TWM606001U - 檢測組件和檢測裝置 - Google Patents

Abstract

本新型揭露一種適用於檢測一待測物之檢測組件及檢測裝置。檢測組件包括分光單元、第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第一影像感測器以及第二影像感測器。第一透鏡與第一影像感測器面向分光單元的第一出光面，第二透鏡與第二影像感測器面向分光單元的第二出光面，而第三透鏡設於待測物和分光單元之間。第一透鏡與第一影像感測器之間的距離和第二透鏡與第二影像感測器之間的距離不相等，以使第一影像感測器與第二影像感測器所感測到之像平面影像等效上係成像於不同的距離之位置的像平面上的像平面影像。

Description

檢測組件和檢測裝置

本新型係關於一種檢測組件和檢測裝置，尤其指一種等效上可同時接收光束於兩個不同距離的位置之像平面上成像之像平面影像的檢測組件和檢測裝置，適用於對光學裝置進行測量其焦點深度的光學檢測。

光學裝置和光學元件，如鏡頭或相機模組、鏡片等等，在出廠前都會經過光學測試以確保其品質和其特性，其中一項檢測為焦點深度(DF，Depth of Focus)的量測。焦點深度是在聚焦平面(focus plane)的前後位置中影像還可保持鮮明的範圍，對於設計光學系統的工程師來說是很重要的數據。

圖1顯示習知檢測光學鏡片的檢測裝置和操作狀態示意圖。檢測裝置10具有物鏡11、鏡筒透鏡13和影像感測器15。光束穿透待測之光學鏡片20，其聚焦平面位於a3處，物鏡11將光束匯聚到鏡筒透鏡13，而鏡筒透鏡13把光束聚焦到影像感測器15以供影像感測器15接收光束。

量測光學鏡片的焦點深度時，檢測裝置10被移動到不同的位置以便感測光束在a3處及a3處前後不同距離的位置(a1、a2、a4、a5，如圖1(a)~(d)所示)之像平面所分別產生之像平面影像。處理器(未示)將影像感測器15接收的像平面影像對應之圖案光束數據化，並計算對比度和離焦 (through-focus)調制轉換函數(MTF，modulation transfer function)後，將其繪製成如圖1(e)的圖表。最後，對照可接受之MTF或對比度的下限值和對應之距離的位置，即可取得光學鏡片20的焦點深度。

在操作檢測裝置10進行量測時，每移動一次僅可取得一個距離之位置之像平面影像，以上述量測光學鏡片20為例，4個不同距離的位置就需要移動檢測裝置10四次，因此完成所有不同距離的位置的測量需要花費許多時間。換言之，於習知技術中，檢測裝置在取得一個距離之位置的像平面影像後，需要移動到下一個距離的位置進行像平面影像之圖案光束的接收，如此一個一個位置的移動，直到取得所有的位置之像平面影像為止。據此，習知技術的作法不但費時，效率也不高。

因此，為了克服習知技術的不足之處，本新型實施例所述之檢測組件及檢測裝置利用分光單元、兩個透鏡和兩個影像感測器之間的配置，使檢測組件可在位於一個位置時可同時獲取等效上兩個具有不同距離之位置的像平面所對應的圖案光束(即，等效上感測兩個具有不同距離之位置的像平面影像)。簡單地說，雖然檢測組件是取得同一個位置之像平面影像，但透過檢測組件的特殊光路設計，檢測組件中的兩個影像感測器所獲取的像平面影像等效上是不同距離之位置的像平面影像。

本新型之目的為提供一種適用於檢測一待測物之檢測組件，包括具有第一出光面與第二出光面之分光單元、第一影像感測器、第一透鏡、第二影像感測器、第二透鏡以及第三透鏡。第一影像感測器面向分光單元之第一出 光面，第一透鏡設於分光單元與第一影像感測器之間。第二影像感測器面向分光單元之第二出光面，第二透鏡設於分光單元與第二影像感測器之間。第三透鏡設於該待測物與該分光單元之間。其中，第一透鏡與第一影像感測器之間的距離和第二透鏡與第二影像感測器之間的距離不相等。

可選地，分光單元為分光稜鏡，且第一出光面與第二出光面為分光稜鏡的穿透面側與反射面側。

可選地，檢測組件更包括底座，其中分光單元、第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第一影像感測器和第二影像感測器設於底座上，且底座可相對待測物進行位移。

可選地，第一透鏡與分光單元之間的距離和第二透鏡與分光單元之間的距離不相等。

可選地，第一影像感測器與分光單元之間的距離和第二影像感測器與分光單元之間的距離不相等。

本新型之另一目的為提供一種適用於檢測一待測物之檢測裝置，包括如上所述之檢測組件以及光源，光源相對第三透鏡地設於待測物之另一側，用以提供光束穿透待測物及第三透鏡，並經由分光單元分別穿透第一透鏡及第二透鏡且由第一影像感測器與第二影像感測器接收。

可選地，檢測裝置更包括測試圖案單元，位於光源與待測物之間，用以透過光源之光束產生圖案光束穿透待測物與第三透鏡，並經由分光單元分別穿透第一透鏡及第二透鏡且由第一影像感測器與第二影像感測器接收。

可選地，分光單元與第三透鏡位於圖案光束之行進路徑上。

可選地，分光單元將圖案光束分為第一圖案光束和第二圖案光 束，第一圖案光束通過分光單元之第一出光面至第一透鏡，第二圖案光束通過分光單元之第二出光面至第二透鏡。

可選地，第一透鏡將第一圖案光束聚焦到第一影像感測器，第二透鏡將第二圖案光束聚焦到第二影像感測器，其中第一影像感測器和第二影像感測器同時分別接收第一圖案光束和第二圖案光束。

可選地，第一影像感測器和第二影像感測器分別接收的第一圖案光束和第二圖案光束等效上分別對應於不同距離之位置的像平面影像。

可選地，檢測裝置之放大倍率為5到20倍。

可選地，檢測裝置之數值孔徑為0.5到1。

可選地，待測物為光學元件或光學裝置。

總而言之，本新型透過分光單元、第一透鏡、第一影像感測器、第二透鏡和第二影像感測器的配置及其之間不同的距離設置，如此，雖然第一影像感測器與第二影像感測器獲取同一位置之像平面影像，但因為第一透鏡與第一影像感測器之間的距離和第二透鏡與第二影像感測器之間的距離不相等，因此第一影像感測器與第二影像感測器等效上獲取了不同距離之位置的像平面影像(即，等效上接收了不同距離之位置的像平面影像之圖案光束)。透過等效上同時接收位於不同距離之位置的像平面影像，即可以減少檢測組件和檢測裝置完成所有量測位置的移動次數。因此，相對於習知技術，本新型提供了一個更便利且檢測效率更佳的檢測組件及檢測裝置。

為讓本新型之上述和其他目的、特徵及優點能更明顯易懂，配合所附圖示，做詳細說明如下。

10、30、40:檢測裝置

11:物鏡

13:鏡筒透鏡

15:影像感測器

20:光學鏡片

100:檢測組件

110:分光單元

112:第一出光面

114:第二出光面

120:第一透鏡

130:第一影像感測器

140:第二透鏡

150:第二影像感測器

160:第三透鏡

170:底座

200:待測物

300:光源

310:測試圖案單元

D11:第一感測距離

D12:第一分光距離

D21:第二感測距離

D22:第二分光距離

D3:光距離

a、2a、3a、4a、5a、6a、7a、8a、9a、10a:量測位置之間的距離

〔圖1〕顯示習知光學測試裝置的操作狀態示意圖。

〔圖2〕是本新型實施例之檢測裝置的俯視示意圖。

〔圖3〕是使用本新型實施例之檢測裝置取得的資料繪製的圖表。

〔圖4〕是本新型另一實施例之檢測裝置的俯視示意圖。

〔圖5〕是使用本新型另一實施例之檢測裝置取得的資料繪製的圖

為充分瞭解本新型之目的、特徵及功效，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本新型做一詳細說明，說明如後。

本新型實施例提供一種用於檢測光學裝置或光學元件的檢測組件和檢測裝置，以解決習知檢測裝置的移動次數等於量測的位置數量所導致的高時間成本。進一步地，本新型實施例利用分光單元、第一透鏡、第二透鏡、第一影像感測器和第二影像感測器的配置以及第一透鏡和第一影像感測器之間的距離和第二透鏡和第二影像感測器之間的距離的不相等，來減少檢測裝置完成所有量測之位置所需的移動次數和移動距離的總和。檢測光學裝置時，當檢測裝置位於一個位置，穿透待測物的圖案光束經過分光單元的分光後，會分別被第一影像感測器和第二影像感測器所接收，由於第一透鏡和第一影像感測器之間的距離和第二透鏡和第二影像感測器之間的距離的不相等，因此第一影像感測器與第二影像感測器所感測之像平面影像之圖案等效上位於兩個不同距離之位置。

首先，請參照圖2，圖2是本新型實施例之檢測裝置的示意圖。如 圖2所示，檢測裝置30包括檢測組件100以及光源300。待測物200位於光源300和檢測組件100之間，光源300可提供光束用以照射待測物200，其中待測物200為光束可穿透之物件，例如但不限定，如鏡片之光學元件或如鏡頭或相機模組之光學裝置。

檢測組件100包含分光單元110、第一透鏡120、第一影像感測器130、第二透鏡140、第二影像感測器150以及第三透鏡160。分光單元110具有第一出光面112和第二出光面114，其中分光單元110接收光束並對光束進行分光，而分光後的第一光束與第二光束分別經過第一出光面112與第二出光面114。於本新型中，分光單元110可以是分光稜鏡，其具有反射面側與穿透面側，且第一出光面112與第二出光面114為分光稜鏡的穿透面側與反射面側。分光單元110的類型並非用以限制本新型，除了分光稜鏡外，也可以是分光波導、光解耦合器(optical de-coupler)或光纖圍柵(optical fiber grating)。

第一影像感測器130設於分光單元110之第一出光面112的一側並面向第一出光面112，用以感測光束或影像。第一透鏡120設於第一影像感測器130和分光單元110之間，用以接收通過分光單元110之第一出光面112的光束並將接收的光束聚焦於第一影像感測器130。第一透鏡120和第一影像感測器130之間的距離為第一感測距離D11，第一透鏡120和分光單元110之間的距離為第一分光距離D12。

第二影像感測器150設於分光單元110之第二出光面114的一側並面向第二出光面114，用以感測光束或影像。第二透鏡140設於第二影像感測器150和分光單元110之間，用以接收通過分光單元110之第二出光面114的光束並將接收的光束聚焦於第二影像感測器150。第二透鏡140和第二影像感測器150之 間的距離為第二感測距離D21，第二透鏡140和分光單元110之間的距離為第二分光距離D22。

於本新型中，第一感測距離D11和第二感測距離D12不相等。於一實施例中，第一分光距離D12和第二分光距離D22不相等。於另一實施例中，第一感測距離D11與第一分光距離D12的總和和第二感測距離D21與第二分光距離D22的總和不相等。距離的不相等為一距離大於或小於另一距離，而此一距離不會等於另一距離。

第三透鏡160設於分光單元110和待測物200之間，與第一影像感測器130分別位於分光單元110的相對側且位於同一軸線上。第三透鏡160接收穿透待測物200之光束並投射至分光單元110。第三透鏡160和分光單元110之間的距離為光距離D3。第三透鏡160設計成使其接收到的光束通過後，會變成平行的光束。第一透鏡120、第二透鏡140和第三透鏡160為凸透鏡或透鏡組件，本新型不依此限定。

檢測組件100更包含底座170，其中分光單元110、第一透鏡120、第一影像感測器130、第二透鏡140、第二影像感測器150以及第三透鏡160皆設於底座170上，且底座170可相對待測物200進行位移。其中，底座170是沿著穿透待測物200之光束的行進路徑移動，調整檢測組件100和待測物200之間的距離。換句話說，底座170帶著檢測組件100沿著第三透鏡160和第一影像感測器130所在的軸線移動，調整第三透鏡160和待測物200之間的距離。於一實施例中，底座170包含一制動器(未示)用以帶動檢測組件100進行位移。

檢測裝置30更包含測試圖案單元310位於光源300和待測物200之間並具有可透光之測試圖案，舉例來說，測試圖案單元310可以是遮光罩，而測 試圖案則是於遮光罩上刻出的圖案，例如十字形，但測試圖案的形狀不用以限制本新型。於本實施例中，測試圖案單元310和光源300為獨立的元件，但於其他實施例中，測試圖案單元310和光源300可以整合為一個元件，例如可發出測試圖案之圖案光束產生器，本新型不依此為限。另外，光源300可以是LED照明系統或任何提供光束穿透測試圖案的裝置。

接著，請同時參照圖3，其顯示操作本新型實施例之檢測裝置30對待測物200進行量測後的離焦結果(through-focus result)。於本實施例中，待測物200的聚焦平面落於5a的位置，其中a代表兩個量測位置之間的單位距離，舉例而言，於習知技術中，a為檢測裝置10每次移動的距離。a的單位距離為，例如但不限定，3μm到10μm。於實際應用中，聚焦平面的位置5a為0，0的右邊為正數的距離單位，0的左邊位置為負數的距離單位，亦即，a到4a的位置依序為-4距離單位到-1距離單位，6a到10a的位置依序為+1距離單位到+4距離單位。

本實施例中的第二感測距離D21大於第一感測距離D11，且藉由第一感測距離D11、第二感測距離D21、第一分光距離D12以及第二分光距離D22的設定與配置，使得檢測組件100在量測a距離的位置之像平面影像(即，接收差異2a距離的位置之像平面影像的圖案光束)時，亦可同時等效上量測2a距離的位置之像平面影像。a距離的位置之像平面影像由第一影像感測器130接收，而等效上2a距離的位置之像平面影像由第二影像感測器150接收。詳細地說，兩個像平面影像的位置之距離差異為a。

當開始進行量測時，檢測組件100位於第一位置，使第三透鏡160與第一量測位置的距離為a。光源300產生光束照射測試圖案單元310以形成圖案光束，而圖案光束穿透待測物200和第三透鏡160並抵達分光單元110。由此可 見，待測物200和第三透鏡160位於圖案光束的行進路徑上。

分光單元110將圖案光束分為第一圖案光束和第二圖案光束，其中第一圖案光束為通過分光單元110之第一出光面112的光束，而第二圖案光束為通過分光單元110第二出光面114的光束。

第一圖案光束通過分光單元110之第一出光面112後持續前進到第一透鏡120。透過第一透鏡120，平行的第一圖案光束被聚焦到第一影像感測器130。由此可見，第一透鏡120和第一影像感測器130位於第一圖案光束的行進路徑上。第一影像感測器130感測到的第一圖案光束在經過數據化後得到像平面影像在a位置的MTF值，換句話說，第一圖案光束在聚焦於第一影像感測器130後的成像為a位置的像平面影像。

第二圖案光束通過分光單元110之第二出光面114並前進到第二透鏡140。與第一圖案光束相似，平行的第二圖案光束透過第二透鏡140被聚焦到第二影像感測器150。由此可見，第二透鏡140和第二影像感測器150位於第二圖案光束的行進路徑上。第二影像感測器150感測到的第二圖案光束在經過數據化後得到像平面影像在2a位置的MTF值，換句話說，第二圖案光束在聚焦於第二影像感測器150後的成像為2a位置的像平面影像。

圖案光束數據化和計算MTF的方法為現有的技術，因此不在此贅述。

圖2中的點虛線和短虛線分別呈現第一影像感測器130感測到的像平面影像和第二影像感測器150感測到的像平面影像。第一影像感測器130接收的圖案光束對應於第一量測位置a距離的像平面影像，而第二影像感測器150接收的圖案光束對應於第二量測位置2a距離的像平面影像。因此，檢測組件100 等效上一次取得第一量測位置和第二量測位置之像平面影像。

接著，底座170移動檢測組件100到第二位置，使第三透鏡160與第三量測位置之像平面影像的距離為3a，亦即，像平面影像的位置為3a。如上所述，檢測組件100於第二位置可同時取得等效上位於第三量測位置3a距離和第四量測位置4a距離的像平面影像。底座170持續移動檢測組件100直到取得所有量測位置的資料。

舉例而言，當計算焦點深度需要10個量測位置之像平面影像時，檢測組件100可在5個位置的地方取得所有10個量測位置之像平面影像，且由第一影像感測器130和第二影像感測器150分別取得的像平面影像對應的MTF如圖3所示(分別以o和x標示)，兩個同時取得之像平面影像對應的MTF對應於相鄰的量測位置，例如第一量測位置與第二量測位置、第三量測位置與第四量測位置、第五量測位置與第六量測位置等等。因此，相較習知的檢測裝置10需要在10個位置取得10個資料點，本新型實施例之檢測裝置30在操作上可減少完成量測所需要的移動次數。

請參照圖4，圖4是本新型另一實施例之檢測裝置的示意圖。圖4所示之檢測裝置40的構成與上述實施例之檢測裝置30相似，其差異在於檢測裝置40在第一分光距離D12、第二分光距離D22、第一感測距離D11和第二感測距離D21的配置與設定除了一次取得兩個量測位置之資料點使移動次數減少的同時，也可縮短移動距離的總和。詳細地說，檢測裝置30的配置與設定使得第一影像感測器130和第二感測器150感測的像平面影像是位於相鄰的量測位置，其中兩個量測位置的差異為移動距離(a)，然而檢測裝置40的配置與設定則是使第一影像感測器130和第二影像感測器150分別感測的兩個像平面影像所在之量 測位置具有n/2a的差異，其中n為需要取得的資料點總數，而a為每次移動的距離。

於本實施例中，檢測裝置40的第二感測距離D21大於第一感測距離D11，且其對第一感測距離D11、第二感測距離D21、第一分光距離D12以及第二分光距離D22的設定與配置使得檢測組件100在量測a距離的位置之像平面影像時，亦可同時量測等效上6a距離的像平面位置之像平面影像。a距離的像平面影像之圖案光束由第一影像感測器130接收，而6a距離的像平面影像之圖案光束由第二影像感測器150接收。

當開始測量時，檢測裝置40之檢測組件100位於第一位置，使第三透鏡160與第一量測位置之像平面影像的距離為a，亦即，像平面影像的位置為a，而第一影像感測器130和第二影像感測器150感測到的分別為位於第一量測位置a距離和第六量測位置6a距離之像平面影像。圖4中的點虛線和短虛線分別呈現檢測裝置40之第一影像感測器130感測到的像平面影像和第二影像感測器150感測到的像平面影像。第一影像感測器130接收的圖案光束對應於第一量測位置a距離的像平面影像，而第二影像感測器150接收的圖案光束對應於第六量測位置6a距離的像平面影像。因此，檢測組件100等效上一次取得第一量測位置和第六量測位置之像平面影像。

接著，底座170移動檢測裝置40之檢測組件100到第二位置，使第三透鏡160與第二量測位置之像平面影像的距離為2a，亦即，像平面影像的位置為2a。如上所述，檢測裝置40之檢測組件100於第二位置可同時取得像平面位於第二量測位置2a距離和第七量測位置7a距離的像平面影像。底座170持續移動檢測組件100直到取得所有量測位置的資料。

圖5的圖表顯示操作本新型另一實施例之檢測裝置40對待測物200進行量測後的離焦結果(through-focus result)。如圖4所示，當計算焦點深度需要10個量測位置之像平面影像的MTF時，檢測組件100可在5個位置的地方取得所有10個量測位置之資料，且由第一影像感測器130和第二影像感測器150分別取得的像平面影像的MTF如圖5所示(分別以o和x標示)，兩個同時取得之像平面影像的MTF對應於為具間隔n/2a距離的量測位置，例如第一量測位置與第六量測位置、第二量測位置與第七量測位置等等。

相較習知的檢測裝置10需要在10個位置取得10個資料點，本新型另一實施例之檢測裝置40除了在操作上可減少完成量測所需要的移動次數，亦可以縮短移動距離的總和。以10個量測位置(a到10a)為例，習知技術的檢測裝置10需要移動的距離總和為9a，然而本新型實施例之檢測裝置40僅需從第一位置(第一量測位置a)移動到第五位置(第五量測位置5a)，移動之距離總和為4a，即可完成量測。

需注意的是，雖然本新型實施例之檢測裝置30和另一實施例之檢測裝置40的配置讓其同時取得的兩個資料點(像平面影像)差異分別為a和n/2a，但本新型不依此為限，第一影像感測器130和第二影像感測器150取得之兩個像平面影像之間的關係可依需求而設定。

本新型之檢測裝置30、40的放大倍率為5到20倍，其中放大倍率由第三透鏡160與第一透鏡120和/或第二透鏡140的搭配決定，或是可經由調整光距離D3、第一或第二分光距離D12、D22和第一或第二感測距離D11、D12達到所需的放大倍率。

檢測裝置30、40的數值孔徑(NA，Numerical Aperture)為0.5到 1，其中數值孔徑由第三透鏡160和像平面之間的距離所定義。

上述放大倍率和數值孔徑的計算為習知技術，此處不再贅述。

綜合以上所述，本新型實施例提供的檢測組件和檢測裝置係利用兩個透鏡和影像感測器的設定和組合以等效上同時感測兩個位於不同量測位置之像平面影像，使檢測裝置於進行測量時的移動次數可以減少，因此可以縮短完成測量所需花費的時間，提高效率。另外，本新型實施例提供的檢測組件和檢測裝置於定點位置上等效同時感測的兩個像平面影像除了可以是兩個相鄰量測位置之像平面資料，更可是兩個間隔固定距離的量測位置之像平面資料，使整個量測過程除了移動次數和量測時間的減少外，更縮短了量測時移動的距離總和，使量測時所需的空間變小。

本新型在上文中已以較佳實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，上述實施例僅用於描繪本新型，而不應解讀為限制本新型之範圍。應注意的是，舉凡與前述實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本新型之範疇內。因此，本新型之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。

30:檢測組件

100:檢測組件

110:分光單元

112:第一出光面

114:第二出光面

120:第一透鏡

130:第一影像感測器

140:第二透鏡

150:第二影像感測器

160:第三透鏡

170:底座

200:待測物

300:光源

310:測試圖案單元

D11:第一感測距離

D12:第一分光距離

D21:第二感測距離

D22:第二分光距離

D3:光距離

a、2a、3a、4a、5a、6a、7a、8a、9a、10a:量測位置之間的距離

Claims (14)

1. 一種檢測組件，適用於檢測一待測物，該檢測組件包括： 一分光單元，具有第一出光面與第二出光面； 一第一影像感測器，面向該分光單元之該第一出光面； 一第一透鏡設於該分光單元與該第一影像感測器之間； 一第二影像感測器，面向該分光單元之該第二出光面； 一第二透鏡設於該分光單元與該第二影像感測器之間；以及 一第三透鏡設於該待測物與該分光單元之間； 其中該第一透鏡與該第一影像感測器之間的距離和該第二透鏡與該第二影像感測器之間的距離不相等。
2. 如請求項1所述之檢測組件，其中該分光單元為分光稜鏡，且該第一出光面與該第二出光面為該分光稜鏡的穿透面側與反射面側。
3. 如請求項1所述之檢測組件，更包括： 一底座，其中該分光單元、該第一透鏡、該第二透鏡、該第三透鏡、該第一影像感測器和該第二影像感測器設於該底座上，且該底座可相對該待測物進行位移。
4. 如請求項1所述之檢測組件，其中該第一透鏡與該分光單元之間的距離和該第二透鏡與該分光單元之間的距離不相等。
5. 如請求項1所述之檢測組件，其中該第一影像感測器與該分光單元之間的距離和該第二影像感測器與該分光單元之間的距離不相等。
6. 一種檢測裝置，適用於檢測一待測物，該檢測裝置包括： 如請求項1到5所述之檢測組件；以及 一光源，相對該第三透鏡地設於該待測物之另一側，用以提供光束穿透該待測物及該第三透鏡，並經由該分光單元分別穿透該第一透鏡及該第二透鏡且由該第一影像感測器與該第二影像感測器接收。
7. 如請求項6所述之檢測裝置，更包括： 一測試圖案單元，位於該光源與該待測物之間，用以透過該光源之光束產生一圖案光束穿透該待測物與該第三透鏡，並經由該分光單元分別穿透該第一透鏡及該第二透鏡且由該第一影像感測器與該第二影像感測器接收。
8. 如請求項7所述之檢測裝置，其中該分光單元與該第三透鏡位於該圖案光束之行進路徑上。
9. 如請求項7所述之檢測裝置，其中該分光單元將該圖案光束分為第一圖案光束和第二圖案光束，該第一圖案光束通過該分光單元之該第一出光面至該第一透鏡，該第二圖案光束通過該分光單元之該第二出光面至該第二透鏡。
10. 如請求項9所述之檢測裝置，其中該第一透鏡將該第一圖案光束聚焦到該第一影像感測器，該第二透鏡將該第二圖案光束聚焦到該第二影像感測器，該第一影像感測器和該第二影像感測器同時分別接收該第一圖案光束和該第二圖案光束。
11. 如請求項10所述之檢測裝置，該第一影像感測器和該第二影像感測器分別接收的該第一圖案光束和該第二圖案光束等效上分別對應於不同距離之位置的像平面影像。
12. 如請求項6所述之檢測裝置，其中該檢測裝置之放大倍率為5到20倍。
13. 如請求項6所述之檢測裝置，其中該檢測裝置之數值孔徑為0.5到1。
14. 如請求項6所述之檢測裝置，其中該待測物為一光學元件或一光學裝置。

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