TWM567372U - Particle monitoring module - Google Patents

Abstract

一種微粒監測模組，包含：一主體，由導氣本體及監測本體組成，透過導氣本體的多個儲氣腔室內的加熱元件，來對進入導氣本體內的氣體進行加熱，後將加熱除濕後的氣體導入監測本體，使位於監測本體內的傳感器得以檢測出懸浮微粒的粒徑及濃度，降低水氣對於懸浮微粒檢測的干擾。

Description

微粒監測模組

本案關於一種微粒監測模組，尤指一種可維持監測標準溼度及組配於薄型可攜式裝置應用進行氣體監測的微粒監測模組。

懸浮微粒是指於空氣中含有的固體顆粒或液滴，由於其粒徑非常細微，容易通過鼻腔內的鼻毛進入人體的肺部，因而引起肺部的發炎、氣喘或心血管的病變，若是其他汙染物依附於懸浮微粒上，更會加重對於呼吸系統的危害。

目前的氣體檢測大都為定點式，且僅測量氣體觀測站周遭的氣體資訊，無法隨時隨地提供懸浮微粒的濃度；此外，懸浮微粒的檢測難以避免水蒸汽的干擾，高濕度環境下，顆粒物被水蒸汽包圍後，體積變大，透光性不足，同時小的水分子(水珠)增多，這都會直接影響檢測的準確性；有鑑於此，要如何能夠隨時隨地檢測懸浮微粒的同時，又要避免環境溫度對於檢測結果產生影響，來達到可隨時隨地又準確地偵測懸浮微粒的濃度，實為目前迫切需要解決之問題。

本案之主要目的係提供一種微粒監測模組，可組配於薄型可攜式裝置應用進行微粒監測，微粒監測模組先將氣體由進氣口吸入第一隔室內，於第一隔室內加熱，使得位於第一隔室內的氣體能夠維持於監測 標準溼度，提升氣體感測器感測效率，且主體具備有單向開口監測腔室，以提供一單向氣體導入導出之監測，共振片再透過致動器致動導送氣體，來達到微粒監測模組真正導入薄型可攜式裝置外的懸浮微粒進行監測時，能夠隨時隨地都可檢測懸浮微粒的目的。

本案之一廣義實施態樣為一種微粒監測模組，包含：一本體，包含一導氣本體及一監測本體相互組合而成，其中該導氣本體包含：複數個儲氣腔室，其中每個儲氣腔室上分別設有一進氣口、一熱氣排放口、一出氣口以及一加熱元件，該加熱元件對該儲氣腔室所導入氣體加熱除濕，並使該儲氣腔室內部加熱所形成水蒸氣體由該熱氣排放口排出於外，而除濕後氣體透過該出氣口導出；複數個通氣通道，其中每個儲氣腔室透過一通氣通道彼此串聯連通，使該儲氣腔室之該除濕後氣體透過該出氣口導出至所串連接之該儲氣腔室再進行多次除濕作業；以及該監測本體，內部由一承載隔板區隔出一進氣隔室及一出氣隔室，且設有一排氣孔，連通該出氣隔室，以及該承載隔板設有一連通口，供以連通該進氣隔室及該出氣隔室；一微粒監測基座，設置於該進氣隔室及該承載隔板之間，具有一監測通道，且該監測通道一端具有一承置槽，與該監測通道連通；一致動器，設置於該出氣隔室及該承載隔板之間，以控制氣體由該進氣隔室導入該監測通道，並透過該連通口連通而導送於該出氣隔室中，再由該排氣孔排出，構成該監測本體之單一方向氣體導送；一傳感器，鄰設於該承載隔板上，並位於該微粒監測基座之該監測通道中，以對導入該監測通道的氣體監測微粒濃度；藉此，外部濕度40%以上氣體導入該導氣本體內，經多個串接之該儲氣腔室加熱除濕後，導出需求氣體達到濕度10~40%進入該監測本體 內，經致動器控制導送該監測通道中，以該傳感器對導入該監測通道的氣體監測出準確之微粒監測濃度。

1‧‧‧主體

11‧‧‧導氣本體

111‧‧‧儲氣腔室

1111‧‧‧進氣口

1112‧‧‧熱氣排放口

1113‧‧‧出氣口

1114‧‧‧加熱元件

1115‧‧‧第一連接穿孔

1116‧‧‧溫濕度感測器

1117‧‧‧第二連接穿孔

112‧‧‧通氣通道

12‧‧‧監測本體

121‧‧‧承載隔板

121a‧‧‧外露部分

122‧‧‧進氣隔室

123‧‧‧出氣隔室

124‧‧‧排氣孔

125‧‧‧連通口

126‧‧‧連接孔

127‧‧‧連接器

2‧‧‧微粒監測基座

21‧‧‧監測通道

22‧‧‧承置槽

23‧‧‧雷射發射器

24‧‧‧光束通道

3‧‧‧致動器

31‧‧‧噴氣孔片

31a‧‧‧支架

31b‧‧‧懸浮片

31c‧‧‧中空孔洞

32‧‧‧腔體框架

33‧‧‧致動體

33a‧‧‧壓電載板

33b‧‧‧調整共振板

33c‧‧‧壓電板

34‧‧‧絕緣框架

35‧‧‧導電框架

36‧‧‧共振腔室

37‧‧‧氣流腔室

4‧‧‧傳感器

5‧‧‧電路軟板

6‧‧‧閥

61‧‧‧保持件

62‧‧‧密封件

63‧‧‧位移件

611、621‧‧‧通孔

第1圖為本案微粒監測模組剖面示意圖。

第2圖為本案微粒監測模組之導氣本體剖面示意圖。

第3圖為本案微粒監測模組之儲氣腔室另一側面剖面示意圖。

第4圖為本案微粒監測模組之監測本體剖面示意圖。

第5圖為本案微粒監測模組之儲氣腔室設置閥實施例剖面示意圖。

第6圖為本案微粒監測模組之致動器分解示意圖。

第7A圖為本案微粒監測模組之致動器剖面示意圖。

第7B圖至第7C圖為本案微粒監測模組之致動器的作動示意圖。

第8A圖為第5圖實施例中閥之剖面示意圖。

第8B圖為第8A圖所示之閥作動示意圖。

體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。

本案提供一種微粒監測模組，請參閱第1圖至第3圖，微粒監測模組包含一主體1、一微粒監測基座2、一致動器3及一傳感器4，主體1包含有一導氣本體11及監測本體12，導氣本體11包含有複數個儲氣腔室111及複數個通氣通道112；其中，每一個儲氣腔室111上皆分別具有一進氣 口1111、一熱氣排放口1112、一出氣口1113及一加熱元件1114，氣體由進氣口1111進入儲氣腔室111後，透過加熱元件1114對儲氣腔室111內的氣體進行加熱、除濕的動作，並使內部加熱所產生之水蒸氣由熱氣排放口1112排出於儲氣腔室111外，最後將加熱、除濕後的氣體由出氣口1113導出：而通氣通道112則是設置於儲氣腔室111之間，每一個儲氣腔室111皆是透過通氣通道112彼此串連相通，使得儲氣腔室111能夠經由通氣通道112將除濕後的氣體在導入所串連之另一儲氣腔室111，進行多次除濕作業。

請繼續參閱第1圖及第4圖，監測本體12內部由一承載隔板121間隔出一進氣隔室122及一出氣隔室123，監測本體12更具有與出氣隔室123相連通之一排氣孔124，且承載隔板121具有一連通口125，使進氣隔室122與出氣隔室123透過連通口125相通；前述之微粒監測基座2設置於進氣隔室112與承載隔板121之間，於本實施例中，微粒監測基座2設置於承載隔板121上並容置於進氣隔室122中；微粒監測基座2具有一監測通道21，使監測通道21上方得以直接導氣，不影響氣流導入，監測通道21的一端具有一承置槽22，承置槽22與監測通道21相通，而監測通道21的另一端與承載隔板121之連通口125相通。

前述之致動器3設置於微粒監測基座2的承置槽22，用以汲取進氣隔室122內的氣體進入監測通道21內；致動器3設置於微粒監測基座2的承載槽22中，並封閉承載槽22，以控制氣體由進氣口1111導入進氣隔室121內，再導入監測通道21，通過連通口125導送於出氣隔室123中，最後由排氣孔124向外排出；傳感器4係鄰設於承載隔板121上，並且位於微粒監測基座2的監測通道21中，以對導入監測通道21內的氣體進行檢測；其中，前述之監測通道21直接垂直對應到進氣隔室122，使監測通 道21上方得以直接導氣，不影響氣流導入，如此得以加快氣體導入監測通道21透過傳感器4進行檢測，提升傳感器4的效率。

上述之微粒監測基座2更包含有一雷射發射器23及一光束通道24，雷射發射器23與承載隔板121電性連接，並與光束通道24相鄰，以發射光束進入光束通道24內，而光束通道24與監測通道21垂直且連通，用以導引雷射發射器23所發射之光束照射至監測通道21中，將光束照射至監測通道21內的氣體中所含有之懸浮微粒上，懸浮微粒受光束照射後將產生多個光點，傳感器4接收該些光點用以感測懸浮微粒的粒徑及濃度；其中，傳感器5可為PM2.5傳感器，經由接收懸浮微粒受光束照射後所產生的多個光點，利用該些光點計算懸浮微粒的粒徑及濃度，用以檢測PM2.5的濃度。

請繼續參閱第1圖，微粒監測模組其監測本體12更具有一連接孔126，以供一電路軟板5穿伸入連接致動器3，並連接後封膠封閉連接孔126，避免氣體由連接孔126導入進氣隔室122；此外，前述之承載隔板121具有一外露部分121a穿透延伸出主體1外部，外露部分121a上具有一連接器127，連接器127供電路軟板5穿伸入連接，用以提供承載隔板121電性連接及訊號連接。其中，前述之承載隔板121可為一電路板。

請繼續參閱第1圖至第3圖，當外部濕度40%以上的氣體進入本體內，經過多個串接的儲氣腔室111加熱除濕之後，使得氣體的濕度達到10~40%後，再導入監測本體12內，經致動器3控制導送至監測通道21中，最後由傳感器4對導入監測通道21內的氣體監測出準確之微粒監測濃度；其中，上述之需求濕度之氣體為保持20%~30%為最佳。

請參閱第3圖，導氣本體11更包含有複數個溫濕度感測器1116，每個溫濕度感器1116分別設置於每個儲氣腔室111內，監測每個儲氣腔室111 之導入氣體的濕度，以調整位於相同儲氣腔室111內的加熱元件1114的加熱時間及加熱功率；其中每一儲氣腔室111更包含有一第一連接通孔1115一第二連接通孔1117，第一連接通孔1115供一電路軟板5穿設，以電連接加熱元件1114，並於設置完畢後，利用封膠封閉第一連接穿孔1115避免氣體由第一連接穿孔1115進入儲氣腔室111內，第二連接穿孔1117同樣供電路軟板5穿設，以電連接溫濕度感測器1116，並於設置完畢後，利用封膠封閉第二連接穿孔1117免氣體由第二連接穿孔1117進入儲氣腔室111內。

請參閱第5圖所示，導氣本體11更包含有複數個閥6，分別設置於每個導氣腔室111的進氣口1111、熱氣排放口1112及出氣口1113，供以開啟/關閉用於加熱除濕之導氣腔室111，並以溫濕度感測器1116監測儲氣腔室111的導入氣體之濕度，來調整決定加熱元件1114的加熱時間及加熱功率，並導出除濕後之氣體。

本案關於導氣本體11內導入氣體之除濕加熱方式，具有下列實施方式：首先第一實施方式如下，控制閥6開啟全部之進氣口1111、熱氣排放口1112及出氣口1113，使外部濕度40%以上的氣體導入導氣本體11時，利用彼此串連連通之儲氣腔室111進行多腔室的多次加熱除濕，並以溫濕度感測器1116監測儲氣腔室111之導入氣體濕度，以調整決定加熱元件1114之加熱時間及加熱功率，以及該儲氣腔室111內加熱除濕所形成水蒸氣體得由該熱氣排放口1112排出於外，而除濕後氣體達到濕度10~40%被導出進入該監測本體12內。

第二實施方式如下，其中一儲氣腔室111在進行加熱除濕時，以控制閥6開啟進氣口1111、熱氣排放口1112而關閉出氣口1113，並以其他串聯之該儲氣腔室111之閥6控制開啟其進氣口1111、出氣口1113而關閉熱 氣排放口1112，使外部濕度40%以上氣體導入儲氣腔室111內，由加熱元件1114加熱除濕，且該溫濕度感測器1116監測所導入氣體濕度在一需求值後，再開啟出氣口1113，導出需求氣體達到濕度10~40%進入該監測本體12內，以構成單一腔室加熱除濕操作。

第三實施方式如下，其中儲氣腔室111在進行加熱除濕時，以控制閥6開啟進氣口1111、熱氣排放口1112而關閉出氣口1113，使外部濕度40%以上氣體導入儲氣腔室111內，由加熱元件1114加熱除濕，且溫濕度感測器1116監測所導入氣體濕度在一需求值後，再開啟出氣口1113，再將除濕後氣體再導入另一串聯之儲氣腔室111進行加熱除濕，此時另一儲氣腔室111之閥6控制開啟進氣口1111、熱氣排放口1112而關閉出氣口1113，使除濕後氣體再二次進行加熱除濕，同樣該溫濕度感測器1116監測所導入該除濕後氣體濕度在需求值後，再開啟出氣口1113，再將二次除濕後氣體再導入其他串聯之儲氣腔室111繼續依序進行多次分批加熱除濕，令導出需求氣體達到濕度10~40%進入該監測本體12內，以構成多腔室分批多次加熱除濕操作。

了解上述微粒監測模組之導氣本體11加熱除濕操作說明後，以下就致動器3之結構及作動方式作一說明：請參閱第6圖至第7C圖，上述之致動器3為一氣體泵浦，致動器3包含有依序堆疊之噴氣孔片31、腔體框架32、致動體33、絕緣框架34及導電框架35；噴氣孔片31包含了複數個支架31a、一懸浮片31b及一中空孔洞31c，懸浮片31b可彎曲振動，複數個支架31a鄰接於懸浮片31b的周緣，本實施例中，支架31a其數量為4個，分別鄰接於懸浮片31b的4個角落，但不此以為限，而中空孔洞31c形成於懸浮片31b的中心位置；腔體框架32承載疊置於懸浮片31b上，致動體33承載疊置於腔體框架32 上，並包含了一壓電載板33a、一調整共振板33b、一壓電片33c，其中，壓電載板33a承載疊置於腔體框架32上，調整共振板33b承載疊置於壓電載板33a上，壓電板33c承載疊置於調整共振板33b上，供施加電壓後發生形變以帶動壓電載板33a及調整共振板33b進行往復式彎曲振動；絕緣框架34則是承載疊置於致動體33之壓電載板33a上，導電框架35承載疊置於絕緣框架34上，其中，致動體33、腔體框架32及該懸浮片31b之間形成一共振腔室36，其中，調整共振板33b的厚度大於壓電載板33a的厚度。

請參閱第7A圖至第7C圖，第7B圖、第7C圖為第7A圖所示之本案之致動器3之作動示意圖。請先參閱第7A圖，致動器3透過支架31a使致動器3設置於微粒監測基座2的承置槽22上方，噴氣孔片31與承置槽22的底面間隔設置，並於兩者之間形成氣流腔室37；請再參閱第7B圖，當施加電壓於致動體33之壓電板33c時，壓電板33c因壓電效應開始產生形變並同部帶動調整共振板33b與壓電載板33a，此時，噴氣孔片31會因亥姆霍茲共振(Helmloltz resonance)原理一起被帶動，使得致動體33向上移動，由於致動體33向上位移，使得噴氣孔片31與承置槽22的底面之間的氣流腔室37的容積增加，其內部氣壓形成負壓，於致動器3外的空氣將因為壓力梯度由噴氣孔片31的支架31a與承置槽22的側壁之間的空隙進入氣流腔室37並進行集壓；最後請參閱第7C圖，氣體不斷地進入氣流腔室37內，使氣流腔室37內的氣壓形成正壓，此時，致動體33受電壓驅動向下移動，將壓縮氣流腔室37的容積，並且推擠氣流腔室37內空氣，使氣體進入氣流通道21內，並將氣體提供給傳感器5，以透過傳感器5檢測氣體內的懸浮微粒濃度。

上述致動器3為一氣體泵浦，當然本案之致動器3也可透過微機電製程的方式所製出的微機電系統氣體泵浦，其中，噴氣孔片31、腔體框架32、致動體33、絕緣框架34及導電框架35皆可透過面型微加工技術製成，以縮小致動器3的體積。

前述之閥6的具體結構，可請參閱第8A圖及第8B圖來說明，閥6為包含一保持件61、一密封件62以及一位移件63。位移件63設置於保持件61及密封件62之間並於兩者間位移，保持件61上分別具有複數個通孔611，而位移件63對應保持件61上通孔611位置也設通孔631，保持件61的通孔611及位移件63的通孔631，其位置為相互對準，以及密封件62上設有複數個通孔621，且密封件62之通孔621與保持件61之通孔611之位置形成錯位而不對準。閥6之保持件61、密封件62以及位移件63透過電路軟板5連接一處理器(未圖示)來控制，以控制位移件63朝保持件61靠近，構成閥6之開啟。

上述之閥6之位移件63可為一帶電荷之材料，保持件61為一兩極性之導電材料，保持件61電性連接電路軟板5之處理器，用以控制保持件61之極性(正電極性或負電極性)。若位移件63為一帶負電荷之材料，當閥6須受控開啟時，控制保持件61形成一正電極，此時位移件63與保持件61維持不同極性，如此會使位移件63朝保持件61靠近，構成閥6之開啟(如第8B圖所示)。反之，若位移件63為一帶負電荷之材料，當閥6須受控關閉時，控制保持件61形成一負電極，此時位移件63與保持件61維持相同極性，使位移件63朝密封件62靠近，構成閥6之關閉(如第8A圖所示)。

上述之閥6之位移件63也可為一帶磁性之材料，而保持件61為一可受控變換極性之磁性材料。保持件61電性連接電路軟板5之處理器，用以控制保持件61之極性(正極或負極)。若位移件63為一帶負極之磁性 材料，當閥6須受控開啟時，保持件61形成一正極之磁性，此時控制位移件63與保持件61維持不同極性，使位移件63朝保持件61靠近，構成閥6開啟(如第8B圖所示)。反之，若位移件63為一帶負極之磁性材料，當閥6須受控關閉時，控制保持件61形成一負極之磁性，此時控制位移件63與保持件61維持相同極性，使位移件63朝密封件62靠近，構成閥6之關閉(如第8A圖所示)。

綜上所述，本案所提供之微粒監測模組，於複數個儲氣腔室內設置加熱元件，使得導氣本體導入監測本體內的空氣保持於溼度於10~40%，再由致動器將維持在10~40%溼度的氣體由進氣隔室導入監測通道內，來檢測懸浮微粒的粒徑及濃度，透過維持監測標準溼度來提升懸浮微粒的監測效率，來提升檢測懸浮微粒的效果，此外，可組配於薄型可攜式裝置應用進行懸浮微粒監測，配合現代人隨身攜帶可攜裝置的習慣，來達到隨時、隨的檢測懸浮微粒的功效，極具產業利用性及進步性。

Claims (14)

1. 一種微粒監測模組，包含：一本體，包含一導氣本體及一監測本體相互組合而成，其中該導氣本體包含：複數個儲氣腔室，其中每一該儲氣腔室上分別設有一進氣口、一熱氣排放口、一出氣口以及一加熱元件，該加熱元件對該儲氣腔室所導入氣體加熱除濕，並使該儲氣腔室內部加熱所形成水蒸氣體由該熱氣排放口排出於外，而除濕後氣體透過該出氣口導出；複數個通氣通道，其中每一該儲氣腔室透過一通氣通道彼此串聯連通，使該儲氣腔室之該除濕後氣體透過該出氣口導出至所串連接之該儲氣腔室再進行多次除濕作業；以及該監測本體內部由一承載隔板區隔出一進氣隔室及一出氣隔室，且設有一排氣孔，連通該出氣隔室，以及該承載隔板設有一連通口，供以連通該進氣隔室及該出氣隔室；一微粒監測基座，設置於該進氣隔室及該承載隔板之間，具有一監測通道，且該監測通道一端具有一承置槽，與該監測通道連通；一致動器，設置於該出氣隔室及該承載隔板之間，以控制氣體由該進氣隔室導入該監測通道，並透過該連通口連通而導送於該出氣隔室中，再由該排氣孔排出，構成該監測本體之單一方向氣體導送；一傳感器，鄰設於該承載隔板上，並位於該微粒監測基座之該監測通道中，以對導入該監測通道的氣體監測微粒濃度；藉此，外部濕度40%以上氣體導入該導氣本體內，經多個串接之該儲氣腔室加熱除濕後，導出需求氣體達到濕度10~40%進入該監測本體內，經該致動器控制導送該監測通道中，以該傳感器對導入該監測通道的氣體監測出準確之微粒監測濃度。
2. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組，其中該需求濕度之氣體為保持20%-30%的濕度為最佳。
3. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組，其中該導氣本體包括複數個溫濕度感測器，分別設置於每個儲氣腔室內，監測每個儲氣腔室之導入氣體之濕度，以調整決定該加熱元件之加熱時間及加熱功率。
4. 如申請專利範圍第3項所述之微粒監測模組，其中該導氣本體包括複數個閥，分別設置於每個儲氣腔室之該進氣口、該熱氣排放口、該出氣口上，以對進行加熱除濕之該儲氣腔室控制啟閉，並以該溫濕度感測器監測該儲氣腔室之導入氣體之濕度，以調整決定該加熱元件之加熱時間及加熱功率而導出除濕後氣體。
5. 如申請專利範圍第4項所述之微粒監測模組，其中該儲氣腔室在進行加熱除濕時，控制該閥開啟該進氣口、該出氣口及該熱氣排放口，使外部濕度40%以上氣體導入該導氣本體內，以彼此串聯連通之該儲氣腔室進行多腔室多次加熱除濕，並以該溫濕度感測器監測該儲氣腔室之導入氣體濕度，以調整決定該加熱元件之加熱時間及加熱功率，以及該儲氣腔室內加熱除濕所形成水蒸氣體得由該熱氣排放口排出於外，而除濕後氣體達到濕度10~40%被導出進入該監測本體內。
6. 如申請專利範圍第5項所述之微粒監測模組，其中一儲氣腔室在進行加熱除濕時，以控制該閥開啟該進氣口、該熱氣排放口而關閉該出氣口，並以其他串聯之該儲氣腔室之該閥控制開啟該進氣口、該出氣口而關閉該熱氣排放口，使外部濕度40%以上氣體導入該儲氣腔室內，由該加熱元件加熱除濕，且該溫濕度感測器監測所導入氣體濕度在一需求值後，再開啟該出氣口，導出需求氣體達到濕度10~40%進入該監測本體內，以構成單一腔室加熱除濕操作。
7. 如申請專利範圍第5項所述之微粒監測模組，其中該儲氣腔室在進行加 熱除濕時，以控制該閥開啟該進氣口、該熱氣排放口而關閉該出氣口，使外部濕度40%以上氣體導入該儲氣腔室內，由該加熱元件加熱除濕，且該溫濕度感測器監測所導入氣體濕度在一需求值後，再開啟該出氣口，復將除濕後氣體再導入其他串聯之一該儲氣腔室進行加熱除濕，此時其他串聯之一該儲氣腔室上之該閥控制開啟該進氣口、該熱氣排放口而關閉該出氣口，使除濕後氣體再二次進行加熱除濕，同樣該溫濕度感測器監測所導入該除濕後氣體濕度在一需求值後，再開啟該出氣口，復將二次除濕後氣體再導入其他串聯之一該儲氣腔室繼續依序進行多次分批加熱除濕，導出需求氣體達到濕度10~40%進入該監測本體內，以構成多腔室分批多次加熱除濕操作。
8. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組，其中該傳感器為PM2.5傳感器。
9. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組，其中該致動器為一微機電系統氣體泵浦。
10. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組，其中該致動器為一氣體泵浦，其包含：一噴氣孔片，包含複數個支架、一懸浮片及一中空孔洞，該懸浮片可彎曲振動，該複數個支架鄰接於該懸浮片周緣，而該中空孔洞形成於懸浮片的中心位置，透過複數個支架設置該微粒監測機做的承置槽上方，並提供彈性支撐該懸浮片，並該噴氣孔片與該承置槽之間形成一氣流腔室，且該複數個支架及該懸浮片之間形成至少一空隙；一腔體框架，承載疊置於該懸浮片上；一致動體，承載疊置於該腔體框架上，以接受電壓而產生往復式地彎曲振動；一絕緣框架，承載疊置於該致動體上；以及 一導電框架，承載疊設置於該絕緣框架上；其中，該致動體、該腔體框架及該懸浮片之間形成一共振腔室，透過驅動該致動體以帶動該噴氣孔片產生共振，使該噴氣孔片之該懸浮片產生往復式地振動位移，以造成該氣體通過該至少一空隙進入該氣流腔室，再由該氣體流道排出，實現該氣體之傳輸流動。
11. 如申請專利範圍第10項所述之微粒監測模組，其中該致動體包含：一壓電載板，承載疊置於該腔體框架上；一調整共振板，承載疊置於該壓電載板上；以及一壓電板，承載疊置於該調整共振板上，以接受電壓而驅動該壓電載板及該調整共振板產生往復式地彎曲振動。
12. 如申請專利範圍第11項所述之微粒監測模組，其中該調整共振板之厚度大於該壓電載板之厚度。
13. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組，其中該承載隔板為一電路板。
14. 如申請專利範圍第13項所述之微粒監測模組，其中該微粒監測基座及該傳感器與該承載隔板電性連接，該微粒監測基座包含有一雷射發射器，與該承載隔板電性連接，並設有一光束通道，與該監測通道垂直連通，供該雷射發射器發射之光束照射至該監測通道中，以對該監測通道上氣體之懸浮粒照射產生光點投射於該傳感器上感測。