JP2023545048A - 漏洩検知システム並びにその作製方法及び使用方法 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態2:流体を有する流体構成要素と、流体構成要素に動作可能に結合された、少なくとも1つの漏洩検知センサと、を備えた、流体システムであって、漏洩検知センサは、回路板材料を含む誘電体基板と、基板と連通する複数の電気回路とを備え、複数の電気回路は、基板の異なる側に位置する、流体システム。
実施形態3:漏洩検知の方法であって、少なくとも1つの漏洩検知センサを提供することであって、漏洩検知センサは、回路板材料を含む誘電体基板と、基板と連通する複数の電気回路であって、基板の異なる側に位置する、複数の電気回路と、を備える、提供することと、少なくとも1つの漏洩検知センサを、流体漏洩の監視のために流体構成要素に動作可能に結合することと、を含む、方法。
実施形態4:漏洩検知センサであって、第1の誘電体基板と、第1の基板と連通する第1の電気回路と、第1の誘電体基板から分離された第2の誘電体基板と、第2の基板と連通する第2の電気回路であって、第1の電気回路及び第2の電気回路が、単一の電源に動作可能に接続されている、第2の電気回路と、を備える、漏洩検知センサ。
実施形態5:複数の電気回路がそれぞれ、導電性トレースを備え、トレースは、トレースから延在する複数のピンに接続されている、実施形態1~4のいずれかに記載の、漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態6:複数の電気回路が電源を備える、実施形態1~5のいずれかに記載の、漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態7:第1の電気回路が、基板の第1の表面に位置し、第2の電気回路が、基板の第1の表面とは反対側の、基板の第2の表面に位置する、実施形態1~6のいずれかに記載の、漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態8:漏洩検知センサが、複数の電気回路を少なくとも部分的に絶縁する非導電性材料を含むハウジングを更に備える、実施形態1~7のいずれかに記載の、漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態9:ハウジングが漏斗形状を有する、実施形態7に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態10:複数の電気回路が、少なくとも1つの蛇行回路を含む、実施形態1~9のいずれかに記載の、漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態11:センサが、流体接触に応答して、測定特性の変化を起こす、実施形態1~10のいずれかに記載の、漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態12:測定特性が、第1の検知素子の抵抗、インピーダンス、静電容量、電流、又は電圧のうちの少なくとも1つである、実施形態10に記載の漏洩検知センサ、流体システム又、は方法。
実施形態13:測定特性が、センサにおける物理的変化である、実施形態10に記載の漏洩検知センサ、流体システム又、は方法。
実施形態14:漏洩検知センサが、漏洩検知センサを流体構成要素に取り付けるように適合された取り付け要素を更に備える、実施形態1~13のいずれかに記載の、漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態15:取り付け要素が、流体漏洩の監視のために流体構成要素に取り外し可能に係合可能である、実施形態14に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態16:取り付け構成要素がクリップを含む、実施形態14に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態17:流体構成要素が、パイプ、パイプベンド、マニホールド、エルボ、パイプ継手、弁、ポンプ、タンク、フィルタハウジング、圧力容器、液体トラップ、排気ライン、真空凝縮物容器又は調整器のうちの少なくとも1つである、実施形態1~16のいずれかに記載の、漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態18:センサからの情報をコンパイル及び分析するために、通信デバイスに動作可能に接続された通信ハブを更に備える、実施形態1~17のいずれかに記載の、漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態19:通信ハブが、長距離無線ネットワークを介して通信デバイスに動作可能に接続されている、実施形態18に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態20:漏洩検知センサが、HF、H2SO4、HNO3、NaClO、H2O2、H3PO4、化学機械平坦化(CMP)流体及びスラリー、HCL、脱イオン水、エタノール、イソプロピルアルコール、アセトン、炭化水素溶媒又はトルエンのうちの少なくとも1つを含む流体の漏洩を監視するように適合されている、実施形態1~19のいずれかに記載の、漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
実施形態21:複数の回路がそれぞれ、抵抗器、コンデンサ、インダクタ、トランジスタ、又はそれらの任意の組み合わせを備える電子構成要素を含む、実施形態1~20のいずれかに記載の、漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
Claims (15)
- 漏洩検知センサであって、
回路板材料を含む誘電体基板と、
前記基板と連通する複数の電気回路であって、前記基板の異なる側に位置する、複数の電気回路と、を備える、漏洩検知センサ。 - 流体システムであって、
流体を有する流体構成要素と、
前記流体構成要素に動作可能に結合された、少なくとも1つの漏洩検知センサと、を備え、前記漏洩検知センサは、
回路板材料を含む誘電体基板と、
前記基板と連通する複数の電気回路であって、前記基板の異なる側に位置する、複数の電気回路と、を含む、流体システム。 - 漏洩検知の方法であって、
少なくとも1つの漏洩検知センサを提供することであって、前記漏洩検知センサは、
回路板材料を含む誘電体基板と、
前記基板と連通する複数の電気回路であって、前記基板の異なる側に位置する、複数の電気回路と、を含む、提供することと、
前記少なくとも1つの漏洩検知センサを、流体漏洩の監視のために流体構成要素に動作可能に結合することと、を含む、方法。 - 前記複数の電気回路はそれぞれ、導電性トレースを備え、前記トレースは、前記トレースから延在する複数のピンに接続されている、請求項1~3のいずれか一項に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
- 前記複数の電気回路が電源を備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
- 第1の電気回路が、前記基板の第1の表面に位置し、第2の電気回路が、前記基板の前記第1の表面とは反対側の、前記基板の第2の表面に位置する、請求項1~3のいずれか一項に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
- 前記漏洩検知センサが、前記複数の電気回路を少なくとも部分的に絶縁する非導電性材料を含むハウジングを更に備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
- 前記複数の電気回路が、少なくとも1つの蛇行回路を備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
- 前記センサが、流体接触に応答して、測定特性の変化を起こす、請求項1~3のいずれか一項に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
- 前記漏洩検知センサが、前記漏洩検知センサを流体構成要素に取り付けるように適合された、取り付け要素を更に備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
- 前記流体構成要素が、パイプ、パイプベンド、マニホールド、エルボ、パイプ継手、弁、ポンプ、タンク、フィルタハウジング、圧力容器、液体トラップ、排気ライン、真空凝縮物容器又は調整器のうちの少なくとも1つである、請求項1~3のいずれか一項に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
- 前記センサからの情報をコンパイル及び分析するために、通信デバイスに動作可能に接続された、通信ハブを更に備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
- 前記通信ハブが、長距離無線ネットワークを介して前記通信デバイスに動作可能に接続されている、請求項12に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
- 前記漏洩検知センサが、HF、H2SO4、HNO3、NaClO、H2O2、H3PO4、化学機械平坦化(CMP)流体及びスラリー、HCL、脱イオン水、エタノール、イソプロピルアルコール、アセトン、炭化水素溶媒又はトルエンのうちの少なくとも1つを含む流体の漏洩を監視するように適合されている、請求項1~3のいずれか一項に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
- 前記複数の回路がそれぞれ、抵抗器、コンデンサ、インダクタ、トランジスタ、又はそれらの任意の組み合わせを含む、電子構成要素を備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の漏洩検知センサ、流体システム、又は方法。
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