів та деяких металоїдів, яка (описана в патенті України Мо54926 опубл. в бюлетені "Промислова власність" Мо3, 2003) на конструкцію реакційної камери. 70 Знежирені вироби розміщують в стакан, який виготовлений з інертного жаростійкого матеріалу (ситал, алунд, кварцове скло) з графітовим дном, який завантажують в реакційну камеру, яка виготовлена з жаростійкої сталі 12Х18НОеТ.
Зверху камеру закривають кришкою, при цьому до кришки камери прикріплена з можливістю перегортання ємність, в яку завантажують насичуючу суміш. В камері між корпусом і кришкою розміщено вакуумне ущільнення, т яке виготовлено з гумового матеріалу. Після герметизації в реакційній камері створюють вакуум 10 7 Па за допомогою форвакуумного насосу. При досягненні вказаного тиску форвакуумний насос відключають, відкривають кран який перекриває проточну воду для охолодження верхньої частини камери (втулки) і проводять нагрівання камери з вмістом до необхідної температури в електропечі. Далі в реакційній камері повторно оо бтворюють вакуумне середовище до тиску 10-мм.рт.ст., після чого вводять насичуючу суміші шляхом перегортання ємності та через кран вводять необхідну кількість чотири хлористого вуглецю.
Охолодження зразків із нанесеним покриттям здійснюється разом із реакційною камерою, яку після завершення процесу виймають з печі.
Фазовий склад і основні характеристики карбідних покриттів (товщина, мікротвердість, мікрокрихкість, 25 мікропористість і т.д.) залежать від складу насичуючою суміші, температурно - часовими умовами ведення процесу, кількістю вихідних реагентів, які вводяться в реакційний простір, наявністю вакууму під час - насичення, тиску в реакційній камері.
Раціональна витрата порошків карбідсутворюючих елементів, які використовуються при нанесенні покриттів становить 0,03-0,О4кг/м.кв. о
Недоліком проведення процесу насичення в цій установці є використання матеріалу з якого виготовлено вакуумне ущільнення - вакуумна гума. Матеріал, з якого виготовлено вакуумне ущільнення з часом та при Ів) недостатньому охолодженні верхньої частини реакційної камери втрачає еластичність і , як слідство, недостатньо утримує вакуум і тиск в реакційній камері та стає недостатньо герметичним, потребує дуже ч обережного ставлення при проведенні технологічного процесу. «в
В основу корисної моделі поставлено задачу удосконалити реакційну камеру, шляхом заміни матеріалу, з со якого виготовлене вакуумне ущільнення, що дає можливість підвищити строк експлуатації та знизити вимоги щодо його використання.
Поставлена задача досягається тим, що в реакційній камері для нанесення дифузійних покриттів, що містить корпус та кришку, які виготовлені з жаростійкої сталі, між якими розташоване вакуумне ущільнення, при цьому « 0. Во кришки камери прикріплена з можливістю перегортання емність, в яку завантажують насичуючу суміш, в - середині камери розміщена вставка, для розташування виробів, що підлягають обробці, яка розташована в с стакані з графітовим дном, новим є те, що вакуумне ущільнення виготовлено з силастику. Цей матеріал має :з» високу еластичність до 42002 и досить широко використовується у сучасній техніці в якості прокладок для герметизації.
Суть корисної моделі пояснюється кресленням, де зображено реакційну камеру. с» Реакційна камера містить корпус 1 та кришку 2, якою камера закрита, які виготовлені з жаростійкої сталі 12Х18Н9Т. В камері між корпусом і кришкою розміщено вакуумне ущільнення 3, яке виготовлено з силастику. До (ав) корпусу приварена втулка 4 для охолодження вакуумного ущільнення до якої підключен кран (5) який їх перекриває проточну воду для охолодження верхньої частини камери (втулки). До кришки за допомогою 20 шарнірного кріплення 6 та магнітного замку 7 пристосовується ємність 8 з завантаженим металізатором. Вироби 1 9, що підлягають обробці, розміщені на вставці 10, яка, в свою чергу, розташована в стакані 11, який о виготовлено з інертного жаростійкого матеріалу та дна 12, виготовленого з графіту та вільно вставленого в трубу.
Процес насичення в реакційній камері нової конструкції здійснюється наступним чином: знежирені вироби 9 вв На спеціальній вставці 10 розміщують в стакані 11, який виготовлено з інертного жаростійкого матеріалу, з графітовим дном 12 і завантажують в реакційну камеру. В камері між корпусом і кришкою розміщено вакуумне с ущільнення, яке виготовлено з силастику. В ємність 8, яка укріплена до кришки камери 2, завантажують металізатор. Камеру з вмістом вакуумують до тису 10"мм.рт.ст., відкривають кран який перекриває проточну воду для охолодження верхньої частини камери, нагрівають до температур насичення, ще раз вакуумують до 6о тису 10"мм.рт.ст. Після цього вводять металізатор, для чого відмикають магнітний замок 7 та перегортають вміст ємкісні 8 в стакан. Далі вводять чотирихлористий вуглець та здійснюють витримку. Після закінчення процесу нанесення покриттів виріб разом з камерою охолоджують до кімнатної температури.
Кількість можливих використань вакуумного ущільнення без втрати еластичності та збереженні вакууму в залежності від температури в верхній частині реакційної камери наведені в таблиці 1. 65 Приклади в таблиці 1 - 1-8 відносяться до прототипу, 9-17 з використанням в якості вакуумного ущільнення силастику.
Таблиця 1
Порівняльні випробування ущільнень, зроблених з вакуумної гуми та силастику
Мо п/п. Температура Тиск в реакційній Тиск в реакційній Температура в верхній Кількість можливих використань ведення процесу, (камері на початку камері під час частині реакційної вакуумного ущільнення без втрати с проведення процесу, Па проведення процесу, Па камери, С ізолюючих властивостей
Таким чином заміна матеріалу з якого виготовлено вакуумне ущільнення дає можливість підвищити строк експлуатації та знизити вимоги щодо його використання.
Запропонована камера для нанесення покриттів на основі будь-яких перехідних металів не складна з І «в технологічної точки зору, вибухобезпечна, не вимагає висококваліфікованого обслуговуючого персоналу, ою екологічно чиста.

Claims (1)

  1. Формула винаходу І ав Ге) Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів, що містить корпус та кришку, які виготовлені з жаростійкої сталі, між якими розташоване вакуумне ущільнення, при цьому до кришки камери прикріплена з можливістю перегортання ємність, в яку завантажують насичуючу суміш, всередині камери розміщена вставка для розташування виробів, що підлягають обробці, яка розташована в стакані з графітовим дном, « яка відрізняється тим, що вакуумне ущільнення виготовлено з силастику. -о . а бо (ав)
    1 с2 бо б5
UAU200712422U 2007-11-08 2007-11-08 Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів UA30450U (uk)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAU200712422U UA30450U (uk) 2007-11-08 2007-11-08 Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UAU200712422U UA30450U (uk) 2007-11-08 2007-11-08 Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA30450U true UA30450U (uk) 2008-02-25

Family

ID=39818037

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UAU200712422U UA30450U (uk) 2007-11-08 2007-11-08 Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA30450U (uk)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW200745372A (en) Catalyst body chemical vapor phase growing apparatus
CN105331949B (zh) 一种制备氮化碳薄膜的方法
UA86810C2 (uk) Барботер для забезпечення випаруваної речовини у процесі хімічного осадження з парової фази
PL367092A1 (en) Substrate with photocatalytic coating
WO2008078502A1 (ja) 成膜装置および成膜方法
CA2269862A1 (en) Apparatus and process for controlled atmosphere chemical vapor deposition
ATE551438T1 (de) Cvd-reaktor mit absenkbarer prozesskammerdecke
TW200606276A (en) Vacuum film-forming apparatus
GB2167773A (en) Improvements in or relating to coating processes
WO2007062264A3 (en) Gas storage container linings formed with chemical vapor deposition
Nishimoto et al. Effect of surface deposits on nitriding layer formation of active screen plasma nitriding
MY162042A (en) Manufacturing apparatus for depositing a material on a carrier body
ATE433069T1 (de) Dichtung in hochdruckeinrichtungen
RU2011105001A (ru) Способ нанесения покрытия и антикоррозионное покрытие для компонентов турбин
KR101718412B1 (ko) 흑연의 표면처리를 위한 박막 코팅 장치 및 그 방법
UA30450U (uk) Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів
TW200639928A (en) Thin-film forming apparatus
BR112018077235A2 (pt) processos de infiltração ou de depósito químico em fase vapor e de fabricação de uma peça de material compósito.
Rie et al. Development of zirconium and boron containing coatings for the application on aluminium diecasting tools by means of MO–PACVD
CN207276694U (zh) 一种通过离子轰击进行表面处理的加热炉
US20160002775A1 (en) Multilayer liner for chemical vapor deposition furnace
RU172394U1 (ru) Устройство для атомно-слоевого осаждения
EP1803834A3 (en) Method of forming carbon fibers using metal-organic chemical vapor deposition
CN103874316B (zh) 一种实验室用感应等离子处理设备的设计
UA62738A (en) A method for applying diffusion coatings on materials