TWM587727U - 蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統 - Google Patents

Abstract

本創作為一種蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，主要係將蓄熱式焚燒爐之加熱室的熱氣提供給該熱交換器來進行熱交換，且該蓄熱式焚燒爐的排氣經由該回收熱交換器或是該冷卻器來進行熱交換，並於進行熱交換後或是冷卻後再輸送到該廢氣進氣管路，使燃燒後的氣體進入該吸附轉輪之吸附區，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升。

Description

蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統

本創作係有關於一種蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，尤指一種用來將燃燒後的氣體進入該吸附轉輪之吸附區循環利用，且不用經過該煙囪來進行排放，使有機廢氣的處理效率提升，而適用於半導體產業、光電產業或化學相關產業的有機廢氣處理系統或類似設備。

按，目前在半導體產業或光電產業的製造生產過程中都會產生具有揮發性有機氣體(VOC)，因此，在各廠區都會安裝處理揮發性有機氣體(VOC)的處理設備，以避免揮發性有機氣體(VOC)直接排入空氣中而造成空氣污染。而目前經由該處理設備所脫附的濃縮氣體大都是輸送到該焚燒爐來進行燃燒，再將燃燒後的氣體來輸送到煙囪來進行排放。

但是近年來，不管是中央政府或是各地方政府都對空氣汙染非常重視，也因此在煙囪的排放標準上訂定了有關懸浮微粒(PM₁₀)及細懸浮微粒(PM_2.5)空氣品質標準，並依據其國內健康影響研究結果，以健康影響為優先考量，將「細懸浮微粒(PM_2.5)」24小時值訂為35μg/m³、年平均值訂為15μg/m³。且環保署初步訂於民國109(2020)年達成全國細懸浮微粒濃度年平均值15μg/m³的目標，同時將依國際管制趨勢發展，逐期檢討其細懸浮微粒(PM_2.5)空氣品質標準，並朝達成WHO提出之空氣品質準則 值(24小時值訂為25μg/m³、年平均值訂為10μg/m³)為空氣品質改善目標。

因此，本創作人有鑑於上述缺失，期能提出一種具有提升有機廢氣處理效率的蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，令使用者可輕易操作組裝，乃潛心研思、設計組製，以提供使用者便利性，為本創作人所欲研發之創作動機者。

本創作之主要目的，在於提供一種蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，主要係將蓄熱式焚燒爐之加熱室的熱氣提供給該熱交換器來進行熱交換，且該蓄熱式焚燒爐的排氣經由該回收熱交換器或是該冷卻器來進行熱交換，並於進行熱交換後或是冷卻後再輸送到該廢氣進氣管路，使燃燒後的氣體進入該吸附轉輪之吸附區，而不經過該煙囪來進行排放，讓該煙囪的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升，進而增加整體之實用性。

本創作之另一目的，在於提供一種蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，並透過將該蓄熱式焚燒爐之加熱室的熱氣由該加熱室之熱氣出口來輸出，且經由與該加熱室之熱氣出口所連接的蓄熱氣體回收管路來輸送到該熱交換器之熱側管路內，再經由與該熱交換器之熱側管路之一端所連接的該熱氣回收管路來輸送該脫附濃縮氣體管路內，讓經過該熱交換器來進行熱交換後的氣體經由該脫附濃縮氣體管路再回到該蓄熱式焚燒爐內進行燃燒，使具有再循環利用之效能，進而增加整體之使用性。

本創作之再一目的，在於提供一種蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，當該蓄熱式焚燒爐係為旋轉式蓄熱焚燒爐或是當該蓄熱式焚燒 爐內係設有至少三蓄熱床以上時，該蓄熱式焚燒爐係設有掃氣(purge)管路，且該掃氣(purge)管路之另一端係與該加熱室連接，而該蓄熱式焚燒爐之加熱室的熱氣由該加熱室之熱氣出口來輸出，且經由與該加熱室之熱氣出口所連接的蓄熱氣體回收管路來輸送到該熱交換器之熱側管路內，再經由與該熱交換器之熱側管路之一端所連接的該熱氣回收管路來輸送該掃氣(purge)管路內，讓經過該熱交換器來進行熱交換後的氣體經由該掃氣(purge)管路再回到該加熱室內，使具有再循環利用之效能，進而增加整體之操作性。

為了能夠更進一步瞭解本創作之特徵、特點和技術內容，請參閱以下有關本創作之詳細說明與附圖，惟所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本創作。

A‧‧‧一側

B‧‧‧另一側

10‧‧‧蓄熱式焚燒爐

101‧‧‧蓄熱床

101‧‧‧第一蓄熱床

102‧‧‧第二蓄熱床

103‧‧‧第三蓄熱床

11‧‧‧加熱室

111‧‧‧熱氣出口

12‧‧‧進氣管路

13‧‧‧出氣管路

14‧‧‧掃氣(Purge)管路

20‧‧‧吸附轉輪

201‧‧‧吸附區

202‧‧‧冷卻區

203‧‧‧脫附區

21‧‧‧廢氣進氣管路

22‧‧‧淨氣排放管路

221‧‧‧風車

222‧‧‧淨氣旁通管路

2221‧‧‧淨氣旁通控制閥門

23‧‧‧冷卻氣進氣管路

231‧‧‧氣體旁通管路

24‧‧‧冷卻氣輸送管路

241‧‧‧冷卻氣控制閥門

25‧‧‧熱氣輸送管路

251‧‧‧熱氣控制閥門

26‧‧‧脫附濃縮廢氣管路

261‧‧‧風車

27‧‧‧連通管路

271‧‧‧連通控制閥門

30‧‧‧熱交換器

301‧‧‧冷側管路

302‧‧‧熱側管路

31‧‧‧熱氣回收管路

32‧‧‧蓄熱氣體回收管路

40‧‧‧回流熱交換器

401‧‧‧回流冷側管路

402‧‧‧回流熱側管路

41‧‧‧回流熱氣回收管路

42‧‧‧回流回收管路

421‧‧‧風車

50‧‧‧冷卻器

51‧‧‧冷卻回流熱氣回收管路

52‧‧‧冷卻回流回收管路

521‧‧‧風車

53‧‧‧冷卻水管路

60‧‧‧除塵設備

70‧‧‧煙囪

71‧‧‧煙囪排放管路

711‧‧‧風車

第1圖係為本創作之第一種實施方式的主要架構示意圖。

第2圖係為本創作之第一種實施方式的二蓄熱床的第一架構示意圖。

第3圖係為本創作之第一種實施方式的二蓄熱床的第二架構示意圖。

第4圖係為本創作之第一種實施方式的三蓄熱床的第一架構流程圖。

第5圖係為本創作之第一種實施方式的三蓄熱床的第二架構示意圖。

第6圖係為本創作之第二種實施方式的主要架構示意圖。

第7圖係為本創作之第二種實施方式的二蓄熱床的第一架構示意圖。

第8圖係為本創作之第二種實施方式的二蓄熱床的第二架構示意圖。

第9圖係為本創作之第二種實施方式的三蓄熱床的第一架構流程圖。

第10圖係為本創作之第二種實施方式的三蓄熱床的第二架構示意 圖。

請參閱第1圖至第10圖，係為本創作實施例之示意圖。而本創作之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統的最佳實施方式係運用於半導體產業、光電產業或化學相關產業的揮發有機廢氣處理系統或類似設備，主要是將燃燒後的氣體進入該吸附轉輪之吸附區，且不經過該煙囪來進行排放，使有機廢氣的處理效率提升。

而本創作第一種實施方式的蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，主要係設有一蓄熱式焚燒爐(RTO)10、一吸附轉輪20、一熱交換器30及一回流熱交換器40(如第1圖至第5圖所示)，其中該熱交換器30係設有冷側管路301及熱側管路302，該熱交換器30係連接有一熱氣回收管路31及一蓄熱氣體回收管路32，該回流熱交換器40係設有回流冷側管路401及回流熱側管路402，該回流熱交換器40係連接有一回流熱氣回收管路41及一回流回收管路42，另該蓄熱式焚燒爐(RTO)10內係設有蓄熱床101，該蓄熱床101可以設有二蓄熱床(如第2圖至第4圖所示)、三蓄熱床(如第4圖及第5圖所示)、四蓄熱床(圖未示)或是五蓄熱床(圖未示)等實施態樣，且該蓄熱式焚燒爐(RTO)10係設有一加熱室11、至少一進氣管路12及至少一出氣管路13，該加熱室11係設有一熱氣出口111(如第1圖至第5圖所示)。另該蓄熱式焚燒爐(RTO)10亦可為旋轉式蓄熱焚燒爐(圖未示)。

當本創作之蓄熱式焚燒爐(RTO)10設有一加熱室11及至少三蓄熱床101時(如第4圖及第5圖所示)，該三蓄熱床101係分 別設為第一蓄熱床1011、第二蓄熱床1012及第三蓄熱床1013，而該第一蓄熱床1011、第二蓄熱床1012及第三蓄熱床1013皆與加熱室11相通，且透過該蓄熱床101來進行蓄、放熱使用，以回收高溫排氣的熱能，來供預熱低溫進氣使用，並且該第一蓄熱床1011、第二蓄熱床1012或第三蓄熱床1013之間係互相進行切換使用。另該蓄熱式焚燒爐(RTO)10之加熱室11係組設有一燃燒機(如第1圖至第5圖所示)，而該燃燒機係引入燃料氣體或燃料液體以來進行燃燒，並將燃燒時之熱氣傳遞給蓄熱式焚燒爐(RTO)10之加熱室11使用，再者，該燃燒機係設有一空氣管路，且該空氣管路係設有一風機，透過該風機以將該空氣管路內之空氣推送至該燃燒機內以幫助燃燒以及產生升溫。

而該吸附轉輪20係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該吸附轉輪20內係設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203，該吸附轉輪20係設有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一熱氣輸送管路25及一脫附濃縮廢氣管路26(如第1圖至第5圖所示)，而該廢氣進氣管路21的另一端係連接至該吸附轉輪20之吸附區201的一側A，以使該吸附轉輪20之吸附區201吸附該廢氣進氣管路21內的廢氣，且該淨氣排放管路22之一端係與該吸附轉輪20之吸附區201的另一側B連接，讓該廢氣經該吸附轉輪20之吸附區201淨化後再由該淨氣排放管路22來輸送。

另該冷卻氣進氣管路23的一端係與該吸附轉輪20之冷 卻區202的一側A連接，而該冷卻氣進氣管路23係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路23乃是供外氣進入(如第2圖及第4圖所示)，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路23係設有一氣體旁通管路231(如第3圖及第5圖所示)，該氣體旁通管路231之一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，而該氣體旁通管路231之另一端係與該廢氣進氣管路21連接，透過該氣體旁通管路231來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用。

另該冷卻氣輸送管路24的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的另一側B連接，而該冷卻氣輸送管路24的另一端係與該熱交換器30之冷側管路301的一端連接，以將該冷卻氣輸送管路24內的冷卻氣輸送到該熱交換器30內進行熱交換(如第1圖至第5圖所示)，另該熱交換器30之冷側管路301的另一端係與該熱氣輸送管路25的另一端連接，而該熱氣輸送管路25的一端係與該吸附轉輪20之脫附區203的另一側B連接，且該吸附轉輪20之脫附區203的一側A係與該脫附濃縮氣體管路26的一端連接(如第1圖至第5圖所示)，使將經由該熱交換器30所提升之熱氣透過該熱氣輸送管路25來傳輸到該吸附轉輪20之脫附區203來進行脫附使用，並將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體透過該脫附濃縮氣體管路26來傳輸運送，且該脫附濃縮氣體管路26的另一端係與該蓄熱式焚燒爐10之至少一進氣管路12連接，讓該脫附濃縮氣體進入該蓄熱式焚燒爐10來進行燃燒。另該脫附濃縮氣體 管路26係設有一風車261，以將該脫附濃縮氣體管路26內的脫附濃縮氣體進行抽送。

另本創作第一種實施方式中的該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間係設有比例風門(如第2圖至第5圖所示)，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該熱氣輸送管路25係設有一熱氣控制閥門251，並透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24係設有一冷卻氣控制閥門241，並透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241來形成比例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門25之設計的比例風門或是透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該熱氣輸送管路25內的溫度保持一定高溫來提供給該吸附轉輪20之脫附區203使用。

另該熱交換器30係連接有一熱氣回收管路31及一蓄熱氣體回收管路32，其中該蓄熱氣體回收管路32的一端係與該蓄熱式焚燒爐10之加熱室11的熱氣出口111連接(如第1圖至第5圖所示)，該蓄熱氣體回收管路32的另一端係與該熱交換器30之熱側管路302的另一端連接，該熱氣回收管路31的一端係與該熱交換器30之熱側管路302的一端連接。藉此，透過該脫附濃縮氣體輸送管路26來將脫附 濃縮氣體輸送到該蓄熱式焚燒爐10之至少一進氣管路12，再將經過該蓄熱式焚燒爐10所燃燒後之氣體由該加熱室11的熱氣出口111來透過該蓄熱氣體回收管路32來輸送到該熱交換器30之熱側管路302內進行熱回收，並再經由該熱氣回收管路31來進行輸送。

而上述的熱氣回收管路31係設有二種連接的路徑，其中第一種路徑為該熱氣回收管路31的另一端係與該脫附濃縮氣體管路26連接(如第1圖至第3圖所示)，讓由該蓄熱氣體回收管路32來輸送到該熱交換器30之熱側管路302內進行熱回收後的氣體，由該熱氣回收管路31來輸送到該脫附濃縮氣體管路26內，再經由該脫附濃縮氣體管路26來輸送到該蓄熱式焚燒爐10內重複燃燒，使具有再循環利用之效能。

而第二種路徑係為當該蓄熱式焚燒爐10內設有至少三蓄熱床101以上或是蓄熱式焚燒爐10為旋轉式蓄熱焚燒爐(圖未示)時，該蓄熱式焚燒爐10的蓄熱床101係設有掃氣(purge)管路14(如第4圖及第5圖所示)，而該掃氣(purge)管路14的另一端係與該加熱室11連接，讓當該蓄熱床101不是為進氣使用或是出氣使用時，可以透過該掃氣(purge)管路14來輸送到該加熱室11內，因此，該熱氣回收管路31的另一端係與該掃氣(purge)管路14連接，讓由該蓄熱氣體回收管路32來輸送到該熱交換器30之熱側管路302內進行熱回收後的氣體，由該熱氣回收管路31來輸送到該掃氣(purge)管路14內，再經由該掃氣(purge)管路14來輸送到該加熱室11內。

另該回流熱交換器40係連接有一回流熱氣回收管路41及一回流回收管路42，該回流熱交換器40之回流冷側管路401的一 端係與該淨氣排放管路22的另一端連接，該回流熱氣回收管路41的一端係與該回流熱交換器40之回流熱側管路402的一端連接，該回流熱氣回收管路41的另一端係與該蓄熱式焚燒爐10之出氣管路13連接(如第1圖至第5圖所示)，該回流回收管路42的一端係與該回流熱交換器40之回流熱側管路402的另一端連接，該回流回收管路42的另一端係與該廢氣進氣管路21連接。再者，該回流熱交換器40之回流熱氣回收管路41及該回流回收管路42係可以同時各設有一除塵設備60來使用(如第5圖所示)，或是只於該回流熱交換器40之回流回收管路42上來單獨設有一除塵設備60來使用(如第2圖及第4圖所示)，或是只於該回流熱交換器40之回流熱氣回收管路41上來單獨設有一除塵設備60來使用(如第3圖所示)，讓經過該回流熱氣回收管路41內的氣體或是經過該回流回收管路42的氣體可以透過該除塵設備60進行過濾，其中該除塵設備60係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，且該回流熱交換器40之回流回收管路42係設有一風車421(如第1圖至第5圖所示)，以將該回流回收管路42內的氣體推向該廢氣進氣管路21內。藉此，將經過該蓄熱式焚燒爐10所燃燒後之氣體由該回流熱氣回收管路41來輸送到該回流熱交換器40之回流熱側管路402進行熱 回收，再透過該回流回收管路42來輸送到該除塵設備60內以進行粉塵或二氧化矽(SiO 2)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備60所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路21內，使燃燒後的氣體進入該吸附轉輪20之吸附區201，而不經過該煙囪70來進行排放，讓該煙囪70的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升。

而該回流熱交換器40係連接一煙囪70，該煙囪70係設有一煙囪排放管路71(如第1圖至第5圖所示)，該煙囪排放管路71的一端係與該煙囪70連接，該煙囪排放管路71的另一端係與該回流熱交換器40之回流冷側管路401的另一端連接，讓經由該淨氣排放管路22所排出淨化後氣體進入該回流熱交換器40之回流冷側管路401內進行熱交換，再經由該煙囪排放管路71來輸送到煙囪70來進行排放，且該煙囪排放管路71係設有一風車711(如第3圖及第5圖所示)，以將該煙囪排放管路71內的氣體推向該煙囪70內。另該淨氣排放管路22係設有一風車221(如第2圖至第5圖所示)，以將該淨氣排放管路22內的氣體推向該回流熱交換器40之回流冷側管路401內。而上述之淨氣排放管路22旁係設有一淨氣旁通管路222，而該淨氣旁通管路222之一端係與該淨氣排放管路22連接(如第1圖至第5圖所示)，且該淨氣旁通管路222之另一端係與該煙囪排放管路71連接，讓該淨氣排放管路22在輸送所排出淨化後氣體時，除了進入該回流熱交換器40之回流冷側管路401進行熱交換外，還透過與該淨氣排放管路22所連接的該淨氣旁通管路222來進行旁通分流，使部分的淨化後氣體直接流到該煙囪排放管路71再經由該煙囪70進行排放。另該淨氣旁通管路222 係設有一淨氣旁通控制閥門2221，以透過該淨氣旁通控制閥門2221來調節由該淨氣排放管路22所輸送過來的淨化後氣體的風量，以形成調節控制之效能。

而本創作第二種實施方式的蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，主要係設有一蓄熱式焚燒爐(RTO)10、一吸附轉輪20、一熱交換器30及一冷卻水50(如第6圖至第10圖所示)，其中該熱交換器30係設有冷側管路301及熱側管路302，該熱交換器30係連接有一熱氣回收管路31及一蓄熱氣體回收管路32，該冷卻水50係連接有一冷卻回流熱氣回收管路51及一冷卻回流回收管路52，另該蓄熱式焚燒爐(RTO)10內係設有蓄熱床101，該蓄熱床101可以設有二蓄熱床(如第6圖至第8圖所示)、三蓄熱床(如第9圖及第10圖所示)、四蓄熱床(圖未示)或是五蓄熱床(圖未示)等實施態樣，且該蓄熱式焚燒爐(RTO)10係設有一加熱室11、至少一進氣管路12及至少一出氣管路13，該加熱室11係設有一熱氣出口111(如第6圖至第10圖所示)。另該蓄熱式焚燒爐(RTO)10亦可為旋轉式蓄熱焚燒爐(圖未示)。

當本創作之蓄熱式焚燒爐(RTO)10設有一加熱室11及至少三蓄熱床101時(如第9圖及第10圖所示)，該三蓄熱床101係分別設為第一蓄熱床1011、第二蓄熱床1012及第三蓄熱床1013，而該第一蓄熱床1011、第二蓄熱床1012及第三蓄熱床1013皆與加熱室11相通，且透過該蓄熱床101來進行蓄、放熱使用，以回收高溫排氣的熱能，來供預熱低溫進氣使用，並且該第一蓄熱床1011、第二蓄熱床1012或第三蓄熱床1013之間係互相進行切換使 用。另該蓄熱式焚燒爐(RTO)10之加熱室11係組設有一燃燒機(如第6圖至第10圖所示)，而該燃燒機係引入燃料氣體或燃料液體來進行燃燒，並將燃燒時之熱氣傳遞給蓄熱式焚燒爐(RTO)10之加熱室11使用，再者，該燃燒機係設有一空氣管路，且該空氣管路係設有一風機，透過該風機以將該空氣管路內之空氣推送至該燃燒機內以幫助燃燒以及產生升溫。

而該吸附轉輪20係為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪，且該吸附轉輪20內係設有吸附區201、冷卻區202及脫附區203，該吸附轉輪20係設有一廢氣進氣管路21、一淨氣排放管路22、一冷卻氣進氣管路23、一冷卻氣輸送管路24、一熱氣輸送管路25及一脫附濃縮廢氣管路26(如第6圖至第10圖所示)，而該廢氣進氣管路21的另一端係連接至該吸附轉輪20之吸附區201的一側A，以使該吸附轉輪20之吸附區201吸附該廢氣進氣管路21內的廢氣，且該淨氣排放管路22之一端係與該吸附轉輪20之吸附區201的另一側B連接，讓該廢氣經該吸附轉輪20之吸附區201淨化後再由該淨氣排放管路22來輸送。

另該冷卻氣進氣管路23的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的一側A連接，而該冷卻氣進氣管路23係有兩種實施態樣，其中第一種實施態樣為該冷卻氣進氣管路23乃是供外氣進入(如第6圖及第7圖所示)，而該外氣係為新鮮空氣，以將該外氣用來輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用，另第二種實施態樣係該冷卻氣進氣管路23係設有一氣體旁通管路231(如第8圖所示)，該氣體旁通管 路231之一端係與該冷卻氣進氣管路23連接，而該氣體旁通管路231之另一端係與該廢氣進氣管路21連接，透過該氣體旁通管路231來將部份的廢氣輸送到該吸附轉輪20之冷卻區202內提供降溫使用。

另該冷卻氣輸送管路24的一端係與該吸附轉輪20之冷卻區202的另一側B連接，而該冷卻氣輸送管路24的另一端係與該熱交換器30之冷側管路301的一端連接，以將該冷卻氣輸送管路24內的冷卻氣輸送到該熱交換器30內進行熱交換(如第6圖至第10圖所示)，另該熱交換器30之冷側管路301的另一端係與該熱氣輸送管路25的另一端連接，而該熱氣輸送管路25的一端係與該吸附轉輪20之脫附區203的另一側B連接，且該吸附轉輪20之脫附區203的一側A係與該脫附濃縮氣體管路26的一端連接，使將經由該熱交換器30所提升之熱氣透過該熱氣輸送管路25來傳輸到該吸附轉輪20之脫附區203來進行脫附使用，並將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體透過該脫附濃縮氣體管路26來傳輸運送，且該脫附濃縮氣體管路26的另一端係與該蓄熱式焚燒爐10之至少一進氣管路12連接，讓該脫附濃縮氣體進入該蓄熱式焚燒爐10來進行燃燒。另該脫附濃縮氣體管路26係設有一風車261(如第8圖及第10圖所示)，以將該脫附濃縮氣體管路26內的脫附濃縮氣體進行抽送。

另本創作第一種實施方式中的該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間係設有比例風門(如第7圖至第10圖所示)，而該比例風門係設有兩種實施設計，其中第一種實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路2 7係設有一連通控制閥門271，而該熱氣輸送管路25係設有一熱氣控制閥門251，並透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門251來形成比例風門，另第二實施設計乃為該冷卻氣輸送管路24與該熱氣輸送管路25之間設有一連通管路27，且該連通管路27係設有一連通控制閥門271，而該冷卻氣輸送管路24係設有一冷卻氣控制閥門241，並透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241來形成比例風門，藉此，不管是透過該連通控制閥門271及該熱氣控制閥門25之設計的比例風門或是透過該連通控制閥門271及該冷卻氣控制閥門241之設計的比例風門，皆能調整控制風力之大小，讓該熱氣輸送管路25內的溫度保持一定高溫來提供給該吸附轉輪20之脫附區203使用。

另該熱交換器30係連接有一熱氣回收管路31及一蓄熱氣體回收管路32，其中該蓄熱氣體回收管路32的一端係與該蓄熱式焚燒爐10之加熱室11的熱氣出口111連接(如第6圖至第10圖所示)，該蓄熱氣體回收管路32的另一端係與該熱交換器30之熱側管路302的另一端連接，該熱氣回收管路31的一端係與該熱交換器30之熱側管路302的一端連接。藉此，透過該脫附濃縮氣體輸送管路26來將脫附濃縮氣體輸送到該蓄熱式焚燒爐10之至少一進氣管路12，再將經過該蓄熱式焚燒爐10所燃燒後之氣體由該加熱室11的熱氣出口111來透過該蓄熱氣體回收管路32來輸送到該熱交換器30之熱側管路302內進行熱回收，並再經由該熱氣回收管路31來進行輸送。

而上述的熱氣回收管路31係設有二種連接的路徑，其中第一種路徑為該熱氣回收管路31的另一端係與該脫附濃縮氣體管路26連 接(如第6圖至第8圖所示)，讓由該蓄熱氣體回收管路32來輸送到該熱交換器30之熱側管路302內進行熱回收後的氣體，由該熱氣回收管路31來輸送到該脫附濃縮氣體管路26內，再經由該脫附濃縮氣體管路26來輸送到該蓄熱式焚燒爐10內重複燃燒，使具有再循環利用之效能。

而第二種路徑係為當該蓄熱式焚燒爐10內設有至少三蓄熱床101以上或是蓄熱式焚燒爐10為旋轉式蓄熱焚燒爐(圖未示)時，該蓄熱式焚燒爐10的蓄熱床101係設有掃氣(purge)管路14(如第9圖及第10圖所示)，而該掃氣(purge)管路14的另一端係與該加熱室11連接，讓當該蓄熱床101不是為進氣使用或是出氣使用時，可以透過該掃氣(purge)管路14來輸送到該加熱室11內，因此，該熱氣回收管路31的另一端係與該掃氣(purge)管路14連接，讓由該蓄熱氣體回收管路32來輸送到該熱交換器30之熱側管路302內進行熱回收後的氣體，由該熱氣回收管路31來輸送到該掃氣(purge)管路14內，再經由該掃氣(purge)管路14來輸送到該加熱室11內。

另該冷卻器50內係設有冷卻水管路53(如第6圖至第10圖所示)，以一進一出的方式來將流經該冷卻器50的高溫熱氣進行降溫，且該冷卻器50係為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器之其中任一，而該冷卻器50係連接有一冷卻回流熱氣回收管路51及一冷卻回流回收管路52，該冷卻回流熱氣回收管路51的一端係與該冷卻器50的一端連接，該冷卻回流熱氣回收管路51的另一端該蓄熱式焚燒爐10之出氣管路13連接，該冷卻回流回收管路52的一端係與該冷卻器50的另一端連接，該冷卻回流回收管路52的另一端係與該廢氣 進氣管路21連接。再者，該冷卻器50之冷卻回流熱氣回收管路51及該冷卻回流回收管路52係可以同時各設有一除塵設備60來使用(如第10圖所示)，或是只於該冷卻器之50之冷卻回流回收管路52上來單獨設有一除塵設備60來使用(如第7圖及第9圖所示)，或是只於該冷卻器之50之冷卻回流熱氣回收管路51上來單獨設有一除塵設備60來使用(如第8圖所示)，讓經過該冷卻回流熱氣回收管路51內的氣體或是經過該冷卻回流回收管路52的氣體可以透過該除塵設備60進行過濾，其中該除塵設備60係為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一，且該冷卻器50之冷卻回流回收管路52係設有一風車521(如第6圖至第10圖所示)，以將該冷卻回流回收管路52內的氣體推向該廢氣進氣管路21內。

藉此，將經過該蓄熱式焚燒爐10所燃燒後之氣體由連接的冷卻回流熱氣回收管路51來輸送到該冷卻器50內與該冷卻水管路53進行熱回收，再透過該冷卻回流回收管路52來輸送到該除塵設備60內以進行粉塵或二氧化矽(SiO 2)等氧化物的分離，最後再將由該除塵設備60所輸出的氣體輸送到該廢氣進氣管路21內，使燃燒後的氣體進入該吸附轉輪20之吸附區201循環利用，而不經過該煙囪70來進行排放， 讓該煙囪70的排放量降低，並使有機廢氣的處理效率提升。

藉由以上詳細說明，可使熟知本項技藝者明瞭本創作的確可達成前述目的，實已符合專利法之規定，爰提出專利申請。

惟以上所述者，僅為本創作之較佳實施例而已，當不能以此限定本創作實施之範圍；故，凡依本創作申請專利範圍及創作說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本創作專利涵蓋之範圍內。

Claims (23)

1. 一種蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，係包括：一蓄熱式焚燒爐，該蓄熱式焚燒爐係設有一加熱室、至少一進氣管路及至少一出氣管路，該加熱室係設有一熱氣出口；一吸附轉輪，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路的另一端係連接至該吸附轉輪之吸附區的一側，該淨氣排放管路的一端係與該吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該熱氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的一側連接，該脫附濃縮氣體管路的另一端係與該蓄熱式焚燒爐之至少一進氣管路連接；以及一熱交換器，該熱交換器係設有冷側管路及熱側管路，該熱交換器係連接有一熱氣回收管路及一蓄熱氣體回收管路，該冷側管路之一端係與該冷卻氣輸送管路的另一端連接，該冷側管路的另一端係與該熱氣輸送管路的另一端連接，該蓄熱氣體回收管路的一端係與該蓄熱式焚燒爐之加熱室的熱氣出口連接，該蓄熱氣體回收管路的另一端係與該熱側管路的另一端連接，該熱氣回收管路的一端係與該熱側管路的一端連接；以及一回流熱交換器，該回流熱交換器係設有回流冷側管路及回流熱側管路，該回流熱交換器係連接有一回流熱氣回收管路及一回流回收管路，該回流冷側管路的一端係與該淨氣排放管路的另一端連接，該回流熱氣回收管路的一端係與該回流熱側管路的一端連接，該回流熱氣回收管路的另一端係與該蓄熱式焚燒爐之出氣管路連接，該回流回收管路的一端係與該回流熱側管路的另一端連接，該回流回收管路的另一端係與該廢氣進氣管路連接。
2. 一種蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，係包括：一蓄熱式焚燒爐，該蓄熱式焚燒爐係設有一加熱室、至少一進氣管路及至少一出氣管路，該加熱室係設有一熱氣出口；一吸附轉輪，該吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區，該吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一淨氣排放管路、一冷卻氣進氣管路、一冷卻氣輸送管路、一熱氣輸送管路及一脫附濃縮氣體管路，該廢氣進氣管路的另一端係連接至該吸附轉輪之吸附區的一側，該淨氣排放管路的一端係與該吸附轉輪之吸附區的另一側連接，該冷卻氣進氣管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的一側連接，該冷卻氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之冷卻區的另一側連接，該熱氣輸送管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的另一側連接，該脫附濃縮氣體管路的一端係與該吸附轉輪之脫附區的一側連接，該脫附濃縮氣體管路的另一端係與該蓄熱式焚燒爐之至少一進氣管路連接；以及一熱交換器，該熱交換器係設有冷側管路及熱側管路，該熱交換器係連接有一熱氣回收管路及一蓄熱氣體回收管路，該冷側管路之一端係與該冷卻氣輸送管路的另一端連接，該冷側管路的另一端係與該熱氣輸送管路的另一端連接，該蓄熱氣體回收管路的一端係與該蓄熱式焚燒爐之加熱室的熱氣出口連接，該蓄熱氣體回收管路的另一端係與該熱側管路的另一端連接，該熱氣回收管路的一端係與該熱側管路的一端連接；以及一冷卻器，該冷卻器係連接有一冷卻回流熱氣回收管路及一冷卻回流回收管路，該冷卻回流熱氣回收管路的一端係與該冷卻器的一端連接，該冷卻回流熱氣回收管路的另一端係與該蓄熱式焚燒爐之出氣管路連接，該冷卻回流回收管路的一端係與該冷卻器的另一端連接，該冷卻回流回收管路的另一端係與該廢氣進氣管路連接。
3. 如申請專利範圍第1項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該回流熱交換器係進一步連接一煙囪，該煙囪係設有一煙囪排放管路，該煙囪排放管路的一端係與該煙囪連接，該煙囪排放管路的另一端係與該回流熱交換器之冷側管路的另一端連接。
4. 如申請專利範圍第3項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該煙囪排放管路係進一步設有一風車。
5. 如申請專利範圍第3項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該煙囪排放管路係進一步連接一淨氣旁通管路，該淨氣旁通管路之一端係與該淨氣排放管路連接，該淨氣旁通管路之另一端係與該煙囪排放管路連接。
6. 如申請專利範圍第5項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該淨氣旁通管路係進一步設有一淨氣旁通控制閥門。
7. 如申請專利範圍第2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該淨氣排放管路的另一端係進一步連接一煙囪。
8. 如申請專利範圍第1或2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間係進一步設有一連通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該熱氣輸送管路係設有一熱氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該熱氣控制閥門來形成比例風門。
9. 如申請專利範圍第1或2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣輸送管路與該熱氣輸送管路之間係進一步設有一連通管路，該連通管路係設有一連通控制閥門，該冷卻氣輸送管路係設有一冷卻氣控制閥門，並透過該連通控制閥門及該冷卻氣控制閥門來形成比例風門。
10. 如申請專利範圍第1或2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣進氣管路係進一步輸送外氣至該吸附轉輪之冷卻區，且該外氣係為新鮮空氣。
11. 如申請專利範圍第1或2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻氣進氣管路係進一步設有一氣體旁通管路，該氣體旁通管路之一端係與該冷卻氣進氣管路連接，該氣體旁通管路之另一端係與該廢氣進氣管路連接。
12. 如申請專利範圍第1或2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該淨氣排放管路係進一步設有一風車。
13. 如申請專利範圍第1或2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該脫附濃縮氣體管路係進一步設有一風車。
14. 如申請專利範圍第1項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該回流熱交換器之回流熱氣回收管路係進一步設有一除塵設備，該除塵設備係進一步為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一。
15. 如申請專利範圍第1項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該回流熱交換器之回流回收管路係進一步設有一除塵設備，該除塵設備係進一步為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一。
16. 如申請專利範圍第1項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該回流熱交換器之回流回收管路係進一步設有一風車。
17. 如申請專利範圍第1或2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中當該蓄熱式焚燒爐係進一步為旋轉式蓄熱焚燒爐或是當該蓄熱式焚燒爐內係進一步設有至少三蓄熱床以上時，該蓄熱式焚燒爐係設有掃氣(purge)管路，該掃氣(purge)管路之另一端係與該加熱室連接。
18. 如申請專利範圍第17項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該掃氣(purge)管路係進一步與該熱氣回收管路的另一端連接。
19. 如申請專利範圍第1或2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該熱氣回收管路的另一端係進一步與該脫附濃縮氣體管路連接。
20. 如申請專利範圍第2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻器係進一步為殼管式冷卻器、鰭管式冷卻器或板式熱交換器冷卻器之其中任一。
21. 如申請專利範圍第2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該其中該冷卻器之冷卻回流熱氣回收管路係進一步設有一除塵設備，該除塵設備係進一步為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一。
22. 如申請專利範圍第2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻器之冷卻回流回收管路係進一步設有一除塵設備，該除塵設備係進一步為袋式除塵器、電袋式複合除塵器、慣性除塵器、靜電除塵器、離心式除塵器、濾筒式脈衝除塵器、脈衝袋式除塵器、脈衝濾芯除塵器、脈衝噴吹袋式除塵器、濕式除塵器、濕式電除塵器、濕式靜電除塵器、水膜除塵器、文丘里管除塵器、旋風分離器、煙道除塵器、多層除塵器、負壓反吹濾袋除塵器、低壓長袋脈衝除塵器、臥式靜電除塵器、無動力除塵器、荷電水霧除塵器、多管旋風除塵器、防爆除塵器之其中任一。
23. 如申請專利範圍第2項所述之蓄熱回流高效率有機廢氣處理系統，其中該冷卻器之冷卻回流回收管路係進一步設有一風車。