TWI827957B - 氣體傳輸裝置 - Google Patents

Abstract

一種氣體傳輸裝置，包含：本體，包含頂蓋、複數個連接件及底蓋，頂蓋及底蓋相互封蓋形成容置空間，頂蓋設有進氣端，複數個連接件分別堆疊設置於容置空間內，每個連接件分別具有中空開口，底蓋設有出氣端，連接件之中空開口與進氣端及出氣端相通；複數個致動單元，包含致動體堆疊設置於閥體上，且分別疊設於每個連接件之中空開口內，且致動單元之閥體對應到連接件之中空開口而形成一串聯架構；氣體由進氣端進入容置空間中，透過複數個致動單元之串聯架構傳輸並加壓氣體，使氣體由出氣端排出。

Description

氣體傳輸裝置

本案關於一種氣體傳輸裝置，尤指一種輸出壓力高、氣體流量大且靜音的氣體傳輸裝置。

目前於各領域中無論是醫藥、電腦科技、列印、能源等工業，產品均朝精緻化及微小化方向發展，其中微幫浦、噴霧器、噴墨頭、工業列印裝置等產品所包含用以傳輸流體的泵浦為其關鍵元件，是以，如何藉創新結構突破其技術瓶頸，為發展的重要內容。

隨著科技的日新月異，流體傳輸裝置的應用上亦愈來愈多元化，舉凡工業應用、生醫應用、醫療保健、電子散熱等等，甚至近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的踨影，可見泵浦已漸漸有朝向裝置微小化、流量極大化且靜音的趨勢，這些趨勢是傳統電動馬達泵所無法達成。

目前氣體傳輸裝置朝向輸出壓力高及氣體流量極大化的趨勢，然而，單單靠一單體的氣體傳輸裝置受限於微型化是較難達成，因此，如何產生輸出壓力高、氣體流量大且靜音的氣體傳輸裝置，為本案所研發的主要課題。

本案的主要目的係提供一種氣體傳輸裝置，其最主要結構設計就是要防止逆流，產生單向的流量，並且採以複數個致動單元串聯架構傳輸加壓，構成一輸出壓力高、氣體流量大且靜音的氣體傳輸裝置。

本案的一廣義實施態樣為一種氣體傳輸裝置，包含：一本體，包含一頂蓋、複數個連接件及一底蓋，該頂蓋及該底蓋相互封蓋形成一容置空間，且該頂蓋上設有一進氣端，複數個該連接件分別堆疊設置於該容置空間內，而每個該連接件分別具有一中空開口，又該底蓋上設有一出氣端，促使每個該連接件之該中空開口與該進氣端及該出氣端相通；以及複數個致動單元，每個該致動單元包含有一致動體堆疊設置於一閥體上，且分別疊設於每個該連接件之該中空開口內，且該致動單元之該閥體對應到該連接件之該中空開口而形成一串聯架構，該串聯架構起始端之該致動單元之該致動體對應到該頂蓋之該進氣端，該串聯架構終端之該致動單元之該閥體對應到該底蓋之該出氣端，並傳輸一氣體；藉此，該氣體得由該進氣端進入該容置空間中，依序透過複數個該致動單元之該串聯架構傳輸並加壓該氣體，促使該氣體再由該出氣端排出，構成一輸出壓力高及一氣體流量大之氣體傳輸。

100:薄型氣體傳輸裝置

1:本體

11:頂蓋

111:進氣端

12:連接件

12a:第一連接件

12b:第二連接件

120:容置空間

121:中空開口

122:側開口

13:底蓋

131:出氣端

2:致動單元

2a:第一致動單元

2b:第二致動單元

2c:第三致動單元

21:致動體

211:致動板件

211a:致動通孔

212:框架

212a:進氣腔室

213:致動組件

2131:進氣板

2131a:進氣孔

2131b:致動區

2131c:固定區

2132:壓電元件

2133:絕緣框架

2134:導電框架

2134a:電極

2134b:接腳

22:閥體

221:出氣板

221a:出氣孔

221b:凹部

222:閥片

222a:閥孔

223:閥體板件

223a:閥板通孔

d1:出氣孔的孔徑

d2:閥孔的孔徑

G:間距

第1A圖為本案氣體傳輸裝置的外觀示意圖。

第1B圖為本案氣體傳輸裝置的分解示意圖。

第2A圖為本案氣體傳輸裝置的致動單元外觀示意圖。

第2B圖為本案氣體傳輸裝置的致動單元分解示意圖。

第3A圖為本案氣體傳輸裝置的致動單元與閥體的相關構件剖面示意圖。

第3B圖為依照第3A圖中方框部分所視得致動單元與閥體的相關構件作動的放大示意圖1。

第3C圖為依照第3A圖中方框部分所視得致動單元與閥體的相關構件作動的放大示意圖2。

第4圖為本案氣體傳輸裝置的傳輸氣體作動流向剖面示意圖。

體現本案特徵與優點的實施例將在後段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的範圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。

請參閱第1A圖、第1B圖、第2A圖及第4圖所示，本案提供一種氣體傳輸裝置，包含一本體1、複數個致動單元2a、2b、2c。其中本體1包含一頂蓋11、複數個連接件12a、12b及一底蓋13，頂蓋11及底蓋13相互封蓋形成一容置空間120，且頂蓋11上設有一進氣端111，複數個連接件12a、12b分別堆疊設置於容置空間120內，而每個連接件12a、12b分別具有一中空開口121，又底蓋13上設有一出氣端131，促使每個連接件12a、12b之中空開口121與進氣端111及出氣端131相通；在本實施例中，容置空間120如第4圖所示，上起於頂蓋11之進氣端111下方，下止於底蓋13之出氣端131上方，並包含第一連接件12a之中空開口121與第二連接件12b之中空開口121。值得注意的是，連接件的數量可以隨設計需求加以調整，並不以2個為限。又，該本體1也包含複數個側開口122連通容置空間120，亦即該些側開口122可以分別連通頂蓋11之容置空間120、每個連接件12a、12b之中空開口121、底蓋13之容置空間120。

在本實施例中，上述複數個致動單元2a、2b、2c共3個，區分為第一致動單元2a、第二致動單元2b、第三致動單元2c。每個致動單元2包含有一致動體21堆疊設置於一閥體22上，且分別疊設於每個連接件12a、12b之中空開口121內，且致動單元2a、2b之閥體22對應到連接件12a、12b之中空開口121而形成一串聯架構，串聯架構起始端之第一致動單元2a之致動體21對應到頂蓋11之進氣端111，串聯架構終端之第三致動單元 2c之閥體22對應到底蓋13之出氣端131，並傳輸一氣體；藉此，氣體得由進氣端111進入容置空間120中，依序透過複數個致動單元2a、2b、2c之串聯架構傳輸並加壓氣體，促使氣體再由出氣端131排出；構成輸出壓力為250mmHg~450mmHg及氣體流量為1L/min~3.5L/min的輸出壓力高、氣體流量大且靜音的氣體傳輸裝置。值得注意的是，連接件的數量可以隨設計需求加以調整，並不以2個為限。

在本實施例中，3個致動單元2a、2b、2c區分為第一致動單元2a、第二致動單元2b、第三致動單元2c，複數個連接件12a、12b區分為第一連接件12a、第二連接件12b，其中第一致動單元2a之閥體22對應到第一連接件12a之中空開口121，並與第二致動單元2b之致動體21相連通，而第二致動單元2b之閥體22對應到第二連接件12b之中空開口121，並與第三致動單元2c之致動體21相連通構成串聯架構，而第一致動單元2a之致動體21對應到頂蓋11之進氣端111，串聯架構終端之第三致動單元2c之閥體22對應到底蓋13之出氣端131，氣體得由進氣端111進入容置空間120中，透過第一致動單元2a、第二致動單元2b、第三致動單元2c串聯架構傳輸加壓氣體，促使氣體再由出氣端131排出；構成輸出壓力為250mmHg~450mmHg及氣體流量為1L/min~3.5L/min的輸出壓力高、氣體流量大且靜音的氣體傳輸裝置。

當然，本案氣體傳輸裝置朝向裝置微小化、流量極大化且靜音的趨勢，在設計考量下為採用本體1具有24~26mm之寬度，24~26mm之長度，不含進氣端111及出氣端131高度為7~8mm之高度，來構成氣體傳輸裝置。在本實施例中，本案採用本體1最佳寬度為25mm，最佳長度為25mm，不含進氣端111及出氣端131高度之最佳高度為7.5mm來構成氣體傳輸裝置。

再請閱第2A圖、第2B圖及第3A圖至第3C圖所示，上述的致動單元2、2a、2b、2c包含有一致動體21及一閥體22。其中致動體21包含一致動板件211、一框架212、一致動組件213；致動板件211堆疊設置於閥體22上，而致動板件211具有複數個致動通孔211a；框架212堆疊設置於致動板件211上；以及致動組件213為一矩形型態，堆疊設置於框架212上，包含一進氣板2131、一壓電元件2132、一絕緣框架2133及一導電框架2134；進氣板2131具有複數個進氣孔2131a，其中進氣板2131的平面上透過進氣孔2131a位置定義出一致動區2131b及一固定區2131c，致動區2131b為進氣孔2131a所包圍，而進氣孔2131a外圍為固定區2131c；壓電元件2132設置於進氣板2131的致動區2131b上；絕緣框架2133設置於進氣板2131的固定區2131c上；以及導電框架2134設置於絕緣框架2133上，導電框架2134具有一電極2134a及一接腳2134b，接腳2134b接觸壓電元件2132，電極2134a對外連接一導線，而進氣板2131本身亦為導電材料與壓電元件2132電接觸，且框架212供另一導線連接，即可完成致動組件213的驅動迴路。如此本案氣體傳輸裝置可透過多組的兩導線，分別由如第1圖所示之複數個側開口122各自連通一組兩導線，使多組兩導線分別與第一致動單元2a、第二致動單元2b、第三致動單元2c連接，再將複數個側開口122予以封膠密封，如此多組的兩導線外接於一驅動電路上，即可使本案氣體傳輸裝置透過驅動電路發出驅動訊號(驅動電壓及驅動頻率)，藉由多組的兩導線傳輸驅動訊號給予第一致動單元2a、第二致動單元2b、第三致動單元2c連接，其中一條導線通過導電框架2134的電極2134a再由接腳2134b傳輸給壓電元件2132，以及另一條導線通過框架212，再通過進氣板2131與壓電元件2132貼合接觸而傳輸給壓電元件2132，致使壓電元件2132接收驅動訊號而形變，進而帶動 致動組件213產生上下位移的驅動(如第3B圖至第3C圖所示)。值得注意的是，致動單元2的數量與導線的組數可以隨設計需求加以調整，並不以3組為限。

在本案具體實施例中，如第3A圖至第3C圖所示，當壓電元件2132接收驅動訊號(驅動電壓及驅動頻率)，透過逆壓電效應由電能轉換為機械能，根據驅動電壓的大小來控制壓電元件2132的變形量，以及操作驅動頻率來控制壓電元件2132的變形頻率，由壓電元件2132的變形帶動致動組件213開始傳輸氣體。

上述的致動組件213的形狀為矩形型態，在本案具體實施例中，致動組件213的形狀為正方形，是以本案在相同的裝置外圍尺寸下，致動組件213採用正方形外觀設計，相對其所構成組件的進氣板2131、壓電元件2132、絕緣框架2133、導電框架2134也是採用正方形，其相較於傳統習知圓形的致動組件的設計，明顯具有省電的優勢，且其消耗功率的比較係如下表一所示：

是以，致動組件213係為在共振頻率下操作的電容性負載，其消耗功率會隨頻率的上升而增加，然而由於正方形設計的致動組件213的共振頻 率明顯較圓形的致動組件低，故其相對的消耗功率亦明顯較低，亦即本案所採用正方形設計的致動組件213相較於以往的圓形致動組件的設計，實具有省電優勢。

再請閱第2A圖、第2B圖及第3A圖至第3C圖所示，上述的閥體22包含一出氣板221、一閥片222、一閥體板件223依序堆疊設置於容置空間120內。其中閥片222位於出氣板221及閥體板件223之間，出氣板221具有複數個出氣孔221a，閥體板件223具有複數個閥板通孔223a，且閥板通孔223a與致動板件211之致動通孔211a對應，閥片222具有複數個閥孔222a，且閥孔222a與閥板通孔223a錯位設置，閥孔222a與出氣孔221a對應設置，促使閥體22所構成閥板通孔223a、閥孔222a及出氣孔221a位於被進氣板2131之進氣孔2131a所包圍的致動區2131b下，當壓電元件2132帶動進氣板2131時，透過閥板通孔223a與閥孔222a之間錯位設置；當氣流為正向時，閥體22以打開流路的操作，當氣流為逆向時，閥體22以關閉流路的操作，具有防止逆流而產生單向流量的作用；且於本實施方式中，出氣板221、閥體板件223皆為金屬板，閥片222為一柔性薄膜，厚度大約0.4~0.6微米(μm)，最佳為0.5微米(μm)，本實施例較佳閥片222為聚醯亞胺薄膜(Polyimide Film)，但不以此為限。

上述的閥孔222a的位置與閥板通孔223a相互錯位，使閥片222得以封閉閥板通孔223a，而閥孔222a的位置與出氣孔221a相互對應，且閥孔222a的孔徑d2大於或等於出氣孔221a的孔徑d1，如此出氣孔的孔徑d1設計，可使閥體22打開流路時，大流量的氣流由閥孔222a再經過出氣孔221a快速排出；又出氣板221具有一由表面凹陷形成一深度的凹部221b，而閥片222覆蓋於出氣板221上，致使閥片222與出氣板221的凹部221b保持一間距G，此間距G與出氣板221的厚度之間的比例為1：2至2：3之間， 大約是40~70微米(μm)，在本實施例中，最佳較是60微米(μm)；如此閥體22設計，當閥片222偏置朝向閥體板件223方向時，致使閥片222得以封閉閥板通孔223a，閥體22以關閉流路的方式動作(如第3B圖所示)；當閥片222偏置朝向出氣板221方向時，閥片222得以在間距G中振動氣流，且氣流(箭頭所指的路徑)通過閥孔222a再快速經過出氣孔221a排出，閥體22以打開流路的方式動作(如第3C圖所示)。藉此閥體22設計得以防止逆流而產生單向氣流的大流量控制作用。

又如第2A圖至第2B圖所示，上述的致動板件211固設於閥體板件223上，且致動板件211的厚度大於閥體板件223，致動板件211具有複數個致動通孔211a，致動通孔211a的數量、位置、孔徑皆與閥板通孔223a對應，於本實施例中，致動板件211為金屬板，致動通孔211a的孔徑與閥板通孔223a的孔徑相同；上述的進氣板2131具有複數個進氣孔2131a，進氣孔2131a呈漸縮狀，可提升進氣效率，及具有易進難出防止氣體回流的效果；此外，上述進氣孔2131a排列形狀可為矩形、正方形、圓形等；上述的壓電元件2132的形狀為正方形，壓電元件2132設置於進氣板2131的致動區2131b上，壓電元件2132與進氣板2131的致動區2131b相對應。於本實施例中，進氣孔2131a依正方形排列時，致動區2131b被定義為正方形，壓電元件2132亦為正方形，且如上所述，進氣孔2131a排列形狀可為矩形、正方形、圓形等，致動區2131b隨進氣孔2131a的排列改變其形狀，壓電元件2132亦與其形狀對應。

再參閱第3A圖至第3C圖及第4圖所示，上述之致動組件213之壓電元件2132、進氣板2131堆疊固設於框架212上，並使致動組件213、框架212、致動板件211之間形成一進氣腔室212a，而閥體板件223的閥板通孔223a及致動板件211的致動通孔211a皆位於進氣板2131的致動區2131b 的垂直投影區下，與致動區2131b垂直對應，如第3B圖所示，壓電元件2132接收到驅動訊號後開始產生形變，帶動進氣板2131向上彎曲，此時進氣腔室212a的容積變大，並形成一負壓，而使閥片222被吸引向上且封閉閥體板件223的閥板通孔223a，此時如第4圖所示，本體1的進氣端111側的氣體被吸入經容置空間120進入第一致動單元2a的致動組件213內，得以進入進氣腔室212a內；再請參閱第3C圖所示，壓電元件2132接收到的驅動訊號又產生形變，帶動進氣板2131向下彎曲，壓縮進氣腔室212a，同時推動進氣腔室212a內部的氣體分別通過致動板件211的致動通孔211a以及閥體板件223的閥板通孔223a而向下傳輸，致使動能由致動組件213向下傳遞而傳到間距G時，讓動能推動閥片222位移，讓閥片222產生脫離閥板通孔223a而抵靠於出氣板221，進而打開流路動作，將氣體通過閥孔222a向下傳輸至出氣板221的出氣孔221a，再通過出氣孔221a導入第一連接件12a之中空開口121中，通過第一連接件12a之中空開口121再進入第二致動單元2b；同樣，第二致動單元2b的致動組件213的壓電元件2132接收到驅動訊號後開始產生形變，同樣傳輸作動，將第一連接件12a之中空開口121中氣體被吸入進入第二致動單元2b的致動組件213內，得以進入進氣腔室212a內，再傳輸氣體通過閥孔222a向下傳輸至出氣板221的出氣孔221a，再通過出氣孔221a再加壓導入第二連接件12b之中空開口121中，通過第二連接件12b之中空開口121再進入第三致動單元2c；最後，第三致動單元2c的致動組件213的壓電元件2132接收到驅動訊號後開始產生形變，同樣傳輸作動，將第二連接件12b之中空開口121中氣體被吸入進入第三致動單元2c的致動組件213內，得以進入進氣腔室212a內，再傳輸氣體通過閥孔222a向下傳輸至出氣板221的出氣孔221a，再通過出氣孔221a再加壓導入通過頂蓋11的容 置空間120並由出氣端131排出。如此完成透過第一致動單元2a、第二致動單元2b、第三致動單元2c串聯架構傳輸加壓氣體，且每個致動單元2a、2b、2c以一致動體21搭配一閥體22之設計，得以防止逆流而產生單向氣流的大流量控制作用，即可構成輸出壓力為250mmHg~450mmHg及氣體流量為1L/min~3.5L/min的輸出壓力高、氣體流量大且靜音的氣體傳輸裝置的傳輸作動。

此外，本案具體實施例中，出氣板221、閥片222、閥體板件223的所構成閥體22，在設計上，已考量閥片222為一柔性薄膜，厚度大約0.4~0.6微米(μm)，且閥片222與出氣板221的凹部221b所保持一間距G落在大約是40~70微米(μm)範圍內，因此在致動組件213的壓電元件2132維持在20~22千赫茲(kHz)的工作頻率，最佳是在21千赫茲(kHz)的工作頻率下，維持壓差30微米(μm)波長的振盪，匹配3微米(μm)的閥片222設置在出氣板221的凹部221b所保持40~70微米(μm)範圍內間距G，即可在此間距G內振盪形成一疏密波的單向引流的防止逆流最佳效果，由此影響可獲得最大流量，使隨著空氣流動通過閥體22而發生的壓降最小化對於最大化的閥性能而言是重要的。

由上述說明可知，本案氣體傳輸裝置透過一外接的驅動電路發出驅動訊號(驅動電壓及驅動頻率)，藉由多組的兩導線傳輸驅動訊號給予第一致動單元2a、第二致動單元2b、第三致動單元2c連接而驅動操作；當然，在另一個實施例中，驅動電路也可以設置於容置空間120中，與複數個致動單元作各別獨立整合封裝而電性連接予以控制驅動；或者在另一實施例中，驅動電路也可以設置於容置空間120或中空開口121中，與複數個致動單元作系統整合封裝(SIP封裝)而電性連接予以控制驅動。

綜上所述，本案所提供的氣體傳輸裝置，透過閥體的出氣板、閥片、閥體板件、搭配方形的致動組件依序堆疊搭配應用構成一致動單元，當致動組件的壓電元件帶動進氣板時，能夠快速將氣體向下傳輸，再透過閥板通孔與閥孔之間錯位處理，避免氣體回流，具有大流量及避免氣體回流的結構，當氣流為正向時，閥體以打開流路的方式動作，當氣流為逆向時，閥體以關閉流路的方式動作，藉此防止逆流，產生單向氣流，能夠提高氣體傳輸量，大幅提高氣體流量，並且採以複數個致動單元串聯架構傳輸加壓之結構設計，即能構成一輸出壓力高、氣體流量大且靜音的氣體傳輸裝置，極具產業利用性。

本案得由熟知此技術的人士任施匠思而為諸般修飾，然皆不脫如附申請專利範圍所欲保護者。

100:薄型氣體傳輸裝置

1:本體

11:頂蓋

111:進氣端

12a:第一連接件

12b:第二連接件

120:容置空間

121:中空開口

13:底蓋

131:出氣端

2a:第一致動單元

2b:第二致動單元

2c:第三致動單元

Claims (23)

1. 一種氣體傳輸裝置，包含：一本體，包含一頂蓋、複數個連接件及一底蓋，該頂蓋及該底蓋相互封蓋形成一容置空間，且該頂蓋上設有一進氣端，複數個該連接件分別堆疊設置於該容置空間內，而每個該連接件分別具有一中空開口，又該底蓋上設有一出氣端，促使每個該連接件之該中空開口與該進氣端及該出氣端相通；以及複數個致動單元，每個該致動單元包含有一致動體堆疊設置於一閥體上，且分別疊設於每個該連接件之該中空開口內，且該致動單元之該閥體對應到該連接件之該中空開口而形成一串聯架構，該串聯架構起始端之該致動單元之該致動體對應到該頂蓋之該進氣端，該串聯架構終端之該致動單元之該閥體對應到該底蓋之該出氣端，並傳輸一氣體，其中該閥體包含一閥片及一閥體板件依序堆疊設置於該容置空間內，其中該閥體板件具有複數個閥板通孔，該閥片具有複數個閥孔，且該閥孔與該閥板通孔錯位設置，其中該致動體包含：一致動板件，堆疊設置於該閥體上，而該致動板件具有複數個致動通孔；一框架，堆疊設置於該致動板件上；以及一致動組件，為一矩形型態，堆疊設置於該框架上，包含：一進氣板，具有複數個進氣孔，其中該進氣板的平面上透過該進氣孔位置定義出一致動區及一固定區，該致動區為該進氣孔所包圍，而該進氣孔外圍為該固定區；一壓電元件，設置於該進氣板的該致動區上；一絕緣框架，設置於該進氣板的該固定區上；以及一導電框架，設置於該絕緣框架上； 藉此，該氣體得由該進氣端進入該容置空間中，依序透過複數個該致動單元之該串聯架構傳輸並加壓該氣體，促使該氣體再由該出氣端排出。
2. 如請求項1所述的氣體傳輸裝置，其中複數個該致動單元區分為一第一致動單元、一第二致動單元、一第三致動單元，複數個該連接件區分為一第一連接件、一第二連接件，其中該第一致動單元之該閥體對應到該第一連接件之該中空開口，並與該第二致動單元之該致動體相連通，而該第二致動單元之該閥體對應到該第二連接件之該中空開口，並與該第三致動單元之該致動體相連通構成該串聯架構，而該第一致動單元之該致動體對應到該頂蓋之該進氣端，該串聯架構終端該第三致動單元之該閥體對應到該底蓋之該出氣端，該氣體得由該進氣端進入該容置空間中，透過該第一致動單元、該第二致動單元、該第三致動單元串聯架構傳輸加壓該氣體，促使該氣體再由該出氣端排出。
3. 如請求項2所述的氣體傳輸裝置，其中該本體具有24~26mm之寬度，24~26mm之長度，不含該進氣端及該出氣端高度為7~8mm之高度。
4. 如請求項2所述的氣體傳輸裝置，其中該本體最佳寬度為25mm，最佳長度為25mm，不含該進氣端及該出氣端高度之最佳高度為7.5mm。
5. 如請求項2所述的氣體傳輸裝置，其輸出壓力為250mm Hg~450mm Hg。
6. 如請求項2所述的氣體傳輸裝置，其氣體流量為1L/min~3.5L/min。
7. 如請求項1所述的氣體傳輸裝置，其中該閥體包含一出氣板與該閥片及該閥體板件依序堆疊設置於該容置空間內，而該閥片位於該出氣板及該閥體板件之間，其中該出氣板具有複數個出氣孔，該閥體板件之該閥板通孔與該致動板件之該致動通孔對應，該閥片之該閥孔與該出氣孔對應設置，促使該閥體所構成該閥板通孔、該閥孔及該出氣孔位於被該 進氣板之該進氣孔所包圍的該致動區下，當該壓電元件帶動該進氣板時，透過該閥板通孔與該閥孔之間錯位設置，當氣流為正向時，該閥體以打開流路的操作，當氣流為逆向時，該閥體以關閉流路的操作。
8. 如請求項7所述的氣體傳輸裝置，其中該出氣板具有一由表面凹陷形成一深度的一凹部，而該閥片覆蓋於該出氣板上，致使該閥片與該出氣板的該凹部保持一間距。
9. 如請求項8所述的氣體傳輸裝置，其中該間距與該出氣板的厚度之間的比例為1：2至2：3之間。
10. 如請求項8所述的氣體傳輸裝置，其中該間距為40~70微米。
11. 如請求項8所述的氣體傳輸裝置，其中該間距為60微米。
12. 如請求項7所述的氣體傳輸裝置，其中該閥片為一柔性薄膜。
13. 如請求項7所述的氣體傳輸裝置，其中該閥片為一聚醯亞胺薄膜。
14. 如請求項7所述的氣體傳輸裝置，其中該閥片的厚度為0.4~0.6微米。
15. 如請求項7所述的氣體傳輸裝置，其中該閥孔的孔徑大於該出氣孔的孔徑。
16. 如請求項7所述的氣體傳輸裝置，其中該閥孔的孔徑等於該出氣孔的孔徑。
17. 如請求項7所述的氣體傳輸裝置，其中該閥板通孔的孔徑與該致動通孔的孔徑相同。
18. 如請求項7所述的氣體傳輸裝置，其中該進氣孔呈漸縮狀。
19. 如請求項7所述的氣體傳輸裝置，其中該出氣板、該閥體板件、該致動板件皆為金屬板。
20. 如請求項6所述的氣體傳輸裝置，其中該致動組件的該壓電元件維持在20~22千赫茲的工作頻率。
21. 如請求項6所述的氣體傳輸裝置，其中該致動組件的該壓電元件維 持在21千赫茲的工作頻率。
22. 如請求項1所述的氣體傳輸裝置，進一步包含有一驅動電路，設置於該容置空間中，與複數個該致動單元作各別獨立整合封裝而電性連接予以控制驅動。
23. 如請求項1所述的氣體傳輸裝置，進一步包含有一驅動電路，設置於該容置空間或該中空開口中，與複數個該致動單元作系統整合封裝而電性連接予以控制驅動。

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