UA13657A1 - Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы - Google Patents

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Info

Publication number
UA13657A1
UA13657A1 UA3683344A UA3683344A UA13657A1 UA 13657 A1 UA13657 A1 UA 13657A1 UA 3683344 A UA3683344 A UA 3683344A UA 3683344 A UA3683344 A UA 3683344A UA 13657 A1 UA13657 A1 UA 13657A1
Authority
UA
Ukraine
Prior art keywords
coverings
application
gaseous phase
pumping
reactor
Prior art date
Application number
UA3683344A
Other languages
English (en)
Ukrainian (uk)
Inventor
Вадим Михайлович Криворучко
Ігор Стефанович Лісний
Игорь Стефанович Лисный
Дмитро Миколайович Огієнко
Дмитрий Николаевич Огиенко
Original Assignee
Харківський Фізико-Технічний Інститут
Харьковский физико-технический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Харківський Фізико-Технічний Інститут, Харьковский физико-технический институт filed Critical Харківський Фізико-Технічний Інститут
Priority to UA3683344A priority Critical patent/UA13657A1/ru
Publication of UA13657A1 publication Critical patent/UA13657A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы содержит реактор цилиндрической формы, индуктор, средство ввода газовой смеси, средства откачки и улавливания продуктов реакции. С целью повышения эффективности использования материала покрытия при обработке цилиндрических изделий с торцевыми поверхностями оно снабжено дефлектором с отверстием, установленным на реакторе со стороны откачки.
UA3683344A 1984-01-02 1984-01-02 Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы UA13657A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA3683344A UA13657A1 (ru) 1984-01-02 1984-01-02 Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
UA3683344A UA13657A1 (ru) 1984-01-02 1984-01-02 Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Publications (1)

Publication Number Publication Date
UA13657A1 true UA13657A1 (ru) 1997-04-25

Family

ID=74549969

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
UA3683344A UA13657A1 (ru) 1984-01-02 1984-01-02 Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы

Country Status (1)

Country Link
UA (1) UA13657A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0360305A3 (de) Verfahren zur Herstellung von Verbundmaterialteilchen und deren Verwendung
TW336885B (en) Composite fuel element for smoking articles
HU9402316D0 (en) Child-proof gas lighter
AU7062091A (en) Method and apparatus for the rapid deposition by chemical vapor deposition with low vapor pressure reactants
GB2050859B (en) Process for the manufacture of gaseous olefins from a carbon oxide and hydrogen and catalysts for this process
DE3666542D1 (en) Gas nozzle assembly
GR3032430T3 (en) Palladium containing metal oxide catalyst.
DE3567818D1 (en) Continuous process for the multistep treating of dispersed solid matters with a gas
EP0396249A3 (en) Movement ozone generator
EP0095748A3 (en) Fuel reformer
GB8727975D0 (en) Gas pressure regulator
ES8606627A1 (es) Un intercambiador de calor,especialmente entre material so- lido pulverulento y un gas
UA13657A1 (ru) Устройство для нанесения покрытий из газовой фазы
EP0192779A4 (en) PEROVSKITE CERAMIC MATERIAL AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME.
GB9309796D0 (en) A multifunctional valve with a thermoelectric safety feature for the gas burners of heating appliances in general
CA2165006A1 (en) Laminar Flow Burner
GR3020581T3 (en) Process for the preparation of linear alkylbenzenes
MX9505078A (es) Procedimientos para la preparacion de halogenodifluoroacetatos de alquilo.
GB8514935D0 (en) Gas pressure regulator
Garraway et al. Gas-phase reaction of OH with alkyl iodides
EP0223439A3 (en) Catalyst precursors
GR3007537T3 (ru)
TW284755B (en) Process for producing styrene from 4-vinylcyclohexene
USD280727S (en) Pump for injecting an odorous material into a natural gas line
EP0437811A3 (en) Gas pressure regulator