TWI841786B - 紫外線照射裝置 - Google Patents

Abstract

本發明的課題係提供相較於先前構造大幅小型化的紫外線照射裝置。 解決手段的紫外線照射裝置，係具備形成光取出面的燈室、收容於對於前述光取出面隔開於第一方向的位置的準分子燈、以第一方向中從光取出面的相反側接觸準分子燈的發光管之外表面的方式配置的第一電極塊、以於對於第一電極塊隔開於與準分子燈之管軸平行的第二方向的位置中，第一方向中從光取出面的相反側接觸準分子燈的發光管之外表面的方式配置的第二電極塊、及配置於第二方向中比第一電極塊離第二電極塊更遠的位置、及第二方向中比第二電極塊離第一電極塊更遠的位置之至少一方，且抵接於準分子燈的固定構件。

Description

紫外線照射裝置

本發明係關於紫外線照射裝置。

先前，開發有作為光源具備準分子燈，小型的紫外線照射裝置(參照後述專利文獻1)。再者，後述專利文獻1中揭示的紫外線照射裝置係主要假定皮膚疾病的治療的用途。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2017-164417號公報

[發明所欲解決之課題]

圖23係模式揭示專利文獻1所揭示之小型的紫外線照射裝置的構造的圖面。紫外線照射裝置100係具備收容於包含握持部101之框體102內的燈管收容部103，與光照射窗104。於燈管收容部103內，內藏射出紫外線的準分子燈110。

圖24係模式揭示準分子燈110的構造的圖面。準分子燈110係具有圓筒狀的外側管121，與於外側管121的內側中配置於與外側管121的同軸上，內徑小於外側管121之圓筒狀的內側管122。外側管121與內側管122係於方向d1的端部中被密封，兩者之間構成圓環狀的發光空間，於該空間內封入發光氣體123G。

於外側管121的外壁面，設置有網狀或網格狀的外側電極124，於內側管122的內壁面，設置有由不鏽鋼或鋁所成之膜狀的內側電極125。外側電極124及內側電極125係分別與可產生高頻之交流電壓的電源部126電性連接。

藉由電源部126對外側電極124與內側電極125之間施加高頻之交流電壓，隔著外側管121與內側管122的管體對於發光氣體123G施加電壓，在封入發光氣體123G的放電空間內產生放電電漿。藉此激發發光氣體123G的原子，成為準分子狀態，該原子轉移至基底狀態時，會產生準分子發光。

然而，圖24所圖示的準分子燈110係如上所述，2種類的管體(121，122)配置於同軸上所成。因此，收容準分子燈110的框體102必須確保某種程度的大小。如上所述，專利文獻1所記載之紫外線照射裝置100係假定利用於皮膚疾病的治療，限制利用者及利用狀況，故至今即使是圖23所示的形狀、大小，實用上也不會成為大問題。

但是，例如，一般消費者在家庭內，以對於廁所、廚房、浴室、鞋子中等，細菌比較容易繁殖的場所進行殺菌處理來說，可容易搬運程度的大小及重量為佳。假定利用於此種用途的話，作為光源具備圖23所示之準分子燈110的紫外線照射裝置100的構造中，有發生實用上問題的可能性。

再者，在前述內容中有提到殺菌的用途，但是，不限於醫療現場，即使是利用於一般產業上的用途，只要實現小型的紫外線照射裝置的話，也可擴大可安裝處、可利用場所的範圍，故非常有效果。

本發明的課題係有鑑於前述的課題，目的為提供相較於先前構造大幅小型化的紫外線照射裝置。 [用以解決課題之手段]

關於本發明的紫外線照射裝置，其特徵為具備： 燈室，係形成光取出面； 準分子燈，係於前述燈室內，收容於對於前述光取出面隔開於第一方向的位置，發出紫外線； 第一電極塊，係以前述第一方向中從前述光取出面的相反側接觸前述準分子燈的發光管之外表面的方式配置； 第二電極塊，係以於對於前述第一電極塊隔開於與前述準分子燈之管軸平行的第二方向的位置中，前述第一方向中從前述光取出面的相反側接觸前述準分子燈的發光管之外表面的方式配置；及 固定構件，係配置於前述第二方向中比前述第一電極塊離前述第二電極塊更遠的位置、及前述第二方向中比前述第二電極塊離前述第一電極塊更遠的位置之至少一方，且抵接於前述準分子燈。

前述紫外線照射裝置，係具備接觸準分子燈的發光管之外表面的第一電極塊與第二電極塊。該等電極塊係分別於隔開於準分子燈之管軸方向的位置中與準分子燈的發光管之外表面接觸。因此，準分子燈係可藉由簡單之直管型的構造來進行放電，故不需要採用作為先前的準分子燈所一般利用之同心圓狀地管體被雙重設置而在內側管與外側管之間密封發光氣體的構造，即所謂「雙重管構造」。

作為一例，前述紫外線照射裝置所具備之準分子燈的管體的大小，係分別管軸方向(第二方向)的長度為15mm以上、200mm以下，外徑為2mm以上16mm以下。

對第一電極塊與第二電極塊之間施加電壓的話，主要在位於該電極塊之間的準分子燈的管體內發光。藉由該發光所生成的紫外線，係行進於光取出面側的話，會通過光取出面，被取出至紫外線照射裝置的外側。此時，第一電極塊與第二電極塊係都是在第一方向中從光取出面的相反側接觸準分子燈的發光管之外表面的構造，故該等電極塊可抑制朝向光取出面行進之紫外線的行進。

然而，如上所述，關於本發明的紫外線照射裝置係假定是小型的裝置，也可考量藉由利用者搬運。此時，第一電極塊與第二電極塊的雙方為在第一方向中從光取出面的相反側接觸準分子燈的發光管之外表面的構造時，假定在搬運時，燈室內的準分子燈的位置會偏離。例如，準分子燈的位置往第一方向偏離的話，無法充分確保與電極塊的接觸，有在施加電壓時無法形成充分的放電，或放電狀態變化之虞。又，相關問題並不限定於搬運時，即使在安裝於其他機械的狀況中，也可能因為該機械的運轉時所產生的振動等而發生。

有鑑於相關課題，本案發明者係首先為了在第一方向中從電極塊的相反側按壓準分子燈，針對安裝固定構件進行檢討。但是，在第一方向中對於電極塊之相反側的位置，係成為光取出面側的部分，於該位置安裝固定構件的話，有成為紫外線之行進的妨礙之虞。

相對於此，依據本發明的紫外線照射裝置，固定構件配置於第二方向中比第一電極塊離第二電極塊更遠的位置、及第二方向中比第二電極塊離前述第一電極塊更遠的位置之至少一方。對兩電極塊施加電壓的話，於準分子燈內，在第二方向中被兩電極塊挾持的位置最強烈發光。固定構件係配置於比該發光區域更靠外側，故可大幅抑制成為從相關發光區域朝向光取出面之紫外線的妨礙之狀況。

因此，依據前述構造，可實現一邊維持穩定的發光，一邊抑制光取出效率的降低之小型的紫外線照射裝置。

前述固定構件，係包含金屬製的彈性構件所成； 以前述第一方向中從前述第一電極塊及前述第二電極塊的相反側接觸前述準分子燈的發光管之外表面的方式配置亦可。

依據相關構造，可藉由彈性構件的彈性力，對於準分子燈，在第一方向中從兩電極塊的相反側賦予應力。結果，可讓準分子燈與電極塊的接觸狀態穩定化。又，利用以金屬製的構件構成固定構件，可抑制對於紫外線的劣化。

前述固定構件，係配置於前述第二方向中對於前述第一電極塊及前述第二電極塊隔開的位置亦可。

依據前述的構造，固定構件配置在對於電極塊隔開的位置，故可防止固定構件成為放電的起點一事。結果，可抑制放電狀態成為不穩定之狀況。

前述固定構件，係利用金屬製的板材之一部分彎曲，具有平坦部與彎曲部所成，並且前述彎曲部構成前述彈性構件； 前述燈室，亦可具有： 第一殼體，係形成可嵌入前述固定構件的前述平坦部的溝部，及前述光取出面所成；及 第二殼體，係安裝前述第一電極塊及前述第二電極塊所成。

依據前述構造，以對於第一殼體嵌入固定構件的平坦部，並且對於安裝電極塊的第二殼體，發光管的外表面接觸兩電極塊之方式配置準分子燈的狀態下，利用使兩殼體一體化，可在讓準分子燈穩定接觸電極塊的狀態下，安裝於燈室內。亦即，可藉由簡易的作業，製造放電狀態穩定之小型的紫外線照射裝置。又，可不使用接著劑，將固定構件安裝於第一殼體，故即使發光狀態持續，也可抑制固定構件從第一殼體脫離。

前述固定構件，係於前述彎曲部的一部分形成縫隙，在與前述第一方向及前述第二方向正交的第三方向中挾持前述縫隙之2處以上的位置，接觸於前述準分子燈之發光管的外表面亦可。

依據相關構造，可對於準分子燈從光取出面側在複數處朝向電極塊按壓。藉此，提升使準分子燈對於電極塊穩定接觸的效果。

前述固定構件，係具有： 緊固部，係對於前述第一電極塊及前述第二電極塊的至少一方，在前述第一方向中從前述光取出面側緊固； 於前述第二方向中比前述緊固部更靠外側的位置中，從前述光取出面側接觸於前述準分子燈的發光管的外表面亦可。

即使是相關構造，固定構件係為在比電極塊更靠外側的位置，接觸準分子燈的發光管之外表面的構造，故難以妨礙朝向光取出面行進之紫外線。因此，可實現一邊維持穩定的發光，一邊抑制光取出效率的降低之小型的紫外線照射裝置。

作為更具體的一例，前述固定構件，係具有利用金屬製的板材之一部分彎曲，嵌入前述準分子燈的凹部，與在前述第二方向中從前述緊固部側朝向前述凹部側延伸的連結部所成； 前述連結部，係形成於對於前述凹部，往與前述第一方向及前述第二方向正交的第三方向變位的位置亦可。

又，前述紫外線照射裝置係具有以隔開於與前述第一方向及前述第二方向正交的第三方向之方式配置的複數前述準分子燈； 至少一個前述固定構件以對於複數前述準分子燈接觸之方式構成亦可。

依據相關構造，於燈室內搭載複數準分子燈，故可從光取出面射出高輸出的紫外線。然後，至少一個固定構件以抑制對於複數準分子燈往第一方向的變位之方式設置，故可實現可一邊減少零件數量，一邊維持穩定之發光的紫外線照射裝置。 [發明的效果]

依據本發明，可實現一邊維持穩定的發光，一邊抑制光取出效率的降低之小型的紫外線照射裝置。

針對本發明的紫外線照射裝置的實施形態，適當參照圖面來進行說明。再者，以下的各圖面係模式圖示者，圖面上的尺寸比與實際的尺寸比不一定一致。又，於各圖面之間，尺寸比不一定一致。

[第一實施形態] 圖1係模式揭示紫外線照射裝置之外觀的立體圖。圖2係從圖1分解紫外線照射裝置1的燈室2之本體殼體部22與蓋子部23的立體圖。再者，在本實施形態中，如後述般，本體殼體部22係更包含第一殼體22a與第二殼體22b所構成。

在以下的各圖中，參照將紫外線L1的取出方向設為X方向，將與X方向正交的平面設為YZ平面，參照X-Y-Z座標系進行說明。更詳細來說，如參照圖2之後的圖面所後述般，將準分子燈3的管軸方向設為Y方向，將與X方向及Y方向正交的方向設為Z方向。X方向對應「第一方向」，Y方向對應「第二方向」，Z方向對應「第三方向」。

又，在以下的說明中，在表現方向時區別正負的朝向時，如「+X方向」、「-X方向」般，附加正負的符號記載。又，在不區別正負的朝向來表現方向時，僅記載為「X方向」。亦即，於本說明書中，在僅記載為「X方向」時，包含「+X方向」與「-X方向」雙方。關於Y方向及Z方向也相同。

如圖1及圖2所示，紫外線照射裝置1係具備於一方之面形成光取出面10的燈室2。燈室2係具備本體殼體部22與蓋子部23，於本體殼體部22內，收容準分子燈3與電極塊(11，１2)。再者，在本實施形態中，舉出於燈室2內收容4根準分子燈3(3a，3b，3c，3d)之狀況為例進行說明(參照圖3)，但是，準分子燈3的數量即使1根亦可，2根、3根或5根以上亦可。電極塊(11，12)係構成用以對於各準分子燈3供電的電極。

在本實施形態中，如圖2所示，於構成蓋子部23的光取出面10的區域，設置光學濾光片21。關於該光學濾光片21的特性，於後敘述。

圖3及圖4係從圖2省略本體殼體部22的圖示，僅圖示電極塊(11，12)及準分子燈3(3a，3b，3c，3s)的立體圖。圖3與圖4僅觀察角度不同。又，圖5係從圖4進而省略準分子燈3的圖示的立體圖。

如圖3及圖4所示，本實施形態的紫外線照射裝置1係具備隔開於Z方向配置的4根準分子燈3(3a，3b，3c，3d)。又，以接觸各準分子燈3的發光管之外表面的方式，配置2個電極塊(11，12)。以下，適當將位於-Y側的電極塊11稱為「第一電極塊11」，將位於+Y側的電極塊12稱為「第二電極塊12」。

第一電極塊11與第二電極塊12係配置於隔開於Y方向的位置。在圖5所示的範例中，第一電極塊11係具有呈沿著準分子燈3的發光管之外表面的曲面的形狀且載置準分子燈3的載置區域11a，與形成於對於準分子燈3隔離於Z方向的位置，對於YZ平面傾斜的錐面11b。同樣地，關於第二電極塊12，也具有載置區域12a與錐面12b。

再者，第一電極塊11與第二電極塊12係由導電性材料所成，更理想為顯示對於從準分子燈3射出的紫外線之反射性的材料所成。作為一例，第一電極塊11與第二電極塊12都以Al、Al合金、不鏽鋼等構成。

第一電極塊11與第二電極塊12係任一都以一邊接觸各準分子燈3(3a，3b，3c，3d)的發光管之外表面，一邊在Z方向中跨越各準分子燈3的方式配置。

圖6係模式揭示準分子燈3及電極塊(11，12)的位置關係的圖面，對應從+Z方向觀察準分子燈3時的模式俯視圖。在圖6中，僅圖示4根準分子燈3(3a，3b，3c，3d)中，位於最靠-Z側的準分子燈3a，省略其他準分子燈(3b，3c，3d)的圖示，如上所述，關於準分子燈(3b，3c，3d)，並排於+Z方向。

準分子燈3係具有將Y方向設為管軸方向的管體，於隔開於Y方向的位置中，準分子燈3的發光管之外表面接觸於各電極塊(11，12)。於準分子燈3的管體，封入發光氣體3G。對各電極塊(11，12)之間施加例如10kHz~5MHz程度之高頻的交流電壓的話，則會透過準分子燈3的管體，對於發光氣體3G施加前述電壓。此時，在封入發光氣體3G的放電空間內產生放電電漿，而激發發光氣體3G的原子，成為準分子狀態，該原子轉移至基底狀態時，會產生準分子發光。

從準分子燈3射出之紫外線L1的波長係依存於發光氣體3G的物質來決定。例如，作為發光氣體3G而包含KrCl時，從準分子燈3射出之紫外線L1係表示主要峰值波長為222nm附近的光譜(參照圖7)。

作為發光氣體3G，除了KrCl之外，可利用KeBr、ArF等。在發光氣體3G包含KrBr時，從準分子燈3係射出主要峰值波長為207nm附近的紫外線L1。在發光氣體3G包含ArF時，從準分子燈3係射出主要峰值波長為193nm附近的紫外線L1。於該等任一氣體種中，從準分子燈3係生成主要峰值波長屬於190nm以上、225nm以下的波長帶的紫外線L1。再者，除了前述的氣體種之外，混合氬(Ar)、氖(Ne)等的惰性氣體亦可。

於發光氣體3G包含KrCl時，如圖7所示，於紫外線L1的光譜，光輸出幾乎集中於主要峰值波長即222nm附近，但是，關於被掛念對於人體的影響之240nm以上的波長帶，雖然只有微量也確認到光輸出。因此，於構成光取出面10的區域，以遮斷相關波長帶之光成分為目的，設置光學濾光片21。也就是說，光學濾光片21具有遮斷240nm以上、300nm以下之紫外線的功能。

如上所述，本實施形態的紫外線照射裝置1所具備之準分子燈3(3a，3b，3c，3d)係以其發光管的外表面接觸電極塊(11，12)之方式配置。但是，該等接觸狀態不穩定的話，對於各準分子燈3之電壓的施加狀態變動，或無法施加充分的電壓之結果，有放電成為不穩定之虞。根據相關觀點，紫外線照射裝置1係具備用以穩定化準分子燈3(3a，3b，3c，3d)與電極塊(11，12)的接觸狀態的固定構件5(參照圖8~圖14)。以下，參照圖8~圖14的各圖，針對固定構件5的構造進行說明。

圖8係從+X方向觀察本體殼體22的-X側之面，亦即光取出面10之相反側的面時的模式俯視圖。圖9係僅抽出準分子燈3、固定構件5、及電極塊(11，12)並模式揭示的立體圖，圖10係從+X側，光取出方向相反方向(往-X方向)觀察圖9的狀態時的模式俯視圖。圖11係固定構件5的模式立體圖。

圖12係用以說明固定構件5與準分子燈3的接觸狀態的模式立體圖，為了方便說明，省略準分子燈3c的圖示。圖13係+Y方向觀察圖9之狀態時的模式俯視圖。圖14係+Z方向觀察圖8之狀態時的模式俯視圖。但是在圖14中為了便利說明，省略位於最靠-Z側的本體殼體22之壁面的圖示。

電極塊(11，12)係對於準分子燈3從光取出方向的相反側，亦即-X側接觸。相對於此，固定構件5係以對於準分子燈3從+X側接觸之方式配置。

固定構件5係由彈性構件所成，更詳細來說由不鏽鋼等的金屬製構件所成。尤其，理想為如圖11所示，固定構件5係利用板材的一部分彎曲，具有平坦部5a與彎曲部5b所成，並且藉由該彎曲部5b形成彈性構件。固定構件5的彎曲部5b具有朝向-X方向的彈性力，故於彎曲部5b接觸發光管的外表面的準分子燈3朝向比準分子燈3更位於-X側的電極塊(11，12)的方向被推壓。結果，準分子燈3的發光管的外表面對於電極塊(11，12)穩定接觸。

進而，該固定構件5係在Y方向中，被至於比電極塊(11，12)更靠外側(參照圖8、圖11)。因此，固定構件5係雖然位於比準分子燈3更靠+X側，亦即光取出側，但是，準分子燈3的管體中，主要構成放電空間的是電極塊(11，12)之間的位置，故難以成為從該放電空間行進於+X方向之紫外線L1的妨礙。

進而，固定構件5係以對於電極塊(11，12)隔開於Y方向之方式配置，對於電極塊(11，12)電性絕緣。結果，即使為了發光而對於電極塊(11，12)施加電壓，也不會對於固定構件5通電，故可抑制固定構件5成為放電的起點一事。因此，藉由設置固定構件5，讓放電不穩定難以發生。

如圖11所示，固定構件5係於彎曲部5b的一部分形成縫隙5c為佳。利用形成相關的縫隙5c，於管軸方向(Y方向)觀察時的形狀顯現圓形之準分子燈3的發光管的外表面，在挾持縫隙5c的複數處與固定構件5接觸(參照圖13)。依據圖13，在Z方向相關的2處(A1，A2)，準分子燈3的發光管的外表面與固定構件5接觸。藉此，使準分子燈3與固定構件5的接觸穩定化。

固定構件5係構成為可對於本體殼體22不使用接著劑來安裝更佳。假設，固定構件5對於本體殼體22藉由接著劑安裝的話，因為萬用的接著劑對於紫外線L1的耐性低，故因為準分子燈3的點燈狀態持續，有紫外線L1被照射至接著劑而導致接著劑劣化之虞。因為接著劑的劣化而接著性能降低的話，會有固定構件5從本體殼體22脫離的可能性。

作為不使用接著劑而將固定構件5對於本體殼體22安裝之方法的具體一例，本體殼體22具有第一殼體22a與第二殼體22b，於第一殼體22a側，形成可嵌入固定構件5的平坦部5a的溝部6(參照圖16)。圖15係安裝固定構件5之狀態的第一殼體22a的模式俯視圖，圖16係安裝固定構件5之前的第一殼體22a的模式立體圖。再者，於圖16一併圖示固定構件5的立體圖。

如圖16所示，利用對於安裝於第一殼體22a的溝部6，嵌入固定構件5的平坦部5a，於第一殼體22a的所定處安裝固定構件5。在此，如上所述，以固定構件5不成為紫外線L1的行進的妨礙之方式，在Y方向中於端部側安裝固定構件5為佳。因此，溝部6也在第一殼體22a的Y方向中形成於端部側為佳。

進而，電極塊(11，12)作為安裝於第一殼體22a之外的第二殼體22b者亦可(參照圖17)。圖17係對於安裝電極塊(11，12)之第二殼體22b，以接觸電極塊(11，12)之方式配置準分子燈3(3a，3b，3c，3d)之狀態的模式立體圖。將圖15所示之狀態的第一殼體22a，對於圖17所示之狀態的第二殼體22b，從+X側覆蓋以進行一體化，藉此可使準分子燈(3a，3b，3c，3d)對於電極塊(11，12)穩定地接觸。圖14係如此對應+Z方向觀察將第一殼體22a與第二殼體22b一體化之狀態時的模式俯視圖。

[第二實施形態]

針對紫外線照射裝置的第二實施形態，主要說明與第 一實施形態不同之處。

圖18係紫外線照射裝置的第二實施形態的模式立體圖。於本實施形態中，也與第一實施形態相同，對於準分子燈3的發光管的外表面，電極塊(11，12)從-X側接觸，固定構件5從+X側接觸。但是，在本實施形態中，相較於第一實施形態，固定構件5的形狀不同。針對此點，參照圖19~圖21來進行說明。

圖19係僅抽出準分子燈(3a，3b)、電極塊(11，12)，及固定構件5並模式揭示的立體圖。圖20係模式揭示本實施形態的固定構件5的立體圖。圖21係於圖18的狀態中，所定位置之XZ平面的模式剖面圖。

在本實施形態中，如圖19所示，固定構件5係對於電極塊(11，12)固定。更詳細來說，固定構件5係具有緊固部5d(參照圖20)，透過該緊固部5d，例如藉由螺絲緊固固定構件5與電極塊(11，12)。

固定構件5係如圖20所示，具有呈依據準分子燈3的發光管之外表面的形狀之形狀的凹部5e。因此，圖21所示，以對於電極塊(11，12)於+X側載置準分子燈3之後，進而從+X側，於凹部5e嵌入準分子燈3之發光管的外表面之方式，安裝固定構件5之狀態下，可透過緊固部5d緊固固定構件5與電極塊(11，12)。結果，準分子燈3係從+X側藉由固定構件5往-X方向，亦即電極塊(11，12)側被推壓，故可確保準分子燈3與電極塊(11，12)的穩定接觸。

再者，在本實施形態中，不同於第一實施形態，固定構件5係在Y方向中與電極塊(11，12)隔開。但是，嵌入準分子燈3之固定構件5的凹部5e，亦即固定構件5位於比準分子燈3更靠+X測的區域，係位於比電極區塊(11，12)更靠Y方向的端部。更詳細來說，固定構件5係具有從緊固部5d朝向凹部5e延伸於Y方向的連結部5f。因此，與第一實施形態相同，可抑制成為固定構件5從準分子燈3射出而行進於+X方向之紫外線L1的妨礙。

[其他實施形態] 以下，針對其他實施形態進行說明。

＜1＞在前述實施形態中，已說明第一電極塊11及第二電極塊12都具有錐面(11a，11b)。但是，於本發明中，各電極塊是否具有錐面可設為任意。例如，如圖22所示之第一電極塊11，嵌入準分子燈3之溝11g以外的部分以平坦面構成亦可。關於第二電極塊12也相同。

＜2＞於紫外線照射裝置1具備複數根準分子燈3的狀況中，2根以上的準分子燈3的X方向相關之配置位置變位亦可。

＜3＞於前述實施形態中，已說明紫外線照射裝置1係於光取出面10設置光學濾光片21者，但是，於本發明中紫外線照射裝置1是否具備光學濾光片21可設為任意。尤其，在對於人體照射紫外線L1的可能性無限低的狀況中設置紫外線照射裝置1時，不設置光學濾光片21亦可。

又，在前述實施形態中，已針對從紫外線照射裝置1射出之紫外線L1的主要發光波長屬於190nm以上、225nm以下的波長帶之狀況進行說明，但是，本發明並不排除發出主要發光波長超過225nm的紫外線者。例如，紫外線照射裝置1係具備發光氣體3G使用XeCl，發出顯示主要峰值波長為308nm之紫外線L1的準分子燈3者亦可。

＜4＞在前述實施形態中，設為1個固定構件5對於鄰接配置於Z方向的複數準分子燈3，從+X側接觸的構造者。但是，作為於各準分子燈3，設置個別的固定構件5的構造亦可。

又，在前述實施形態中，設為在準分子燈3的管軸方向(Y方向)相關之兩端的位置設置固定構件5者。但是，本發明並不排除僅在Y方向相關之一方的端部設置固定構件5的構造。即使在相關狀況中，相較於不存在固定構件5的狀況，也可發揮讓準分子燈3與電極塊(11，12)的接觸狀態穩定化的作用。

1:紫外線照射裝置 2:燈室 3:準分子燈 3a,3b,3c,3d:準分子燈 3G:發光氣體 5:固定構件 5a:平坦部 5b:彎曲部 5c:縫隙 5d:緊固部 5e:凹部 5f:連結部 6:溝部 11:第一電極塊 11a:載置區域 11b:錐面 11g:溝 12:第二電極塊 12a:載置區域 12b:錐面 22:本體殼體部 22a:第一殼體 22b:第二殼體 23:蓋子部 100:紫外線照射裝置 101:握持部 102:框體 103:燈管收容部 104:光照射窗 110:準分子燈 121:外側管 122:內側管 123G:發光氣體 124:外側電極 125:內側電極 126:電源部 L1:紫外線

[圖1]模式揭示第一實施形態的紫外線照射裝置之外觀的立體圖。 [圖2]從圖1分解紫外線照射裝置的燈室之本體殼體部與蓋子部的立體圖。 [圖3]模式揭示紫外線照射裝置所具備之電極塊及準分子燈的構造的立體圖。 [圖4]從圖3變更視點的立體圖。 [圖5]從圖4省略準分子燈的圖示，模式揭示電極塊的構造的立體圖。 [圖6]+Z方向觀察圖3的立體圖時的模式俯視圖。 [圖7]揭示發光氣體包含KrCl的準分子燈的發射光譜之一例。 [圖8]朝向本體殼體的光取出面之相反側的面觀察時的模式俯視圖。 [圖9]僅抽出準分子燈、固定構件、及電極塊並模式揭示的立體圖。 [圖10]-X方向觀察圖9之狀態時的模式俯視圖。 [圖11]固定構件的模式立體圖。 [圖12]用以說明固定構件與準分子燈的接觸狀態的模式立體圖。 [圖13]+Y方向觀察圖9之狀態時的模式俯視圖。 [圖14]+Z方向觀察圖8之狀態時的模式俯視圖。 [圖15]安裝固定構件之狀態的第一殼體的模式俯視圖。 [圖16]安裝固定構件之前的第一殼體的模式立體圖。 [圖17]安裝電極塊之第二殼體的模式立體圖。 [圖18]紫外線照射裝置的第二實施形態的模式立體圖。 [圖19]從圖18的構造僅抽出準分子燈、電極塊、及固定構件並模式揭示的立體圖。 [圖20]模式揭示圖18內的固定構件的立體圖。 [圖21]於圖18的狀態中，所定位置之XZ平面的模式剖面圖。 [圖22]模式揭示電極塊的其他構造的立體圖。 [圖23]模式揭示先前之小型的紫外線照射裝置的構造的圖面。 [圖24]模式揭示搭載於圖23所示之紫外線照射裝置的準分子燈之構造的圖面。

2:燈室

3a,3b,3c,3d:準分子燈

5:固定構件

11:第一電極塊

12:第二電極塊

22:本體殼體部

Claims (8)

1. 一種紫外線照射裝置，其特徵為具備：燈室，係形成光取出面；準分子燈，係於前述燈室內，收容於對於前述光取出面隔開於第一方向的位置，發出紫外線；第一電極塊，係以前述第一方向中從前述光取出面的相反側接觸前述準分子燈的發光管之外表面的方式配置；第二電極塊，係以於對於前述第一電極塊隔開於與前述準分子燈之管軸平行的第二方向的位置中，前述第一方向中從前述光取出面的相反側接觸前述準分子燈的發光管之外表面的方式配置；及固定構件，係配置於前述第二方向中比前述第一電極塊離前述第二電極塊更遠的位置、及前述第二方向中比前述第二電極塊離前述第一電極塊更遠的位置之至少一方，且抵接於前述準分子燈；前述固定構件，係以前述第一方向中從前述第一電極塊及前述第二電極塊的相反側接觸前述準分子燈的發光管之外表面的方式配置。
2. 如請求項1所記載之紫外線照射裝置，其中，前述固定構件，係包含金屬製的彈性構件所成。
3. 如請求項2所記載之紫外線照射裝置，其中，前述固定構件，係配置於前述第二方向中對於前述第 一電極塊及前述第二電極塊隔開的位置。
4. 如請求項3所記載之紫外線照射裝置，其中，前述固定構件，係利用金屬製的板材之一部分彎曲，具有平坦部與彎曲部所成，並且前述彎曲部構成前述彈性構件；前述燈室，係具有：第一殼體，係形成可嵌入前述固定構件的前述平坦部的溝部，及前述光取出面所成；及第二殼體，係安裝前述第一電極塊及前述第二電極塊所成。
5. 如請求項4所記載之紫外線照射裝置，其中，前述固定構件，係於前述彎曲部的一部分形成縫隙，在與前述第一方向及前述第二方向正交的第三方向中挾持前述縫隙之2處以上的位置，接觸於前述準分子燈之發光管的外表面。
6. 如請求項2所記載之紫外線照射裝置，其中，前述固定構件，係具有：緊固部，係對於前述第一電極塊及前述第二電極塊的至少一方，在前述第一方向中從前述光取出面側緊固；於前述第二方向中比前述緊固部更靠外側的位置中，從前述光取出面側接觸於前述準分子燈的發光管的外表 面。
7. 如請求項6所記載之紫外線照射裝置，其中，前述固定構件，係具有利用金屬製的板材之一部分彎曲，嵌入前述準分子燈的凹部，與在前述第二方向中從前述緊固部側朝向前述凹部側延伸的連結部所成；前述連結部，係形成於對於前述凹部，往與前述第一方向及前述第二方向正交的第三方向變位的位置。
8. 如請求項1至7中任一項所記載之紫外線照射裝置，其中，具有以隔開於與前述第一方向及前述第二方向正交的第三方向之方式配置的複數前述準分子燈；至少一個前述固定構件以對於複數前述準分子燈接觸之方式構成。

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