TWM538950U - 碳化纖維製造設備 - Google Patents

Description

碳化纖維製造設備

本創作係有關碳化纖維之製造設備，特別是指一種可大幅提昇碳化纖維上漿品質，且有效縮減碳化纖維生產設備成本及工時的碳化纖維製造設備。

碳化纖維依纖維當中之碳含量不同又可分為碳纖維或石墨纖維，其由於具有優異的力學特性及電氣特性，可廣泛應用於各種用途；坊間所見之碳化纖維多係將聚丙烯腈系纖維等碳纖維的前驅物纖維(precursor fiber)成束而成的碳纖維前驅物纖維束進行煅燒(高溫碳化) 而獲得。

可供做為碳化纖維的前驅物纖維種類相當多，如嫘縈、聚乙烯醇、偏氯乙烯、聚丙烯腈(polyacrylonitrile , PAN)、瀝青(pitch)等；現有主流使用的碳纖維採用聚丙烯腈(PAN)為原料，其流程一般如下：PAN原料(前驅物纖維)→預氧化步驟→高溫碳化步驟→表面處理→上漿。

其中，在碳化步驟中，則係依照在碳化纖維之用途，以不同的加熱設備將碳纖維前驅物纖維束加熱成為碳纖維或是石墨纖維；原則上，石墨纖維之纖維當中的碳含量達90%以上，並形成二維碳環平面的網狀結構和層片平行的石墨層結構；研究结果顯示高强度型碳纖維的結晶區约由5～6層石墨平面組成，高强度高模數型碳纖維的結晶區约由10～20層石墨平面组成；理論上和實際商品驗證均指出，石墨層晶粒厚度越大，碳纖維的拉伸模數越高。

另一方面，未經過處理的碳化纖維對基質樹脂具有不足之黏附性，而且其具有不良之橫向性質，如分離強度及切力強度，因此較少直接利用，通常依照用途成型為與基質樹脂組合的碳化纖維複合材料，且完成碳化步驟的碳化纖維在出廠前多會於表面塗佈一層油劑(上漿步驟)，以保護纖維不致因為後續工藝的摩擦而導致斷裂，影響整體碳化纖維的品質。

再者，碳化纖維在高溫碳化步驟中，通常因為高溫燒熔作用使得其纖維表面過於細緻化且幾無表面官能基，導致纖維無法與樹脂油劑完整結合；已知可利用熱處理或電解技術技術對已完成高溫碳化步驟的纖維施以表面處理，藉以改善纖維與樹脂油劑之間的結合效果。

然而，以熱處理方式對碳化纖維進行表面處理時，不但必須花費較多的時間，且通常一次處理較多的數量，相對較不容易掌控加工品質；至於，以電解方式對碳化纖維進行表面處理時，則必須在事後經過至少一道乾燥程序始得以於纖維表面塗佈油劑，且通常因為電解液變動而影響加工品質，甚至在纖維表面產生沉積現象。

有鑑於此，本創作即在提供一種可大幅提昇碳化纖維上漿品質，且有效縮減碳化纖維生產設備成本及工時的碳化纖維製造設備，為其主要目的者。

為了達到上揭目的，本創作之碳化纖維製造設備，至少包含：一供料模組及一收料模組，該收料模組係設於該供料模組之周邊處，且該供料模組及該收料模組構成一碳化纖維拖曳行程；一高溫碳化模組，係設於該碳化纖維拖曳行程且位於該供料模組與該收料模組之間，係用以對該碳化纖維拖曳行程進行加熱；一電漿表面處理模組，係設於該碳化纖維拖曳行程且位於該高溫碳化模組與該收料模組之間，係用以對該碳化纖維拖曳行程提供電漿氣流；一上漿模組，係設於該碳化纖維拖曳行程且位於該電漿表面處理模組與該收料模組之間，使該碳化纖維的表面覆蓋一樹脂油劑。

利用上述結構特徵，本創作之碳化纖維製造設備，可在該供料模組、該高溫碳化模組、該電漿表面處理模組、該上漿模組以及該收料模組之整合運作下，令該供料模組釋出的一碳纖維前驅物纖維束按照預先設定之速度依序完成高溫碳化、電漿表面處理及上漿等加工流程，以相對更為積極、可靠之手段，將該碳纖維前驅物纖維束加熱形成該碳化纖維，進一步得到表面具有該樹脂油劑的該碳化纖維；尤其，可透過該電漿表面處模組使該碳化纖維之表面粗糙化，同時增加該碳化纖維表面之官能基，在該碳化纖維後續之上漿步驟中，有助於該碳化纖維與該樹脂油劑達成優質的介面接合，大幅提昇碳化纖維之上漿品質，進而獲得結構相對更為穩固可靠的該碳化纖維，且電漿表面處理係屬於乾式且相對快速的表面處理技術，有效縮減碳化纖維生產設備成本及工時。

依據上述技術特徵，該高溫碳化模組係具有一供該碳化纖維拖曳行程或該碳纖維前驅物纖維束通過的腔體，該腔體內係形成有至少一微波場集中區，且提供惰性氣體以及高頻微波，在惰性氣體氣氛保護下，利用高頻微波電場與通過微波場集中區的碳纖維前驅物纖維束產生感應電流加熱而產生急速高溫。

依據上述技術特徵，該高溫碳化模組係具有一供該碳纖維前驅物纖維束通過的腔體，該腔體內係形成有至少一微波場集中區，且一供氣模組提供惰性氣體以及一微波產生模組提供高頻微波，在惰性氣體氣氛保護下，利用高頻微波電場與通過微波場集中區的該碳纖維前驅物纖維束產生感應電流加熱而產生急速高溫；該電漿表面處理模組，係至少設有一供產生電漿氣流的電漿產生機組。

依據上述技術特徵，該電漿表面處理模組，係可在相對於碳化纖維拖曳行程之上、下位置處，皆設有至少一電漿產生機組。

所述該腔體係為一橢圓腔體。

所述該腔體係為一橢圓腔體，且該腔體配有至少一對微波具高感應性之材料。

所述該腔體係為一平板腔體。

所述該腔體係為一平板腔體，且該腔體配有至少一對微波具高感應性之材料。

所述各該電漿產生機組係可供產生功率介於100~10000瓦(W)的電漿氣流。

所述各該電漿產生機組係可供產生功率介於100~10000瓦(W)的大氣電漿氣流。

所述各該電漿產生機組係可供產生功率介於100~10000瓦(W)的低壓電漿氣流。

所述各該電漿產生機組係可供產生功率介於100~10000瓦(W)的微波電漿氣流。

所述各該電漿產生機組係可供產生功率介於100~10000瓦(W)的輝光電漿氣流。

所述該上漿模組，係至少設有一供盛裝樹脂油劑的儲液槽。

所述該碳化纖維製造設備，係進一步包括一乾燥模組，該乾燥模組相對設於該上漿模組與該收料模組之間的碳化纖維拖曳行程處，用以令該樹脂油劑穩固附著在該碳化纖維表面。

本創作所揭露的碳化纖維製造設備，相對更為積極、可靠之手段，將碳纖維前驅物纖維束加熱形成碳化纖維，進一步得到表面具有樹脂油劑的碳化纖維；尤其，可透過電漿表面處模組使碳化纖維之表面粗糙化，同時增加碳化纖維表面之官能基，大幅提昇碳化纖維之上漿品質，以及，利用高溫碳化模組之微波聚焦加熱方式，可由同一設備應用於未經過表面預氧化加工處理的碳纖維前驅物纖維束或是已預先經過表面預氧化加工處理的碳纖維前驅物纖維束，且透過簡單調整微波功率的方式，用以生產一般碳化纖維或高模數碳化纖維(石墨纖維)，有效縮減碳化纖維生產設備成本及工時。

本創作主要提供一種可大幅提昇碳化纖維上漿品質，且有效縮減碳化纖維生產設備成本及工時的碳化纖維製造設備，如第1圖所示，本創作之碳化纖維製造設備，基本上包括有：一供料模組10、一收料模組20、一高溫碳化模組30、一電漿表面處理模組40，以及一上漿模組50，請同時配合參照第1圖至第4圖所示，其中：

該供料模組10，係用以提供欲加工成為一碳化纖維70B的一碳纖維前驅物纖維束70A；於實施時，所述該碳纖維前驅物纖維束70A係可以由嫘縈、聚乙烯醇、偏氯乙烯、聚丙烯腈(polyacrylonitrile , PAN)、瀝青(pitch)等前驅物纖維成束而成；以及，所述該碳纖維前驅物纖維束70A係為未經過表面預氧化加工處理的碳纖維前驅物纖維束70A，或係為已預先經過表面預氧化加工處理的碳纖維前驅物纖維束70A。

該收料模組20，係呈與該供料模組10對應構成碳化纖維拖曳行程的型態設於該供料模組10之周邊處，其至少設有供承接碳化纖維70B的一捲紗組件21，且由該捲紗組件21對其所承接之該碳化纖維70B產生拖曳作用。

該高溫碳化模組30，係相對設於該供料模組10與該收料模組20之間的碳化纖維拖曳行程處，供對該碳纖維前驅物纖維束70A加熱，使該碳纖維前驅物纖維束70A成為具有預先設定碳含量的碳化纖維70B；於實施時，該高溫碳化模組30係可如第2圖所示，具有一供該碳纖維前驅物纖維束70A通過的一腔體31，該腔體31內係形成有至少一微波場集中區311，且由一供氣模組32供應一惰性氣體以及由一微波產生模組33提供一高頻微波，在該惰性氣體氣氛保護下，利用高頻微波電場與通過微波場集中區311的碳纖維前驅物纖維束70A產生感應電流加熱而產生急速高溫，使該碳纖維前驅物纖維束70A成為具有預先設定碳含量的碳化纖維70B。

該電漿表面處理模組40，係相對設於該高溫碳化模組30與該收料模組20之間的碳化纖維拖曳行程處，用以提供預先設定功率的電漿氣流作用於該碳化纖維70B，使於該碳化纖維70B表面形成相對於該碳纖維前驅物纖維束70A而言為粗糙化或更多官能基的的一電漿改質構造71(如第3圖所示)。

該上漿模組50，係相對設於該電漿表面處理模組40與該收料模組20之間的碳化纖維拖曳行程處，供將該表面形成有該電漿改質構造71的該碳化纖維70B表面覆蓋一樹脂油劑80(如第4圖所示)；所述該上漿模組50，係至少設有一供盛裝該樹脂油劑80的一儲液槽51；至於，所述該樹脂油劑80係可以為熱固型樹脂油劑，或是熱塑型樹脂油劑。

據以，本創作之碳化纖維製造設備，即可在該供料模組10、該高溫碳化模組30、該電漿表面處理模組40、該上漿模組50以及該收料模組20之整合運作下，令該供料模組10釋出的該碳纖維前驅物纖維束70A按照預先設定之速度依序完成高溫碳化、電漿表面處理及上漿等加工流程，以相對更為積極、可靠之手段，將碳纖維前驅物纖維束70A加熱形成碳化纖維70B，進一步得到表面具有樹脂油劑80的碳化纖維70B。

又，所述該電漿表面處理模組40，係至少設有一供產生電漿氣流的電漿產生機組41；在本實施例中，所述該電漿表面處理模組40，係在相對於碳化纖維拖曳行程之上、下位置處，皆設有至少一電漿產生機組41，主要透過該電漿產生機組41所產生之電漿氣流作用於該碳化纖維70B表面。

由於電漿氣流包含了具能量的粒子，可透過電漿氣流之物理反應(撞擊)，將原本附著在該碳化纖維70B表面之雜質因電漿氣流之撞擊而斷鏈變成小分子化，再藉由氣流將該些小分子吹拂離開該碳化纖維70B表面，因而使得該碳化纖維70B表面清潔乾淨，在該碳化纖維70B後續之上漿模組50程序中，有助於該樹脂油劑80與該碳化纖維70B能夠完全接觸而增加結合效果；且，電漿氣流之撞擊亦會將該碳化纖維70B表面形成如前所述之相對於該碳纖維前驅物纖維束70A而言為粗糙化的該電漿改質構造71，甚至更進一步形成孔隙，而藉由使該碳化纖維70B之表面粗糙化或形成孔隙，在該碳化纖維70B後續之上漿模組50程序中，有助於增加該樹脂油劑80與該碳化纖維70B的接觸面積，或者該樹脂油劑80會滲入該孔隙，而該樹脂油劑80即如同錨而於孔隙間予以勾住而形成投錨效應以增進該樹脂油劑80與該碳化纖維70B的結合效果。

電漿氣流同時於該碳化纖維70B之表面產生化學反應作用，使得該碳化纖維70B之表面增加表面之至少一官能基(如–OH , -N等)，在該碳化纖維70B後續之該上漿模組50程序中，由於該官能基的存在而使得該碳化纖維70B之表面的表面張力上升，因此有助於該上漿模組50程序中提升該樹脂油劑80對該碳化纖維70B的濕潤(wetting)效果，亦即該樹脂油劑80對該碳化纖維70B的接觸角(contact angle)變小，而使得該樹脂油劑80能夠很快速或瞬間包覆於該碳化纖維70B之表面，提升了該上漿模組50程序的速度，因而加快了該碳化纖維70B的整體生產速度；而該官能基的存在例如OH基，與該樹脂油劑80例如環氧樹脂(Epoxy)，能夠產生氫鍵(Hydrogen bonding)結合，因而增加結合效果。

於實施時，所述各該電漿產生機組41係可供產生功率介於100~10000瓦(W)的電漿氣流，或是可供產生功率介於100~10000瓦(W)的大氣電漿氣流，或是可供產生功率介於100~10000瓦(W)的低壓電漿氣流電漿產生機組，或是可供產生功率介於100~10000瓦(W)的微波電漿氣流，或是可供產生功率介於100~10000瓦(W)的輝光電漿氣流。

由於本創作當中之電漿表面處理模組，係可對碳化纖維提供屬於乾式的表面處理，不但可以避免在碳化纖維產生額外的雜質或沉積物，相對的亦可降低碳化纖維在完成電漿表面處理之後的乾燥工時、工序。

當然，本創作之碳化纖維製造設備，亦可如第5圖所示，進一步包括一乾燥模組60，該乾燥模組60係相對設於該上漿模組50與該收料模組20之間的碳化纖維拖曳行程處，用以令該樹脂油劑80穩固附著在該碳化纖維70B表面；於實施時，所述該乾燥模組60係至少設有一供產生熱風的熱風爐61。

再者，本創作所述該惰性氣體係可以為氮氣、氬氣、氦氣或其組合；至於，所述該高頻微波之頻率係可介於300~30,000MHz之間，其微波功率密度則可介於1~1000kW/m ³之間。

在第2圖所示之實施例中，所述該腔體31係可以為一橢圓腔體，當然該腔體31亦可以為一平板腔體(如第6圖所示)；而且，所述該腔體31不論係為橢圓腔體或平板腔體，皆可如第6圖所示，於該腔體31內搭配有一對微波具高感應性之材料34，藉以增強對微波場之聚焦效果，以進一步加速對高溫碳化製程；於實施時，所述該對微波具高感應性之材料34，係可以為石墨、碳化物、磁性化合物、氮化物、離子化合物其中之一或其組合。

由於可透過微波加熱之共振效應，快速促使碳化纖維之碳化程度提昇並形成更多的碳結晶堆疊，進而形成更大的石墨結晶分子，亦即產生更大的石墨結晶厚度，並同時衍生更高的微波感應加熱效果，如此循環產生自催化反應，可讓碳化纖維快速升溫至石墨化溫度(1500~3000℃)，並使碳原子更加速重構排列形成石墨層。

換言之，可由同一設備應用於未經過表面預氧化加工處理的碳纖維前驅物纖維束，或是已預先經過表面預氧化加工處理的碳纖維前驅物纖維束，且只需透過簡單調整微波功率的方式，用以生產一般碳化纖維(1000-1500℃)或高模數碳化纖維(石墨纖維)。

於一較佳實施例中，在該乾燥模組60後形成該樹脂油劑80穩固附著在該碳化纖維70B表面之一待測試物件，而該電漿表面處理模組40的處理條件則如下表一所示：

表一: 電漿表面處理條件 <TABLE border="1" borderColor="#000000" width="_0001"><TBODY><tr><td> 電漿氣體用量 </td><td> N₂</td><td> 200 </td><td> L/min </td></tr><tr><td> CDA </td><td> 0.4 </td><td> L/min </td></tr><tr><td> 電漿氣體總量 </td><td> 200.4 </td><td> L/min </td></tr><tr><td> 電漿電源功率 </td><td> 0~1000 </td><td> W </td></tr><tr><td> 表面電漿處理時間 </td><td> 0.025~0.100 </td><td> sec. </td></tr><tr><td> 碳纖維紗寬 </td><td> 7 </td><td> mm </td></tr><tr><td> 紗單位時間接收能量 </td><td> 0.28 </td><td> J/s </td></tr><tr><td> 距離 </td><td> 1 </td><td> mm </td></tr></TBODY></TABLE>

依據ASTM 2344使用INSTRON測量機，在溫度23℃、溼度50%RH的環境下，對該待測試物件進行測量ILSS強度(層間結合力) ，結果如下表二所示：

表二: PAN碳纖維12K之電漿表面處理功率(W)、處理時間(sec.秒)與層間結合力(MPa)之關係(以環氧樹脂做為樹脂油劑) <TABLE border="1" borderColor="#000000" width="_0002"><TBODY><tr><td> 表面處理之電漿功率(W) </td><td> 層間結合力(ILSS)(MPa) </td></tr><tr><td> 0.025 sec. </td><td> 0.075 sec. </td><td> 0.100 sec. </td></tr><tr><td> 0(未處理) </td><td> 70 </td><td> 70 </td><td> 70 </td></tr><tr><td> 250 </td><td> 71 </td><td> 73 </td><td> 75 </td></tr><tr><td> 500 </td><td> 73 </td><td> 76 </td><td> 81 </td></tr><tr><td> 750 </td><td> 75 </td><td> 81 </td><td> 85 </td></tr><tr><td> 900 </td><td> 79 </td><td> 86 </td><td> 88 </td></tr><tr><td> 1000 </td><td> 83 </td><td> 89 </td><td> 91 </td></tr></TBODY></TABLE>

由表二可以得知，碳纖維若未經電漿表面處理，則待測試物件之層間結合力僅為70MPa，而隨著電漿功率的增強例如在0.075秒的處理時間下由未處理(0W, 未打開電漿功率)增強至1000W，層間結合力則從70MPa增強至89MPa，亦即層間結合力增加至127%。

在上漿模組50程序中以環氧樹脂做為樹脂油劑80並以碳纖維做為碳化纖維70B的例子中，第7a圖及第7b圖分別為未經電漿表面處理及有經電漿表面處理的待測試物件之SEM圖；其中第7a圖所代表之未經電漿表面處理的待測試物件之SEM圖顯示一空隙H出現於該樹脂油劑80與該碳化纖維70B之間，此是因為該碳化纖維70B之表面平滑且無官能基所導致，此空隙H會造成待測試物件之強度下降，亦即因而導致碳化纖維與樹脂油劑之間的黏附性不足，而無法達到保護纖維的目的。

而第7b圖所代表之有經電漿表面處理的待測試物件之SEM圖顯示未有空隙出現於該樹脂油劑80與該碳化纖維70B之間，此是因為該碳化纖維70B之表面粗糙化，同時增加表面之官能基(如–OH , -N等)，使樹脂油劑80與碳化纖維70B結合緊密，因此待測試物件之強度會被增強，亦即因而增強碳化纖維與樹脂油劑之間的黏附性，故更能達到保護纖維的目的。

具體而言，本創作所揭露的碳化纖維製造設備，相對更為積極、可靠之手段，將碳纖維前驅物纖維束加熱形成碳化纖維，進一步得到表面具有樹脂油劑的碳化纖維；尤其，可透過電漿表面處模組使碳化纖維之表面粗糙化，同時增加碳化纖維表面之官能基，大幅提昇碳化纖維之上漿品質，以及，利用高溫碳化模組之微波聚焦加熱方式，可由同一設備應用於未經過表面預氧化加工處理的碳纖維前驅物纖維束或是已預先經過表面預氧化加工處理的碳纖維前驅物纖維束，且透過簡單調整微波功率的方式，用以生產一般碳化纖維或高模數碳化纖維(石墨纖維)，有效縮減碳化纖維生產設備成本及工時。

以上所述之實施例僅係為說明本發明之技術思想及特點，其目的在使熟習此項技藝之人士能夠瞭解本發明之內容並據以實施，當不能以之限定本發明之專利範圍，即大凡依本發明所揭示之精神所作之均等變化或修飾，仍應涵蓋在本發明之專利範圍內。

10‧‧‧供料模組

20‧‧‧收料模組

21‧‧‧捲紗組件

30‧‧‧高溫碳化模組

31‧‧‧腔體

311‧‧‧微波場集中區

32‧‧‧供氣模組

33‧‧‧微波產生模組

34‧‧‧對微波具高感應性之材料

40‧‧‧電漿表面處理模組

41‧‧‧電漿產生機組

50‧‧‧上漿模組

51‧‧‧儲液槽

60‧‧‧乾燥模組

61‧‧‧熱風爐

70A‧‧‧碳纖維前驅物纖維束

70B‧‧‧碳化纖維

71‧‧‧電漿改質構造

80‧‧‧樹脂油劑

H‧‧‧空隙

第1圖係為本創作第一實施例之碳化纖維製造設備基本組成架構示意圖。 第2圖係為本創作當中一種可以實施之高溫碳化模組結構示意圖。 第3圖係為經本創作當中之電漿表面處理模組完成電漿表面處理加工流程的碳化纖維斷面結構示意圖。 第4圖係為經本創作當中之上漿模組完成上漿加工流程的碳化纖維斷面結構示意圖。 第5圖係為本創作第二實施例之碳化纖維製造設備組成架構示意圖。 第6圖係為本創作當中另一種可以實施之高溫碳化模組結構示意圖。 第7a圖係為未經電漿表面處理的待測試物件之SEM圖。 第7b圖係為有經電漿表面處理的待測試物件之SEM圖。

10‧‧‧供料模組

20‧‧‧收料模組

21‧‧‧捲紗組件

30‧‧‧高溫碳化模組

31‧‧‧腔體

40‧‧‧電漿表面處理模組

41‧‧‧電漿產生機組

50‧‧‧上漿模組

51‧‧‧儲液槽

70A‧‧‧碳纖維前驅物纖維束

70B‧‧‧碳化纖維

80‧‧‧樹脂油劑

Claims (15)

1. 一種碳化纖維製造設備，至少包含：一供料模組及一收料模組，該收料模組係設於該供料模組之周邊處，且該供料模組及該收料模組構成一碳化纖維拖曳行程；一高溫碳化模組，係設於該碳化纖維拖曳行程且位於該供料模組與該收料模組之間，係用以對該碳化纖維拖曳行程進行加熱；一電漿表面處理模組，係設於該碳化纖維拖曳行程且位於該高溫碳化模組與該收料模組之間，係用以對該碳化纖維拖曳行程提供電漿氣流；一上漿模組，係設於該碳化纖維拖曳行程且位於該電漿表面處理模組與該收料模組之間。
2. 如請求項1所述之碳化纖維製造設備，其中，該高溫碳化模組係具有一腔體、一供氣模組及一微波產生模組，該碳化纖維拖曳行程係通過該腔體內，該供氣模組係用以供應惰性氣體，該微波產生模組係用以提供高頻微波。
3. 如請求項2所述之碳化纖維製造設備，其中，該電漿表面處理模組，係至少設有一電漿產生機組。
4. 如請求項2所述之碳化纖維製造設備，其中，該電漿表面處理模組，係在相對於碳化纖維拖曳行程之上、下位置處，皆設有至少一電漿產生機組。
5. 如請求項2所述之碳化纖維製造設備，其中，該腔體係為一橢圓腔體。
6. 如請求項5所述之碳化纖維製造設備，其中，且該腔體配有至少一對微波具高感應性之材料。
7. 如請求項2所述之碳化纖維製造設備，其中，該腔體係為一平板腔體。
8. 如請求項7所述之碳化纖維製造設備，其中，該腔體配有至少一對微波具高感應性之材料。
9. 如請求項3或4所述之碳化纖維製造設備，其中，該電漿產生機組係可供產生功率介於100~10000瓦(W)的電漿氣流。
10. 如請求項3或4所述之碳化纖維製造設備，其中，該電漿產生機組係可供產生功率介於100~10000瓦(W)的大氣電漿氣流。
11. 如請求項3或4所述之碳化纖維製造設備，其中，該電漿產生機組係可供產生功率介於100~10000瓦(W)的低壓電漿氣流。
12. 如請求項3或4所述之碳化纖維製造設備，其中，該電漿產生機組係可供產生功率介於100~10000瓦(W)的微波電漿氣流。
13. 如請求項3或4所述之碳化纖維製造設備，其中，該電漿產生機組係可供產生功率介於100~10000瓦(W)的輝光電漿氣流。
14. 如請求項1所述之碳化纖維製造設備，其中，該上漿模組係至少設有一儲液槽。
15. 如請求項1所述之碳化纖維製造設備，其中，係進一步包括一乾燥模組，該乾燥模組相對設於該上漿模組與該收料模組之間的該碳化纖維拖曳行程處。