TWM567371U - Particle monitoring module - Google Patents

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TWM567371U
TWM567371U TW107205562U TW107205562U TWM567371U TW M567371 U TWM567371 U TW M567371U TW 107205562 U TW107205562 U TW 107205562U TW 107205562 U TW107205562 U TW 107205562U TW M567371 U TWM567371 U TW M567371U
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TW
Taiwan
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compartment
particle monitoring
monitoring module
particle
gas
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Application number
TW107205562U
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English (en)
Inventor
莫皓然
黃啟峰
韓永隆
李偉銘
Original Assignee
研能科技股份有限公司
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Abstract

一種微粒監測模組,包含:主體,由承載隔板區隔出第一隔室及第二隔室,且設有進氣口及熱氣排放口,連通第一隔室,設有排氣口,連通第二隔室,以及承載隔板具有連通口,連通第一隔室及第二隔室;微粒監測基座,具有監測通道,且監測通道一端具有承置槽,與監測通道連通;致動器,設置於承置槽,以控制氣體由進氣口導入第一隔室,並透過連通口連通而導送於第二隔室中;加熱元件,設置於第一隔室,對第一隔室加熱,以使第一隔室維持監測標準濕度;傳感器,承載於承載隔板上,並位於微粒監測基座之監測通道中,以對導入監測通道的氣體監測。

Description

微粒監測模組
本案關於一種微粒監測模組,尤指一種可維持監測溼度及組配於薄型可攜式裝置應用進行氣體監測的微粒監測模組。
懸浮微粒是指於空氣中含有的固體顆粒或液滴,由於其粒徑非常細微,容易通過鼻腔內的鼻毛進入人體的肺部,因而引起肺部的發炎、氣喘或心血管的病變,若是其他汙染物依附於懸浮微粒上,更會加重對於呼吸系統的危害。
目前的氣體檢測大都為定點式,且僅測量氣體觀測站周遭的氣體資訊,無法隨時隨地提供懸浮微粒的濃度;此外,懸浮微粒的檢測難以避免水蒸氣的干擾,於高濕度環境下,顆粒物被水蒸氣包圍後,體積變大,透光性不足,同時小的水分子(水珠)增多,這都會直接影響檢測的準確性;有鑑於此,要如何能夠隨時隨地檢測懸浮微粒的同時,又要避免環境溫度對於檢測結果產生影響,來達到可隨時隨地又準確地偵測懸浮微粒的濃度,實為目前迫切需要解決之問題。
本案之主要目的係提供一種微粒監測模組,可組配於薄型可攜式裝置應用進行微粒監測,微粒監測模組先將氣體由進氣口吸入第一隔室內,於第一隔室內加熱,使得位於第一隔室內的氣體能夠維持於監測 標準溼度,提升氣體感測器感測效率,且主體具備有單向開口監測腔室,以提供一單向氣體導入導出之監測,共振片再透過致動器致動導送氣體,來達到微粒監測模組真正導入薄型可攜式裝置外的懸浮微粒進行監測時,能夠隨時隨地都可檢測懸浮微粒的目的。
本案之一廣義實施態樣為一種微粒監測模組,包含:主體,內部由一承載隔板區隔出一第一隔室及一第二隔室,且設有一進氣口、一熱氣排放口及一排氣口,該進氣口及該熱氣排放口連通該第一隔室,該排氣口連通該第二隔室,以及該承載隔板具有一連通口,連通該第一隔室及該第二隔室;一微粒監測基座,設置於該第一隔室、該承載隔板之間,具有一監測通道,且該監測通道一端具有一承置槽,與該監測通道連通;一致動器,設置於該微粒監測基座之該承置槽,以控制氣體由該進氣口導入該第一隔室,並透過該連通口連通而導送於該第二隔室中,再由該出氣口排出,構成單一方向氣體導送;一加熱元件,設置於該第一隔室,對該第一隔室加熱,以使該第一隔室維持一監測標準濕度;一傳感器,鄰設於該承載隔板上,並位於該微粒監測基座之該監測通道中,以對導入該監測通道的氣體監測。
10‧‧‧薄型可攜裝置
10a‧‧‧第一通口
10b‧‧‧第二通口
10c‧‧‧第三通口
1‧‧‧主體
11a‧‧‧第一本體
11b‧‧‧第二本體
11c‧‧‧承載隔板
11d‧‧‧第一隔室
11e‧‧‧第二隔室
11f‧‧‧進氣口
11g‧‧‧熱氣排放口
11h‧‧‧排氣口
11i‧‧‧連通口
11j‧‧‧第一連接穿孔
11k‧‧‧第二連接穿孔
11l‧‧‧外露部分
11m‧‧‧連接器
11n‧‧‧第三連接穿孔
2‧‧‧微粒監測基座
21‧‧‧監測通道
22‧‧‧承置槽
23‧‧‧雷射發射器
24‧‧‧光束通道
3‧‧‧致動器
31‧‧‧噴氣孔片
31a‧‧‧支架
31b‧‧‧懸浮片
31c‧‧‧中空孔洞
32‧‧‧腔體框架
33‧‧‧致動體
33a‧‧‧壓電載板
33b‧‧‧調整共振板
33c‧‧‧壓電板
34‧‧‧絕緣框架
35‧‧‧導電框架
36‧‧‧共振腔室
37‧‧‧氣流腔室
4‧‧‧加熱元件
5‧‧‧傳感器
6‧‧‧電路軟板
7‧‧‧閥
71‧‧‧保持件
72‧‧‧密封件
73‧‧‧位移件
711、721、731‧‧‧通孔
第1圖為本案之微粒監測模組的剖面示意圖。
第2A圖為本案之微粒監測模組應用於薄型可攜式裝置一實施例剖面示意圖。
第2B圖為本案之微粒監測模組應用於薄型可攜式裝置一實施例外觀示意圖。
第2C圖為本案之微粒監測模組應用於薄型可攜式裝置一實施例另一外觀示意圖。
第3圖為本案之微粒監測模組之致動器的分解示意圖。
第4A圖為本案之微粒監測模組之致動器的剖面示意圖。
第4B圖至第4C圖為本案之微粒監測模組之致動器的作動示意圖。
第5圖為本案之微粒監測模組應用於薄型可攜式裝置的另一實施例之示意圖。
第6A圖為第5圖所示之閥之剖面示意圖。
第6B圖為第6A圖所示之閥之作動示意圖。
體現本案特徵與優點的一些典型實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化,其皆不脫離本案的範圍,且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用,而非用以限制本案。
本案提供一種微粒監測模組,請參閱第1圖,微粒監測模組包含一主體1、一微粒監測基座2、一致動器3、一加熱元件4及一傳感器5,主體1包含有一第一本體11a、一第二本體11b及一承載隔板11c,第一本體11a與第二本體11b相互對接,而承載隔板11c設置於第一本體11a與第二本體11b之間結合形成主體1,使主體1的第一本體11a與第二本體11b的內部空間藉由承載隔板11c定義出一第一隔室11d與第二隔室11e,又本體1具有一進氣口11f、一熱氣排放口11g及一排氣口11h,於本實施例中,進氣口11f及熱氣排放口11g可分別設置於第一本體11a、承載隔板11c之間連通第一隔室11d,出氣口11h設置於第二本體11b、承載隔板11c 之間連通第二隔室11e,此外,承載隔板11c具有一連通口11i,以連通第一隔室11d與第二隔室11e,使得主體1的內部由進氣口11f、第一隔室11d、連通口11i、第二隔室11e、排氣口11h構成一單向導送導出氣體之氣體通道,即如第1圖箭頭所指方向之路徑。
於本實施例中,上述之進氣口11f及熱氣排放口11g皆設置於第一本體11a,排氣口11h設置於第二本體12b與承載隔板11c之間。於本案另一些實施例中,進氣口11f及熱氣排放口11g亦可設置於第一本體11a與承載隔板11c之間,並與第一隔室11d相連通,以及排氣口11h亦可設置於第二本體11b,並與第二隔室11e相連通,但均不以此為限,可依據實際需求任施變化。
於本實施例中,前述之微粒監測基座2設置於第一隔室11d與承載隔板11c之間,於本案另一些實施例中,微粒監測基座2亦可鄰設於承載隔板11c,並容置於第一隔室11d中,但不以此為限;本實施例之微粒監測基座2具有一監測通道21,直接垂直對應到進氣口11f,使監測通道21上方得以直接導氣,不影響氣流導入,監測通道21的一端具有一承置槽22,承置槽22與監測通道21相通,而監測通道21的另一端與承載隔板11c的連通口11i相通。
前述之致動器3設置於微粒監測基座2的承置槽22,用以汲取第一隔室11d內的氣體進入監測通道21內;加熱元件4則是設置於第一隔室11d內,來對第一隔室11d內的空氣進行加熱,以使第一隔室11d內的空氣維持一監測標準濕度,該監測標準濕度為監測懸浮微粒的一較佳相對濕度區間值,其中,第一隔室11d內部的空氣受加熱元件4加熱後所產生之水蒸氣由熱氣排放口11g排出;致動器3設置於微粒監測基座2的承置槽22,並封閉承置槽22,以控制氣體由進氣口11f導入第一隔室11d 內,再導入監測通道21,通過連通口11i導送於第二隔室11e,最後由排氣口11h向外排出,構成主體1之單一方向氣體導送;傳感器5係鄰設於承載隔板11c上,並且位於微粒監測基座2的監測通道21中,以對導入監測通道21內的氣體進行檢測;其中,前述之監測通道21直接垂直對應到進氣口11f,使監測通道21上方得以直接導氣,不影響氣流導入,如此得以加快氣體導入監測通道21透過傳感器5進行檢測,提升傳感器5的效率,而且導入氣體進入第一隔室11d內可受到加熱元件4進行加熱除濕,以維持一監測標準濕度,進而提升傳感器5之檢測準確性,此監測標準濕度為10%至40%的濕度,於另一實施例中,監測標準濕度亦可為20%至30%的濕度為較佳。
上述之微粒監測基座2更包含有一雷射發射器23及一光束通道24,雷射發射器23與承載隔板11c電性連接,並與光束通道24相鄰,以發射光束進入光束通道24內,而光束通道24與監測通道21垂直且連通,用以導引雷射發射器23所發射之光束照射至監測通道21中,將光束照射至監測通道21內的氣體中所含有之懸浮微粒上,懸浮微粒受光束照射後將產生多個光點,傳感器5接收該些光點用以感測懸浮微粒的粒徑及濃度;其中,傳感器5可為但不限為PM2.5傳感器,經由接收懸浮微粒受光束照射後所產生的多個光點,利用該些光點計算懸浮微粒的粒徑及濃度,用以檢測PM2.5的濃度。
請繼續參閱第1圖,微粒監測模組其本體1的第一本體11a具有一第一連接穿孔11j,以供一電路軟板6穿伸入連接致動器3,並連接後封膠封閉第一連接穿孔11j,避免氣體由第一連接穿孔11j導入第一隔室11d,而第一本體11a還具有一第二連接穿孔11k,以供電路軟板6穿伸入連接加熱元件4,並連接後封膠封閉第二連接穿孔11k,避免氣體由第二連接 穿孔11k導入第一隔室11d;此外,前述之承載隔板11c具有一外露部分11l穿透延伸出主體1外部,外露部分11l上具有一連接器11m,連接器11m供電路軟板6穿伸入連接,用以提供乘載隔板11c電性連接及訊號連接。其中,前述之承載隔板11c可為一電路板。於本實施例中,第一隔室11d內更設有一濕度感測裝置(未圖示),濕度感測裝置與該加熱元件4電性連接,用於感測第一隔室11d內的濕度值,當濕度感測裝置感測到第一隔室11d內的濕度值高於該監測標準濕度時,濕度感測裝置傳遞一致能訊號至該加熱元件4,以致能加熱元件4對第一隔室11d內之氣體進行加熱以排除水蒸氣;反之,當濕度感測裝置感測到第一隔室11d內的濕度值介於或低於該監測標準濕度時,濕度感測裝置傳遞一禁能訊號至該加熱元件4,以使加熱元件4停止加熱。於本案另一些實施例中,濕度感測裝置嵌設於加熱元件4內,但不以此為限。
再請參閱第2A圖第2C圖所示,上述微粒監測模組可應用組配於一薄型可攜裝置10內,薄型可攜裝置10具有一第一通口10a、一第二通口10b及一第三通口10c,而微粒監測模組組配於薄型可攜裝置10內,其第一通口10a對應到進氣口11f並與其相通,第二通口10b對應到熱氣排放口11g對應到第二通口10b並與其相通,第三通口10c對應到排氣口11h對並與其相通,如此薄型可攜裝置10外氣體可被導入薄型可攜裝置10進行監測,透過致動器3的致動運作導送薄型可攜裝置10外氣體,得以使第一隔室11d內形成負壓,讓氣體由進氣口11f導入至第一隔室11d中,再通過連通口11i進入第二隔室11e中,再透過致動器3的致動推送第二隔室11e內導入氣體由排氣口11h排出,構成一單向氣體導送監測,本案致動傳感模組不僅能隔絕其他干擾因素(內部致動器熱源、薄型可攜裝置10內所產生一些氣體汙染、熱源等干擾物質)對於傳感器5所造成的 影響,再透過致動器3之設置,以提供一單向氣體導入導出,且加快氣體導送到傳感器5之表面進行監測,提升傳感器5的感測效率,並能達到致動傳感模組真正導入薄型可攜裝置10外氣體進行監測,這致動傳感模組內所需監測氣體特性等同於薄型可攜裝置10外的氣體特性。此外,加熱元件4所產生的熱能可利用第一本體11a隔絕,避免加熱元件4產生之熱能影響到薄型可攜裝置10內部的元件運作。
了解上述之致動傳感模組之特點說明,以下就致動器之結構及作動方式作一說明:請參閱第3圖至第4C圖,上述之致動器3為一氣體泵浦,致動器3包含有依序堆疊之噴氣孔片31、腔體框架32、致動體33、絕緣框架34及導電框架35;噴氣孔片31包含了複數個支架31a、一懸浮片31b及一中空孔洞31c,懸浮片31b可彎曲振動,複數個支架31a鄰接於懸浮片31b的周緣,本實施例中,支架31a其數量為4個,分別鄰接於懸浮片31b的4個角落,但不此以為限,而中空孔洞31c形成於懸浮片31b的中心位置;腔體框架32承載疊置於懸浮片31b上,致動體33承載疊置於腔體框架32上,並包含了一壓電載板33a、一調整共振板33b、一壓電板3c,其中,壓電載板33a承載疊置於腔體框架32上,調整共振板33b承載疊置於壓電載板33a上,壓電板33c承載疊置於調整共振板33b上,供施加電壓後發生形變以帶動壓電載板33a及調整共振板33b進行往復式彎曲振動;絕緣框架34則是承載疊置於致動體33之壓電載板33a上,導電框架35承載疊置於絕緣框架34上,其中,致動體33、腔體框架32及該懸浮片31b之間形成一共振腔室36,其中,調整共振板33b的厚度大於壓電載板33a的厚度。
請參閱第4A圖至第4C圖,第4B圖、第4C圖為第4A圖所示之本案之致動器3之作動示意圖。請先參閱第4A圖,致動器3透過支架31a使致動器3設置於微粒監測基座2的承置槽22上方,噴氣孔片31與承置槽22的底面間隔設置,並於兩者之間形成氣流腔室37;請再參閱第4B圖,當施加電壓於致動體33之壓電板33c時,壓電板33c因壓電效應開始產生形變並同部帶動調整共振板33b與壓電載板33a,此時,噴氣孔片31會因亥姆霍茲共振(Helmholtz resonance)原理一起被帶動,使得致動體33向上移動,由於致動體33向上位移,使得噴氣孔片31與承置槽22的底面之間的氣流腔室37的容積增加,其內部氣壓形成負壓,於致動器3外的空氣將因為壓力梯度由噴氣孔片31的支架31a與承置槽22的側壁之間的空隙進入氣流腔室37並進行集壓;最後請參閱第4C圖,氣體不斷地進入氣流腔室37內,使氣流腔室37內的氣壓形成正壓,此時,致動體33受電壓驅動向下移動,將壓縮氣流腔室37的容積,並且推擠氣流腔室37內空氣,使氣體進入氣流通道21內,並將氣體提供給傳感器5,以透過傳感器5檢測氣體內的懸浮微粒濃度。
上述致動器3為一氣體泵浦,當然本案之致動器3也可透過微機電製程的方式所製出的微機電系統氣體泵浦,其中,噴氣孔片31、腔體框架32、致動體33、絕緣框架34及導電框架35皆可透過面型微加工技術製成,以縮小致動器3的體積。
又請參閱第5圖,致動傳感模組的另一實施例,微粒監測模組可更進一步包含有至少一閥7,於本實施例中,閥7的數量為2個,分別設置於進氣口11f及熱氣排放口11g,且利用閥7開啟或關閉進氣口11f及熱氣排放口11g,特別是當第一隔室11d內的濕度高於監測標準濕度時,開啟熱氣排放口11g上的閥7及加熱元件4,利用熱氣排放口11g向外排除水蒸 氣,降低第一隔室11d內的濕度,當第一隔室11d內的濕度達到監測標準濕度,關閉熱氣排放口11g的閥7,使第一隔室11d的濕度維持在監測標準濕度,提升懸浮微粒的監測效率,此外,利用閥7關閉進氣口11f與熱氣排放口11g,再經由第一本體11a、第二本體11b隔離外在因素對於微粒監測模組內部的影響,來確保監測懸浮微粒的精準度。此外,第一本體11a更包含有一第三連接穿孔11n,第三連接穿孔11n供電路軟板6穿過延伸至第一隔室11d內來連接閥7,用以控制閥7,再於連接後利用封膠封閉第三連接穿孔11n來避免氣體由第三連接穿孔11n進入第一隔室11d。
上述之閥7的具體結構,可請參閱第6A圖及第6B圖來說明,閥7為包含一保持件71、一密封件72以及一位移件73。位移件73設置於保持件71及密封件72之間並於兩者間位移,保持件71上分別具有複數個通孔711,而位移件73對應保持件71上通孔711位置也設通孔731,保持件71的通孔711及位移件73的通孔731,其位置相互對準,以及密封件72上設有複數個通孔721,且密封件72之通孔721與保持件71之通孔711之位置形成錯位而不對準。閥7之保持件71、密封件72以及位移件73透過電路軟板6連接一處理器(未圖示)來控制,以控制位移件73朝保持件71靠近,構成閥7之開啟。
上述之閥7之位移件73可為一帶電荷之材料,保持件71為一兩極性之導電材料,保持件71電性連接電路軟板6之處理器,用以控制保持件71之極性(正電極性或負電極性)。若位移件73為一帶負電荷之材料,當閥7須受控開啟時,控制保持件71形成一正電極,此時位移件73與保持件71維持不同極性,如此會使位移件73朝保持件71靠近,構成閥7之開啟(如第6B圖所示)。反之,若位移件73為一帶負電荷之材料,當閥7須受控關閉時,控制保持件71形成一負電極,此時位移件 73與保持件71維持相同極性,使位移件73朝密封件72靠近,構成閥7之關閉(如第6A圖所示)。
上述之閥7之位移件73也可為一帶磁性之材料,而保持件71為一可受控變換極性之磁性材料。保持件71電性連接電路軟板6之處理器,用以控制保持件71之極性(正極或負極)。若位移件73為一帶負極之磁性材料,當閥7須受控開啟時,保持件71形成一正極之磁性,此時控制位移件73與保持件71維持不同極性,使位移件73朝保持件71靠近,構成閥7開啟(如第6B圖所示)。反之,若位移件73為一帶負極之磁性材料,當閥7須受控關閉時,控制保持件71形成一負極之磁性,此時控制位移件73與保持件71維持相同極性,使位移件73朝密封件72靠近,構成閥7之關閉(如第6A圖所示)。
綜上所述,本案所提供之微粒監測模組,於第一隔室內設置加熱元件,使得第一隔室內的空氣保持於監測標準溼度,再由致動器將維持在監測標準溼度的氣體由第一隔室導入監測通道內,來檢測懸浮微粒的粒徑及濃度,透過維持監測標準溼度來提升懸浮微粒的監測效率,來提升檢測懸浮微粒的效果,此外,可組配於薄型可攜式裝置應用進行懸浮微粒監測,配合現代人隨身攜帶可攜裝置的習慣,來達到隨時、隨的檢測懸浮微粒的功效,極具產業利用性及進步性。

Claims (17)

  1. 一種微粒監測模組,包含:一主體,內部由一承載隔板區隔出一第一隔室及一第二隔室,且設有一進氣口、一熱氣排放口及一排氣口,該進氣口及該熱氣排放口連通該第一隔室該排氣口連通該第二隔室,以及該承載隔板具有一連通口,連通該第一隔室及該第二隔室;一微粒監測基座,設置於該第一隔室及該承載隔板之間,具有一監測通道,且該監測通道一端具有一承置槽,與該監測通道連通;一致動器,設置於該微粒監測基座之該承置槽,以控制氣體由該進氣口導入該第一隔室,並透過該連通口連通而導送於該第二隔室中,再由該排氣口排出,構成單一方向氣體導送;一加熱元件,設置於該第一隔室,對該第一隔室加熱,以使該第一隔室維持一監測標準濕度;以及一傳感器,鄰設於該承載隔板上,並位於該微粒監測基座之該監測通道中,以對導入該監測通道的氣體監測。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組,其中該主體包括一第一本體及一第二本體,其中該第一本體及該第二本體相互對接,且該承載隔板設置於該第一本體、該第二本體之間,以使該第一本體、該承載隔板之間構成第一隔室,該第二本體、該承載隔板之間構成第二隔室,而該進氣口、該熱氣排放口設置於該第一本體與該承載隔板之間,並連通該第一隔室,該排氣口設置於該第二本體與該承載隔板之間,並連通該第二隔室。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組,其中該熱氣排放口供該第一隔室受該加熱元件加熱所產生之水蒸氣排出。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組,其中該監測標準濕度為指 該第一隔室導入氣體保持10%至40%的濕度。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之微粒監測模組,其中該監測標準濕度為該第一隔室導入氣體保持20%至30%的濕度為最佳。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組,其中該傳感器為PM2.5傳感器。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組,其中該致動器為一微機電系統氣體泵浦。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組,其中該致動器為一氣體泵浦,其包含:一噴氣孔片,包含複數個支架、一懸浮片及一中空孔洞,該懸浮片可彎曲振動,該複數個支架鄰接於該懸浮片周緣,而該中空孔洞形成於懸浮片的中心位置,透過複數個支架設置該微粒監測機做的承置槽上方,並提供彈性支撐該懸浮片,並該噴氣孔片與該承置槽之間形成一氣流腔室,且該複數個支架及該懸浮片之間形成至少一空隙;一腔體框架,承載疊置於該懸浮片上;一致動體,承載疊置於該腔體框架上,以接受電壓而產生往復式地彎曲振動;一絕緣框架,承載疊置於該致動體上;以及一導電框架,承載疊設置於該絕緣框架上;其中,該致動體、該腔體框架及該懸浮片之間形成一共振腔室,透過驅動該致動體以帶動該噴氣孔片產生共振,使該噴氣孔片之該懸浮片產生往復式地振動位移,以造成該氣體通過該至少一空隙進入該氣流腔室,再由該氣體流道排出,實現該氣體之傳輸流動。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之微粒監測模組,其中該致動體包含:一壓電載板,承載疊置於該腔體框架上; 一調整共振板,承載疊置於該壓電載板上;以及一壓電板,承載疊置於該調整共振板上,以接受電壓而驅動該壓電載板及該調整共振板產生往復式地彎曲振動。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之微粒監測模組,其中該調整共振板之厚度大於該壓電載板之厚度。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之微粒監測模組,其中該承載隔板為一電路板。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之微粒監測模組,其中該微粒監測基座及該傳感器與該承載隔板電性連接,該微粒監測基座包含有一雷射發射器,與該承載隔板電性連接,並設有一光束通道,與該監測通道垂直連通,供該雷射發射器發射之光束照射至該監測通道中,以對該監測通道上氣體之懸浮粒照射產生光點投射於該傳感器上感測。
  13. 如申請專利範圍第2項所述之微粒監測模組,其中該第一本體具有一第一連接穿孔,以供一電路軟板穿伸入連接該致動器,並連接後封膠封閉該第一連接穿孔,避免外部氣體由該第一連接穿孔進入該第一隔室。
  14. 如申請專利範圍第2項所述之微粒監測模組,其中該第一本體具有一第二連接穿孔,以供一電路軟板穿伸入連接該加熱元件,並連接後封膠封閉該第二連接穿孔,避免外部氣體由該第二連接穿孔進入該第一隔室。
  15. 如申請專利範圍第11項所述之微粒監測模組,其中該承載隔板具有一外露部份穿伸至該主體外部,該外露部分上具有一連接器,以供一電路軟板穿伸入連接,提供該承載隔板電性連接及訊號連接。
  16. 如申請專利範圍第2項所述之微粒監測模組,其中該第一本體具有一第三連接穿孔,以供一電路軟板穿伸入連接複數個閥,並連接後封膠封閉該第三連接穿孔,避免外部氣體由該第三連接穿孔進入該第一隔室。
  17. 如申請專利範圍第16項所述之微粒監測模組,其中該複數個閥分別設置 於該進氣口及該熱氣排放口之位置,該閥包含一保持件、一密封件及一位移件,其中該位移件設置於該保持件及該密封件之間,以及該保持件、該密封件及該位移件上分別具有複數個通孔,而該保持件及該位移件上複數個通孔位置係相互對準,且該密封件與該保持件之複數個通孔位置為相互錯位不對準,其中該位移件透過該電路軟板連接一處理器來控制,以控制其朝該保持件靠近,以構成該閥之開啟。
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