TWM535595U - 輸送管組件及具有該組件的氣液混合攪拌器 - Google Patents

Description

輸送管組件及具有該組件的氣液混合攪拌器

本創作有關於一種輸送管組件，特別是指用於氣液混合攪拌的一種輸送管組件及具有該組件的氣液混合攪拌器。

關於半導體或液晶產品等的製造，由於會產生有毒氣體，而且包含SiO ₂和WO ₃等細微粉末，不能直接釋放到大氣中。因此，一般皆會以水混合來淡化有毒氣體。

現有的氣液混合攪拌裝置即能將有毒氣體與水混合並攪拌，最後再將已淡化有毒氣體的氣液混合物排出。

現有的氣液混合攪拌裝置雖能淡化有毒氣體，但卻會有極硬的金屬粉末產生，這些金屬粉末將附著於管壁，導致管內用來攪拌的桿棒會被極硬的金屬粉末磨耗，進而磨斷，最終造成管子出口端附近被逐漸增多的金屬粉末所堵塞，操作人員因此必須每隔1-2天就要清理一次，早為人所詬病已久。

因此，如何設計出一種可改善上述缺失的本創作，乃為本案創作人所亟欲解決的一大課題。

本創作的目的在於提供一種輸送管組件及具有該組件的氣液混合攪拌器，能有效避免撓性管的出口端被金屬粉末所堵塞。

為了達成上述目的，本創作係提供一種用於氣液混合攪拌的輸送管組件，用於伴隨著水來輸送有毒氣體且包括：一桿棒；以及一撓性管，具有一中空部，該桿棒對應該中空部位置穿插，且該撓性管的管壁厚度係為0.5mm-2mm；其中，該撓性管係隨著所述水的流動接觸於其管壁而晃動。

本創作另提供一種具有輸送管組件的氣液混合攪拌器，用於以水淡化有毒氣體且包括：一導水管；一吸氣管，穿插於該導水管內且具有一輸出端，該導水管與該吸氣管之間則彼此間隔而流通所述水；一氣液混合管，對應該輸出端連接於該導水管；以及一輸送管組件，穿插於該吸氣管內且抽吸所述有毒氣體，該輸送管組件包含：一桿棒；和一撓性管，具有一中空部，該桿棒對應該中空部位置穿插，且該撓性管的管壁厚度係為0.5mm-2mm；其中，所述水係流入該吸氣管與該撓性管之間，該撓性管則隨著所述水的流動接觸於其管壁而晃動。

相較於先前技術，本創作具有以下功效：能藉由薄形化撓性管的管壁，以利於撓性管隨著水的流動接觸於其管壁而晃動，進而則利於讓附著於撓性管管壁的金屬粉末被桿棒打落，達到避免撓性管出口端被金屬粉末堵塞的效果。

有關本創作的詳細說明和技術內容，配合圖式說明如下，然而所附圖式僅提供參考與說明用，非用以限制本創作。

本創作係提供一種輸送管組件及具有該組件的氣液混合攪拌器，用於以水淡化有毒氣體，如圖1所示係為本創作的氣液混合攪拌器100，如圖1-圖4所示係為本創作氣液混合攪拌器100中之第一實施例的輸送管組件4，如圖5-圖6所示則為本創作第二實施例的輸送管組件4a。

如圖1所示的本創作氣液混合攪拌器100，包括：一導水管1、一吸氣管2、一氣液混合管3以及一輸送管組件4。

導水管1的上端連接有一彎管(未標示元件符號)。導水管1可導引水W流動，而且是由導水管1的上端往導水管1的下端流動。

吸氣管2經由彎管而穿插於導水管1內，且吸氣管2具有一輸出端21(位於吸氣管2的下端)。吸氣管2與導水管1之間係彼此間隔，水W則流通於在此間隔內。

氣液混合管3係對應輸出端21連接於導水管1，較佳則利用一定位環件31連接於導水管1的內壁，使氣液混合管3和定位環件31皆與吸氣管2相隔一間隔距離而利於水W流通。另須說明的是，吸氣管2對應定位環件31的部分係開設有多數導流孔22(見圖1A所示)，一部分的水W1(利用定位環件31的導引)則經由各導流孔22而從外環流道(指：導水管1與吸氣管2之間的流道)進入內環流道(指：吸氣管2與撓性管42之間的流道)，也就是：部分的水W1將會流入吸氣管2與撓性管42之間，使部分的水W1流動接觸於撓性管42的管壁。最後，部分的水W1將會從吸氣管2的輸出端21輸出。

輸送管組件4係用於氣液混合攪拌。輸送管組件4穿插於吸氣管2內，並將淡化有毒氣體G後的副產物：金屬粉末P予以打落，如此避免附著，進而避免堵塞。

本創作氣液混合攪拌器100係插入於一液體槽900內，液體槽900則開設有一排氣口9，以排放已將有毒氣體G淡化後的氣體。

如圖2-圖4所示，本創作第一實施例的輸送管組件4(用於多晶矽蝕刻(Poly etcher))，包括：一桿棒41以及一撓性管42。其中，桿棒41和撓性管42較佳皆以鐵氟龍PFA製成，且分別製成一鐵氟龍PFA桿和一鐵氟龍PFA管。又，搭配圖1所示，前述吸氣管2係以其上端抽吸有毒氣體G，並使有毒氣體G從撓性管42的上端進入，並從撓性管42的下端輸出。

撓性管42具有一中空部421，桿棒41則對應中空部421位置穿插，較佳係穿插成同軸配置。再者，撓性管42的管壁厚度D1並予以薄形化而利於晃動，管壁厚度D1較佳則為0.5mm-2mm。

因此，當吸氣管2抽吸有毒氣體G時，有毒氣體G將會在撓性管42的中空部421內流動，水W則在導水管1與吸氣管2之間的前述外環流道內流動，並經由前述的多數導流孔22而流入吸氣管2與撓性管42之間的前述內環流道內，使流入內環流道內的部分的水W1能流動接觸於撓性管42的管壁，此時，由於撓性管42的管壁厚度已被薄形化，因此使得撓性管42能隨著部分的水W1的流動接觸於其管壁而晃動(如圖3和圖4所示)。在晃動中，原本附著於撓性管42之內管壁的所述副產物：金屬粉末P，將會因為撓性管42的內管壁被晃動至與桿棒41接觸，使桿棒41打落金屬粉末P(見圖3和圖4)，從而避免金屬粉末P累積於撓性管42的內管壁而堵塞撓性管42的出口端423。

此外，桿棒41具有彼此相對的一連接端411和一自由端412，撓性管42具有彼此相對的一連接端422和一出口端423，兩個連接端411、422(如圖所示係為上端)係連接於氣液混合攪拌器100的一處，較佳並以齊平方式彼此連接。

至於桿棒41的自由端412則與出口端21對應而皆為下端，自由端412則齊平於出端口423(圖中未示)或比出口端423還短，於本實施例中則以後者為例進行說明如本段後述：自由端412朝下端延伸的長度係比出口端423朝下端延伸的長度還短，以軸向距離來說，若自由端412短於出口端423的軸向距離為D3，則：0mm＜D3≦20mm，換言之，自由端412最長僅齊平於出口端423，且研究結果顯示，這樣的長度設計將使桿棒41打落金屬粉末P的效果更佳。其中，所述軸向距離中的軸向，係以彼此同軸配置的桿棒41或撓性管42的中心軸為軸。

另外，為使撓性管42具有較佳的晃動能力，撓性管的長度D2較佳係為450mm-600mm。

如圖5-圖6所示係為本創作第二實施例的輸送管組件4a(用於金屬蝕刻(Metal etcher))，第二實施例大致與第一實施例相同，差異在於桿棒41的長度以及在桿棒41增設一氟化橡膠層43。

至於桿棒41，桿棒的長度D4係為455mm-650mm且比撓性管42還長，使桿棒41的自由端412因此而伸出於出口端423一段距離。

桿棒41的外緣設有氟化橡膠層43，氟化橡膠層43較佳係以披覆方式形成於桿棒41的外緣。藉由氟化橡膠層43，以使金屬粉末P不易附著桿棒41，進而則能避免桿棒41附著過多金屬粉末P而堵塞出口端423的情況；甚至還能藉由氟化橡膠層43的保護，以使桿棒41不會被金屬粉末P磨損、磨耗。

具體而言，氟化橡膠層43係披覆於桿棒41的一局部長度段413，局部長度段413係位於靠近自由端412且遠離連接端411之處，因此，桿棒41靠近於自由端412的部分係連同氟化橡膠層43靠近於自由端412的部分一起伸出於出口端423而裸露，從而更能確保桿棒41的不易被附著效果以及不會被磨損、磨耗效果。

綜上所述，本創作相較於先前技術係具有以下功效：能藉由薄形化撓性管42的管壁，以利於撓性管42隨著水(指前述之部分的水W1)的流動接觸於其管壁而晃動，進而則利於讓附著於撓性管管壁的金屬粉末被桿棒打落，達到避免撓性管出口端被金屬粉末堵塞的效果。

此外，本創作係還具有其它功效：藉由桿棒41的自由端412長度至多僅齊平於撓性管42的出口端423，以使桿棒41打落金屬粉末P的效果更佳。藉由撓性管的長度D2為450mm-600mm，以具有較佳的晃動能力。藉由在桿棒41的外緣設有氟化橡膠層43，以使金屬粉末P不易附著桿棒41，進而則能避免桿棒41附著過多金屬粉末P而堵塞出口端423的情況，甚至還能藉由氟化橡膠層43的保護，以使桿棒41不會被金屬粉末P磨損、磨耗。

以上所述者，僅為本創作之較佳可行實施例而已，非因此即侷限本創作之專利範圍，舉凡運用本創作說明書及圖式內容所為之等效結構變化，均理同包含於本創作之權利範圍內，合予陳明。

100‧‧‧氣液混合攪拌器

1‧‧‧導水管

2‧‧‧吸氣管

21‧‧‧輸出端

22‧‧‧導流孔

3‧‧‧氣液混合管

31‧‧‧定位環件

4‧‧‧輸送管組件

41‧‧‧桿棒

411‧‧‧連接端

412‧‧‧自由端

413‧‧‧局部長度段

42‧‧‧撓性管

421‧‧‧中空部

422‧‧‧連接端

423‧‧‧出口端

43‧‧‧氟化橡膠層

900‧‧‧液體槽

9‧‧‧排氣口

D1‧‧‧管壁厚度

D2‧‧‧撓性管的長度

D3‧‧‧軸向距離

D4‧‧‧桿棒的長度

P‧‧‧金屬粉末

W‧‧‧水

W1‧‧‧部分的水

G‧‧‧有毒氣體

圖1 為本創作氣液混合攪拌器的剖視示意圖。

圖1A 為本創作依據圖1的局部放大示意圖。

圖2 為本創作輸送管組件之第一實施例的剖視示意圖。

圖3 為本創作依據圖2於朝左晃動時的剖視示意圖。

圖4 為本創作依據圖2於朝右晃動時的剖視示意圖。

圖5 為本創作輸送管組件之第二實施例的剖視示意圖。

圖6 為本創作依據圖5於朝左晃動時的剖視示意圖。

4‧‧‧輸送管組件

41‧‧‧桿棒

411‧‧‧連接端

412‧‧‧自由端

42‧‧‧撓性管

421‧‧‧中空部

422‧‧‧連接端

423‧‧‧出口端

D1‧‧‧管壁厚度

D2‧‧‧撓性管的長度

D3‧‧‧軸向距離

Claims (12)

1. 一種用於氣液混合攪拌的輸送管組件，用於伴隨著水來輸送有毒氣體且包括： 　　一桿棒；以及 　　一撓性管，具有一中空部，該桿棒對應該中空部位置穿插，且該撓性管的管壁厚度係為0.5mm-2mm； 　　其中，該撓性管係隨著所述水的流動接觸於其管壁而晃動。
2. 如請求項1所述之用於氣液混合攪拌的輸送管組件，其中該撓性管係為一鐵氟龍PFA管。
3. 如請求項1所述之用於氣液混合攪拌的輸送管組件，其中該桿棒係為一鐵氟龍PFA桿。
4. 如請求項1所述之用於氣液混合攪拌的輸送管組件，其中該撓性管的長度為450mm-600mm。
5. 如請求項1所述之用於氣液混合攪拌的輸送管組件，其中該撓性管具有一出口端，該桿棒具有與該出口端對應的一自由端，該自由端齊平於該出口端。
6. 如請求項5所述之用於氣液混合攪拌的輸送管組件，其中該自由端短於該出口端的軸向距離為大於0mm且小於等於20mm。
7. 如請求項1所述之用於氣液混合攪拌的輸送管組件，其中該桿棒外緣進一步設有一氟化橡膠層。
8. 如請求項7所述之用於氣液混合攪拌的輸送管組件，其中該桿棒的長度為455mm-650mm。
9. 如請求項7所述之用於氣液混合攪拌的輸送管組件，其中該撓性管具有一出口端，該桿棒具有與該出口端對應的一自由端，該自由端伸出於該出口端一段距離。
10. 如請求項9所述之用於氣液混合攪拌的輸送管組件，其中該桿棒靠近於該自由端的部分係連同該氟化橡膠層靠近於該自由端的部分一起伸出於該出口端而裸露。
11. 如請求項9所述之用於氣液混合攪拌的輸送管組件，其中該桿棒還具有一連接端，該連接端與該自由端彼此相對，該氟化橡膠層設置於該桿棒的一局部長度段，該局部長度段位於靠近該自由端且遠離該連接端之處。
12. 一種具有如請求項1-11任一項所述之輸送管組件的氣液混合攪拌器，用於以水淡化有毒氣體且包括： 　　一導水管； 　　一吸氣管，穿插於該導水管內且具有一輸出端，該導水管與該吸氣管之間則彼此間隔而流通所述水； 　　一氣液混合管，對應該輸出端連接於該導水管；以及 　　一輸送管組件，穿插於該吸氣管內且抽吸所述有毒氣體，該輸送管組件包含： 　　　　一桿棒；和 　　　　一撓性管，具有一中空部，該桿棒對應該中空部位置穿插，且該撓性管的管壁厚度係為0.5mm-2mm； 　　其中，所述水係流入該吸氣管與該撓性管之間，該撓性管則隨著所述水的流動接觸於其管壁而晃動。