TWI831073B - 滲漏偵測系統及其製造與使用方法 - Google Patents

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TWI831073B
TWI831073B TW110141170A TW110141170A TWI831073B TW I831073 B TWI831073 B TW I831073B TW 110141170 A TW110141170 A TW 110141170A TW 110141170 A TW110141170 A TW 110141170A TW I831073 B TWI831073 B TW I831073B
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瓊 菲利浦 拉基蒂奇
查理斯 古盧伯
史黛芬妮 多米
亞當 納德
艾德木德 貝奈特
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美商聖高拜塑膠製品公司
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Abstract

本揭示提供一種滲漏偵測感測器，其包含：介電基板，其包含電路板材料；以及複數個電路，該等複數個電路與該基板通訊，其中該等複數個電路是位於該基板的不同側上。

Description

滲漏偵測系統及其製造與使用方法
本揭示關於滲漏偵測系統及其製造與使用方法。
許多工業和商業應用涉及流體使用，流體可用於例如處理步驟、製造功能(諸如掩蔽或蝕刻)或溫度控制中。有些流體可能特別有害，或需要特別注意，因為會對環境或生物產生不利影響。其他流體可能非常貴重，且因此滲漏會導致使用者損失。其他流體可能有純度要求，且滲漏將會帶來外部污染的風險，從而可能破壞其各自的流體系統。
許多產業需要以更具永續性且更經濟的方式有效且準確地監測有害或貴重流體滲漏的新方式。
本發明提供一種滲漏偵測感測器，其包含：介電基板，其包含電路板材料；及複數個電路，其與該基板通訊，其中該等複數個電路是位於該基板的不同側上。
本發明亦提供一種流體系統，其包含：流體組件，其具有流體；及至少一個滲漏偵測感測器，其可操作地耦合至該流體組件，該滲漏偵測感測器包含介電基板，其包含電路板材料；及複數個電路，其與該基板通訊，其中該等複數個電路是位於該基板的不同側上。
本發明又提供一種滲漏偵測方法，其包含：提供至少一個滲漏偵測感測器，該至少一個滲漏偵測感測器包含：介電基板，其包含電路板材料；及複數個電路，其與該基板通訊，其中該等複數個電路是位於該基板的不同側上；及可操作地將該至少一個滲漏偵測感測器耦合至該流體組件，以監測流體滲漏。
100、1704:感測器
102:感測元件
104、1706:通訊裝置
105:通訊集線器或接收裝置
106:基板
107:鹽盤
108、110、112:區域
114:流體界面
115:外殼
116、118、1400:流體導管
117:漏斗形元件
120、128、130、1620:附接元件
121:流體組件
122、1408:帶
123:圓柱形組件
124:接合元件
126:開口
132、1712:電源
302、702、902、1302:基板
304、704、904:偵測元件
305:跡線
306、308:指狀物或跡線
307、309:引腳
311:導電繞線
312:適當元件
314:間隙
316、318:主表面
502、504:偵測元件、偵測系統
706、706’、906:導線
708:進入
709:離開
912:元件
1000、1402、1406、1410、1414、1416、1424、1500、1702:滲漏偵測系統
1304、1306:偵測元件
1404:細長物體
1412:背膠材料
1418:夾子
1420、1422:半部
1622:易碎部分
1700、1708:滲漏偵測陣列
1710:材料
D:距離
LF:最終長度
LI:初始長度
WF:最終寬度
WI:初始寬度
實施例係藉由實例描繪且不應受限於附圖。
圖1包括根據一實施例的示例滲漏偵測系統之透視圖。
圖2包括根據實施例的設置在接合流體組件之間的流體界面上的複數個示例滲漏偵測系統之側面正視圖。
圖3包括根據一實施例的包括感測元件的感測器之示意圖。
圖4包括根據一實施例的包括感測元件的感測器之橫截面正視圖。
圖5包括根據另一實施例的包括感測元件的感測器之橫截面正視圖。
圖6包括根據另一實施例的包括感測元件的感測器之橫截面正視圖。
圖7包括根據另一實施例的包括感測元件的感測器之示意圖。
圖8包括根據一實施例的包括感測元件感測器的感測器之橫截面正視圖。
圖9包括根據一實施例的包括處於乾燥狀況的感測元件的另一感測器之示意圖。
圖10包括根據一實施例的處於潮濕狀況的圖9的感測器之示意圖。
圖11包括根據一實施例的包括具有電路的感測元件的另一感測器之示意圖。
圖12包括根據一實施例的包括具有電路的感測元件的另一感測器之示意圖。
圖13包括根據一實施例的包括具有兩個偵測元件的感測元件的感測器之橫截面正視圖。
圖14包括根據一實施例的具有耦合至其上的複數個感測器的流體導管之透視圖，各感測器具有不同的附接元件。
圖15包括根據一實施例的滲漏偵測系統之透視圖。
圖16包括根據一實施例的附接元件之透視圖。
圖17包括根據一實施例的滲漏偵測陣列之透視圖。
圖18A包括根據一實施例的用於示例性滲漏偵測系統中的基板之仰視圖。
圖18B包括根據一實施例的用於示例性滲漏偵測系統中的基板之底部透視圖。
圖18C包括根據一實施例的用於示例滲漏偵測系統中的基板之側視圖。
圖19A包括根據一實施例的示例滲漏偵測系統之頂部透視圖。
圖19B包括根據一實施例的示例滲漏偵測系統之側透視圖。
圖19C包括根據一實施例的示例滲漏偵測系統之側橫截面視圖。
圖19D包括根據一實施例的示例滲漏偵測系統之仰視圖。
圖19E包括根據一實施例的示例滲漏偵測系統之側透視圖。
以下說明結合圖式，用以輔助理解本文所揭示的教示。以下討論將著重於教示的特定實施方式和實施例。其焦點係用於輔助描述實施例，並且不應將其解釋為對本申請中揭示之教示的範圍或適用性的限制。然而，其他實施例可基於所揭示之教示來使用。
用語「包含/包括」(comprises/comprising/includes/including)、「具有」(has/having)或任何彼等之其他變體，係意欲涵蓋非排除性含括(non-exclusive inclusion)。例如，包含一系列特徵之方法、物件或設備不一定僅限於該些特徵，而是可包括未明確列出或此方法、物件或設備固有的其他特徵。進一步地，除非有相反的明確提及，否則「或」(or)係指包含性的或(inclusive-or)而非互斥性的或(exclusive-or)。例如，條件A或B滿足下列任一者：A為真(或存在)且B為假(或不存在)、A為假(或不存在)且B為真(或存在)、以及A和B均為真(或存在)。
又，「一」(a/an)的使用係經利用來描述本文中所述之元件和組件。這僅係為方便起見且為給出本發明範圍的一般含義。除非係明確意指其他意涵，否則此描述應該被理解為包括一者、至少一者，或單數也包括複數，或反之亦然。例如，當本文中所述者係單一項目時，可使用多於一個項目來替代單一項目。類似地，若本文中所述者係多於一個項目時，單一項目可取代多於一個項目。
除非另外定義，否則本文使用的所有技術和科學術語的含意與本發明所屬領域的通常知識者理解的含義相同。該等材料、方法及實施例僅是說明性的而非限制性的。在本文未描述的範圍內，關於特定材料和處理行為的許多細節係慣用的，且可在流體輸送領域內的教科書和其他來源中找到。
根據本文所述的一或多個實施例之滲漏偵測系統一般可包括：至少一個感測器；通訊裝置，該通訊裝置耦合至該感測器；以及附接元件，該附接元件經調適以將滲漏偵測系統可操作地耦合至某一區域以用於監測流體滲漏。在一實施例中，滲漏偵測系統可經設置鄰近流體組件上的流體界面。根據某些實施例，流體組件可包括流體可從流體界面滲漏的接合處，例如，管接合處、管接頭、管道、管肘、歧管、肘管、閥、泵、調節器、液體阱、壓力容器、 槽、過濾器外殼、排氣管線、真空冷凝容器、接縫或熔接線、噴嘴或噴霧器、螺紋埠、取樣閥、流體入口或出口或任何其他類似接合處。在另一實施例中，感測器可具有第一狀態，該第一狀態在乾燥時具有第一狀況，而在潮濕時具有第二狀況。在一實施例中，感測器可具有第二狀態，該第二狀態經調適以監測感測器的可操作性。在一實施例中，感測器可具有第三狀態，該第三狀態經調適以監測對感測器電池壽命的測量。在一實施例中，感測器可具有第四狀態，該第四狀態經調適以監測感測器的訊號強度。訊號強度可以是感測器與通訊裝置的閘道通訊訊號(例如，通訊裝置是否“聽到”感測器)。通訊裝置可透過無線協定或有線連接向通訊集線器或接收裝置傳輸狀況(第一、第二、第三或第四)，該通訊集線器或接收裝置經調適以將受監測區域的狀況通訊至可對滲漏做出反應的使用者或系統。在一具體實施例中，附接元件可為可移除的、可再用的或兩者兼有。即，附接元件可與流體組件或流體組件的受監測區域或表面選擇性地接合，且從中選擇性地脫離。在一實施例中，感測器可以具有連接至位於基板不同側上的複數個電路的介電基板。
根據某些實施例，如本文中所述的滲漏偵測系統可經定位以監測跨越多個不同技術特殊件的流體組件上之滲漏。例如，根據如本文中所述的一個或多個實施例之滲漏偵測系統可用於電子裝置製造中，諸如半導體和超導體產業；醫療器材，諸如流體輸送管線和泵，諸如在生物和製藥工業；管接頭，諸如在石油和天然氣工業、飲用水和下水道系統中所見者；航太工業的製造、維護和設計領域；食品和飲料工業；及在汽車工業。在特定實施例中，滲漏偵測系統可以附接至流體組件外殼。在實施例中，流體可以是任何非牛頓流體。在實施例中，流體可以是極性或非極性流體。在實施例中，滲漏偵測系統可以監測特定類型流體的滲漏，而不監測另一類型流體的滲漏(例如選擇性的)。在特定實施例中，滲漏偵測系統經調適可以監測流體的滲漏，該流體可以包括 HF、H2SO4、HNO3、NaClO、H2O2、H3PO4、化學機械平坦化(CMP)流體和漿料、HCL、去離子水、乙醇、異丙醇、丙酮、烴溶劑或甲苯中之至少一者。在一些實施例中，流體可以是用於半導體製造的流體。根據又一些實施例，如本文中所述的滲漏偵測系統可藉由快速且準確地偵測小的流體滲漏來減少對滲漏的反應時間，從而允許操作員在可能的滲漏有機會變得更大之前處理可能的滲漏。
根據一實施例，感測器可經調適以感知特定流體滲漏。例如，感測器可經調適以感知約0.0001mL至約1mL的流體滲漏。在多個實施例中，感測器可經調適以感知至少約0.0001mL，諸如至少0.001mL、或至少0.01mL、或至少0.05mL或至少0.1mL的流體滲漏。
圖1包括包含感測器100的滲漏偵測系統1000之圖式。如圖1所示，滲漏偵測系統1000和/或感測器100一般可包括至少一個感測元件102和通訊裝置104。感測元件102和通訊裝置104可耦合至公用載體諸如基板106，該公用載體可保持感測元件102和通訊裝置104在空間上彼此耦合。在下文所述之另一實施例中，感測元件102和通訊裝置104可彼此耦合或耦合至滲漏偵測系統1000的另一物體，從而允許移除基板106。在多個實施例中，可選地，滲漏偵測系統1000可包括鹽盤107(salt puck)，以溶解流體組件，以用於透過感測元件102進行較佳監測。在多個實施例中，感測元件102可包括包含電路板材料的介電基板，以及與基板通訊且位於基板不同側上的複數個電路，如下文進一步詳細描述。此外，該等電路可以各自包括導電跡線，該導電跡線連接至從跡線延伸的複數個引腳，如下文進一步詳細描述的。
圖2包括根據實施例的設置在接合流體組件121之間的流體界面114上的複數個示例性滲漏偵測系統1000之側面正視圖。如圖2所示，至少一個滲漏偵測系統1000可以可操作地耦合至流體組件121，該流體組件的表面具 有例如介於第一流體導管116的軸向端與第二流體導管118的軸向端之間的流體界面114，以用於監測其間的流體滲漏。複數個滲漏偵測系統1000可經放置在流體組件121的表面或流體界面114上的各處。各滲漏偵測系統1000可監測區域108、110和112的流體滲漏。在一實施例中，區域108、110和112可各為至少1cm2，諸如至少2cm2、或至少3cm2、或至少4cm2、或至少5cm2、或至少10cm2、或至少20cm2、或至少30cm2、或至少40cm2、或至少50cm2、或至少75cm2、或至少100cm2。在一實施例中，區域108、110和112可大小相等且具有彼此相同的相對形狀。在另一實施例中，區域108、110和112無需具有相同形狀或大小。即，區域108可大於區域110。替代性地，區域112可具有大致圓形形狀，而區域108可為大致矩形。區域108、110和112的形狀和大小可取決於若干因素，例如，感測元件102的大小或敏感度、感測元件102的相對位置、或甚至受監測流體的類型。例如，設置在流體導管下位的感測元件102可監測較大區域，因為流體可能聚集或收集在流體導管底部，而設置在流體導管上位的感測元件102可能僅監測小區域，因為流體可能不太可能在上位收集。在一具體實施例中，單個滲漏偵測系統1000可沿著流體導管定位在垂直最低位置。
在一具體實例中，區域108、110和112可彼此鄰近，諸如彼此緊鄰或彼此略微間隔開。即，區域108、110和112可彼此不重疊。在另一實例中，區域108、110和112中的至少兩者可至少部分重疊。即，至少兩個區域108、110和112可共享公用區域。例如，藉由非限制性實施例，區域108和110可各為10cm2，其間至少有2cm2重疊。因此，有效監測區域(藉由區域108和110所覆蓋)為18cm2。
根據某些實施例，滲漏偵測系統1000中的至少兩者可重疊特定量。例如，滲漏偵測系統1000中的至少兩者可重疊至少1%、或至少2%、或至 少3%、或至少4%、或至少5%、或至少10%、或至少25%。在另一具體實施例中，至少兩個滲漏偵測系統1000可重疊不大於99%、或不大於98%、或不大於97%、或不大於96%、或不大於95%、或不大於90%、或不大於75%。在一實施例中，兩個滲漏偵測系統1000可重疊至少約1%且不大於約99%。重疊區域108、110和112中的至少兩者可降低滲漏偵測失敗率，否則如果滲漏偵測系統1000之一發生故障，則可能會發生滲漏。
圖3包括根據一實施例的包括感測元件102的感測器100之示意圖。如圖3所示，在一實施例中，感測元件102可包括基板302。在多個實施例中，感測元件102可包括偵測元件304。偵測元件304可例如藉由黏合劑、螺紋或非螺紋扣件、表面粗糙度界面、綁紮層、機械扣件或另一適用方法附接至基板302。
在一實施例中，偵測元件304可經調適以反應流體接觸而改變。在一實施例中，偵測元件304可經調適以監測感測元件102或滲漏偵測系統1000的可操作性。在一實施例中，偵測元件304可具有第一狀態及第二狀態，該第一狀態具有可經調適以反應流體接觸而改變的第一狀況，該第二狀態可經調適以監測感測元件102或滲漏偵測系統1000的可操作性。在一實施例中，偵測元件304可包括電路。更特別地，偵測元件304可在乾燥狀況下包括斷路，且在潮濕狀況下(即，在流體接觸時)包括閉路。在一具體實施例中，電路可包括複數個第一指狀物或跡線306和複數個第二指狀物或跡線308，其中第一複數個指狀物306和第二複數個指狀物308藉由具有距離D的間隙314間隔開，以便彼此電斷開。距離D在指狀物306與308的長度之間可為均勻的，或可為不均勻的(例如，擺動或變化)。在多個實施例中，感測器跡線或指狀物306、308之間的距離D可在約0.001mm至約5mm的範圍內。流體與基板302交互作用可橋接間隙314，從而形成電流可流過的閉路。感測器跡線306、308可以 各自可操作地附接或連接至從相應跡線306、308延伸的複數個引腳307、309。如本領域習知的，引腳307、309可以由電流可以流過的導電材料形成。此外，如下文進一步詳細描述的，引腳307、309可以從跡線306、308延伸。引腳307、309可以應用於如下所述和示例性所示的偵測元件中之任一者。當電路閉合時，電偏置偵測元件304的電源132(下面將詳細討論)可允許電流流動。在此情況下，偵測元件304可從第一狀況(指示感測元件102是乾燥的)切換至第二狀況(指示感測元件102是潮濕的)，使得通訊裝置104(圖1)傳輸傳達發生流體滲漏的訊號。可例如藉由電壓、電流或電阻的變化(如藉由電耦合到偵測元件304的適當元件312所測量)來發生此動作。訊號可為數位訊號，亦可為類比訊號。
在一實施例中，偵測元件304可包括導線，該導線沿其長度具有一或多個不連接段。在接觸流體時，可橋接不連接段，形成電流可流過的閉路。在一實施例中，不連接段中之至少一者的長度(如藉由導線的兩個段之間的最短距離所測量(如果橋接，則電路完整))可為至少0.001英寸，諸如至少0.01英寸、或至少0.1英寸、或甚至至少1英寸。在另一實施例中，不連接段的長度可不大於10英寸，諸如不大於5英寸，或甚至不大於2英寸。不連接段的長度較短可減少閉合電路所需的時間，從而加快滲漏偵測速度。
在一實施例中，滲漏偵測元件304可特別適於受監測流體導電的應用。即，閉合電路藉由橋接間隙314來執行，這繼而需要導電介質。示例性導電流體包括蒸餾水、鹽水、酒精、酸和液態金屬。
在一具體實施例中，基板302可包括經調適以將流體從受監測表面快速輸送至偵測元件304的材料。例如，基板302可包括芯吸材料或具有高流體輸送速率的其他適用材料。示例性材料包括閉孔或開孔發泡體、織造或非織造網、紡織品和聚合物。咸信，使用具有高流體輸送速率的材料可加快流體 從流體界面至偵測元件304的輸送，減少感測時間，繼而加快滲漏偵測。在多個實施例中，基板可以是包含非導電材料的介電基板。非導電材料可包括聚合物，例如聚酮、聚芳醯胺、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚苯硫醚、聚醚碸、聚碸、聚亞苯基碸、聚醯胺醯亞胺、超高分子量聚乙烯、含氟聚合物、聚醯胺、聚苯並咪唑、彈性體(包括但不限於橡膠或矽氧烷基彈性體)、熱固性材料或其任何組合。在一實例中，內元件4可至少部分地包含聚酮、聚芳醯胺、聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚醯胺醯亞胺、聚苯硫醚、聚亞苯基碸、含氟聚合物、聚苯並咪唑、其衍生物或其組合。在一特定實例中，非導電材料可包括聚合物，例如聚酮、熱塑性聚醯亞胺、聚醚醯亞胺、聚苯硫醚、聚醚碸、聚碸、聚醯胺醯亞胺、其衍生物或其組合。在進一步的實例中，非導電材料可包括聚酮，例如聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酮、聚醚酮酮、聚醚酮醚酮、其衍生物或其組合。在一特定實例中，非導電材料可包括含氟聚合物。含氟聚合物的例子包括氟化乙烯丙烯(FEP)、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、全氟烷氧基(PFA)、四氟乙烯與六氟丙烯以及偏二氟乙烯(THV)的三元共聚物、聚三氟氯乙烯(PCTFE)、乙烯四氟乙烯共聚物(ETFE)、乙烯三氟氯乙烯共聚物(ECTFE)、聚縮醛、聚對苯二甲酸丁二酯(PBT)、聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚醯亞胺(PI)、聚醚醯亞胺、聚醚醚酮(PEEK)、聚乙烯(PE)、聚碸、聚醯胺(PA)、聚苯醚、聚苯硫醚(PPS)、聚氨酯、聚酯、液晶聚合物(LCP)、其任何組合、或者可為其他類型。在一實施例中，非導電材料可包括可至少部分地包括陶瓷，陶瓷包括但不限於鈦酸鋇、鉍鍶鈣銅氧化物、氧化硼、氮化硼、陶器、鐵氧體、二硼化鎂、瓷、碳化矽、氮化矽、碳化鈦、氧化鋅、二氧化鋯、石器、骨瓷、其任何組合，或者可為其他類型。在多個實施例中，介電基板可以是經調適以容納電路的非導電材料，該電路是例如但不限於如下文更詳細描述的電路板或電路板材料。電路板材料的實例包括FR-1至FR-6、CEM-1至CEM-5、G-10和G-11、鋁或絕緣金屬基 板(IMS)、聚四氟乙烯(PTFE)、RF-35、聚醯亞胺、氧化鋁和撓性基板Pyralux和Kapton。
在一實施例中，基板302的如在安裝狀態下測量的厚度可不大於10英寸，諸如不大於5英寸、或不大於1英寸、或不大於0.75英寸、或不大於0.5英寸、或不大於0.1英寸、或甚至不大於0.01英寸。在另一實施例中，基板302可具有如在安裝狀態下測量的至少0.001英寸的厚度。在一實施例中，基板302可具有如在安裝狀態下測量的至少約0.001英寸至約10英寸的厚度。在一具體實例中，基板302可在安裝期間變形。即，基板302可從其未安裝形狀彈性或塑性變形。此變形可允許基板302較佳適合於其上安裝有滲漏偵測系統1000的表面的輪廓和起伏。變形可透過基板的撓曲、壓縮或膨脹而發生，例如藉由將滲漏偵測系統1000固定至表面所需的力而引起。
在一實施例中，在安裝之前，在鬆弛狀態下，基板302可為大致平面的。即，基板302可沿著其在任何位置偏離平面不大於2英寸、1.5英寸、1英寸、0.5英寸或0.25英寸。在另一實施例中，基板302可具有足夠撓性，使得當放置在平坦表面上時，基板302呈現大致平面形狀。
在另一實施例中，在安裝之前，在鬆弛狀態下，基板302可具有大致弧形橫截面。例如，基板302可具有至少1英寸，諸如至少2英寸、或至少3英寸、或至少4英寸、或至少5英寸、或至少6英寸、或至少12英寸、或至少24英寸、或甚至至少48英寸的曲率半徑R。在一實施例中，R可不小於0.001英寸。在一實施例中，R可不小於0.001英寸且不大於48英寸。此弧形基板302可適於例如與具有圓形橫截面的流體導管(例如，管道和管路)接合。基板302的曲率半徑可經選擇以最適合於受監測流體導管或表面的形狀和大小。在一具體實施例中，基板302可在鬆弛狀態下具有弧形橫截面，且可在發 生足夠負載狀況時撓曲。這可允許基板302與流體導管的低應變使用，同時允許撓曲以適應流體導管的表面輪廓和紋理的偏差。
在一具體實例中，基板302可具有不同於安裝厚度TE的初始厚度TI。TI可大於TE。例如，TI可為至少1.01 TE、或至少1.05 TE、或至少1.1 TE、或至少1.2 Te、或至少E、或至少1.3 TE、或至少1.4 TE、或至少1.5 TE、或至少2.0 TE、或至少5.0 TE。在一實施例中，TI可不大於100 TE、或不大於50 TE、或不大於25 TE。在一實施例中，TI可為至少1.01 TE且不大於約100 TE。TI和TE可為如在基板302的選定區域或基板302的整個區域上測量的基板302的絕對厚度(具體位置的厚度)或平均厚度的測量值。
基板302可限定相對主表面或側面，即，第一主表面316及第二主表面318，其藉由基板302的厚度間隔開。偵測元件304可沿著第一主表面316和第二主表面318之一設置。如圖所示，在一實施例中，偵測元件304可沿著主表面316或318居中設置。藉由將偵測元件304從基板302的所有邊緣均等地移位，此中心位置可將流體與偵測元件304交互作用的體積和速度最大化。這可降低偵測，而與流體首先接觸的基板302的邊緣無關。替代性地，藉由一實施例，偵測元件304可設置在基板302的周邊部分，即，更靠近邊緣之一。此位置可適於具有帶非對稱界面的具體應用的滲漏偵測系統1000。
在一具體實施例中，偵測元件304可佔據基板302的表面積的90%以下、或基板302的表面積的80%以下、或基板302的表面積的70%以下、或基板302的表面積的60%以下、或基板的表面積的50%以下、或基板的表面積的40%以下、或基板的表面積的30%以下、或基板的表面積的20%以下、或基板的表面積的10%以下、或基板的表面積的1%以下。在另一具體實施例中，偵測元件304可佔據基板302的表面積的至少0.001%。在另一具體實施例 中，偵測元件304可佔據基板302的表面積的至少約0.001%，且不大於基板302的表面積的90%。
圖4包括根據一實施例的包括感測元件102的感測器100之橫截面正視圖。如圖4所示，根據一具體實施例，偵測元件304可至少部分地嵌入基板302內。即，偵測元件304的至少一部分可設置在基板302的主表面316與318之間。在一更具體實施例中，第一複數個指狀物306或第二複數個指狀物308中之至少一者的至少一部分可嵌入基板302內。在另一實施例中，第一複數個指狀物306或第二複數個指狀物308中之至少一者的全部可嵌入基板302內。在又一實施例中，第一複數個指狀物306和第二複數個指狀物308的全部可嵌入基板302內。將偵測元件304的至少一部分設置在主表面316與318之間可藉由減小距離(如在垂直於主表面316和318的方向上所測量)來加快滲漏偵測，需要流體行進以橋接間隙314(圖3)且閉合電路。
如圖所示，在一實施例中，第一複數個指狀物306中之至少一者可與第二複數個指狀物308中之至少一者垂直偏移(在垂直於主表面316和318的方向上)。此定位可藉由進一步減小偵測元件304與在1受監測表面之間的距離來加快偵測定時。在另一實施例中，第一複數個指狀物306或第二複數個指狀物308可相對於主表面316和318設置在相同的相對位置。
圖5示出根據另一實施例的包括感測元件102的感測器100之橫截面正視圖。如圖5所示，偵測元件304可至少部分地設置在兩個主表面316和318上。例如，第一偵測元件502可設置在第一主表面316上，並且第二偵測元件504可設置在第二主表面318上。將第一偵測系統502設置在第一主表面316上且將第二偵測元件504設置在第二主表面318上可允許將偵測元件304可逆地安裝在某一表面上以用於流體監測。在一實施例中，滲漏偵測元件502和504 可共享單個電源132。在一實施例中，滲漏偵測元件502和504並且可各自利用單獨的電源。鋰電池或可充電電池或其他電池形式可用作電源132的一部分。
根據一實施例，包括感測元件102的感測器100可包括耦合至基板302的偵測元件304，其中感測元件102或偵測元件304可經調適以反應流體接觸而具有一或多個變化的特性或所測量之性質。在該等實施例中，偵測元件304可包括電路。在此實施例中，基板302可限定相對主表面，即，第一主表面316及第二主表面318，其藉由基板302的厚度間隔開。偵測元件304可沿著第一主表面316和第二主表面318之一設置。在多個實施例中，第一偵測元件(或電路)502可與第一主表面316通訊或設置在第一主表面316上，且第二偵測元件(或電路)504可與第二主表面318通訊或設置在第二主表面318上。第一主表面316可以與第二主表面318相對。在多個實施例中，偵測元件502、504可以位於基板302的相鄰表面上。在一實施例中，滲漏偵測元件502和504可共享單個電源132。在一實施例中，滲漏偵測元件502和504並且可各自利用單獨的電源。鋰電池或可充電電池或其他電池形式可用作電源132的一部分。
根據一實施例，感測元件102可包括偵測元件304，該偵測元件耦合至共享或可操作地連接至單個電源的複數個基板302。具體而言，感測元件可以具有第一基板302a和第二基板302b，其中第一偵測元件502與第一基板302a通訊並且第二偵測元件504與第二基板302b通訊。在一實施例中，滲漏偵測元件502和504可共享單個電源132。在一實施例中，滲漏偵測元件502和504並且可各自利用單獨的電源。
如上文和下文進一步詳細討論的，偵測元件502和504可各自包括與可包括電路板的基板配對的電路。
圖6包括根據另一實施例的包括感測元件102的感測器100之橫截面正視圖。如圖6所示，在一實施例中，單個滲漏偵測元件304可設置在基 板302上，使得第一複數個指狀物306中之至少一者可鄰近第一主表面316，且第二複數個指狀物308中之至少一者可鄰近第二主表面318。如圖所示，第一複數個指狀物306或第二複數個指狀物308可分別設置在第一主表面316和第二主表面318上。在另一具體實施例中，第一複數個指狀物306和第二複數個指狀物308中之至少一者可分別至少部分地鄰近第一主表面316和第二主表面318嵌入基板302內。
再參考圖4，在一實施例中，電源132可經設置鄰近主表面316或318之一。在一具體實施例中，電源132可設置在主表面316或318上。即，電源132可擱置在主表面316或318上。在操作中，相對主表面316或318(即，與電源相對的主表面)可設置在受監測表面上以允許與其沖水接觸。
在另一具體實施例中，電源132可部分嵌入基板302內，以便延伸至基板中，同時部分可見。在諸如圖5和圖6所示的又一實施例中，電源132可完全嵌入基板302內。電觸點可從基板延伸，允許偵測元件和通訊裝置耦合。
圖7包括根據另一實施例的包括感測元件102的感測器100之示意圖。如圖7所示，在一實施例中，感測元件102可包括偵測元件704，該偵測元件在乾燥狀況下限定閉路且在潮濕狀況下(即，在流體接觸時)限定斷路。偵測元件704可耦合至基板702。在一實施例中，基板702可具有如上關於基板302所述的任何或所有特性。例如，基板702可具有不同於安裝厚度TE的初始厚度TI。在另一實施例中，基板702可不同於基板302。例如，如下所述，偵測元件704的應用可最適合與腐蝕性或有害流體一起使用，該等腐蝕性或有害流體在暴露時可使連續導線706破裂或中斷。因此，可能理想的是，利用經調適以承受暴露於腐蝕性或有害流體的破壞作用的基板。如本文所用，「導線」係指具有一定長度和厚度的導電構件，其中長度大於厚度。示例性導線包括圓柱 形導線、纏繞導線、單引線導線、帶狀物、帶、片、繩和其他類似元件。導線可為導電材料。在多個實施例中，導線可為包含銅的金屬材料。
在一實施例中，可能理想的是，基板702在與腐蝕性或有害流體接觸時破裂或受損。具體而言，基板702可能在與流體接觸時破裂，導致流體更快速地前進透過基板到達偵測元件。
在一具體實例中，導線706可具有總長度LW，如藉由基板702上的導線706的長度所測量，該總長度可大於導線706的有效長度LE，如藉由導線706進入708基板702的位置與離開709基板702的位置之間的直接距離所測量。在一實施例中，導線706可以非直線經過基板702。如圖所示，導線706可形成以90度角互連的複數個直段。本揭示並非意欲限於具有90度角的那些實施例，而是其進一步包括線段以銳角和鈍角兩者的互連。在另一實施例中，導線706可具有大致蛇形形狀或可以是蛇形電路。在基板702上，導線706可具有其他形狀，該其他形狀可包括同心圓、同心橢圓、鋸齒形、螺旋形以及其他弧形段或直段形狀，其總長度LW大於有效長度LE。咸信，總長度LW大於有效長度LE的導線706可增加流體敏感度，或甚至可減少感測時間。
在一實施例中，偵測元件704可包括至少部分地嵌入基板702內的部分。圖8包括根據一實施例的偵測元件704之橫截面視圖。如圖8所示，導線706以非直線延伸透過基板702。即，導線706以90度角互連的複數個直段延伸透過基板。本揭示並非意欲限於具有90度角的那些實施例，而是其進一步包括線段以銳角和鈍角兩者的互連。導線706以各種垂直高度設置在基板702內可允許偵測元件704相對於受監測表面的可逆安裝。另外，導線706佔據基板702的較大相對體積，這加快了接觸基板702的流體將接觸導線706的速率。
在一實施例中，作為導線706的替代或補充，偵測元件可包括具有二維或三維矩陣或準矩陣形狀的導電結構。在一具體實例中，導電結構可具 有低撓曲模數，從而允許偵測元件撓曲。可例如藉由包覆模製或擠出來將材料定位在導電結構周圍，以保護導電結構或便於將導電結構更容易地附接至表面以用於監測。
在一具體實施例中，基板902的變化的特性可為基板902的所測量之性質。例如，圖9至圖10示出在流體接觸之前看到的包括感測元件102的感測器100。如圖9所示，基板902具有初始長度LI和初始寬度WI。在接觸流體之後，基板902的所測量之性質可發生改變，從而具有最終長度LF和最終寬度WF，如圖10.在一實施例中，LI可小於LF，而WI可小於WF。在另一實施例中，LI可大於LF，而WI可以大於WF。跨基板902的一部分延伸的導線906可允許偵測基板902的所測量之性質的變化。更特別地，元件912可測量隨著基板902所施加之應變而變化的導線906的電導率或另一合適特性。當電導率或其他合適特性變化時，偵測系統902可從第一狀況(乾燥)變為第二狀況(潮濕)，從而允許通知流體滲漏。儘管導線906被示為具有包括複數個環的環形形狀，但導線906亦可具有如上關於導線706所述之任何形狀。
在一實施例中，基板902可由經調適以在與流體接觸時膨脹的材料形成。例如，基板902可以包括或基本上由下列材料組成：纖維材料、織造或非織造材料、基於矩陣或準矩陣的材料、或經調適以在與流體接觸時膨脹的任何其他適用材料，從而導致進行滲漏偵測的感測元件902、偵測元件904和/或感測器100中之至少一者的物理變化。
導線906可至少部分地延伸至基板902中。在一實施例中，導線906的大部分可嵌入基板902中。在另一實施例中，導線906的全部可嵌入基板902中。與設置在基板902的主表面上的導線相反，隨著作用在基板902上的力可更容易傳輸至嵌入的導線606，導線906的部分或全部嵌入可提高流體滲漏偵測的速度。
偵測元件904和基板902可分別包括以上關於偵測元件304和704以及基板302和702所討論之任何或所有特徵。
現在參考圖11至圖12，根據一實施例，包括感測元件102的感測器100可包括耦合至基板302的偵測元件304，其中感測元件102或偵測元件904可經調適以反應流體接觸而具有一或多個變化的特性或所測量之性質。
在一具體實施例中，如圖11至圖12所示，感測元件102可包括電路。如圖3所示，電路可形成幾何並聯梳狀電路設計。圖11示出根據一實施例的具有電路的另一感測器之示意圖。如圖11所示，該電路在兩條導線706(在A與D之間)、706’(在B與C之間)之間形成幾何蛇形設計。圖12示出根據一實施例的具有電路的另一感測器之示意圖。如圖12所示，該電路在兩條導線706(在A與D之間)、706’(在B與C之間)之間形成幾何螺旋設計。感測元件102可允許對電路的所測量之性質進行串聯或並聯測量。所測量之性質可反應感測元件102經由通訊裝置104監測和/或做出反應的流體接觸而經歷變化。所測量之性質可為以下至少一者：電阻、阻抗、電容、電流、電壓、或者偵測元件304或電路的另一所測量之性質。在多個實施例中，感測元件102可包括並聯電連接的兩個電路。在多個實施例中，感測元件102可包括串聯電連接的兩個電路。如上所示，各導線706、706'可以是連接至相應引腳307、309以形成電路的導電跡線。在多個實施例中，感測元件102可以包括複數個電路，各電路可以包括導電跡線，該導電跡線連接至從跡線延伸的複數個引腳。換言之，第一偵測元件可以包括連接至第一引腳和第二引腳的第一跡線。第二偵測元件可以包括連接至第一引腳和第二引腳的第一跡線。如下文進一步詳細描述的，偵測元件可位於基板的不同側上以偵測基板不同側上的滲漏。在多個實施例中，各偵測元件可以具有其自己的電源。如上所示，各偵測元件可以共享電源。在一實施例中，引腳可以是可移除的或可延伸的，如下所述。
在多個實施例中，在第一狀態下，可監測感測元件102(和/或感測器100)的電路以使其在乾燥時具有第一狀況且在潮濕時具有第二狀況。在多個實施例中，在第二狀態下，感測元件102(和/或感測器100)可經調適以監測感測元件102的可操作性，即，監測感測器在第一狀態下偵測滲漏的能力。在多個實施例中，感測元件102和滲漏偵測系統1000執行這兩個操作的操作如下：1)測量A與D之間的所測量之性質，以確保電路、第一偵測元件304和感測元件102的可接受的可操作性；2)測量B與C之間的所測量之性質，以確保電路、第一偵測元件304和感測元件102的可接受的可操作性；以及3)在C與D斷開的情況下測量A與B之間的所測量之性質，以偵測電路、第一偵測元件304和感測元件102的第一狀態(即，感測器在乾燥時是否處於第一狀況，以及在潮濕時是否處於第二狀況)。這些步驟的順序可改變，且可連續進行。替代性地，感測元件102和滲漏偵測系統1000執行這兩個操作的操作如下：1)使點C和D短路以確保電路、第一偵測元件304和感測元件102的可接受的可操作性；以及3)在C與D斷開的情況下測量A與B之間的所測量之性質，以偵測電路、第一偵測元件304和感測元件102的第一狀態(即，感測器在乾燥時是否處於第一狀況，以及在潮濕時是否處於第二狀況)。由此，使用滲漏偵測系統1000之方法可包括：1)提供具有感測元件102的至少一個滲漏偵測系統1000，該感測元件具有第一狀態及第二狀態，該第一狀態在乾燥時具有第一狀況，而在潮濕時具有第二狀況，該第二狀態經調適以監測感測器的可操作性；通訊裝置104，該通訊裝置可操作地連接至感測元件102；以及附接元件120，該附接元件經調適以將滲漏偵測系統1000附接至具有流體的流體組件121以用於監測流體滲漏；以及2)將至少一個滲漏偵測系統1000附接至流體組件121以用於監測流體滲漏。在其他實施例中可設想的是，感測器可包括基板，該基板經調適以產生由於接觸流體而引起的發光、螢光、白熾、溫度變化、壓力變化， 或反應接觸流體的任何其他合適的變化的特性。據此，偵測元件經選擇以偵測基板的變化的狀況。例如，偵測元件可包括光學感測器、熱電偶或壓力轉換器。隨著基板的狀況由於接觸流體而(發光、螢光、白熾、溫度、或壓力)發生變化，偵測元件可感測經改變之狀態並產生訊號至通訊裝置104，以便產生滲漏警報。
圖13示出根據一實施例的包括具有兩個偵測元件的感測元件102感測元件102的感測器100之橫截面正視圖。如圖13所示，且根據一實施例，感測元件102可包括設置在一或多個基板1302上的至少兩個偵測元件1304和1306。在一具體實施例中，偵測元件1304和1306可設置在相同基板1302上。在另一具體實施例中，偵測元件1304和1306可設置在相鄰基板(統稱為「基板」)上。偵測元件1304和1306可設置在基板1302的相同或不同主表面316或318上。如圖所示，且根據另一實施例，偵測元件1304和1306亦可至少部分地嵌入基板1302內。
在一實施例中，偵測元件1304和1306可彼此不同。即，至少兩個偵測元件1304和1306中的各偵測元件可經調適以偵測基板1302的不同狀況。例如，如圖所示，偵測元件1304可類似於上述偵測元件304，而偵測元件1306可類似於偵測元件1104。在一具體實施例中，偵測元件1304和1306可在基板1302上間隔開。這可便於更容易組裝感測元件102且允許更容易移除破裂或不適用偵測元件。在另一實施例中，偵測元件1304和1306可垂直或水平重疊。垂直或水平重疊可減小感測器的大小，從而減少安裝感測器所需空間。
在多個實施例中，在第三狀態下，感測元件102(或感測器100)可用於測量感測元件102和/或電源132的電池壽命。如上所述，鋰電池或可充電電池或其他電池形式可用作電源132的一部分。如下所述，可測量電池壽命且將其通訊至使用者。
在多個實施例中，在第四狀態下，感測元件102(或感測器100)可用於測量通訊裝置104和/或感測器100本身的訊號強度。如下所述，可測量感測器100的訊號強度且將其通訊至使用者。
上述偵測元件中的任何者可進一步包括電子組件，諸如：電阻器、電容器、電感器、電晶體、另一類似組件、或它們的任意組合。此電子組件對於開發用於上述偵測元件的完整電路可能是必需的。
再參考圖1，通訊裝置104可以可操作地耦合至感測元件102和/或通訊集線器105。在一實施例中，通訊裝置104可在滲漏偵測感測元件102的四種狀態下向通訊集線器105傳輸訊號。在一實施例中，通訊裝置和/或通訊集線器105可包括控制器或電子控制單元(ECU)，其經調適以管理從感測器所接收之數據、解譯數據並將數據以某一格式組織給最終使用者，以在滲漏偵測系統1000中監測流體滲漏。通訊裝置104和/或通訊集線器105可包括控制器，該控制器包括能夠理解、分析和/或執行一或多種可程式語言的電腦或其他計算裝置。控制器和/或電腦可包括能夠處理由感測元件102(或感測器100)所提供之訊息(例如，滲漏偵測、感測器的可操作性、電池壽命和訊號強度)的處理單元。例如，來自感測元件102的流體滲漏訊號可藉由通訊裝置104的處理單元來接收。在某些實施例中，處理單元可包括具有Intel® Celeron® N2807處理器的PPC-3060S 6.5"無風扇平板電腦。
在多個實施例中，通訊裝置104和/或通訊集線器105的處理單元可從感測單元102接收具有關於感測器100的第一或第二狀態的數據的訊號。此外，通訊裝置104和/或通訊集線器105的處理單元可從電源132接收具有關於第三狀態的數據的訊號。最後，通訊裝置104和/或通訊集線器105的處理單元可接收具有關於通訊裝置104本身的訊號強度的數據的訊號。在多個實施例中，通訊裝置104可將主訊號傳輸至通訊集線器105，該通訊集線器傳輸來自上 文所列各組件的數據本身，或者四種狀態中的各狀態從可接受的讀數至不可接受的讀數是否超過臨界值的計算。通訊集線器105可根據通訊裝置104所提供之數據來計算四種狀態中的各狀態從可接受的讀數至不可接受的讀數是否超過臨界值的計算，或者藉由通訊裝置104匯總關於四種狀態中的各狀態從可接受的讀數至不可接受的讀數是否超過臨界值的已完成計算的結果。可藉由通訊裝置104和/或通訊集線器105中的控制器來判定是否已實現了不可接受的讀數。例如，對於第一狀態，可接受的讀數代表第一狀況(乾燥)，而不可接受的讀數代表第二狀況(潮濕)。例如，對於第二狀態，可接受的讀數代表感測器狀態良好，而不可接受的讀數代表感測器狀態不良。例如，對於第三狀態，可接受的讀數代表電池在全充電狀態下的壽命大於電池電量的15%，而不可接受的讀數代表電池在全充電狀態下的壽命小於電池電量的15%。例如，對於第四狀態，可接受的讀數代表訊號的RSSI值具有至少-120dBM的強度，而不可接受的讀數代表訊號的RSSI值具有小於-120dBM的強度。所有這些值都是示例性的，且不一定限制關於本文的實施例所設想的臨界值。臨界值本身和/或其嚴重性可根據給定應用的需要進行修改。如果數據被直接發送至通訊集線器105，則通訊集線器105可計算臨界值，且將可接受的或不可接受的讀數傳輸至下文所更詳述之圖形化使用者介面(「GUI」)。在某些實施例中，可根據嚴重性、可偵測性和概率將臨界值進一步分為各量值。在此三個類別中，這些臨界值量值可按數字排序，其中10表示非常危險，或臨界值為1表示最小影響臨界值。使用者可基於滲漏偵測系統1000的應用來指示和/或修改這些臨界值。
在一具體實施例中，通訊裝置104可無線地連接至感測元件102、電源132和/或通訊集線器105。該無線通訊可例如藉由藍牙或藉由另一短程無線協定發生。在另一具體實施例中，通訊裝置104可藉由導線連接至感測元件102和/或通訊集線器105。應注意確保導線對受監測流體不敏感。即，導 線不應由在流體接觸時會被破壞的材料建構成。替代性地，可藉由設置在導線與用於流體在滲漏偵測系統1000中行進的疑似通道之間的外層或屏蔽層來絕緣或以其他方式保護導線免受破壞性流體交互作用。在另一實施例中，通訊裝置104可與感測元件102和/或通訊集線器105成一體。
通訊裝置104和/或通訊集線器105可為無線或有線通訊裝置。即，通訊裝置104可使用諸如HTML或HTMLS之無線協定；區域網路(LAN)來無線地操作；或可利用有線介面來操作。當感測元件102感測到流體滲漏時，通訊裝置104可經調適以從感測元件102接收輸入訊號並將輸出訊號發送至通訊集線器或接收裝置105。以此方式，通訊裝置104可以可操作地連接至通訊集線器105，該通訊集線器可編譯並分析來自感測元件102的訊息，並基於感測元件102的第一狀態(第一狀況或第二狀況)或第二狀態來向使用者或感測元件102本身提供反饋，如本文所解釋。
在一實施例中，通訊裝置104和/或通訊集線器105可使用無線網路(其使用LoRa(遠端)協定)來與至少一個感測元件102通訊。LoRa無線網路可包括LoRa閘道。通訊裝置104和/或通訊集線器105亦可與雲端伺服器連接。通訊裝置104和/或通訊集線器105可包括LoRa感測節點，該LoRa感測節點可包括第一LoRa控制器和LoRa無線模組，各自連接至電源132且可選地連接至備用電源(未示出)。鋰電池或可充電電池或其他電池形式可用作備用電源的一部分。LoRa閘道可包括在通訊裝置104和/或通訊集線器105中之至少一者上。通訊裝置104或通訊集線器105可經由LoRa閘道與通訊裝置104或通訊集線器105中的另一者通訊。
用於執行本發明各態樣(諸如感測元件102、通訊裝置104或通訊集線器105的一或多個實施例)的操作的電腦程式碼可用一或多種程式語言的任何組合來編寫，包括物件導向程式語言(諸如Java、Smalltalk、C++或類似 者)及習知程序程式語言(諸如「C」程式語言或類似程式語言)。程式碼可完全在使用者電腦上、部分在使用者電腦上、以獨立套裝軟體、部分在使用者電腦上且部分在遠端電腦上、或完全在遠端電腦或伺服器上執行。在後者情況下，遠端電腦可透過任何類型的網路(包括區域網路(LAN)或廣域網路(WAN))連接至使用者的電腦，或者可以與外部電腦建立連接(例如透過使用網際網路服務提供者的網際網路)。感測元件102、通訊裝置104或通訊集線器105中之至少一者可包括ROM或其他現有的儲存組織，以包括儲存器以記錄來自感測元件102的數據。
在一實施例中，通訊裝置104可連續地操作。如本文所用，「連續地操作」係指訊號從通訊裝置至例如通訊集線器或接收裝置105的連續或不間斷的傳輸。在一實施例中，通訊裝置104可被動地操作。如本文所用，「被動地操作」係指僅當發生臨界值狀況(即流體滲漏)時才將例如訊號傳輸至通訊集線器或接收裝置105。例如，通訊裝置104可由電源132供電。在一實施例中，僅當感測元件102感測到滲漏時，通訊裝置104才可能接收電力以便將訊號傳輸至通訊集線器或接收裝置105。這可藉由減少從電源132所汲取之電流來增加滲漏偵測系統1000的可操作壽命，從而允許滲漏偵測系統1000的更遠定位。
如圖所示，在一實施例中，通訊裝置104可經暴露使得其延伸超過基板106的外表面。因此，通訊裝置104可為可存取的，使得使用者可調整或更換通訊裝置104。在一實施例中，通訊裝置104可至少部分(諸如完全)嵌入基板106內。這可保護通訊裝置104免於暴露於有害流體，否則如果將其設置在基板106的表面上，則該有害流體可能會接觸通訊裝置104。
在一實施例中，通訊裝置104可從基板106移除。在另一實施例中，通訊裝置104可為可更換的。電子介面可允許快速更換通訊裝置104。例如， 電子介面可由一或多個埠組成，該等埠的電連接點與通訊裝置104上的電連接點匹配。各個通訊裝置104可具有相同的電連接點排列，從而能夠快速更換並在其間互換。
在多個實施例中，滲漏偵測系統1000可包括如下更詳細描述的外殼。在多個實施例中，外殼可以包括至少部分地隔離該複數個偵測元件(即電路)的非導電材料。在多個實施例中，外殼可以具有漏斗形元件以將液體導引至偵測元件。
仍參考圖1，滲漏偵測系統1000可進一步包括附接元件120，該附接元件經調適以將滲漏偵測系統1000附接至與流體界面114相鄰的表面(圖2的實例所示)。
在一實施例中，附接元件120可包括整體件。即，附接元件120可由單件形成。在另一實施例中，附接元件120可包括多件式構造。例如，附接元件120可包括至少兩個組件，該至少兩個組件可接合在一起，或可接合至基板106或設置在其上的一或多個組件以形成單件。
在一實施例中，附接元件120可直接耦合至基板106。在一實施例中，附接元件120可透過感測元件102、通訊裝置104或某個其他適用中間反對而間接地耦合至基板106。
附接元件120可以可釋放地耦合至滲漏偵測系統1000至表面以用於監測流體滲漏。即，在一實施例中，附接元件120可從滲漏偵測系統1000移除。這可允許相對於滲漏偵測系統1000更換或調整附接元件120。在延長的使用期限內(特別是在高溫或潮濕狀況下)，附接元件120可能會劣化或磨損，藉由定期更換附接元件120可大大緩解該問題。在另一實施例中，附接元件120可與滲漏偵測系統1000成一體。例如，附接元件120可被模製或以其他方式製 造至基板106、感測元件102或通訊裝置104中，以便與其不可分離，從而防止在安裝期間或過度使用時意外分離。
如圖1所示，在一實施例中，附接元件120可包括帶122、從帶122延伸的接合元件124以及經調適以接收接合元件124的開口126。為了將滲漏偵測系統1000安裝在流體導管上，帶122可圍繞流體導管定位，直至接合元件124可與開口126接合。然後可將接合元件124插入開口126中，以相對於流體導管保持滲漏偵測系統1000。對於需要更為固定的附接協定的應用，可沿著基板106或以另一種適用方式部署有一或多個附加附接元件(例如，附接元件128和130)，如上所述。附接元件122、128和130可各自包括彼此相同或相似的附接協定。例如，附接元件128可包括接合元件124和開口126，接合元件124可插入該開口中。在一實施例中，附接元件122、128和130可沿著滲漏偵測系統1000的表面間隔開，以增強與表面的接合且跨基板106分散負載狀況。
圖14示出了已安裝的滲漏偵測系統1402，其具有圍繞流體導管1400安裝的帶122、接合元件124和開口126。在一實施例中，如圖14所示，帶122可為撓性的或可以其他方式彈性變形。帶122可經調適以圍繞流體導管伸展，從而提供向內導向的保持力，該力用於將基板106拉入流體導管。示例性材料包括織造織物、非織造織物和聚合物。適用聚合物可包括例如彈性體，諸如橡膠。在一實施例中，附接元件120可具有如在靜止時測量的無載大小SU，以及如在負載狀況下測量的負載大小SL，其中SL可為至少1.01 SU、或至少1.1 SU、或至少1.5 SU、或至少2.0 SU、或至少5.0 SU、或至少10.0 SU、或至少20.0 SU。在另一實施例中，SL可不大於200 SU。在一實施例中，SL可為至少約1.01 SU且不大於約200 SU。無載大小和負載大小可為附接元件120分別在無載和負載狀態下的長度，即帶122的長度。
在另一實施例中，附接元件120可包括細長物體1404，諸如繩索、繩、繫繩或其他類似裝置。細長物體1404可圍繞流體導管1400的表面綁紮以將滲漏偵測系統1000固定至其上。圖14中示出了具有細長物體1404作為附接元件120的已安裝的滲漏偵測系統1406。如圖所示，細長物體1404的端部可打結綁紮在一起。在一實施例中，滲漏偵測系統1000可藉由複數個細長物體1404固定至流體導管1400。細長物體1404的縱向端可沿著流體導管在同一相對圓周位置綁紮在一起。替代性地，縱向端可圍繞流體導管的圓周交錯。在一實施例中，細長物體1404可在其縱向端具有接合機構。例如，細長物體1404可終止於帶扣、棘輪、孔眼、棘輪綁帶系統、電纜綁帶、螺紋或非螺紋扣件、或允許連接細長物體1404的相對縱向端的任何其他適用接合元件。
在又一實施例中，附接元件120可包括鉤環接合系統。類似於上述具有細長物體1404的滲漏偵測系統1000，可以設想的是，附接元件120可包括具有鉤環接合的材料帶1408。帶1408可為彈性的或非彈性的，且可纏繞在流體導管1400周圍，使得帶1408的第一部分具有鉤，該鉤可耦合至帶1408的具有環的第二部分。此接合可快速移除且在長時間使用後不太可能劣化。圖14中示出了具有鉤環接合作為附接元件120的已安裝的滲漏偵測系統1410。在又一實施例中，附接元件120可包括夾，如下文進一步詳細描述的。
仍請參考圖14，在一實施例中，附接元件120可包括不圍繞流體導管1400的整個圓周延伸的系統。
例如，滲漏偵測系統1000可藉由背膠材料1412固定至流體導管。在一具體實施例中，背膠材料1412可與滲漏偵測系統1000成一體。在另一具體實施例中，背膠材料1412可為附接至滲漏偵測系統1000的分立元件。如本文所用，「分立元件」係指在施加標稱力時可與其他物體分離的或在先前 時間與其他物體分離的分立組件。圖14中示出了具有背膠材料1412作為附接元件120的已安裝的滲漏偵測系統1414。
在另一實施例中，附接元件120可包括設置在滲漏偵測系統1000與流體導管1400之間的固定層(未示出)。固定層可包括糊劑、凝膠、油灰、具有高可塑性的材料、環氧樹脂、溶液或可施加至流體導管1400或滲漏偵測系統1000中的一或兩者的任何其他物質。在固化時，固定層可防止移除滲漏偵測系統1000。圖14中示出了具有固定層作為附接元件120的已安裝的滲漏偵測系統1416。
在一實施例中，固定層可為可鬆弛的，以便允許移除滲漏偵測系統1000。例如，在引入特定的溫度、壓力、流體交互作用或光型時，固定層可軟化或失去其黏合性質。因此，使用者可選擇性地使滲漏偵測系統1000從流體導管1400脫離。
在又一實施例中，附接元件120可包括夾子1418。夾子1418可至少部分地在滲漏偵測系統1000上方延伸或部分地延伸透過該滲漏偵測系統，從而對其提供徑向向內壓縮力。在一實施例中，夾子1418可包括兩個半部，即第一半部1420和第二半部1422，其經調適以耦合在一起以相對於流體導管1400固定滲漏偵測系統1000。圖14中示出了具有夾子1418作為附接元件120的已安裝的滲漏偵測系統1424。
圖15示出了根據一實施例的滲漏偵測系統1500之透視圖。如圖15所示，根據一實施例，附接元件120可形成其上設置有感測元件102和通訊裝置104的基板。即，根據一實施例的滲漏偵測系統1500可包括直接耦合至附接元件120的感測元件102和通訊裝置104。在一具體實施例中，與先前所述滲漏偵測系統1000相比，感測元件102和通訊裝置104與附接元件120直接耦合可降低滲漏偵測系統1500的重量。另外，與滲漏偵測系統1000相比，滲漏偵 測系統1500可將感測元件102定位成更靠近流體界面114(圖2)。在一具體實施例中，附接元件120可包括具有如上文相對於基板302所述之高流體輸送速率的材料。這可加快向感測元件102的流體傳輸，從而減少從發生滲漏直至通知使用者或系統的滯後時間，然後可採取步驟來校正滲漏。
如圖所示，滲漏偵測系統1500可沿著附接元件120的表面設置。在另一實施例中，滲漏偵測系統1500可至少部分地嵌入附接元件120中。在又一實施例中，滲漏偵測系統1500可完全嵌入附接元件120中，使得感測元件102可能不可見。在一具體實施例中，感測元件102和通訊裝置104中之至少一者可透過附接元件120至少部分可見。
圖16示出具有複數個易碎部分1622的附接元件1620。如圖16所示，易碎部分1622可允許調整附接元件1620的大小。即，易碎部分可選擇性地破裂以調整附接元件1620的長度。就這一點而言，附接元件1620可具有如在使用之前測量的初始長度和在附接之前測量的操作長度，其中操作長度可不大於初始長度，諸如小於初始長度。
在一實施例中，附接元件可僅包括一個易碎部分。在其他實施例中，附接元件可包括至少2個易碎部分，諸如至少3個易碎部分、或至少4個易碎部分、或至少5個易碎部分、或至少6個易碎部分、或至少7個易碎部分、或至少8個易碎部分、或至少9個易碎部分、或至少10個易碎部分。在一實施例中，附接元件可包括不多於1000個易碎部分。在一實施例中，附接元件可包括至少2個易碎部分且不多於1000個易碎部分。
各易碎部分可包括附接元件的結構弱化部分。例如，易碎部分可由穿過附接元件的一或多個孔限定。孔可至少部分地延伸透過附接元件的厚度。在一更具體實施例中，孔可完全延伸透過附接元件的厚度。孔可橫向於附 接元件，例如由附接元件的部分隔開。當在相對於附接元件的橫向或大致橫向方向上產生足夠的力時，易碎部分可能會破裂。
再參考圖1，滲漏偵測系統1000可包括電源132，該電源耦合至感測元件102、通訊裝置104、基板106或附接元件120中之至少一者。在一具體實施例中，電源132可包括電池或其他電荷儲存裝置。在一更具體實施例中，電源132可為可充電的，諸如可藉由120V電源進行充電。電源132可從滲漏偵測系統1000進行移除，以允許對其進行更換。鋰電池或可充電電池或其他電池形式可用作電源132的一部分。
在一實施例中，滲漏偵測系統1000可從電源插座接收電力。滲漏偵測系統1000可包括導線，該導線從滲漏偵測系統1000上的元件延伸且終止經調適以插入壁裝插座的插頭。就這一點而言，滲漏偵測系統1000可接收恆定電流，從而無需對滲漏偵測系統1000的電源進行充電或監測。
圖17示出了滲漏偵測陣列1700，其具有設置在一定長度的材料1710上的複數個滲漏偵測系統1702。如圖17所示，材料1710可包括由紡織品、聚合物、金屬、合金或其他適用材料形成的織物，諸如織造織物或非織造織物、薄膜或另一適用基板。在一具體實施例中，材料1710可為撓性的，從而允許滲漏偵測陣列1700彎曲。
各滲漏偵測系統1702可包括來自先前所述滲漏偵測系統100、1402、1406、1410、1414、1416、1424和1500的一或多個特徵。具體地，各滲漏偵測系統1702可包括感測器1704和通訊裝置1706。在一實施例中，滲漏偵測系統1702可彼此相同。例如，滲漏偵測系統1702的第一滲漏偵測系統和第二滲漏偵測系統可彼此相同。在另一實施例中，滲漏偵測系統1702可彼此不同。例如，滲漏偵測系統1702的第一滲漏偵測系統可不同於滲漏偵測系統1702的第三滲漏偵測系統。在另一實施例中，滲漏偵測系統1702中的至少兩者可包括 本文先前所述之不同滲漏偵測系統。即，滲漏偵測陣列1700的滲漏偵測系統1702可彼此不同地操作。例如，滲漏偵測陣列1700的第一滲漏偵測系統可類似於圖4所示之第一滲漏偵測系統，而滲漏偵測陣列1700的第二滲漏偵測系統可類似於圖11和圖12。
在一實施例中，滲漏偵測陣列1700可分為n個可分部分，其中n是滲漏偵測陣列1700中的滲漏偵測系統1702的數量。因此，例如，具有四個滲漏偵測系統1702的滲漏偵測陣列1700(如圖17所示)包括4個可分部分。在一具體實例中，滲漏偵測陣列1700可包括至少2個滲漏偵測系統，諸如至少3個滲漏偵測系統、或至少4個滲漏偵測系統、或至少5個滲漏偵測系統、或至少10個滲漏偵測系統、或至少20個滲漏偵測系統、或至少50個滲漏偵測系統、或至少100個滲漏偵測系統。在一實施例中，滲漏偵測陣列1700可包括不大於10,000個滲漏偵測系統1702。在一實施例中，滲漏偵測陣列1700可包括至少2個滲漏偵測系統1702且不大於10,000個滲漏偵測系統1702。
設置在相鄰滲漏偵測系統1702之間的易碎部分1708可便於更容易劃分相鄰滲漏偵測系統1702和1702。即，易碎部分1708可允許使用者從滲漏偵測陣列1700選擇性地剝離分立滲漏偵測系統1702。在一實施例中，易碎部分1708可在施加至少1N，諸如至少2N、或至少5N、或至少10N、或至少100N的力時破裂。在另一實施例中，易碎部分1708可在施加不大於10,000N，諸如不大於1000N或不大於125N的力時破裂。在另一實施例中，易碎部分1708可在施加至少1N，且不大於10,000N的力時破裂。
各滲漏偵測系統1702可經調適以獨立於滲漏偵測陣列1700的其他滲漏偵測系統1702操作。即，各滲漏偵測系統1702可為自維持且自足的，無需其他外部組件以用於有效操作。在一實施例中，滲漏偵測系統1702可彼此 獨立操作或以較小滲漏偵測陣列1700組(例如，連接在一起的兩個滲漏偵測系統1702)操作。
在一實施例中，滲漏偵測系統1702中之至少一者還可進一步包括電源1712，該電源耦合至感測器1704和通訊裝置1706中之至少一者。在一具體實施例中，電源1712可在相鄰易碎部分1708破裂時自啟動(即，產生電流)。這可保留電源1712，直至準備好安裝至少一個滲漏偵測系統1702為止。
可以設想的是，滲漏偵測陣列1700可被捲起並儲存在外殼中，可透過其中的開口進入該殼。使用者可抓住滲漏偵測陣列的暴露部分以將卷展開。在展開合適數量的滲漏偵測系統1702時，使用者可撕開相應易碎部分1708，從而將適用滲漏偵測系統1702與其餘滲漏偵測陣列1700分開。
圖18A包括根據一實施例的用於示例性滲漏偵測系統中的基板之仰視圖。圖18B包括根據一實施例的用於示例性滲漏偵測系統中的基板之仰視圖。圖18C包括根據一實施例的用於示例滲漏偵測系統中的基板之側視圖。如上所述，感測元件102可以包括基板302和偵測元件304。如上所述，偵測元件304可以包括與可包括電路板的基板302配對的電路。在多個實施例中，複數個電路形式的複數個偵測元件304可以耦合至基板302。在多個實施例中，電路可以包括導電跡線，該導電跡線連接至從跡線延伸的複數個引腳。如圖所示，偵測元件304可以包括連接至第一引腳307和第二引腳309的第一跡線305。基板302的相對側(主表面)上的第二偵測元件(未示出)可以包括連接至第一引腳和第二引腳的第一跡線。在多個實施例中，各偵測元件304可以具有其自己的電源。替代性地，各偵測元件304可以共享電源。在一實施例中，引腳307、309可以是可移除的。在另一實施例中，如圖18C所示，導電繞線311可與基板302配對並用作偵測元件以偵測感測器100的外殼115外部的滲漏。導電繞線311可以是撓性的，從而允許其獨特地定位在流體組件上方以偵測難以將感測器 100放入其中的位置處的滲漏。以此方式，引腳307、309可以從電路和/或跡線延伸。
圖19A包括包含感測器100的示例滲漏偵測系統1000的頂部透視圖之圖式。圖19B包括包含感測器100的示例滲漏偵測系統1000的側透視圖之圖式。圖19C包括包含感測器100的示例滲漏偵測系統1000的側橫截面視圖之圖式。如上所述，感測器100可以包括外殼115。如圖所示，外殼115可以容納基板並且可以具有多邊形、圓形、橢圓形橫截面，或者可以是另一種形狀。在多個實施例中，外殼115可以包含至少部分地隔離該複數個偵測元件(即電路)的非導電材料。在多個實施例中，偵測元件304的部分可以穿過外殼115定位以偵測殼115外部的滲漏。例如，偵測元件的引腳可以突出穿過外殼115以偵測滲漏，如圖19B所示。外殼115可進一步包括將感測器100置於升高位置的底座121。在多個實施例中，如圖19A所示，外殼115可具有漏斗形元件117，該漏斗形元件包括漏斗孔119以將液體導引至偵測元件，從而偵測感測器100的多個側上的滲漏。最佳地如圖19C所示，漏斗形元件117可以從外殼115的頂表面的平面以角度α傾斜。角度α可以是至少1°，諸如至少10°、諸如至少20°、諸如至少30°、諸如至少45°、諸如至少60°、諸如至少75°或諸如至少90°。如果流體透過漏斗孔119滴下並接觸偵測元件304，則如上所述可偵測到滲漏。圖19D包括包含感測器100的示例性滲漏偵測系統1000的側視圖之圖式。圖19B包括包含感測器100的示例性滲漏偵測系統1000的仰視圖之圖式。如圖所示，感測器100的外殼115可以是多邊形形狀。此外，外殼115可包括圓柱形組件123，該圓柱形組件可容納如上所述之附接組件和/或偵測組件。
如本文所述之滲漏偵測系統和陣列可用於在各種流體組件上進行流體滲漏監測。示例性流體組件可在電子裝置製造中找到，諸如：半導體和超導體產業；醫療器材，諸如流體輸送管線和泵；管接頭，諸如在在石油和天 然氣產業、飲用水系統和下水道中所見者；航太產業；食品和飲料產業；以及汽車產業。本文所示的滲漏偵測系統之實施例可以偵測難以到達的位置處的滲漏，並且可以提供相較於已知滲漏偵測系統更佳的易用性和改良的效能，藉此節省貴重的、腐蝕性的或純度受控的流體，從而改進其各自流體系統的效能、效率和成本效益。
許多不同態樣及實施例係可行的。一些該等態樣及實施例已於本文中描述。在閱讀本說明書之後，熟習本技術者將理解該等態樣及實施例僅係說明性，且並不限制本發明的範圍。實施例可根據如下列實施例之任何一或多者。
實施例1：一種滲漏偵測感測器，包括：包含電路板材料的介電基板；和與基板通訊的複數個電路，其中該複數個電路位於基板的不同側上。
實施例2：一種流體系統，包括：具有流體的流體組件；以及可操作地耦合至流體組件的至少一個滲漏偵測感測器，該滲漏偵測感測器包括：包含電路板材料的介電基板；和與基板通訊的複數個電路，其中該複數個電路位於基板的不同側上。
實施例3：一種滲漏偵測方法，包括：提供至少一個滲漏偵測感測器，該至少一個滲漏偵測感測器包括：包含電路板材料的介電基板；和與基板通訊的複數個電路，其中該複數個電路位於基板的不同側上；以及將該至少一個滲漏偵測感測器可操作地耦合至流體組件以監測流體滲漏。
實施例4：一種滲漏偵測感測器，包括：第一介電基板；和與第一基板通訊的第一電路；與第一介電基板分離的第二介電基板；以及與第二基板通訊的第二電路，其中第一電路和第二電路可操作地連接至單個電源。
實施例5：如前述實施例中任一者之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中該複數個電路各自包括導電跡線，該導電跡線連接至從跡線延伸的複數個引腳。
實施例6：如前述實施例中任一者之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中該複數個電路包括電源。
實施例7：如前述實施例中任一者之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中第一電路位於基板的第一表面上並且第二電路位於與基板的第一表面相對的基板的第二表面上。
實施例8：如前述實施例中任一者之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中滲漏偵測感測器進一步包括外殼，該外殼包含至少部分地隔離該複數個電路的非導電材料。
實施例9：如實施例7之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中外殼包括漏斗形元件。
實施例10：如前述實施例中任一者之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中該複數個電路包括至少一個蛇形電路。
實施例11：如前述實施例中任一者之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中感測器回應於流體接觸而經歷所測量之性質的變化。
實施例12：如實施例10之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中所測量的特性是第一偵測元件的電阻、阻抗、電容、電流或電壓中之至少一者。
實施例13：如實施例10之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中所測量的特性是感測器的物理變化。
實施例14：如前述實施例中任一者之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中滲漏偵測感測器進一步包括經調適以將滲漏偵測感測器附接至流體組件的附接元件。
實施例15：如實施例14之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中附接元件可移除地與流體組件接合以用於監測流體滲漏。
實施例16：如實施例14之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中附接組件包括夾。
實施例17：如前述實施例中任一者之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中流體組件是管道、管肘、歧管、肘管、管接頭、閥、泵、槽、過濾器外殼、壓力容器、液體阱、排氣管線、真空冷凝容器或調節器中之至少一者。
實施例18：如前述實施例中任一者之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，進一步包括可操作地連接至通訊裝置以編譯和分析來自感測器的訊息的通訊集線器。
實施例19：如實施例18之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中通訊集線器經由遠端無線網絡可操作地連接至通訊裝置。
實施例20：如前述實施例中任一者之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中滲漏偵測感測器經調適以監測流體的滲漏，該流體包括HF、H2SO4、HNO3、NaClO、H2O2、H3PO4、化學機械平坦化(CMP)流體和漿料、HCL、去離子水、乙醇、異丙醇、丙酮、烴溶劑或甲苯中之至少一者。
實施例21：如前述實施例中任一者之滲漏偵測感測器、流體系統或方法，其中該複數個電路各自包括電子組件，該電子組件包括電阻器、電容器、電感器、電晶體或其任何組合。
請注意，並非上文一般說明或實例中所述的所有特徵均係需要，可能並不需要特定特徵的一部分，並且除了所述者之外的一或多種特徵可予提供。又進一步地，所列出的特徵之順序不一定是它們的執行順序。
為清楚起見，本文在單獨的實施例的上下文中描述的某些特徵，也可以在單個實施方案中組合提供。相反，為簡潔起見，在單個實施例的上下文中描述的各種特徵亦可單獨提供或以任何次組合來提供。
益處、其他優點及問題之解決方案已針對特定實施例描述如上。然而，這些益處、優點、問題之解決方案以及可造成任何益處、優點、問題之解決方案發生或變得更加顯著之任何特徵不應被解釋為任何或所有申請專利範圍之關鍵、所需或必要特徵。
說明書及本文中所述之實施例的描繪係意欲提供各種實施例之結構的一般瞭解。說明書和描繪並非意欲用作使用本文中所述之結構或方法的裝置和系統之所有元件和特徵之詳盡和全面的描述。單獨的實施例亦可在單一實施例中組合提供，並且相反地，為了簡潔起見，在單一實施例的上下文中所述的各種特徵亦可單獨提供或以任何次組合來提供。進一步地，引用範圍中所述的值包括該範圍內的各個及每個值。只有在閱讀本說明書之後，許多其他實施例對於熟習本技術領域者才是清楚易見的。其他實施例可予使用並衍生自本揭示，使得結構性取代、邏輯性取代或另外的改變可在不脫離本揭示的範圍下進行。據此，本揭示應被視為說明性的而非限制性的。
100:感測器
115:外殼
117:漏斗形元件
1000:滲漏偵測系統

Claims (9)

  1. 一種滲漏偵測感測器，其包含：介電基板，其包含電路板材料；及複數個電路，其與該基板通訊，其中該等複數個電路是位於該基板的不同側上，其中該滲漏偵測感測器進一步包含外殼，該外殼包含非傳導性材料，該非傳導性材料可使該等複數個電路至少部分地絕緣，其中該外殼包括漏斗孔或圓柱形組件。
  2. 如請求項1之滲漏偵測感測器，其中該等複數個電路各包含導電跡線，該導電跡線連接複數個接腳，該等複數個接腳自該跡線延伸。
  3. 如請求項1之滲漏偵測感測器，其中該等複數個電路包含電源。
  4. 如請求項1之滲漏偵測感測器，其中第一電路位於該基板的第一表面上且第二電路位於該基板的第二表面上，該基板的該第二表面與該基板的該第一表面相對。
  5. 如請求項1之滲漏偵測感測器，其中該等複數個電路包含至少一個蛇形電路。
  6. 如請求項1之滲漏偵測感測器，其中該感測器回應於流體接觸而經歷所測量之性質的變化。
  7. 如請求項1之滲漏偵測感測器，其中該滲漏偵測感測器進一步包含附接元件，該附接元件經調適可將該滲漏偵測感測器耦合至流體組件。
  8. 一種流體系統，其包含：流體組件，其具有流體；及 至少一個滲漏偵測感測器，其可操作地耦合至該流體組件，該滲漏偵測感測器包含：介電基板，其包含電路板材料；及複數個電路，其與該基板通訊，其中該等複數個電路是位於該基板的不同側上，其中該滲漏偵測感測器進一步包含外殼，該外殼包含非傳導性材料，該非傳導性材料可使該等複數個電路至少部分地絕緣，其中該外殼包括漏斗孔或圓柱形組件。
  9. 一種滲漏偵測方法，其包含：提供至少一個滲漏偵測感測器，該至少一個滲漏偵測感測器包含：介電基板，其包含電路板材料；及複數個電路，其與該基板通訊，其中該等複數個電路是位於該基板的不同側上；及可操作地將該至少一個滲漏偵測感測器耦合至流體組件，以監測流體滲漏，其中該滲漏偵測感測器進一步包含外殼，該外殼包含非傳導性材料，該非傳導性材料可使該等複數個電路至少部分地絕緣，其中該外殼包括漏斗孔或圓柱形組件。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200636222A (en) * 2005-02-10 2006-10-16 3M Innovative Properties Co Liquid leakage sensor
US20190162625A1 (en) * 2017-11-27 2019-05-30 Saint-Gobain Performance Plastics Corporation Leak detection system and method of making and using the same

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7605710B2 (en) * 2006-08-18 2009-10-20 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Wetness sensor
US20100302047A1 (en) * 2007-01-11 2010-12-02 Altor Limited Lc Integrated water detector
NO327090B1 (no) * 2007-06-28 2009-04-20 Asle Ingmar Johnsen Detektorsystem
US8967185B2 (en) * 2010-07-21 2015-03-03 Senior Ip Gmbh Joint cover with manifold for duct leak detection system
US20130333447A1 (en) * 2012-06-15 2013-12-19 Thomas Arthur White Leakage detection
CN103969294B (zh) * 2013-01-25 2016-06-01 泰科电子(上海)有限公司 硅油检测器、电力终端组件和硅油检测器的使用方法
JP6501552B2 (ja) * 2015-02-18 2019-04-17 三菱航空機株式会社 配管構造、航空機、およびリーク検知にロバスト性を与える方法
US10565848B2 (en) * 2015-03-26 2020-02-18 Dripdrone, Inc. Fluid leak detection methods, systems and apparatus
KR101776006B1 (ko) * 2015-06-22 2017-09-08 플로우닉스 주식회사 배관 부착형 누설 감지 센서
US11105705B1 (en) * 2017-03-31 2021-08-31 Leaksentinel Inc. Non-invasive, independently powered leak detector and valve shut-off apparatus
KR101969575B1 (ko) * 2018-01-19 2019-08-20 (주)유민에쓰티 도전성 액체 누설 감지 장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200636222A (en) * 2005-02-10 2006-10-16 3M Innovative Properties Co Liquid leakage sensor
US20190162625A1 (en) * 2017-11-27 2019-05-30 Saint-Gobain Performance Plastics Corporation Leak detection system and method of making and using the same
TW201925743A (zh) * 2017-11-27 2019-07-01 美商聖高拜塑膠製品公司 滲漏偵測系統及其製造及使用方法

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