UA30450U - Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів - Google Patents
Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів Download PDFInfo
- Publication number
- UA30450U UA30450U UAU200712422U UAU200712422U UA30450U UA 30450 U UA30450 U UA 30450U UA U200712422 U UAU200712422 U UA U200712422U UA U200712422 U UAU200712422 U UA U200712422U UA 30450 U UA30450 U UA 30450U
- Authority
- UA
- Ukraine
- Prior art keywords
- chamber
- reaction chamber
- vacuum
- vacuum seal
- application
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims abstract description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229920000260 silastic Polymers 0.000 claims abstract description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 238000009738 saturating Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002738 metalloids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів містить корпус та кришку, які виготовлені з жаростійкої сталі, між якими розташоване вакуумне ущільнення, при цьому до кришки камери прикріплена з можливістю перегортання ємність, в яку завантажують насичуючу суміш, всередині камери розміщена вставка для розташування виробів, що підлягають обробці, яка розташована в стакані з графітовим дном. Вакуумне ущільнення виготовлено з силастику.
Description
Опис винаходу
Корисна модель відноситься до галузі хіміко-термічної обробки та може широко використовуватись в 2 машинобудуванні, приладобудуванні та інших галузях промисловості для підвищення експлуатаційних характеристик виробів.
Найбільш близькою є реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів на основі перехідних металів та деяких металоїдів, яка (описана в патенті України Мо54926 опубл. в бюлетені "Промислова власність" Мо3, 2003) на конструкцію реакційної камери. 70 Знежирені вироби розміщують в стакан, який виготовлений з інертного жаростійкого матеріалу (ситал, алунд, кварцове скло) з графітовим дном, який завантажують в реакційну камеру, яка виготовлена з жаростійкої сталі 12Х18НОеТ.
Зверху камеру закривають кришкою, при цьому до кришки камери прикріплена з можливістю перегортання ємність, в яку завантажують насичуючу суміш. В камері між корпусом і кришкою розміщено вакуумне ущільнення, т яке виготовлено з гумового матеріалу. Після герметизації в реакційній камері створюють вакуум 10 7 Па за допомогою форвакуумного насосу. При досягненні вказаного тиску форвакуумний насос відключають, відкривають кран який перекриває проточну воду для охолодження верхньої частини камери (втулки) і проводять нагрівання камери з вмістом до необхідної температури в електропечі. Далі в реакційній камері повторно оо бтворюють вакуумне середовище до тиску 10-мм.рт.ст., після чого вводять насичуючу суміші шляхом перегортання ємності та через кран вводять необхідну кількість чотири хлористого вуглецю.
Охолодження зразків із нанесеним покриттям здійснюється разом із реакційною камерою, яку після завершення процесу виймають з печі.
Фазовий склад і основні характеристики карбідних покриттів (товщина, мікротвердість, мікрокрихкість, 25 мікропористість і т.д.) залежать від складу насичуючою суміші, температурно - часовими умовами ведення процесу, кількістю вихідних реагентів, які вводяться в реакційний простір, наявністю вакууму під час - насичення, тиску в реакційній камері.
Раціональна витрата порошків карбідсутворюючих елементів, які використовуються при нанесенні покриттів становить 0,03-0,О4кг/м.кв. о
Недоліком проведення процесу насичення в цій установці є використання матеріалу з якого виготовлено вакуумне ущільнення - вакуумна гума. Матеріал, з якого виготовлено вакуумне ущільнення з часом та при Ів) недостатньому охолодженні верхньої частини реакційної камери втрачає еластичність і , як слідство, недостатньо утримує вакуум і тиск в реакційній камері та стає недостатньо герметичним, потребує дуже ч обережного ставлення при проведенні технологічного процесу. «в
В основу корисної моделі поставлено задачу удосконалити реакційну камеру, шляхом заміни матеріалу, з со якого виготовлене вакуумне ущільнення, що дає можливість підвищити строк експлуатації та знизити вимоги щодо його використання.
Поставлена задача досягається тим, що в реакційній камері для нанесення дифузійних покриттів, що містить корпус та кришку, які виготовлені з жаростійкої сталі, між якими розташоване вакуумне ущільнення, при цьому « 0. Во кришки камери прикріплена з можливістю перегортання емність, в яку завантажують насичуючу суміш, в - середині камери розміщена вставка, для розташування виробів, що підлягають обробці, яка розташована в с стакані з графітовим дном, новим є те, що вакуумне ущільнення виготовлено з силастику. Цей матеріал має :з» високу еластичність до 42002 и досить широко використовується у сучасній техніці в якості прокладок для герметизації.
Суть корисної моделі пояснюється кресленням, де зображено реакційну камеру. с» Реакційна камера містить корпус 1 та кришку 2, якою камера закрита, які виготовлені з жаростійкої сталі 12Х18Н9Т. В камері між корпусом і кришкою розміщено вакуумне ущільнення 3, яке виготовлено з силастику. До (ав) корпусу приварена втулка 4 для охолодження вакуумного ущільнення до якої підключен кран (5) який їх перекриває проточну воду для охолодження верхньої частини камери (втулки). До кришки за допомогою 20 шарнірного кріплення 6 та магнітного замку 7 пристосовується ємність 8 з завантаженим металізатором. Вироби 1 9, що підлягають обробці, розміщені на вставці 10, яка, в свою чергу, розташована в стакані 11, який о виготовлено з інертного жаростійкого матеріалу та дна 12, виготовленого з графіту та вільно вставленого в трубу.
Процес насичення в реакційній камері нової конструкції здійснюється наступним чином: знежирені вироби 9 вв На спеціальній вставці 10 розміщують в стакані 11, який виготовлено з інертного жаростійкого матеріалу, з графітовим дном 12 і завантажують в реакційну камеру. В камері між корпусом і кришкою розміщено вакуумне с ущільнення, яке виготовлено з силастику. В ємність 8, яка укріплена до кришки камери 2, завантажують металізатор. Камеру з вмістом вакуумують до тису 10"мм.рт.ст., відкривають кран який перекриває проточну воду для охолодження верхньої частини камери, нагрівають до температур насичення, ще раз вакуумують до 6о тису 10"мм.рт.ст. Після цього вводять металізатор, для чого відмикають магнітний замок 7 та перегортають вміст ємкісні 8 в стакан. Далі вводять чотирихлористий вуглець та здійснюють витримку. Після закінчення процесу нанесення покриттів виріб разом з камерою охолоджують до кімнатної температури.
Кількість можливих використань вакуумного ущільнення без втрати еластичності та збереженні вакууму в залежності від температури в верхній частині реакційної камери наведені в таблиці 1. 65 Приклади в таблиці 1 - 1-8 відносяться до прототипу, 9-17 з використанням в якості вакуумного ущільнення силастику.
Таблиця 1
Порівняльні випробування ущільнень, зроблених з вакуумної гуми та силастику
Мо п/п. Температура Тиск в реакційній Тиск в реакційній Температура в верхній Кількість можливих використань ведення процесу, (камері на початку камері під час частині реакційної вакуумного ущільнення без втрати с проведення процесу, Па проведення процесу, Па камери, С ізолюючих властивостей
Таким чином заміна матеріалу з якого виготовлено вакуумне ущільнення дає можливість підвищити строк експлуатації та знизити вимоги щодо його використання.
Запропонована камера для нанесення покриттів на основі будь-яких перехідних металів не складна з І «в технологічної точки зору, вибухобезпечна, не вимагає висококваліфікованого обслуговуючого персоналу, ою екологічно чиста.
Claims (1)
- Формула винаходу І ав Ге) Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів, що містить корпус та кришку, які виготовлені з жаростійкої сталі, між якими розташоване вакуумне ущільнення, при цьому до кришки камери прикріплена з можливістю перегортання ємність, в яку завантажують насичуючу суміш, всередині камери розміщена вставка для розташування виробів, що підлягають обробці, яка розташована в стакані з графітовим дном, « яка відрізняється тим, що вакуумне ущільнення виготовлено з силастику. -о . а бо (ав)1 с2 бо б5
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAU200712422U UA30450U (uk) | 2007-11-08 | 2007-11-08 | Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
UAU200712422U UA30450U (uk) | 2007-11-08 | 2007-11-08 | Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
UA30450U true UA30450U (uk) | 2008-02-25 |
Family
ID=39818037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
UAU200712422U UA30450U (uk) | 2007-11-08 | 2007-11-08 | Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
UA (1) | UA30450U (uk) |
-
2007
- 2007-11-08 UA UAU200712422U patent/UA30450U/uk unknown
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW200745372A (en) | Catalyst body chemical vapor phase growing apparatus | |
CN105331949B (zh) | 一种制备氮化碳薄膜的方法 | |
UA86810C2 (uk) | Барботер для забезпечення випаруваної речовини у процесі хімічного осадження з парової фази | |
PL367092A1 (en) | Substrate with photocatalytic coating | |
WO2008078502A1 (ja) | 成膜装置および成膜方法 | |
CA2269862A1 (en) | Apparatus and process for controlled atmosphere chemical vapor deposition | |
ATE551438T1 (de) | Cvd-reaktor mit absenkbarer prozesskammerdecke | |
TW200606276A (en) | Vacuum film-forming apparatus | |
GB2167773A (en) | Improvements in or relating to coating processes | |
WO2007062264A3 (en) | Gas storage container linings formed with chemical vapor deposition | |
Nishimoto et al. | Effect of surface deposits on nitriding layer formation of active screen plasma nitriding | |
MY162042A (en) | Manufacturing apparatus for depositing a material on a carrier body | |
ATE433069T1 (de) | Dichtung in hochdruckeinrichtungen | |
RU2011105001A (ru) | Способ нанесения покрытия и антикоррозионное покрытие для компонентов турбин | |
KR101718412B1 (ko) | 흑연의 표면처리를 위한 박막 코팅 장치 및 그 방법 | |
UA30450U (uk) | Реакційна камера для нанесення дифузійних покриттів | |
TW200639928A (en) | Thin-film forming apparatus | |
BR112018077235A2 (pt) | processos de infiltração ou de depósito químico em fase vapor e de fabricação de uma peça de material compósito. | |
Rie et al. | Development of zirconium and boron containing coatings for the application on aluminium diecasting tools by means of MO–PACVD | |
CN207276694U (zh) | 一种通过离子轰击进行表面处理的加热炉 | |
US20160002775A1 (en) | Multilayer liner for chemical vapor deposition furnace | |
RU172394U1 (ru) | Устройство для атомно-слоевого осаждения | |
EP1803834A3 (en) | Method of forming carbon fibers using metal-organic chemical vapor deposition | |
CN103874316B (zh) | 一种实验室用感应等离子处理设备的设计 | |
UA62738A (en) | A method for applying diffusion coatings on materials |