TWI844319B - 印刷電路板封裝結構及其製作方法 - Google Patents
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Abstract
一種印刷電路板封裝結構,包含電路板本體、複數個無電鍍金屬柱以及複數個錫球。電路板本體包含複數個電路圖案、絕緣層以及防銲漆層。電路圖案被絕緣層所分隔,防銲漆層位於絕緣層及電路圖案層上,覆蓋絕緣層及各電路圖案的一部分。防銲漆層開設有複數個開孔,各開孔分別曝露出對應之電路圖案的一部分。無電鍍金屬柱,分別位於該開孔中,連接電路圖案。錫球分別設置於無電鍍金屬柱上,且錫球之間的間距小於45um。
Description
本發明涉及電路板領域,尤其涉及一種印刷電路板封裝結構及其製作方法。
隨著半導體製程的進步、線寬的縮減,晶片的運算功能增加,因此在晶片封裝時,相同的晶片體積下可能具有更多的接腳,來傳遞不同的訊號。或者,在串接至電路板時,相同電路板面積要連接更多個晶片。從而,印刷電路板的銲墊間距也跟著縮減。
傳統印刷電路板的銲墊製作,是先在印刷電路板的開孔後,先佈設乾膜,再進行電鍍製程,最後在銲墊上形成錫球,來與晶片進行銲接。但是隨著線寬、間距縮減,乾膜與印刷電路板之間的開孔或鑽孔之間的公差,對於電鍍製程的影響甚鉅。若乾膜與印刷電路板的開孔錯位,這可能導致銲墊的填孔不確實,而導致後續製程時銲墊的脫落、或是導致錫球的偏離,這些問題都會使得與晶片連接的電氣性質產生嚴重的影響。
為了解決上述的問題,在一些實施例中,提供一種印刷電路板封裝結構,包含電路板本體、複數個無電鍍金屬柱以及複數個錫球。電路板本體包含複數個電路圖案、絕緣層以及防銲漆層。電路圖案被絕緣層所分隔,防銲漆層位於絕緣層及電路圖案層上,覆蓋絕緣層及各電路圖案的一部分,且防銲漆層開設有複數個開孔,各開孔分別曝露出對應之電路圖案的一部分。無電鍍金屬柱,分別位於該開孔中,連接電路圖案。錫球分別設置於無電鍍金屬柱上,且錫球之間的間距小於45um。
在一些實施例中,無電鍍金屬柱為無電鍍銅。
在一些實施例中,無電鍍金屬柱為無電鍍鎳。
在一些實施例中,開孔的孔徑小於45um。
在此,還提供一種印刷電路板封裝結構的製作方法。印刷電路板封裝結構的製作方法包含準備步驟、第一無電鍍步驟、第二無電鍍步驟、以及熱處理步驟。準備步驟是提供電路板本體,電路板本體包含複數個電路圖案、絕緣層以及防銲漆層。電路圖案被絕緣層所分隔,防銲漆層位於絕緣層及電路圖案上,覆蓋絕緣層及各電路圖案的一部分,且防銲漆層開設有複數個開孔,各開孔分別曝露出對應之電路圖案的一部分。第一無電鍍步驟是以無電鍍的方式沉積金屬層,而在等開孔中分別形成無電鍍金屬柱,且各無電鍍金屬柱分別與各開孔中的電路圖案連接。第二無電鍍步驟是以無電鍍的方式沉積錫,而形成複數個無電鍍錫塊於無電鍍金屬柱上。熱處理步驟是使無電鍍錫塊經熱處理後,內聚成複數個錫球。錫球之間的間距小於45um。
在一些實施例中,金屬層為無電鍍銅。
在一些實施例中,金屬層為無電鍍鎳。
在一些實施例中,該熱處理的溫度範圍是233至255度。
在一些實施例中,開孔的孔徑小於45um。
在一些實施例中,印刷電路板封裝結構的製作方法,在第一無電鍍步驟前更包含第一前處理步驟,對等開孔的壁面或該等電路圖案的表面進行氧化層去除處理。
在一些實施例中,印刷電路板封裝結構的製作方法,在第一無電鍍步驟前更包含第二前處理步驟,對等無電鍍金屬柱的表面進行氧化層去除處理。
如同前述實施例所述,藉由直接以無電鍍製程進行化成處理來形成無電鍍金屬柱,可以避免因為乾膜導致的製程誤差,而有效地解決線寬縮減所造成的製程問題。
應當理解的是,元件被稱為「設置」於另一元件時,可以表示元件是直接位另一元件上,或者也可以存在中間元件,透過中間元件連接元件與另一元件。相反地,當元件被稱為「直接設置在另一元件上」或「直接設置到另一元件」時,可以理解的是,此時明確定義了不存在中間元件。
另外,術語「第一」、「第二」、「第三」這些術語僅用於將一個元件、部件、區域、層或部分與另一個元件、部件、區域、層或部分區分開,而非表示其必然的先後順序。此外,諸如「下」和「上」的相對術語可在本文中用於描述一個元件與另一元件的關係,應當理解,相對術語旨在包括除了圖中所示的方位之外的裝置的不同方位。例如,如果一個附圖中的裝置翻轉,則被描述為在其他元件的「下」側的元件將被定向在其他元件的「上」 側。此僅表示相對的方位關係,而非絕對的方位關係。
圖1是印刷電路板封裝結構的局部剖面圖。如圖1所示,印刷電路板封裝結構1包含電路板本體10、複數個無電鍍金屬柱20以及複數個錫球30。電路板本體10包含複數個電路圖案11、絕緣層13以及一防銲漆層15。電路圖案11被絕緣層13所分隔,防銲漆層15位於絕緣層13及電路圖案11上,覆蓋絕緣層13及各電路圖案11的一部分。防銲漆層15開設有複數個開孔151,各開孔151分別曝露出對應之電路圖案11的一部分。無電鍍金屬柱20分別位於開孔151中,其下端連接電路圖案11。錫球30分別設置於無電鍍金屬柱20的上端,且錫球30之間的間距D小於0.45um。
雖然圖中未繪出,但可以理解的是,電路板本體10可以包含多層的電路圖案11。在一些實施例中,圖1中所示的電路圖案11可以是連接墊,其可以與絕緣層13齊平,也可以一部份突出於絕緣層13。另外,防銲漆層15的開孔151的孔徑R小於45um,較佳地,孔徑R的大小在15至35um的範圍。
在此,在一些實施例中,無電鍍金屬柱20可以是以無電鍍方式形成在開孔151的無電鍍銅或無電鍍鎳。
圖2是印刷電路板封裝結構的製作方法的流程圖。圖3至圖6為印刷電路板封裝結構的製作流程的逐步剖面示意圖。如圖2至圖6所示,印刷電路板封裝結構的製作方法S1包含準備步驟S10、第一無電鍍步驟S20、第二無電鍍步驟S30、以及熱處理步驟S40。
參照圖3,準備步驟S10是提供電路板本體10,電電路板本體10包含複數個電路圖案11、絕緣層13以及防銲漆層15。電路圖案11被絕緣層13所分隔,防銲漆層15位於絕緣層13及電路圖案11上,覆蓋絕緣層13及各電路圖案11的一部分。防銲漆層15開設有複數個開孔151,各開孔151分別曝露出對應之電路圖案11的一部分。在一些實施例中,開孔151可以由雷射鑽孔所開設,開孔151的孔徑R小於45um。
參照圖4,第一無電鍍步驟S20是以無電鍍的方式沉積金屬層,在此,是將電路板本體10浸漬於反應溶液中,使得第一反應溶液進入開孔151中而進行反應,使得在等開孔151中分別形成無電鍍金屬柱20,且各無電鍍金屬柱20分別與各開孔151中的電路圖案11連接。
在此,第一無電鍍步驟S20是利用化學反應的方式使得金屬層沉積,在此金屬層可以為銅或鎳,在金屬層為銅時,第一反應溶液可以是甲醛及鹼液,而在開孔151中形成的化學反應如下述化學反應式(1)所示。化學反應式(1):
。
若金屬層為鎳時,所採用的第一反應溶液通常為次磷酸,在開孔151中形成的化學反應如下述化學反應式(2)所示。化學反應式(2):
。
參照圖5,第二無電鍍步驟S30是以無電鍍的方式沉積錫,而形成複數個無電鍍錫塊30’於無電鍍金屬柱20上。同樣地,第二無電鍍步驟S30是將電路板本體10的表面浸漬於第二反應溶液中,使得第二反應溶液與無電鍍金屬柱20,而在無電鍍金屬柱20上形成無電鍍錫塊30’。在此,第二反應溶液可以包含氯化亞錫,透過氧化還原的方式,利用加入金屬,例如鋅,與氯化亞錫進行反應,使錫析出,例如下述化學反應式(3)所示。化學反應式(3):
。
又或者,第二反應溶液包含亞磷酸亞錫,並透過加入磷酸、有機酸等,以有機螯合的方式進行氧化還原,使亞錫離子還原成錫,如下數化學反應式(4)所示。化學反應式(4):
,其中C1為硫脲、C2為檸檬酸、C3為酒石酸。
進一步地,再次參閱圖2,印刷電路板封裝結構的製作方法,在第一無電鍍步驟S20前更包含第一前處理步驟S15,對以開孔151的壁面或電路圖案11的表面進行氧化層去除處理,以利於沉積金屬層,並增加無電鍍金屬柱20與開孔151的壁面之間的附著力。此步驟主要是對於金屬層為銅更加重要,氧化層去除處理的化學反應如化學反應式(5)所示。化學反應式(5):
。
進一步地,在第二無電鍍步驟S30前更包含第二前處理步驟S25,對以無電鍍金屬柱20的表面進行氧化層去除處理,以利於錫的沉積,並增加無電鍍錫塊30’與無電鍍金屬柱20之間的附著力。
如圖6所示,同時參考圖5,由於直接以無電鍍沉積的無電鍍錫塊30’,其表面較為不規則,在銲接時可能產生部分的腳位形成空銲,因此,需進行熱處理步驟S40使其一致化、均勻化。熱處理步驟S40是將沉積完成無電鍍金屬柱20與無電鍍錫塊30’的電路板本體10,於乾燥後放置於烘箱中進行熱處理,使無電鍍錫塊30’經熱處理後,依據其材料的特性,內聚成複數個錫球30。錫球30之間的間距D小於45um。同時,無電鍍金屬柱20中的材料缺陷,如孔洞、錯位等也能經由熱處理步驟S40而修復。更詳細地,熱處理溫度的範圍是235至255度。較佳為240至250度。
綜上所述,藉由直接以無電鍍製程進行化成處理來形成無電鍍金屬柱20,可以避免因為乾膜導致的製程誤差,而有效地解決線寬縮減所造成的製程問題。
雖然本發明的技術內容已經以較佳實施例揭露如上,然其並非用以限定本發明,任何熟習此技藝者,在不脫離本發明之精神所作些許之更動與潤飾,皆應涵蓋於本發明的範疇內,因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
1:印刷電路板封裝結構
10:電路板本體
11:電路圖案
13:絕緣層
15:防銲漆層
151:開孔
20:無電鍍金屬柱
30:錫球
30’:無電鍍錫塊
D:間距
R:孔徑
S1:印刷電路板封裝結構的製作方法
S10:準備步驟
S15:第一前處理步驟
S20:第一無電鍍步驟
S25:第二前處理步驟
S30:第二無電鍍步驟
S40:熱處理步驟
圖1是印刷電路板封裝結構的局部剖面圖。
圖2是印刷電路板封裝結構的製作方法的流程圖。
圖3至圖6為印刷電路板封裝結構的製作流程的逐步剖面示意圖。
1:印刷電路板封裝結構
10:電路板本體
11:電路圖案
13:絕緣層
15:防銲漆層
151:開孔
20:無電鍍金屬柱
30:錫球
D:間距
R:孔徑
Claims (9)
- 一種印刷電路板封裝結構,包含:一電路板本體,包含複數個電路圖案、一絕緣層以及一防銲漆層,該等電路圖案被該絕緣層所分隔,該防銲漆層位於該絕緣層及該電路圖案上,覆蓋該絕緣層及各該電路圖案的一部分,且該防銲漆層開設有複數個開孔,各該開孔分別曝露出對應之該電路圖案的一部分;複數個無電鍍金屬柱,分別位於該等開孔中,連接該等電路圖案,其中該等無電鍍金屬柱為無電鍍銅或無電鍍鎳;以及複數個錫球,分別設置於該等無電鍍金屬柱上,且該等錫球之間的間距小於45um。
- 如請求項1所述之印刷電路板封裝結構,其中該開孔的孔徑小於45um。
- 一種印刷電路板封裝結構的製作方法,包含:一準備步驟,提供一電路板本體,該電路板本體包含複數個電路圖案、一絕緣層以及一防銲漆層,該等電路圖案被該絕緣層所分隔,該防銲漆層位於該絕緣層及該電路圖案上,覆蓋該絕緣層及該電路圖案的一部分,且該防銲漆層開設有複數個開孔,各該開孔分別曝露出對應之該電路圖案的一部分;一第一無電鍍步驟,以無電鍍的方式沉積一金屬層,而在該等開孔中分別形成一無電鍍金屬柱,且各該無電鍍金屬柱分別與各該開孔中的該電路圖案連接;一第二無電鍍步驟,以無電鍍的方式沉積錫,而形成複數個無電鍍錫 塊於該無電鍍金屬柱上;以及一熱處理步驟,該等無電鍍錫塊經一熱處理後,內聚成複數個錫球,其中該等錫球之間的間距小於45um。
- 如請求項3所述之印刷電路板封裝結構的製作方法,其中該金屬層為無電鍍銅。
- 如請求項3所述之印刷電路板封裝結構的製作方法,該金屬層為無電鍍鎳。
- 如請求項3所述之印刷電路板封裝結構的製作方法,其中該熱處理的溫度範圍是235至255度。
- 如請求項3所述之印刷電路板封裝結構的製作方法,其中該開孔的孔徑小於45um。
- 如請求項3所述之印刷電路板封裝結構的製作方法,在該第一無電鍍步驟前更包含一第一前處理步驟,對該等開孔的壁面或該等電路圖案的表面進行一氧化層去除處理。
- 如請求項3所述之印刷電路板封裝結構的製作方法,在該第二無電鍍步驟前更包含一第二前處理步驟,對該等無電鍍金屬柱的表面進行一氧化層去除處理。
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TWI844319B true TWI844319B (zh) | 2024-06-01 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2014024754A1 (ja) | 2012-08-07 | 2014-02-13 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 半導体パッケージ用回路基板及びその製造方法 |
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WO2014024754A1 (ja) | 2012-08-07 | 2014-02-13 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 半導体パッケージ用回路基板及びその製造方法 |
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