TWM621139U - 曲面加工雷射裝置 - Google Patents
曲面加工雷射裝置 Download PDFInfo
- Publication number
- TWM621139U TWM621139U TW110210112U TW110210112U TWM621139U TW M621139 U TWM621139 U TW M621139U TW 110210112 U TW110210112 U TW 110210112U TW 110210112 U TW110210112 U TW 110210112U TW M621139 U TWM621139 U TW M621139U
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- light
- surface processing
- laser
- curved surface
- laser device
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
一種曲面加工雷射裝置,包括一雷射光模組、一第一運動平台、一第一旋轉台及一控制主機。控制主機電連接雷射光模組、第一運動平台及第一旋轉台,統合控制所連接的元件。雷射光模組朝一出光方向輸出一雷射光。雷射光用於在一透光件內部一次性形成沿出光方向延伸的破壞結構。第一運動平台具有一承載台、一第一運動軸及一第二運動軸。第一運動軸及第二運動軸驅使承載台運動於二維平面,該二維平面之法向量平行於該出光方向。第一旋轉台連接於承載台並具有一第一旋轉軸,該第一旋轉軸平行於二維平面之法向量。
Description
本創作是有關於一種雷射技術,尤指一種適於曲面加工的雷射裝置。
目前,玻璃切割可利用鑽石刀來進行切割,然而其切割精度有其極限,且會產生粉塵碎屑,切割邊緣也亦產生裂紋,需要額外進行清潔與拋光處理。
雖然,亦有以雷射燒蝕方式來進行切割,以達到更精細的切割道與切割間距,然而由於雷射燒蝕同樣是在玻璃表面,同樣有粉塵碎屑與裂紋等問題。
本創作一實施例之曲面加工雷射裝置包括一雷射光模組、一第一運動平台、一第一旋轉台及一控制主機。控制主機電連接雷射光模組、第一運動平台及第一旋轉台,統合控制所連接的元件。雷射光模組朝一出光方向輸出一雷射光。雷射光用於在一透光件內部一次性形成沿出光方向延伸的破壞結構。第一運動平台具有一承載台、一第一運動軸及一第二運動軸。第一運動軸及第二運動軸驅使承載台運動於二維平面,該二維平面之法向量平行於該出光方向。第一旋轉台連接於承載台並具有一第一旋轉軸,該第一旋轉軸平行於二維平面之法向量。
依據本創作一些實施例之曲面加工雷射裝置,可對透光件精準地沿曲面製作出破壞結構,以利裂片、切割,並且由於是在透光件內部形成破壞結構,可避免粉屑生成。
參照圖1,係為本創作第一實施例之曲面加工雷射裝置之立體示意圖。曲面加工雷射裝置包括雷射光模組10、第一運動平台20、第一旋轉台30及控制主機40。控制主機40電連接雷射光模組10、第一運動平台20及第一旋轉台30,統合控制所連接的元件。
雷射光模組10朝一出光方向(於此為-Z方向)輸出雷射光11。雷射光11用於在透光件50內部一次性形成沿出光方向延伸的破壞結構51(如圖2至圖5所示)。透光件50可例如是由玻璃或塑膠等材質構成的透光物件(如透明光學鏡片)。第一運動平台20具有一承載台21、第一運動軸22及第二運動軸23。第一運動軸22及第二運動軸23之運動方向相互垂直,而可驅使承載台21運動於二維平面。此二維平面之法向量平行於出光方向。在此,第一運動軸22之運動方向為X方向,第二運動軸23之運動方向為Y方向,二維平面之法向量為Z方向。第一旋轉台30連接於承載台21。第一旋轉台30具有一第一旋轉軸,使得第一旋轉台30依據第一旋轉軸為軸心旋轉。第一旋轉軸平行於二維平面之法向量(即平行於Z方向)。透光件50設置於第一旋轉台30上,透過控制第一運動平台20的運動及第一旋轉台30的轉動,可於透光件50上進行切割路徑為曲線的雷射加工。
參照圖2及圖3,係分別為本創作一些實施例的一實施態樣的雷射加工示意圖及破壞結構51示意圖。在此實施態樣中,破壞結構51是利用超短脈衝雷射光11產生的絲化(filamentation)現象所形成。所述絲化現象是由於雷射光11經過光路元件12(包括一個或多個光學透鏡)在透光件50內部一次性聚焦在光軸上若干不同深度位置,照射至透光件50內部之雷射光11被透光件50吸收而引起晶裂現象,使得透光件50內部晶裂區域52沿著雷射光11之光軸上的若干不同深度位置晶裂痕分解,而形成寬度在數個微米(Micrometer)以下的狹窄晶裂點部位。
參照圖4及圖5,係為本創作一些實施例的另一實施態樣的雷射加工示意圖及破壞結構示意圖。在此實施態樣中,破壞結構51是利用經過光路元件12(包括一個或多個光學透鏡)形成為貝索光束的雷射光11來形成。貝索光束是指具有長焦深的光束。貝索光束照射至透光件50內部,透光件50內部吸收雷射光11能量而在晶裂區域52分解,形成寬度在數個微米以下的狹窄晶裂部位。
參照圖6,係為本創作第二實施例之曲面加工雷射裝置之立體示意圖。與前述第一實施例之差異在於,本實施例之曲面加工雷射裝置還包括有第二旋轉台60。第二旋轉台60電連接控制主機40,設置於承載台21與第一旋轉台30之間。第二旋轉台60具有第二旋轉軸,使得第二旋轉台60依據第二旋轉軸為軸心旋轉。第二旋轉軸的軸向(Y方向)與第一旋轉軸的軸向(Z方向)相互垂直,藉此可控制透光件50於兩種不同軸向旋轉。第二旋轉台60的旋轉台面連接於第一旋轉台30的側面,使得第二旋轉台60旋轉時能帶動第一旋轉台30及其上的透光件50於XZ平面運動。
在一些實施例中,如圖1所示,曲面加工雷射裝置更包括一第二運動平台70,電連接控制主機40,承載雷射光模組10並具有一第三運動軸。於此,第三運動軸是平行於Z方向,以驅使雷射光模組10沿平行於雷射光11的出光方向的軸向運動,從而調整雷射聚焦深度。
在一些實施例中,如圖1所示,曲面加工雷射裝置更包括一視覺模組80,電連接控制主機40,供視覺對位加工位置。
在一些實施例中,如圖1所示,曲面加工雷射裝置更包括一第三運動平台90,電連接控制主機40,承載視覺模組80並具有一第四運動軸。於此,第四運動軸是平行於Z方向,以驅使視覺模組80沿平行於雷射光11的出光方向的軸向運動,從而調整視覺模組80的對焦位置或視野範圍。
在一些實施例中,如圖1所示,曲面加工雷射裝置更包括一測距儀100,電連接控制主機40,以測量加工表面的距離(如相距透光件50的距離)。據此,控制主機40可根據測量距離相應的調整前述第二運動平台70及/或第三運動平台90。測距儀100可例如為紅外線測距儀、超音波測距儀或雷達測距儀等。
合併參照圖7至圖10。圖7至圖9係分別為本創作一些實施例之透光件50之立體示意圖、側視圖及俯視圖。圖10為本創作一些實施例之完成加工的透光件50’之立體示意圖。此加工之目的在於將透光件50之澆口53去除。由於澆口53連接處為曲線,且切面亦可能為斜面或曲面,因此可利用前述的曲面加工雷射裝置製造出相應切割面的破壞結構51,再依據此破壞結構51將兩側分離。
整體流程請參照圖11,係為本創作一些實施例之透光件50加工流程圖。首先,透過人工或機械手臂將透光件50上料至第一旋轉台30(步驟S21)。接著,透過視覺模組80進行視覺對位,並透過測距儀100測量距離(步驟S22)。在步驟S23中,進行雷射切割,以製作出前述破壞結構51。而後,於步驟S24中,將透光件50下料。最後,參照圖12,係為本創作一些實施例之裂片示意圖。在步驟S25中,以裂片治具110對透光件50進行裂片,而可獲得如圖10所示之透光件50’。
上述說明雖是以切割澆口53為例,但本創作並非以此為限,只要是對透光件50之任何切割處理,均可適用。
綜上所述,依據本創作一些實施例之曲面加工雷射裝置,可對透光件50精準地沿曲面製作出破壞結構51,以利裂片、切割,並且由於是在透光件50內部形成破壞結構51,可避免粉屑與裂紋生成。
10:雷射光模組
11:雷射光
12:光路元件
20:第一運動平台
21:承載台
22:第一運動軸
23:第二運動軸
30:第一旋轉台
40:控制主機
50,50’:透光件
51:破壞結構
52:晶裂區域
53:澆口
60:第二旋轉台
70:第二運動平台
80:視覺模組
90:第三運動平台
100:測距儀
110:裂片治具
X,Y,Z:方向
S21:上料
S22:視覺對位與測距
S23:雷射切割
S24:下料
S25:裂片
[圖1]為本創作第一實施例之曲面加工雷射裝置之立體示意圖。
[圖2]為本創作一些實施例的一實施態樣的雷射加工示意圖。
[圖3]為本創作一些實施例的一實施態樣的破壞結構示意圖。
[圖4]為本創作一些實施例的另一實施態樣的雷射加工示意圖。
[圖5]為本創作一些實施例的另一實施態樣的破壞結構示意圖。
[圖6]為本創作第二實施例之曲面加工雷射裝置之立體示意圖。
[圖7]為本創作一些實施例之透光件之立體示意圖。
[圖8]為本創作一些實施例之透光件之側視圖。
[圖9]為本創作一些實施例之透光件之俯視圖。
[圖10]為本創作一些實施例之完成加工的透光件之立體示意圖。
[圖11]為本創作一些實施例之透光件加工流程圖。
[圖12]為本創作一些實施例之裂片示意圖。
10:雷射光模組
20:第一運動平台
21:承載台
22:第一運動軸
23:第二運動軸
30:第一旋轉台
40:控制主機
50:透光件
70:第二運動平台
80:視覺模組
90:第三運動平台
100:測距儀
X,Y,Z:方向
Claims (10)
- 一種曲面加工雷射裝置,包括: 一雷射光模組,朝一出光方向輸出一雷射光,該雷射光用於在一透光件內部一次性形成沿該出光方向延伸的一破壞結構; 一第一運動平台,具有一承載台、一第一運動軸及一第二運動軸,該第一運動軸及該第二運動軸驅使該承載台運動於一二維平面,該二維平面之法向量平行於該出光方向; 一第一旋轉台,連接於該承載台並具有一第一旋轉軸,該第一旋轉軸平行於該二維平面之法向量;及 一控制主機,電連接該雷射光模組、該第一運動平台及該第一旋轉台,統合控制所連接的元件。
- 如請求項1所述之曲面加工雷射裝置,更包括一第二旋轉台,電連接該控制主機,設置於該承載台與該第一旋轉台之間,並具有一第二旋轉軸,該第二旋轉軸的軸向與第一旋轉軸的軸向相互垂直。
- 如請求項2所述之曲面加工雷射裝置,更包括一第二運動平台,電連接該控制主機,承載該雷射光模組並具有一第三運動軸,以驅使該雷射光模組沿平行於該出光方向的軸向運動。
- 如請求項1或2所述之曲面加工雷射裝置,更包括一視覺模組,電連接該控制主機,供視覺對位加工位置。
- 如請求項4所述之曲面加工雷射裝置,更包括一第三運動平台,電連接該控制主機,承載該視覺模組並具有一第四運動軸,以驅使該視覺模組沿平行於該出光方向的軸向運動。
- 如請求項1或2所述之曲面加工雷射裝置,更包括一測距儀,電連接該控制主機,以測量加工表面的距離。
- 如請求項1或2所述之曲面加工雷射裝置,其中該雷射光為貝索光束。
- 如請求項1或2所述之曲面加工雷射裝置,其中該破壞結構是利用該雷射光產生的絲化現象所形成。
- 如請求項1或2所述之曲面加工雷射裝置,其中該透光件為透明光學鏡片。
- 如請求項1或2所述之曲面加工雷射裝置,其中該透光件由玻璃或塑膠之材質構成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW110210112U TWM621139U (zh) | 2021-08-26 | 2021-08-26 | 曲面加工雷射裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW110210112U TWM621139U (zh) | 2021-08-26 | 2021-08-26 | 曲面加工雷射裝置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWM621139U true TWM621139U (zh) | 2021-12-11 |
Family
ID=80680482
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW110210112U TWM621139U (zh) | 2021-08-26 | 2021-08-26 | 曲面加工雷射裝置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
TW (1) | TWM621139U (zh) |
-
2021
- 2021-08-26 TW TW110210112U patent/TWM621139U/zh unknown
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6472347B2 (ja) | ウエーハの薄化方法 | |
KR102475682B1 (ko) | SiC 기판의 분리 방법 | |
JP6486239B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP6482425B2 (ja) | ウエーハの薄化方法 | |
TWI623111B (zh) | 發光元件的製造方法 | |
TWI660802B (zh) | Laser processing device | |
JP5670647B2 (ja) | 加工対象物切断方法 | |
KR101547806B1 (ko) | 멀티 초점을 가지는 비구면 렌즈를 이용한 취성 기판 가공 장치 | |
JP2007021548A (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
TW201918316A (zh) | 雷射加工裝置 | |
JP6334074B1 (ja) | 素子基板の製造方法およびレーザクリーニング装置 | |
JP2005329436A (ja) | レーザ加工方法 | |
JP2012049164A (ja) | 発光デバイスの製造方法 | |
JP2015213941A (ja) | レーザー加工装置 | |
WO2020090918A1 (ja) | レーザ加工装置 | |
TW201913795A (zh) | 使用選擇性聚焦深度的輻射晶片切割 | |
JP2011167718A (ja) | 基板内部加工装置および基板内部加工方法 | |
TW202212036A (zh) | 雷射處理系統及其方法 | |
JP2012156168A (ja) | 分割方法 | |
JP2010029906A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2011147953A (ja) | レーザー加工装置 | |
TWM621139U (zh) | 曲面加工雷射裝置 | |
CN108581189B (zh) | 激光切割方法 | |
TW201728393A (zh) | 雷射加工方法 | |
KR20220126731A (ko) | 레이저 가공 장치 및 레이저 가공 방법 |