TWM488562U - 氣壓避震系統 - Google Patents
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- 230000035939 shock Effects 0.000 description 54
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 53
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 31
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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Description
本創作係關於一種氣壓避震系統,尤指一種具有一電子式氣壓避震裝置之氣壓避震系統,其可以至少三點接觸支撐於生產線之一載物平台,以使載物平台維持一水平狀態。
按,生產線之平台於輸送作業進行時,為了使平台保持水平,操作人員會於平台下放置複數個氣壓避震器,以令平台可達到避震及平衡之效果,用以防止平台上之精密機械儀器因平台晃動而損壞。
而習知傳統之氣壓避震器,如台灣新型專利第M326092號,其具有一閥座10連結於支撐台88下方,當支撐台88受平台上載物之外力而下移時,閥座10係會迫使頂栓60撞擊平台21並朝閥座10內移動,因此,利用頂栓60之位置變化,即可使閥座10導通一氣壓源對氣壓避震器內部輸入高壓氣體,以使支撐台88撐起進而維持平台之水平。
惟,習知氣壓避震器之頂栓60於長時間反覆撞擊平台21下,容易造成頂栓60變形或平台21凹陷,使得整體氣壓避震器之控制精度容易偏移,因此,習知機械式之氣壓避震器,其已不足以應付現今精密機械加工及半導體產業追求高精密度之技術情況,藉此,如何發展出一改良式之氣壓避震裝置,係相關業者必須解決之課題。
為解決上述課題,本創作提供一種氣壓避震系統,其有一電子式氣壓避震裝置,可以至少三點接觸支撐於生產線之一載物平台,使載物平台維持一水平狀態,並搭配一輔助型氣壓避震器,以令載物平台達到更完善之避震效果。
為達前述目的,本創作提供一種氣壓避震系統,係包含:一載物平台,其具有相互平行之一第一平面及一第二平面;一電子式氣壓避震裝置,其設於載物平台下方,並係由三個電磁感應式氣壓避震器構成,以令電子式氣壓避震裝置可以三點接觸支撐於載物平台之第二平面;以及一輔助型氣壓避震器,其設於載物平台下方。
其中,各該電磁感應式氣壓避震器皆具有一支撐於第二平面之承載台、以及一連接於承載台之電磁感應組件。
其中,各該電磁感應組件係具有一感應件及一磁性桿件,各該磁性桿件之一端係連接於各該承載台,另一端則係穿設於感應件之內部,並可相對於感應件作移動。
其中,更包含有三個控制器,其分別電連接於各該電磁感應組件,以偵測各該電磁感應組件產生之電磁變化量,藉以控制一供氣部對各該電磁感應式氣壓避震器內部輸入氣壓或釋放氣壓,使得各該承載台上升或下降,進而維持載物平台之水平達到避震效果。
因此,藉由本創作之氣壓避震系統,其可免除習知機械式氣壓避震器之頂栓及平台磨耗之缺點,且改以電磁感應式之方式維持載物平台之水平,不僅調整速度快,精密度亦隨之提高,以使本創作可有效運用於現今精密機械加工及半導體產業上。
此外,由於三點即決定一平面,故藉由本創作之三個電磁感應式氣壓避震器即可支撐整體載物平台,以維持載物平台之水平,再藉由一機械式之輔助型氣壓避震器之輔助,即可更完整地保持載物平台水平之狀態,因此,於成本考量上,本創作較直接使用四個電磁感應式氣壓避震器便宜。
為便於說明本創作於上述新型內容一欄中所表示的中心思想,茲以具體實施例表達。實施例中各種不同物件係按適於說明之比例、尺寸、變形量或位移量而描繪,而非按實際元件的比例予以繪製,合先敘明。
請參閱圖1及圖2所示,本創作提供一種氣壓避震系統100,其包含有:
一載物平台10,其係矩形狀,並具有相互平行之一第一平面11及一第二平面12。
一電子式氣壓避震裝置20,其設於載物平台10下方,並係由三個電磁感應式氣壓避震器30構成,該三個電磁感應式氣壓避震器30係設於載物平台10之三個角落下方,以令電子式氣壓避震裝置20可以三點接觸支撐於載物平台10之第二平面12。
各該電磁感應式氣壓避震器30皆具有一支撐於第二平面12之承載台31、以及一連接於承載台31之電磁感應組件32,而各該電磁感應組件32係具有一感應件33及一磁性桿件34,各該磁性桿件34之一端係連接於各該承載台31,另一端則係穿設於感應件33之內部,並可相對於感應件33作移動,以產生一電磁變化量。
三個水平調整器40,其分別設於各該電磁感應式氣壓避震器30之外緣,而各該電磁感應組件32之感應件33係固定於各該水平調整器40上。
一輔助型氣壓避震器50,其設於載物平台10之另一角落下方,而輔助型氣壓避震器50係機械式氣壓避震器。
一供氣部60,其係連通於各該電磁感應式氣壓避震器30,並可連通於輔助型氣壓避震器50。
三個電子氣閥70,其係分別位於供氣部60與各該電磁感應式氣壓避震器30之間。
三個控制器80,其皆具有一計算單元(圖中未示),且各該控制器80係分別電連接於各該電磁感應組件32及各該電子氣閥70,用以偵測各該電磁感應組件32產生之電磁變化量,而各該控制器80之計算單元可依各該電磁感應組件32產生之電磁變化量,換算出各該承載台31之位移量,進而可以一補償電壓驅動各該電子氣閥70進行切換,以控制供氣部60對各該電磁感應式氣壓避震器30內部輸入氣壓或釋放氣壓,使得各該承載台31上升或下降。
以上即為本創作之結構及形狀概述,並將本創作所能達成之功效原理及使用方法陳述如下:
將本創作之氣壓避震系統100放置於一生產線上時,藉由各水平調整器40校正完各電磁感應式氣壓避震器30之承載台31之水平,進而調整校正完載物平台10之水平後,即可將本創作用於生產線上,以使載物平台10之第一平面11承載各個物件200,如圖3所示。
而若物件200之重心位置偏移,使載物平台10產生傾斜時,如圖4所示之載物平台10即係傾斜下移一θ角度,此時,各電磁感應式氣壓避震器30之承載台31亦會位移,使得磁性桿件34即會相對於感應件33作移動,以產生一電磁變化量,而各控制器80之計算單元即可依各電磁感應組件32產生之電磁變化量,換算出各承載台31之位移量,並以一補償電壓驅動各電子氣閥70進行切換,以控制供氣部60對各電磁感應式氣壓避震器30內部輸入氣壓或釋放氣壓,使得各承載台31上升或下降,進而維持載物平台10之水平狀態,達到避震效果,如圖5所示。
因此,藉由本創作之氣壓避震系統100,其可免除習知機械式氣壓避震器之頂栓及平台磨耗之缺點,且改以電磁感應式之方式維持載物平台10之水平,不僅調整速度快,精密度亦隨之提高,以使本創作可有效運用於現今精密機械加工及半導體產業上。
此外,由於三點即決定一平面,故藉由本創作之三個電磁感應式氣壓避震器30即可支撐整體載物平台10,以維持載物平台10之水平,再藉由一機械式之輔助型氣壓避震器50之輔助,即可更完整地保持載物平台10水平之狀態,因此,於成本考量上,本創作亦較直接使用四個電磁感應式氣壓避震器30便宜,較具有經濟效益。
以上所舉實施例僅用以說明本創作而已,非用以限制本創作之範圍。舉凡不違本創作精神所從事的種種修改或變化,俱屬本創作意欲保護之範疇。
100‧‧‧氣壓避震系統
10‧‧‧載物平台
11‧‧‧第一平面
12‧‧‧第二平面
20‧‧‧電子式氣壓避震裝置
30‧‧‧電磁感應式氣壓避震器
31‧‧‧承載台
32‧‧‧電磁感應組件
33‧‧‧感應件
34‧‧‧磁性桿件
40‧‧‧水平調整器
50‧‧‧輔助型氣壓避震器
60‧‧‧供氣部
70‧‧‧電子氣閥
80‧‧‧控制器
200‧‧‧物件
10‧‧‧載物平台
11‧‧‧第一平面
12‧‧‧第二平面
20‧‧‧電子式氣壓避震裝置
30‧‧‧電磁感應式氣壓避震器
31‧‧‧承載台
32‧‧‧電磁感應組件
33‧‧‧感應件
34‧‧‧磁性桿件
40‧‧‧水平調整器
50‧‧‧輔助型氣壓避震器
60‧‧‧供氣部
70‧‧‧電子氣閥
80‧‧‧控制器
200‧‧‧物件
圖1係本創作之外觀示意圖。 圖2係本創作之方塊圖。 圖3係本創作之運作示意圖。 圖4係圖3中物件之重心位置偏移之示意圖。 圖5係圖4進行水平避震調整後之示意圖。
100‧‧‧氣壓避震系統
10‧‧‧載物平台
11‧‧‧第一平面
12‧‧‧第二平面
30‧‧‧電磁感應式氣壓避震器
50‧‧‧輔助型氣壓避震器
60‧‧‧供氣部
70‧‧‧電子氣閥
80‧‧‧控制器
Claims (10)
- 一種氣壓避震系統,係包含: 一載物平台,其具有相互平行之一第一平面及一第二平面; 一電子式氣壓避震裝置,其設於該載物平台下方,並以至少三點接觸支撐於該第二平面,以令該載物平台維持一水平狀態;以及 一輔助型氣壓避震器,其設於該載物平台下方。
- 如請求項1所述之氣壓避震系統,其中,該電子式氣壓避震裝置係由三個電磁感應式氣壓避震器構成,而各該電磁感應式氣壓避震器皆具有一承載台及一電磁感應組件,該承載台係支撐於該第二平面,該電磁感應組件係連接於該承載台。
- 如請求項2所述之氣壓避震系統,其中,更包含有一供氣部及三個電子氣閥,該供氣部係連通於各該電磁感應式氣壓避震器,各該電子氣閥係分別位於該供氣部與各該電磁感應式氣壓避震器之間。
- 如請求項3所述之氣壓避震系統,其中,更包含有三個控制器,各該控制器係分別電連接於各該電磁感應組件及各該電子氣閥,以偵測各該電磁感應組件產生之電磁變化量,進而控制各該電子氣閥切換,使該供氣部可對各該電磁感應式氣壓避震器內部輸入氣壓或釋放氣壓。
- 如請求項4所述之氣壓避震系統,其中,各該控制器皆具有一計算單元,其可依各該電磁感應組件產生之電磁變化量,換算出各該承載台之位移量,以一補償電壓驅動各該電子氣閥進行切換。
- 如請求項3所述之氣壓避震系統,其中,該供氣部可連通於該輔助型氣壓避震器。
- 如請求項1或6所述之氣壓避震系統,其中,該輔助型氣壓避震器係機械式氣壓避震器。
- 如請求項2或5所述之氣壓避震系統,其中,各該電磁感應組件係具有一感應件及一磁性桿件,各該磁性桿件之一端係連接於各該承載台,另一端則係穿設於該感應件之內部,並可相對於該感應件作移動。
- 如請求項8所述之氣壓避震系統,其中,更包含有三個水平調整器,其分別設於各該電磁感應式氣壓避震器之外緣,而各該感應件係固定於各該水平調整器上。
- 如請求項2所述之氣壓避震系統,其中,該載物平台係矩形狀,該三個電磁感應式氣壓避震器係設於該載物平台之三個角落下方,而該輔助型氣壓避震器則係設於該載物平台之另一角落下方。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW103210221U TWM488562U (zh) | 2014-06-10 | 2014-06-10 | 氣壓避震系統 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW103210221U TWM488562U (zh) | 2014-06-10 | 2014-06-10 | 氣壓避震系統 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWM488562U true TWM488562U (zh) | 2014-10-21 |
Family
ID=52109456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW103210221U TWM488562U (zh) | 2014-06-10 | 2014-06-10 | 氣壓避震系統 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWM488562U (zh) |
-
2014
- 2014-06-10 TW TW103210221U patent/TWM488562U/zh not_active IP Right Cessation
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