TWI828512B - 搬運排程方法及裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明實施例提供一種搬運排程方法及裝置。所述方法包括：取得多個搬運命令，其中各搬運命令經編碼有編碼值；基於各搬運命令的編碼值判定多個陣列組合；基於所述多個陣列組合判定多個搬運命令序列個別對應的搬運成本；以及基於各搬運命令序列的搬運成本從所述多個搬運命令序列中挑選候選搬運命令序列，並據以執行物件搬運操作。
Description
本發明是有關於一種流程設計機制，且特別是有關於一種搬運排程方法及裝置。
在土地資源有限的條件下，將半導體機台分布地設置不同樓層，方能較為有效地利用空間。在全自動化的要求下，跨樓層自動化倉儲(Tower Stocker)肩負將晶圓傳送盒(FOUP)於不同樓層之間傳送的重要任務。
由於跨樓層自動化倉儲傳送量大且造價昂貴，因此如何維持最佳傳送效率便相形重要。
在現有技術中，上述自動化倉儲系統在處理搬運晶圓傳送盒的搬運命令時，一般是基於先進先出的概念或是基於優先度的概念執行。雖這兩種方法在一般的倉儲系統使用上無明顯問題，但在長周期時間的跨樓層倉儲系統中，無效的機械手臂運行將導致明顯的資源浪費。並且，若欲為改善此問題而修改底層控制器功能，不但花費龐大且較無彈性。
有鑑於此，本發明提供一種搬運排程方法及裝置，其可用於解決上述技術問題。
本發明實施例提供一種搬運排程方法，適於一搬運排程裝置，包括：取得多個搬運命令，其中所述多個搬運命令包括一新搬運命令、多個待執行搬運命令及一執行中搬運命令，各搬運命令經編碼有一編碼值；基於各搬運命令的編碼值判定多個陣列組合，其中所述多個陣列組合分別對應於多個搬運命令序列；基於所述多個陣列組合判定所述多個搬運命令序列個別對應的一搬運成本；以及基於各搬運命令序列的搬運成本從所述多個搬運命令序列中挑選一候選搬運命令序列，並據以執行一物件搬運操作。
本發明實施例提供一種搬運排程裝置，包括儲存電路及處理器。儲存電路儲存一程式碼。處理器耦接儲存電路並存取程式碼以執行：取得多個搬運命令，其中所述多個搬運命令包括一新搬運命令、多個待執行搬運命令及一執行中搬運命令，各搬運命令經編碼有一編碼值；基於各搬運命令的編碼值判定多個陣列組合，其中所述多個陣列組合分別對應於多個搬運命令序列；基於所述多個陣列組合判定所述多個搬運命令序列個別對應的一搬運成本；以及基於各搬運命令序列的搬運成本從所述多個搬運命令序列中挑選一候選搬運命令序列，並據以執行一物件搬運操作。
10:系統
11:製造執行系統
12:搬運控制系統
13:物料搬運控制系統
131:命令佇列
14:倉儲設備控制器
100:搬運排程裝置
102:儲存電路
104:處理器
ACR:參考陣列
AC1~AC6:陣列組合
AC11,AC21,AC31,AC41,AC51,AC61:第一陣列
AC12,AC22,AC32,AC42,AC52,AC62:第二陣列
ACC1~ACC6:成本陣列
C0~C6:搬運命令
In-31~In-33,In-51~In-53:進貨埠
Out-31~Out-33,Out-51~Out-53:出貨埠
S210~S240:步驟
圖1A是依據本發明之一實施例繪示的自動化跨樓層倉儲設備系統示意圖。
圖1B是依據本發明之一實施例繪示的搬運排程裝置示意圖。
圖2是依據本發明之一實施例繪示的搬運排程方法流程圖。
圖3是依據本發明第一實施例繪示的應用情境圖。
圖4A及圖4B是依據本發明之一實施例繪示的判定編碼值的示意圖。
圖5A及圖5B是依據本發明第一實施例繪示的判定陣列組合的示意圖。
請參照圖1A，其是依據本發明之一實施例繪示的自動化跨樓層倉儲設備系統示意圖。在圖1A中，系統10例如包括製造執行系統(Manufacturing Execution System，MES)11、搬運控制系統(Material Control System，MCS)12、物料搬運控制系統13及倉儲設備控制器(Stocker Controller)14。
在本發明的實施例中，物料搬運控制系統13可設置有搬運排程裝置，其可用於對不同的搬運命令(例如用於指示將例如晶圓傳送盒的物件從來源樓層搬運至目標樓層的的命令)進行排程，
以增加搬運時的效率。
請參照圖1B，其是依據本發明之一實施例繪示的搬運排程裝置示意圖。在圖1B中，搬運排程裝置100例如可實現為各式智慧型裝置及/或電腦裝置。在一些實施例中，搬運排程裝置100亦可實現為物料搬運控制系統13的其中一個模組。或者，搬運排程裝置100亦可直接用於實現物料搬運控制系統13，但可不限於此。
在圖1B中，搬運排程裝置100包括儲存電路102及處理器104。
儲存電路102例如是任意型式的固定式或可移動式隨機存取記憶體(Random Access Memory，RAM)、唯讀記憶體(Read-Only Memory，ROM)、快閃記憶體(Flash memory)、硬碟或其他類似裝置或這些裝置的組合，而可用以記錄多個程式碼或模組。
處理器104耦接於儲存電路102，並可為一般用途處理器、特殊用途處理器、傳統的處理器、數位訊號處理器、多個微處理器(microprocessor)、一個或多個結合數位訊號處理器核心的微處理器、控制器、微控制器、特殊應用積體電路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、現場可程式閘陣列電路(Field Programmable Gate Array，FPGA)、任何其他種類的積體電路、狀態機、基於進階精簡指令集機器(Advanced RISC Machine，ARM)的處理器以及類似品。
在本發明的實施例中，處理器104可存取儲存電路102
中記錄的模組、程式碼來實現本發明提出的搬運排程方法，其細節詳述如下。
請參照圖2，其是依據本發明之一實施例繪示的搬運排程方法流程圖。本實施例的方法可由圖1B的搬運排程裝置100執行，以下即搭配圖1B所示的元件說明圖2各步驟的細節。此外，為使本發明概念更易於理解，以下另輔以圖3情境作說明，其中圖3是依據本發明第一實施例繪示的應用情境圖。
首先，在步驟S210中，處理器104取得多個搬運命令C0~C6。在圖3情境中，搬運命令C0~C6包括新搬運命令(例如搬運命令C6)、多個待執行搬運命令(例如搬運命令C1~C5)及執行中搬運命令(例如搬運命令C0)。
在圖3中，STC 14例如可正在步驟(0)中執行搬運命令C0。另外，假設MES 11在步驟(1)中產生搬運命令C6作為新搬運命令，並將搬運命令C6提供予MCS 12，則MCS 12可在步驟(2)中將搬運命令C6提供予物料搬運控制系統13。
在第一實施例中，物料搬運控制系統13可維護有命令佇列131，而搬運排程裝置100可透過執行本發明提供的方法將搬運命令C6加入至命令佇列131中。
在圖3中，在搬運命令C6經加入至命令佇列131之前，命令佇列131例如可依序儲存有搬運命令C3、C1、C2、C4、C5。由此可知，若搬運命令C6未經安排在搬運命令C3之前，則在完成搬運命令C0之後，STC 14將接續執行搬運命令C3(即，命令
佇列131中的第一個搬運命令)。
在第一實施例中，搬運排程裝置100例如可在步驟(3)中取得新搬運命令(即，搬運命令C6)、在步驟(4)中取得待執行搬運命令(即，依序儲存於命令佇列131中的搬運命令C3、C1、C2、C4、C5)及執行中搬運命令(即，搬運命令C0)。
假設搬運排程裝置100經執行本發明的方法而判定需透過步驟(6)而將搬運命令C6安排在搬運命令C2及C4之間，則在完成搬運命令C0之後，搬運排程裝置100可在步驟(7)中將搬運命令C0的相關搬運結果回報MCS 12。之後，STC 14將在步驟(8)中接續執行搬運命令C3。並且，若之後未有其他新搬運命令產生，則搬運排程裝置100可在完成搬運命令C3後，依序執行搬運命令C1、C2、C6、C4、C5，但可不限於此。
為令搬運排程裝置100能夠順利執行本發明實施例的方法，各搬運命令C0~C6經編碼有對應的編碼值。
請參照圖4A及圖4B，其是依據本發明之一實施例繪示的判定編碼值的示意圖。為便於說明，以下假設各搬運命令C0~C6皆用於在某建築物的3樓及5樓之間搬運物件(例如晶圓傳送盒)，但其僅用以舉例，並非用以限定本發明可能的實施方式。
在圖4A情境中，假設所考慮建築物的3樓共具有3個進貨埠In-31~In-33以及3個出貨埠Out-31~Out-33，且此建築物的5樓共具有3個進貨埠In-51~In-53以及3個出貨埠Out-51~Out53。在此情況下，STC 14例如可依據搬運命令將物件從3樓的進貨埠
In-31~In-33的任一搬運至5樓的出貨埠Out-51~Out53的任一，以及將物件從5樓的進貨埠In-51~In-53的任一搬運至3樓的出貨埠Out-31~Out33的任一。在此情況下，共將產生如圖4B所示的18種搬運情境(即，Case-1~Case-18)，而這些搬運情境可再經編碼為對應的編碼值。
在圖4B中，每種搬運情境被依據目標樓層的目標埠而編碼為對應的編碼值。舉例而言，若某搬運命令指示將物件從來源樓層搬運至3樓(即，目標樓層)的出貨埠Out-31(即，目標埠)，則此搬運命令對應的編碼值例如是31。若某搬運命令指示將物件從來源樓層搬運至3樓的出貨埠Out-32，則此搬運命令對應的編碼值例如是32。若某搬運命令指示將物件從來源樓層搬運至3樓的出貨埠Out-33，則此搬運命令對應的編碼值例如是33。
相似地，若某搬運命令指示將物件從來源樓層搬運至5樓(即，目標樓層)的出貨埠Out-51(即，目標埠)，則此搬運命令對應的編碼值例如是51。若某搬運命令指示將物件從來源樓層搬運至5樓的出貨埠Out-52，則此搬運命令對應的編碼值例如是52。若某搬運命令指示將物件從來源樓層搬運至5樓的出貨埠Out-53，則此搬運命令對應的編碼值例如是53，但可不限於此。
在本發明的實施例中，搬運命令的編碼值可正相關於對應的目標樓層，亦即越高的目標樓層可對應於越大的編碼值，反之亦反。舉例而言，假設需對位於6樓的目標埠決定對應的編碼值，則此編碼值例如可設定為60~69中的某值(其可理解為大於對應
於5樓的51~53的數值)。舉另一例而言，假設需對位於2樓的目標埠決定對應的編碼值，則此編碼值例如可設定為20~29中的某值(其可理解為小於對應於3樓的31~33的數值)。藉此，方能讓編碼值反映樓層之間的相對關係，但可不限於此。
請再次參照圖2，在步驟S220中，處理器104基於各搬運命令C0~C6的編碼值判定多個陣列組合。
請參照圖5A及圖5B，其是依據本發明第一實施例繪示的判定陣列組合的示意圖。在圖5A及圖5B中，假設搬運命令C0~C6的編碼值分別為52、53、31、32、33、51及53。亦即，搬運命令C0~C6的目標埠分別經假設為出貨埠Out-52、Out-53、Out-31、Out-32、Out-33、Out-51及Out-53，但其僅用以舉例，並非用以限定本發明可能的實施方式。
基此，處理器104例如可依據圖5A中各搬運命令C0~C6的編碼值判定N個陣列組合，其中N為執行中搬運命令及待執行搬運命令的總數。在圖5A情境中，N例如是6(即，搬運命令C0~C5的總數)，但可不限於此。
在一實施例中，對於所述多個陣列組合中的第i個陣列組合而言，處理器104依序將執行中搬運命令及待執行搬運命令個別的編碼值排列為參考陣列，其中i為正整數，且1
i 
N。之後，處理器104將新搬運命令的編碼值插入至參考陣列的第i個元素之後，以產生所述第i個陣列組合的該第一陣列。接著，處理器104基於所述第i個陣列組合的第一陣列中的特定部分判定所述第
i個陣列組合的第二陣列。
在一實施例中，所述第i個陣列組合的第一陣列中的特定部分例如包括所述第i個陣列組合的第一陣列中的第2個元素至第N+1個元素。
以圖5A為例，對於陣列組合AC1(可理解為第1個陣列組合)而言，處理器104可依序將執行中搬運命令(即，搬運命令C0)及待執行搬運命令(即，搬運命令C3、C1、C2、C4、C5)個別的編碼值排列為參考陣列ACR。之後，處理器104將新搬運命令(即，搬運命令C6)的編碼值插入至參考陣列ACR的第1個元素(即，搬運命令C0)之後，以產生陣列組合AC1的第一陣列AC11。接著，處理器104可基於陣列組合AC1的第一陣列AC11中的特定部分判定陣列組合AC1的第二陣列AC12。在圖5A中，處理器104例如可將第一陣列中AC11中的第2個元素至第7個(即，N+1)元素判定為第二陣列AC12，但可不限於此。
對於陣列組合AC2(可理解為第2個陣列組合)而言，處理器104可依序將執行中搬運命令(即，搬運命令C0)及待執行搬運命令(即，搬運命令C3、C1、C2、C4、C5)個別的編碼值排列為參考陣列ACR。之後，處理器104將新搬運命令(即，搬運命令C6)的編碼值插入至參考陣列ACR的第2個元素(即，搬運命令C3)之後，以產生陣列組合AC2的第一陣列AC21。接著，處理器104可基於陣列組合AC2的第一陣列中AC21的特定部分判定陣列組合AC2的第二陣列AC22。在圖5A中，處理器104例
如可將第一陣列中AC21中的第2個元素至第7個(即，N+1)元素判定為第二陣列AC22，但可不限於此。
對於陣列組合AC3(可理解為第3個陣列組合)而言，處理器104可依序將執行中搬運命令(即，搬運命令C0)及待執行搬運命令(即，搬運命令C3、C1、C2、C4、C5)個別的編碼值排列為參考陣列ACR。之後，處理器104將新搬運命令(即，搬運命令C6)的編碼值插入至參考陣列ACR的第3個元素(即，搬運命令C1)之後，以產生陣列組合AC3的第一陣列AC31。接著，處理器104可基於陣列組合AC3的第一陣列中AC31的特定部分判定陣列組合AC3的第二陣列AC32。在圖5A中，處理器104例如可將第一陣列中AC31中的第2個元素至第7個(即，N+1)元素判定為第二陣列AC32，但可不限於此。
以圖5B為例，對於陣列組合AC4(可理解為第4個陣列組合)而言，處理器104可依序將執行中搬運命令(即，搬運命令C0)及待執行搬運命令(即，搬運命令C3、C1、C2、C4、C5)個別的編碼值排列為參考陣列ACR。之後，處理器104將新搬運命令(即，搬運命令C6)的編碼值插入至參考陣列ACR的第4個元素(即，搬運命令C2)之後，以產生陣列組合AC4的第一陣列AC41。接著，處理器104可基於陣列組合AC4的第一陣列中AC41的特定部分判定陣列組合AC4的第二陣列AC42。在圖5B中，處理器104例如可將第一陣列中AC41中的第2個元素至第7個(即，N+1)元素判定為第二陣列AC42，但可不限於此。
對於陣列組合AC5(可理解為第5個陣列組合)而言，處理器104可依序將執行中搬運命令(即，搬運命令C0)及待執行搬運命令(即，搬運命令C3、C1、C2、C4、C5)個別的編碼值排列為參考陣列ACR。之後，處理器104將新搬運命令(即，搬運命令C6)的編碼值插入至參考陣列ACR的第5個元素(即，搬運命令C4)之後，以產生陣列組合AC5的第一陣列AC51。接著，處理器104可基於陣列組合AC5的第一陣列中AC51的特定部分判定陣列組合AC5的第二陣列AC52。在圖5B中，處理器104例如可將第一陣列中AC51中的第2個元素至第7個(即，N+1)元素判定為第二陣列AC52，但可不限於此。
對於陣列組合AC6(可理解為第6個陣列組合)而言，處理器104可依序將執行中搬運命令(即，搬運命令C0)及待執行搬運命令(即，搬運命令C3、C1、C2、C4、C5)個別的編碼值排列為參考陣列ACR。之後，處理器104將新搬運命令(即，搬運命令C6)的編碼值插入至參考陣列ACR的第6個元素(即，搬運命令C5)之後，以產生陣列組合AC6的第一陣列AC61。接著，處理器104可基於陣列組合AC6的第一陣列中AC61的特定部分判定陣列組合AC6的第二陣列AC62。在圖5B中，處理器104例如可將第一陣列中AC61中的第2個元素至第7個(即，N+1)元素判定為第二陣列AC62，但可不限於此。
在本發明的實施例中，陣列組合AC1~AC6分別對應於多個搬運命令序列。在一實施例中，處理器104依據所述第i個陣列
組合的第一陣列判定上述搬運命令序列中的第i個搬運命令序列。
舉例而言，處理器104可依據陣列組合AC1(即，第1個陣列組合)的第一陣列AC11判定第1個搬運命令序列。在圖5A情境中，由於第一陣列AC11的元素分別依序對應於搬運命令C0、C6、C3、C1、C2、C4、C5，故處理器104可判定第1個搬運命令序列依序包括搬運命令C0、C6、C3、C1、C2、C4、C5。
舉另一例而言，處理器104可依據陣列組合AC2(即，第2個陣列組合)的第一陣列AC21判定第2個搬運命令序列。在圖5A情境中，由於第一陣列AC21的元素分別依序對應於搬運命令C0、C3、C6、C1、C2、C4、C5，故處理器104可判定第2個搬運命令序列依序包括搬運命令C0、C3、C6、C1、C2、C4、C5。
舉再一例而言，處理器104可依據陣列組合AC3(即，第3個陣列組合)的第一陣列AC31判定第3個搬運命令序列。在圖5A情境中，由於第一陣列AC31的元素分別依序對應於搬運命令C0、C3、C1、C6、C2、C4、C5，故處理器104可判定第3個搬運命令序列依序包括搬運命令C0、C3、C1、C6、C2、C4、C5。
相似地，處理器104可依據圖5B的情境而相應地判定對應於陣列組合AC4的第4個搬運命令序列依序包括搬運命令C0、C3、C1、C2、C6、C4、C5，對應於陣列組合AC5的第5個搬運命令序列依序包括搬運命令C0、C3、C1、C2、C4、C6、C5，且對應於陣列組合AC6的第6個搬運命令序列依序包括搬運命令C0、C3、C1、C2、C4、C5、C6，但可不限於此。
接著，在步驟S230中，處理器104基於所述多個陣列組合AC1~AC6判定所述多個搬運命令序列個別對應的搬運成本。
在本發明的實施例中，對於第i個陣列組合而言，處理器104基於第i個陣列組合的第一陣列及第二陣列判定對應於第i個陣列組合的成本陣列，其中第i個陣列組合的成本陣列包括多個特定元素。接著，處理器104將第i個陣列組合的成本陣列的所述多個特定元素加總為對應於第i個搬運命令序列的搬運成本。
在一實施例中，在判定第i個陣列組合的成本陣列的過程中，處理器104可取得第i個陣列組合的第一陣列的第j個元素，以及取得第i個陣列組合的第二陣列的第j個元素。之後，處理器104可取得第i個陣列組合的第一陣列的所述第j個元素及第i個陣列組合的第二陣列的所述第j個元素之間的絕對差值，以作為第i個陣列組合的成本陣列的特定元素中的第j個特定元素，其中j為正整數，且1
j 
N+1。
以圖5A的陣列組合AC1為例，處理器104可基於第一陣列AC11及第二陣列AC12判定對應的成本陣列ACC1。在圖5A中，處理器104可經配置以：(1)取得第一陣列AC11的第1個(即，j=1)元素(例如，52)及第二陣列AC12的第1個元素(例如，53)，並以此二者之間的絕對差值(例如，1)作為成本陣列ACC1的第1個元素；(2)取得第一陣列AC11的第2個(即，j=2)元素(例如，53)及第二陣列AC12的第2個元素(例如，32)，並以此二者之間的絕對差值(例如，21)作為成本陣列ACC1的第2個
元素；(3)取得第一陣列AC11的第3個(即，j=3)元素(例如，32)及第二陣列AC12的第3個元素(例如，53)，並以此二者之間的絕對差值(例如，21)作為成本陣列ACC1的第3個元素；(4)取得第一陣列AC11的第4個(即，j=4)元素(例如，53)及第二陣列AC12的第4個元素(例如，31)，並以此二者之間的絕對差值(例如，22)作為成本陣列ACC1的第4個元素；(5)取得第一陣列AC11的第5個(即，j=5)元素(例如，31)及第二陣列AC12的第5個元素(例如，33)，並以此二者之間的絕對差值(例如，2)作為成本陣列ACC1的第5個元素；(6)取得第一陣列AC11的第6個(即，j=6)元素(例如，33)及第二陣列AC12的第6個元素(例如，51)，並以此二者之間的絕對差值(例如，18)作為成本陣列ACC1的第6個元素；(7)取得第一陣列AC11的第7個(即，j=7)元素(例如，51)及第二陣列AC12的第7個元素(其可設定為0或其他設計者選定的值)，並以此二者之間的絕對差值(例如，51)作為成本陣列ACC1的第7個元素。
在判定成本陣列ACC1依序包括1、21、21、22、2、18、51等特定元素之後，處理器104可將這些特定元素加總為對應於第1個搬運命令序列的搬運成本，例如圖5A情境中的136。
相似地，處理器104可在基於上述教示判定對應於陣列組合AC2的成本陣列ACC2依序包括20、21、0、22、2、18、51等特定元素之後，將這些特定元素加總為對應於第2個搬運命令序列的搬運成本，例如圖5A情境中的134。另外，處理器104可
在基於上述教示判定對應於陣列組合AC3的成本陣列ACC3依序包括20、21、0、22、2、18、51等特定元素之後，將這些特定元素加總為對應於第3個搬運命令序列的搬運成本，例如圖5A情境中的134。
在圖5B情境中，處理器104可在基於上述教示判定對應於陣列組合AC4的成本陣列ACC4依序包括20、21、22、22、20、18、51等特定元素之後，將這些特定元素加總為對應於第4個搬運命令序列的搬運成本，例如圖5B情境中的174。另外，處理器104可在基於上述教示判定對應於陣列組合AC5的成本陣列ACC5依序包括20、21、22、2、20、2、51等特定元素之後，將這些特定元素加總為對應於第5個搬運命令序列的搬運成本，例如圖5B情境中的138。此外，處理器104可在基於上述教示判定對應於陣列組合AC6的成本陣列ACC6依序包括20、21、22、2、18、2、53等特定元素之後，將這些特定元素加總為對應於第6個搬運命令序列的搬運成本，例如圖5B情境中的134。
之後，在步驟S240中，處理器104基於各搬運命令序列的搬運成本從所述多個搬運命令序列中挑選候選搬運命令序列，並據以執行物件搬運操作。
在不同的實施例中，處理器104可依據設計者的需求而基於所選定的原則挑選候選搬運命令序列。在一實施例中，處理器104例如可從所述多個搬運命令序列中挑選具最高搬運成本的一者作為候選搬運命令序列。在一實施例中，所述多個搬運命令序列
中具最高搬運成本的一者亦可理解為具最高搬運效率的一者。換言之，處理器104所挑選的候選搬運命令序列例如可令STC 14以最佳效率執行物件搬運操作，但可不限於此。
在圖5A及圖5B的情境中，由於對應於陣列組合AC4的第4個搬運命令序列(其依序包括搬運命令C0、C3、C1、C2、C6、C4、C5)的搬運成本為最高，故處理器104例如可選擇第4個搬運命令序列作為候選搬運命令序列，但可不限於此。
基此，處理器104例如可基於第4個搬運命令序列控制STC 14進行物件搬運操作。在此情況下，STC 14可依序執行搬運命令C0、C3、C1、C2、C6、C4、C5。
在一實施例中，在將第4個搬運命令序列判定為候選搬運命令序列之後，命令佇列131將相應地被更新為依序包括搬運命令C3、C1、C2、C6、C4、C5(搬運命令C0因屬於執行中搬運命令故不在命令佇列131中)。在此情況下，若在搬運命令C0完成之前出現另一新搬運命令(下稱搬運命令C7)，則處理器104可再依據先前描述的編碼原則為搬運命令C7指派對應的編碼值。之後，處理器104可基於新搬運命令(即，搬運命令C7)、待執行搬運命令(即，命令佇列131中的搬運命令C3、C1、C2、C6、C4、C5)及執行中搬運命令(即，搬運命令C0)而判定多個新的陣列組合、對應的搬運命令序列及對應的搬運成本。接著，處理器104可再從這些搬運命令序列中挑選新的候選搬運命令序列，並據以將搬運命令C7插入至命令佇列131中的適當位置，進而實現高效
率的物件搬運操作。
在另一實施例中，假設搬運命令C7為在搬運命令C0完成之後才產生，此即代表當下的執行中命令為搬運命令C3。在此情況下，命令佇列131將經更新為包括搬運命令C1、C2、C6、C4、C5。相應地，處理器104可基於新搬運命令(即，搬運命令C7)、待執行搬運命令(即，命令佇列131中的搬運命令C1、C2、C6、C4、C5)及執行中搬運命令(即，搬運命令C3)而判定多個新的陣列組合、對應的搬運命令序列及對應的搬運成本。接著，處理器104可再從這些搬運命令序列中挑選新的候選搬運命令序列，並據以將搬運命令C7插入至命令佇列131中的適當位置，進而實現高效率的物件搬運操作。
綜上所述，在待執行搬運命令及執行中搬運命令的順序已決定的情況下，本發明實施例的方法可判斷應如何將新搬運命令安插在命令佇列中，進而提升物件搬運效率。
在本發明的實施例中，由於各搬運命令經依據對應的目標樓層及/或目標埠而編碼有對應的編碼值，因而可簡化上述判斷行為的過程，並相應地提升排程的效率。
雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
S210~S240:步驟
Claims (13)
- 一種搬運排程方法，適於一搬運排程裝置，包括： 取得多個搬運命令，其中該些搬運命令包括一新搬運命令、多個待執行搬運命令及一執行中搬運命令，各該搬運命令經編碼有一編碼值； 基於各該搬運命令的該編碼值判定多個陣列組合，其中該些陣列組合分別對應於多個搬運命令序列； 基於該些陣列組合判定該些搬運命令序列個別對應的一搬運成本；以及 基於各該搬運命令序列的該搬運成本從該些搬運命令序列中挑選一候選搬運命令序列，並據以執行一物件搬運操作。
- 如請求項1所述的方法，其中各該搬運命令序列由該些搬運命令組成。
- 如請求項1所述的方法，其中各該搬運命令經配置有一目標樓層及一目標埠，且所述方法更包括： 依據各該搬運命令的該目標樓層及該目標埠判定各該搬運命令對應的該編碼值。
- 如請求項3所述的方法，其中各該搬運命令的該編碼值正相關於對應的該目標樓層。
- 如請求項1所述的方法，其中各該搬運命令指示將一物件從一來源樓層搬運至一目標樓層的一目標埠。
- 如請求項5所述的方法，其中該物件為晶圓傳送盒。
- 如請求項1所述的方法，其中各該陣列組合包括一第一陣列及一第二陣列，其中基於各該搬運命令的該編碼值判定該些陣列組合的步驟包括： 對於該些陣列組合中的第i個陣列組合而言，依序將該執行中搬運命令及該些待執行搬運命令個別的該編碼值排列為一參考陣列，其中i為正整數，且 ，N為該執行中搬運命令及該些待執行搬運命令的總數； 將該新搬運命令的該編碼值插入至該參考陣列的第i個元素之後，以產生所述第i個陣列組合的該第一陣列； 基於所述第i個陣列組合的該第一陣列中的一特定部分判定所述第i個陣列組合的該第二陣列。
- 如請求項7所述的方法，其中所述第i個陣列組合的該第一陣列中的該特定部分包括所述第i個陣列組合的該第一陣列中的第2個元素至第N+1個元素。
- 如請求項7所述的方法，更包括： 依據所述第i個陣列組合的該第一陣列判定該些搬運命令序列中的第i個搬運命令序列。
- 如請求項1所述的方法，其中各該陣列組合包括一第一陣列及一第二陣列，且基於該些陣列組合判定該些搬運命令序列個別對應的該搬運成本的步驟包括： 對於該些陣列組合中的第i個陣列組合而言，基於所述第i個陣列組合的該第一陣列及該第二陣列判定對應於所述第i個陣列組合的一成本陣列，其中所述第i個陣列組合的該成本陣列包括多個特定元素， ，N為該執行中搬運命令及該些待執行搬運命令的總數； 將所述第i個陣列組合的該成本陣列的該些特定元素加總為對應於該些搬運命令序列中的第i個搬運命令序列的該搬運成本。
- 如請求項10所述的方法，更包括： 取得所述第i個陣列組合的該第一陣列的第j個元素，以及取得所述第i個陣列組合的該第二陣列的第j個元素； 取得所述第i個陣列組合的該第一陣列的所述第j個元素及所述第i個陣列組合的該第二陣列的所述第j個元素之間的絕對差值，以作為所述第i個陣列組合的該成本陣列的該些特定元素中的第j個特定元素，其中j為正整數，且 。
- 如請求項1所述的方法，其中基於各該搬運命令序列的該搬運成本從該些搬運命令序列中挑選該候選搬運命令序列的步驟包括： 從該些搬運命令序列中挑選具一最高搬運成本的一者作為該候選搬運命令序列。
- 一種搬運排程裝置，包括： 一儲存電路，其儲存一程式碼；以及 一處理器，其耦接該儲存電路並存取該程式碼以執行： 取得多個搬運命令，其中該些搬運命令包括一新搬運命令、多個待執行搬運命令及一執行中搬運命令，各該搬運命令經編碼有一編碼值； 基於各該搬運命令的該編碼值判定多個陣列組合，其中該些陣列組合分別對應於多個搬運命令序列； 基於該些陣列組合判定該些搬運命令序列個別對應的一搬運成本；以及 基於各該搬運命令序列的該搬運成本從該些搬運命令序列中挑選一候選搬運命令序列，並據以執行一物件搬運操作。
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- 2023-01-10 TW TW112100974A patent/TWI828512B/zh active
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