M314810 八、新型說明： 【新型所屬之技術領域】 本創作係涉及一種減速器，尤指一種直接結合承盤並 達到^疋驅動功效的中空旋轉平台減速器。 【先前技術】 既有的減速益係作為中介，藉由内部所設各個齒輪之
間的齒數比，使馬達所輸出的高轉速降低後，再輸出作為 驅動裝置之用。 上述種類的減速器如證書號數第M242613號「減速器 改良結構」新型專利案，或者如公告編號468737號「泛用 型中空軸齒輪減速機」新型專利t，皆係設有_輸出端、 -輸入端，並且内部於輸出人端之間設有減速齒輪組，藉 此將馬達的高轉速降低後，再輸出作為驅動裝置的用途。 然而上述的減速器使用於驅動晶圓設備等需要精密度 以及較的裝置時’由於輸出端係以皮帶或鏈條等傳動件 連動工作物承盤旋轉，因此其中造成損耗而 動，造成生產上的問題，加上 舨減速益所選用的軸承較 =軸徑向負載㈣定特性，使得傳㈣穩定性以及精密 度更加大打折扣。 【新型内容】 由於既有減速器係以間接的方式帶動裝置 的軸承較不具穩定性，因此於 w 、 勁日日05又備等需要精密度 及“的&置時，會產生震動以及 生產良率上的困擾。 的問碭，造成 4 M314810 為滿足直接驅動晶圓設備以及驅動時 創作提供-種中空旋轉平自勺要求，本 從轉干台減速益，其係包括一 別組裳設於該基座内的一從動軸、-交叉滾子轴減 速傳動件以及一主動軸，其中： 該基座為水平設晉& 4 ^ ^ 卞又罝的板塊，其内部形成一容 的輪出裝設部、-於底端開η的:入 二輸出裝設部與輸人裝設部之_雨 端的，從動軸頂 周壁=叉滾子轴承係結合於該從動轴與該輸㈣設部的 合;該減速傳動件係栖設於該中介裝設部並與該從動軸响 ό亥主動軸係垂直插設 件。齒合，於w / 设部並與該減速傳動 件齒〇力5亥主動軸的底端部分並形成 聯結構造。 彳，、馬達結合的 成-從動I於H的《動轴對應中介裝設部而於周圍形 二二:傳動件設有-轴桿，桿係垂直柩 =該轴桿於一側對應該從動齒議 “：二 與從動齒輪喃合，該轴桿並於另-側 心成一大齒盤，所述主動軸對應該大齒盤而於周圍开/成 主動齒輪，以該主動齒輪與減速傳動 二 此’透過減速傳動件的減速使從動轴的轉速:::二^ 5 M314810 更進-步’本創作從動轴的頂端係伸出基座的頂面， =且結合構造為複數個環繞而間隔形成於從動軸頂面的螺 當本創作使用時，係以基座穿置結合於一基礎板 一馬達結合於輸人裝設部的底部，使馬達的軸桿結合於主 動軸的聯結構造，並將_工作物承盤結合於從動轴頂 結合構造，當馬達啟動時，帶動主動軸經由減速傳動件減 :後驅動從動軸旋轉，使結合於從動軸的工作物承盤: 本創作由於係以從動軸直接結合帶動工作物承盤等伞 要驅動旋轉的裝置或構造旋轉，因此中間不會經過而 鏈條等傳動件的損耗，具有直接傳動而旋轉 = 的功效。並且本創作受益於交叉滚子轴承的轴向二： 佳且動作精確等特性，使得從動轴在轉動的過程中 定地旋轉且負載較大，提供使用者一種穩定不震動以\ 確的減速器。 不震動以及精 【實施方式】 本創作係一種中空旋轉平台減速器，請參看 一 圖的較佳實施例，其係包括一基座（1 〇 )，八 至一 於基座（1 〇 )内的一從動軸（2 〇 ) 、— J、且展口又 (3〇)、-減速傳動件（40)以及：又:子轴承 其中： 動軸（5 〇 )， 該基座（10)包括一底板（11) 、_結人、 上的頂蓋（1 2)以及結合於頂蓋的鎖固=於底板 、丄3 )，其 6 M314810 中底板（11)為水平設置的板體mu 設有一圓形的底孔（1 ；[ 1 )、一圓 又序 圓形的下嵌槽（1 1 以及一圓形的穿孔（1 1 3)，於底孔 丄2) 周圍形成一環直徑較大的嵌放部（工 丄）底倒的 (1 1 1 1 )内歲設一下密封環（工 方、甘人放部 (1 1 2 )内嵌設一水平設置的軸承（ 方、下甘人槽 孔（113)的底端周緣並内凹形 21)，於穿 (1131)； 成&狀的固接換敌部 頂盍（1 2 )係蓋體’其並以底緣螺 頂部的周緣’頂蓋（i 2 )與基 。、土座（1 〇 ) 室（…，容室（14)對灯」）之間形成-容 (112)以及穿孔（1"二 ）、下嵌槽 ^ ( 1 4 1 )、—中介裝設 展 設部（1 4 3 ) ; 4 2 )以及一輸入裝 =(η)於對應輸出裝設部（ΐ4ι)以及底孔 … 置牙設一圓形的頂孔（1 2 1 )，頂孔（i 2 1 )的直徑大於底孔（丄 ,+ 、丄·1丄），並且於頂側的周圍形 成一衣直控較大的下嵌放部 ^ ^ ^ 裝設部（142)以及下二(1211) ’頂盖對應中介 甘欠槽（1 1 2 )的位置於底面凹 設一圓形的上嵌槽（122)，於上嵌槽内敌設一水平設 置的軸承（1 2 2 1 )’並且頂蓋對應輸入裝設部（工4 乂及牙孔（1 1 3)的位置於底面凹設一圓形的第三 彼槽（1 2 3 )’於第三嵌槽（1 2 3 )内寂設-水平設 置的轴承（1 2 3 1 ) ’頂蓋（1 2 )並於頂面設有複數 M314810 個供螺鎖固定的鎖孔（1 2 4 ); 孔（1 2 1 )直徑的 )頂端的周緣，並且 下嵌放部（1 2 1 1 ) 1 )，上嵌放部（1 相同，藉此一同構成 鎖固環（1 3 )係内徑約等於頂 圓形環體，其係螺鎖於頂孔（1 2 1 鎖固環（1 3 )於内側面的底側對應 形成一環直徑較大的上嵌放部（1 3 3 1 )與下嵌放部（1 2 1 1 )直徑 圓環形的嵌放空間。 該從動軸係垂直設置於輸出裝設部（141) 的管桿體，其並以頂底端穿設於頂孔（丄2工）以及底孔 (ill)的中間，從動軸（20)包括—底管件（21) 以及-結合於底管件（21)頂端的頂管件（22)，底 管件（2 1 )係垂直設置的管桿體’其底端外徑較小而穿 置於底孔（1 1 1)並抵靠於下密封環（丄、工2)達到 密封效果，底管件（21)對應中介裝設部（142)的 下側於周面向外凸伸形成—從動凿輪（2ιι)，而底管 響件（21)周面的頂側對應下嵌放部（"η)内凹形 成一直徑較小的下嵌放部（2 1 2 ); 頂管件（22)為與底管件（21)配合的垂直設置 管體’並以底面螺鎖於底管件（2 1 )的頂面，頂管件（2 2)的頂端由頂孔（121)伸出鎖固環（13)的頂面， 並於頂面料而間隔設有複數個作為結合構造的螺孔（2 2 1 了頁s件（2 2 )於外周面的底側對應底管件（2 嵌放部（212)内凹設形成-直徑較小的上彼 放 2)，上嵌放部（222)與下拔放部（12 8 M314810 哕六仫相同’藉此-同構成圓環形的嵌放空間。 〇)二==(3〇)的内環係欲設於從動轴（2 交叉滾子im/(^22)與下^部（1211)，而 敌放部 3 0)的㈣係歲設於基座（1 〇)的上 滾m 與下截放部（121D，藉此，交又 之門2 3 〇 )結合於從動軸（2 0 )與基座（！ 〇 ) =二於交又滾子轴承（3〇)具有負載大，精密度高 且精確地载力佳等特點’使從動軸（2 〇)能穩定 上密封於基座（1 〇 )。設有—上密封環（1 3 2 )， 別以广：1 3 2 )係嵌設於鎖固環（1 3 )内側，並分 及内側抵靠於交叉滾子軸承（3〇)以及頂管 1干Q 2 2 )的外周面。 轴才曰=速傳動件（4〇)設有—垂直設置的軸桿（41)， (i 1 )頂底端分別結合於兩軸承（1 2 2 1 )軸承 該轴^1) ’藉此垂直枢設於中介裝設部（142)， 底側對應從動齒輪（211)形成—直徑較小的 3)，干（41)並於上側形成-直徑較大的大齒盤（4 :主動軸（5 0)❹直設置的桿體，其頂端結合於 =Γ(123)内的轴承（1231)，藉此垂直柩 :二：裝設部（143)，主動軸（5〇)對應大齒盤 3)於周面的頂侧形成一主動齒輪（5ι)，以主動 51)肖減速傳動件"〇)的大.盤（43)喃 9 M314810 合，並且主動軸（5 Π彳μ τ- )的底端伸抵穿孔（丄i )處， 於該底端形成-作為聯結構造的插孔（52)。 當本創作使用時，請泉丢笛 >看苐一至四圖的較佳膏施例， 係以基座（1 0 )頂蓋（工2 ) 7§一她例 丄d )頂面的鎖孔（1 p 4 )提 供螺鎖，使基座（1 〇 )空 、丄U )牙置結合於一基礎板（6 〇 )， =?=(70)結合於固接肩部（Η”）處，使 馬達（7 0 )軸心位朝上伸 又的軸才干（7 1 )結合於主動
軸（5 0 )的插孔（5 2 ) ，- & u今 、J J )，取後將一工作物承盤（8 〇 ) 螺鎖結合於從動軸（p η 平、J U )頂部的螺孔（2 2 1 )。 當馬達（7 0 )啟會7 η主-m： ^ ^ 動—，τ動主動軸（5 〇 )經由減 速傳動件（4 0 )減速後，帶新％ ^ / η ι设▼動從動軸（2 0 )旋轉，使 結合於從動軸（2 〇 ) & τ从1 ? a )的工作物承盤（8 0 )轉動，由於 本創作係以從動軸（ρ ^ $ U )直接τ動工作物承盤（8 〇 )， 因此具有直接傳動而旋轉較為穩定的功效，並且受益於交 又滾子轴承（3 〇 )的設置，使得從動軸（2 0 )在轉動 的過程中較為穩定且負載較 貝秋平乂穴，挺供一種穩定以及精確的 減速器以供使用者利用。 【圖式簡單說明】 第一圖係本創作較佳實施例之立體圖。 第一圖係本創作較佳實施例之立體分解圖。 第一圖係本創作較佳實施例之剖面圖。 第四圖係本創作較佳實施例之裝設實施示意圖。 【主要元件符號說明】 (10)基座 (1 1 )底板 10 M314810 (1111)嵌放部 (112)下嵌槽 (1 1 3 )穿孔 (1 2 )頂蓋 (1 2 1 1 )軸承 (1 2 2 1 )軸承 (1 2 3 1 )轴承 (1 3 )鎖固環 (1 3 2 )上密封環 (1 4 1 )輸出裝設部 (1 4 3)輸入裝設部 (2 1 )底管件 (212)下肩部 (2 2 1 )螺孔 (3 0 )交叉滾子軸承 (4 1 )軸桿 (4 3 )大齒盤 (5 1 )主動齒輪 (6 0 )基礎板 (7 1 )軸桿 (1 1 1 2 )下密封環 (1 1 2 1 )軸承 (1 1 3 1 )固接肩部 (1 2 1 )頂孔 (1 2 2 )上嵌槽 (1 2 3 )第三嵌槽 (1 2 4 )鎖孔 (131)上肩部 (14)容室 (1 4 2 )中介裝設部 (2 0 )從動軸 (2 1 1 )從動齒輪 (2 2 )頂管件 (2 2 2 )上肩部 (4 0 )減速傳動件 (4 2 )小齒盤 (5 0 )主動軸 (5 2 )插孔 (7 0 )馬達 (8 0 )工作物承盤