TWM413114U - Flatness measurement instrument for plane - Google Patents

Description

M413114 五、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作係有關於一種平面測量器，特別是指一種度量平 面或相鄰的二平面之水平性之測量器。 【先前技術】 隨著科技的發達’電子業及其相關產業商品的精緻化， 微小化，因此對機H精度之需求也越益提升，對於成型機 組、器具的真直度、平行度、平坦度等量測需求亦愈趨頻 繁及嚴苛（該平坦度的測量更包括二平面間的水平精度）。 以半導體元件的製造過程為例，將一種晶圓採切割或二片 2段=割成多數晶粒，再將晶粒固定在载體上進行電路佈 。又，取後進行封裝成形；在此過程中，晶圓的裂片製程主 要是將其表面形成多數淺溝，並放置於劈裂機的载台上， 經由馬達驅動劈刀下移進而給予晶圓—個衝擊力量，使晶 圓自切割的淺溝位置劈裂。在晶圓劈裂的製程中，亨劈: 機的載台水平度要求極高，以避免加工精度的誤差而產生 劈裂面未完全斷裂造成晶粒良率問題。 由是，對於劈裂機載台或是其它物體水平度之測量器 具，習用之水平量測裝置概分成物理性與光學性兩種測量 1 義器。物理性#測❹的代表裝置主要麵泡式水平儀， =要於水平管中填入容液，利用容液令氣泡位置判斷物 月丑水千度，但是該種氣泡式水平儀之水平精度誤差範圍 3 M413114 較大，無法滿足目前精密機械對水平量測之需求；而光學 性的水平量測裝置主要有雷射干涉儀、自動視準儀、六分 儀等裝置；惟該等光學測量儀器在架設非常困難且價格昂 貴，成本之高往往不敷成本效益。由此可見，上述習用之 水平量測器具存有諸多缺失而亟待改良；故而需要一種簡 易、精確、低成本的測量器具來度量一平面或相鄰的二平 面之水平性。 【新型内容】 為解決習知物體水平度測量器具精度不佳，或是架設 困難、價格昂貴等缺點，本案之結構所採取的結構包括： 定位座、第一支桿、第二支桿、銜接座與一量表單元所構 成。該定位座上一圓形之容置孔，該容置孔恰可置入一轉 動軸，而轉動軸的上方設有一通孔者。該第一支桿為一圓 柱形桿體，而恰可穿置於定位座之轉動軸上方的通孔，該 第一支桿之一端設有一轉接孔者。該第二支桿一端可穿置 第一支桿的轉接孔，該第二支桿之另端設有一銜接孔者。 該銜接座上設有一組接孔，上端緣設有螺桿，該螺桿可穿 設於第二支桿的銜接孔，並且透過若干螺母盤螺合於螺 桿，而將銜接座固定於第二支桿。該量表單元一端設有頸 管，該頸管可穿插於銜接座的組接孔，量表單元的另側設 有一探針，藉由探針的移動量可令量表單元產生一數值。 本案對照先前技術者，其可提供一種簡易、精確、低 的測$器具來度量平面或相鄰的二平面之水平性。 【貫施方式】 僅腺為了""*更清楚地描述本創作所提出測量11的構造，兹 *以下本㈣實_繪製個式，並依圖搞示之較佳 、、，°構内容說明如下： 心閱第—圖所示之本創作立體結構圖，以及第二圖

本創料視平面結構圖。本創作包含定位座10、第 支才干20、第二支桿30、銜接座40與—量表單元5〇所構 成，其中： 請參閱第三圖所示之本創作m 1Q的剖視構造不 思#。5亥疋位座10上端設有一圓形容置孔11，底部嵌入 磁险兀件12，利用該磁性元件12可令定位座10固定依 附於-金屬物體表面；蚊位座1Q的容置孔u内恰可置

入一轉動軸13 ’而轉動軸13的上方設有-通孔14者；值 得一該轉動軸13可於容置孔u内自由轉動。 °亥第切20為一圓柱形桿體，而恰可

1〇之獅1…的祕14，並且，偏—固定检A 的检鎖而將其固定。另外，該第一支桿20之-端設有一轉 接孔21者。 該第二支桿30 -端恰可穿置於第-支桿20的轉接孔 21々’亚且’可藉由-固^栓A的栓鎖而將其固$，另外， 該第二支桿30之另端設有一銜接孔31者。 5 wuii4 。亥銜接座40上設有一組接孔4卜上端緣設有螺桿 該螺桿42可穿設於第二支桿3〇的銜接孔31，並且透過若 干螺母盤43螺合於螺桿42，而將銜接座4〇固定於第二支 7 30 —端。藉此，當銜接座4〇受若干螺母盤“螺合於螺 桿42¾固定時，該銜接座4(M系可藉由螺母盤43的調整而 文支同低位置，尤其，該螺母盤43的表面設有止滑壓紋方 便操作旋動。 該量表單元50 —端設有頸管51，該頸管51可穿插於 銜接座4G的組接孔41，並且，可藉由-較栓A的栓鎖 而將其固定，另外’量表單元⑽的另側設有-探針52, 错由探針52的移動量可令量表單元5〇產生一數值，其係 代表探針52移動㈣尺寸指數。值得-提較，該量表單 =50之探針52的移動係以極為精細的尺寸計算，使其可 量得極為微小的尺寸變化數據者。 八 另外’在本案各圖式所繪示的實施例中，該量表單元 係乂才曰針才曰引刻度之方式來顯示探針Μ移動量之數值， ，此之外’遠量表單元5()亦得以其它數位顯示型之單元來 貫施丄並且’其外觀造型並不以此為限。 n猎由上述本案各部元件的結構，該定位座10的底部嵌 固一磁性元件12，可八& 7疋位座1〇固定依附於一金屬物體 表面，而定位座1 〇的 令置孔11可供轉動軸13自由轉動； 该第一支桿20係穸罟认^ , ;疋位座10之轉動軸13上方的通孔 M413114 並可於其上呈水平方向 示）；Π Π的位移凋整（如第四、五圖所 ^，省弟一支桿3〇之一端 21而固定，第二支捍3〇…弟—支桿20的轉接孔 40固定.兮旦表_ 立而之衝接孔31則可供銜接座 q心，。系里表早凡*山尨丄 4。的植接孔41、一 而错由頸管51而穿插於銜接座 、接孔41 ’亚猎由銜接座 ^ mn 4? ^ Φ 40的右干螺母盤43螺合於 系才干42，而使量表單元5〇 使哥#留_ ^ 盂直方向的位移調整，進而 _ 、早凡50之掩針52確實位於測量位置。 二本二接座〜 筮—士』 弟—支知30組接於第一支桿20， 第—支桿20又組接於定位座1〇 & 本創作測旦芈而k亚命 ，明 > 閱第六圓所示之 元件^二 不意圖。當定位座10底部的磁性 =固定依附於一金屬物體表面時(受測面) = 於容置孔11内轉動’進而使量表單元5〇之 的4她徑内的平面，藉由探針52對受測面㈣ 的起伏而將數值反應在量表單元5G，觀測者即可由量表= W0所顯示的數據資料’獲得受測平面的平坦 便調校該平面精度。 又 万 在圖式中，某些線條、比例、元件厚度等，可能被簡 h夸大以求顯示清處；且本案說明書中所用的某些元件 名稱’是為了敘述實施例而命名’而非用以限制本創作之 榷利範圍；且，依據本案之創作特徵所作的等效應用或开； 狀的簡單轉換、替代及數量增減，均應涵蓋在本案之保1 7 M413114 ，圍内。由是，從以上之所述及附圖所示之較佳實施例中 :知’本案之構造解決了傳統水平測量儀器所具的問題， ，供-種間易、精確、低成本的測量器具來度量平面或相 鄰的—平面之水平性。故本案確具有顯著的產業利用性， ^其運用之技術手段及其構造特徵，確為本軸作人所研 ^而成峒本案誠已符合專利之要件，爰依法提出申請， 並祈賜專利權為禱。 【圖式簡單說明】 第一圖綠示本案結構立體構造圖； 第二圖繪示本案前視平面結構圖； ^圖、s示本案定位座的剖視構造示意圖； L圖、’日不本案第一支桿的調整示意圖（一）； 第五圖繪示本案第—支桿的調整示意圖（二）； 第，、輯林_量平面水平度之示意圖。 【主要元件符號說明】 10定位座 11容置孔 12 磁性元件 13轉動軸 14通孔 M413114 20 第一支桿 21 轉接孔 30 第二支桿 31 銜接孔 40 銜接座 41 組接孔 42 螺桿 43 螺母盤 50 量表單元 51 頸管 52 探針 A 固定栓

Claims (1)

1. M413114 六、申請專利範圍： 1.-種平面測量器，其係包含定位座、 銜接座與一量表單元所 料、弟二支#、 , ^ w ，〜又位座上—圓形之容置 一、S 2，土 轉動軸，而轉動軸的上方設有 ;;者’’該第—支桿為—圓柱形桿體，而恰可穿置於 =座之轉_上方㈣孔，該第—切之 」 轉接孔者；該篦-±^ 孔十m曰 可穿置於第—支桿的轉接 W —于之另端設有—銜接孔者，·該銜接座上設 、、且孔’上端緣設有螺桿，該螺桿可穿設於第二支 杯的銜接孔，並且透過若干螺 、右十螺母盤螺合於螺桿，而將銜 座固定於第二支桿—端；該量表單元-端設有頸管， j管可_於銜接座的組接孔，量表單元的另側設有 知針，糟由探針的移動量可令量表單元產生一數值， 其係代表探針移動量的尺寸指數。 2.如申請專利範圍第i項所述之平面測量器，其中，該定位 麵部嵌人-磁性元件，利用該磁性元件可令定位座固 疋依附於一金屬物體表面。 ··如申請專利範圍第1項所述之平面測量器，其中，該第一 支桿穿置於定位座之轉動軸上方的通孔時，可藉由一固 定拴的栓鎖而將其固定。 .如申請專利範圍第1項所述之平面測量器，其中，該第二 支桿穿置於第一支桿的轉接孔時，可藉由一固定栓的栓 M413114 鎖而將其固定。 ’該量表 可藉由一 5·如申請專利範圍第！項所述之平面測量器，置 單元-端之頸管可穿插於銜接座的組接孔時 固定栓的拴鎖而將其固定。