TWM335012U - Multi-needle pushing needle structure - Google Patents

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TWM335012U
TWM335012U TW97200795U TW97200795U TWM335012U TW M335012 U TWM335012 U TW M335012U TW 97200795 U TW97200795 U TW 97200795U TW 97200795 U TW97200795 U TW 97200795U TW M335012 U TWM335012 U TW M335012U
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TW
Taiwan
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thimble
wafer
needle
fixed
thimbles
Prior art date
Application number
TW97200795U
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English (en)
Inventor
Shang-Yu Shi
wen-zhong Li
ting-yi Liao
Peng-Zhi Wang
Original Assignee
Fu Jen Chang Technology Co Ltd
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M335012 八、新型說明: 【新型所屬之技#r領域】 本創作係-種多針式頂針結構,更詳而言之 種應用晶片頂出裝置的頂針結構。 w日一 【先前技術】 -般而言’積體電路係被製造於—半導體晶圓上 -個晶圓上-te言包括複數侧粒賴體電路 之積體電路之_為道標(細ind㈣的空間,將每5 獨立的積體電路分關。然後在—個分割的製程】 該些道標分割晶圓,分離晶社的獨立積體電路形成= 晶片(chip)。 分割後晶片經測試確認為良好的晶片後,便可經由一 黏晶製程’bondingprocess)安裝於一基板上。如圖 示,藉由一晶片頂出震置10將要被取走的晶片2〇向上頂 出,使得該晶片20與晶片支撐件(例如膠帶)分離,同時利 用-取放裝置(圖中未示)將該晶片2〇取走並放置。 習用的晶片頂出裝置10包括一頂針座u,其中央設 有可上下移動的—頂針固定軸12,且該頂針固定軸12中 央設有一頂針13,一頂針帽14與該頂針座η固定,蓋 設於該頂針目絲12上^,且顧針帽14上表面設有一 頂針穿設孔15,藉此該頂針13可由該頂針穿設孔15穿 過該頂針巾胃14上絲,用以將在該頂储14上表面的晶 片20向上頂出,使得該晶片20可被取走並放置。 應注意的是,習用的晶片頂出裝置10係用於頂出面 ,已不大的該晶片20,該頂針13的尖端處係採用單一尖 部131結構,形成一種單點的頂出方式。但是,如此的單 5 M335012 式二在將該晶片20被頂起上昇的途中,在未被 /取侍時,該晶片20容易失去平衡而傾斜 ’如此 γΓΛ取放裝置不好取得,而造成該晶# 2G掉落的情況。 【新型内容】 德^鐘於此’本案的目的係在提供一種多針式頂針結 用在-般的晶片·裝置,透過多點頂出方式,有 晶片_起上昇的射爛F平衡,藉此克服或改善 日日?頂起上昇的途中失去平衡而傾斜或掉落的情況。
雄U達到上述的目的,本創作係一種多針式頂針結 …:用於-晶片頂出裝置中可上下移動的一頂針固定 i由特徵在於—頂針組設置有該頂針固定軸的中央, 二的:丨:!貝針組係由至少三根以上的頂針所組成,且該些頂 片被水平面,藉此形成多關頂出方式,使晶 片被頂起上歼的途中保持平衡。 固定該些頂針係固設於—頂針祕,藉由頂針治具 直固使頂針的尖部轉铜—水平面,由該頂針治 ^處頂針筒’ #_針筒固定於該頂針固定軸的中 變晶在於提供—财針式頂構,在不改 構,料^裝置其它70件的情況下,透過改變頂針的結 m多頂針組成的頂針結構,透過在同一平面多點的 衡,克^ hT有效的使晶片被頂起上昇的途中保持平 掉落的情t片被頂起上昇的途中失去平衡而傾斜或 【實施方式】 為更進-步闡述本創作為達成狀目的所採取的技 6 M335012 ^提出町結合賴及触實酬,對依據本創 針其具趙實施方式、結構、魏及其功效,詳 晶片;=參閱圖2與圖3所示。本創作係-種應用於-B曰片頂4^置Μ的多針式頂針結構,與制的相同,該 ^右可、置%包括—頂針座31,該頂針座31的中央 二二下移動的—頂針固定轴32,且該頂針固定軸32 頂針組33,其中該頂針組33係由至少三根以 3頂針331所組成,且該些頂針331的尖部332在同- 水平面。 請再參閱圖4所示,該些頂針331係固設於一頂針治 333 ’藉由該頂針治具333的來插固該些頂針別,使 該二,針331❺尖部332在同一水平面,而頂針治具333 係固設於-頂針筒夾334固定於該頂針固定轴%。 又,一頂針帽34與該頂針座31固定,蓋設於該頂針 固定,32上方’且該頂針帽34上表面設有一頂針穿設孔 35 ’藉由該麟固定轴32的上下雜將同時帶動該頂針 組33的上下移動,藉此該頂針組33的該些頂針331可由 該頂針穿設孔35穿過該頂針帽34上表面,且透過該些頂 針331的尖部332將在該頂針帽34上表面的一晶片4〇向 上頂出,使得該晶片40可被取放裝置(圖中未示)將該晶片 40取走。 本創作的該頂針組33係應用於該晶片頂出裝置3〇 時,因為該頂針組33係由至少三根以上的頂針331所組 成,所以在該頂針固定軸32帶動該頂針組33的上下移動 時,該頂針組33可由該頂針穿設孔35穿過該頂針帽% M335012 it l該些頂針331的尖部332頂起該晶片40時,因 μ 點的頂出方式,藉此該些頂針埘之 Γ中^日ΓΓ出方式’在將該晶片4G被頂起上昇的 Μ 1在°"θ曰片未被取放裝置取得時,該晶片4〇可保 持千,而純斜,使取放裝置容易拿取該晶片40。、 之^^^齡爾職^透職些頂針初 4^ _331^ΙέΤ^^ ^ 起上、d t 況下’就可叫效的使“ 4〇被頂 =:ϊί:衡’克服或改善晶片40被頂起上昇 的途中失去平衡而傾斜或掉落的情況。 創作:上:斤述i僅是本創作的較佳實施例而已,並非對本 的限制,雖然本創作已以較佳實施例揭 路如上,然碰_以限定本創作,任何㈣本 術2在不脫離本創作技術方案範圍内,;;利用爛 :的_内容作出些許更動或修飾為等同變化 本創作技術方案的内容,依據本創作 例所作的任何簡單修改、等同變化 與修飾,均仍屬於本創作技術方案的範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1為習知的晶片頂出裝置之示意圖。 圖2為本案實施例的晶片頂出裝置之示音圖。 圖3為本案實施例的頂針結構之示意圖了回。 圖4為本案實施例的頂針結構之分意圖。 【主要元件符號說明】 <習知> 8 M335012 -· ίο:晶片頂出裝置 、 11 :頂針座 12 :頂針固定轴 13 :頂針 131 :尖部 14 :頂針帽 15 :頂針穿設孔 20 :晶片 <本創作> • 30 :晶片頂出裝置 31 :頂針座 32 :頂針固定軸 33 :頂針組 331 :頂針 332 :尖部 333 :頂針治具 334 :頂針筒夾 φ 34 ··頂針帽 35 ··頂針穿設孔 ^ 40:晶片

Claims (1)

  1. M335012 九、申請專利範園: 1· 一種多針式頂針結構,係應用於一晶片頂出裝置中可上 下移動的一頂針固定軸上;其特徵在於: 該頂針固定軸的中央處設置一頂針組,該頂 少三根以上的頂針所組成,且該些頂針的尖部在同一水 平面。 2.如申請專利範圍第1項所述之多針式頂針結構,其中, ΐΐ:針:系固設於一頂針治具,由該頂針治具固設於-、’间’難頂針筒m定於該頂針固定軸的中央處。
TW97200795U 2008-01-14 2008-01-14 Multi-needle pushing needle structure TWM335012U (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106816403A (zh) * 2016-12-26 2017-06-09 江苏正桥影像科技股份有限公司 一种顶针机构、治具及超薄芯片封装工艺
WO2023130581A1 (zh) * 2022-01-07 2023-07-13 长鑫存储技术有限公司 一种顶针结构、半导体处理设备及其使用方法

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