TWI827735B - 減量 - Google Patents

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Abstract

本發明揭示一種減量方法。該方法包括：將含有一全氟化合物之一廢氣流以及燃燒試劑及一稀釋劑一起供應給一減量設備之一燃燒腔室；藉由使該等燃燒試劑反應而加熱該燃燒腔室之一燃燒區以執行該全氟化合物至穩定副產物之減量，該稀釋劑經選擇以在該減量期間保持惰性。以此方式，在該燃燒腔室中在該等燃燒試劑之燃燒期間使該全氟或其他化合物減量而不產生非所要化合物，諸如例如NOx或其他化合物。

Description

減量
本發明之領域係關於一種減量方法。
用於執行減量之減量設備已知且通常用於處理來自用於(例如)半導體或平板顯示器製造產業中之一製造處理工具之一廢氣流。在此製造期間，殘餘全氟化合物(PFC)及其他化合物存在於自程序工具泵抽之廢氣流中。PFC難以自廢氣移除且將其等釋放至環境中係非所要的，此係因為已知其等具有相對高的溫室活性。
已知減量設備使用燃燒以自廢氣流移除PFC及其他化合物。通常言之，廢氣流係含有PFC及其他化合物之一氮氣流。將一燃料氣體與廢氣流混合且將該氣流混合物輸送至由一多孔氣體燃燒器之出口表面橫向包圍之一燃燒腔室中。將燃料氣及空氣同時供應至多孔燃燒器以影響出口表面處之無焰燃燒，其中行進通過多孔燃燒器之空氣之量設法足以不僅消耗至燃燒器之燃料氣供應而且亦消耗被注射至燃燒腔室中之氣流混合物中之全部可燃物。
雖然存在用於處理廢氣流之技術，但其等各具有其等自身之缺點。因此，期望提供用於處理一廢氣流之一經改良技術。
根據一第一態樣，提供一種方法，其包括：將含有一全氟化合物之一廢氣流以及燃燒試劑及一稀釋劑一起供應給一減量設備之一燃燒腔室；藉由使該等燃燒試劑反應而加熱該燃燒腔室之一燃燒區以執行該全氟化合物至穩定副產物之減量，該稀釋劑經選擇以在該減量期間保持惰性。
第一態樣辨識使一些化合物減量之一問題係在減量期間存在之氮氣可反應以產生NOx或其他化合物，日益期望在一減量設備之排氣中減少NOx或其他化合物。
因此，提供一種方法。該方法可係操作一減量設備之一方法。該方法可包括以下步驟：將待處理之一廢氣流供應或提供給一燃燒或反應腔室。廢氣流可含有全氟或其他化合物。亦可將用於執行或產生燃燒之試劑供應給該燃燒腔室。亦可將一稀釋劑或稀釋液提供給燃燒腔室。該方法可包括藉由使燃燒試劑一起反應以執行燃燒而加熱或增加燃燒區之溫度。加熱可使全氟或其他化合物減量以將該等化合物分解為所得副產物。稀釋劑可在全氟或其他化合物之減量期間保持惰性或不反應。以此方式，在燃燒腔室中在燃燒試劑之燃燒期間使全氟或其他化合物減量而不產生非所要化合物(諸如(例如) NOx或其他化合物)。
在一項實施例中，該稀釋劑經選擇以在該減量期間在該燃燒區中不改變或不反應。因此，該稀釋劑可在燃燒期間未能反應且保持不改變。
在一項實施例中，該加熱使該燃燒區之一溫度升高至大於約1000°C。
在一項實施例中，該加熱使該燃燒區之一溫度升高至大於約1300°C。
在一項實施例中，該減量設備包括用於將一氣流注射至該燃燒腔室中之一噴嘴且該供應包括將該廢氣流供應給該噴嘴。因此，可將該廢氣流與來自一噴嘴之該氣流一起注射至該燃燒腔室中。
在一項實施例中，該供應包括將該等燃燒試劑及該稀釋劑供應給該噴嘴。因此，該等燃燒試劑及/或該稀釋劑亦可由該噴嘴提供至該燃燒腔室中。
在一項實施例中，該減量設備包括供應該噴嘴之一泵且該供應包括供應該稀釋劑作為一泵沖洗氣。因此，該稀釋劑亦可被提供為用於將該廢氣流供應至該噴嘴之一泵之一沖洗氣。
在一項實施例中，該減量設備包括至少部分界定該燃燒腔室用於將一氣體輸送至該燃燒腔室中之一多孔套筒且該供應包括將該等燃燒試劑及該稀釋劑供應給該多孔套筒。因此，該減量設備可利用一多孔燃燒器，可透過該多孔燃燒器將該等燃燒試劑及該稀釋劑提供至該燃燒腔室中。
在一項實施例中，該方法包括調整該稀釋劑對該等燃燒試劑之流速之一比率以提供該廢氣流中之至少一個化合物之一選定最小破壞率效率。因此，可調整、改變或選擇該稀釋劑對該等燃燒試劑之該比率以達成該廢氣流中之一化合物之一所要破壞率效率。
在一項實施例中，該等試劑包括一燃料及氧化劑。
在一項實施例中，該燃料包括碳氫化合物、甲烷、丙烷、丁烷及/或類似者。
在一項實施例中，該氧化劑包括氧氣、臭氧及/或類似者。
在一項實施例中，該稀釋劑包括一稀有氣體及/或二氧化碳。
在一項實施例中，該稀釋劑包括一稀有氣體及二氧化碳之一混合物。
在一項實施例中，該稀釋劑包括氬氣及二氧化碳之一混合物。
在一項實施例中，該稀釋劑包括呈約80體積%之氬氣對約20體積%之二氧化碳之一比率之氬氣及二氧化碳之一混合物。
在一項實施例中，該氧化劑以約35體積%之氧化劑對約65體積%之二氧化碳之一比率與二氧化碳混合。
在一項實施例中，該氧化劑以約37.5體積%之氧化劑對約63.5體積%之二氧化碳之一比率與二氧化碳混合。
在一項實施例中，該氧化劑以約20體積%之氧化劑對約80體積%之氬氣之一比率與氬氣混合。
在一項實施例中，該燃料以約8體積%之燃料對約92體積%之經組合氧化劑及二氧化碳之一比率與經組合氧化劑及二氧化碳混合。換言之，將燃料(諸如甲烷)添加至二氧化碳及氧氣混合物，使得燃料形成總量之約8% (即，CH4 /[CH4 + O2 + CO2 ] = 8%)。將瞭解，針對較高碳燃料(諸如丙烷)，燃料之比率將較低以達成類似燃燒條件。
在一項實施例中，該燃料以約4.5體積%之燃料對約95.5體積%之經組合氧化劑及氬氣之一比率與經組合氧化劑及氬氣混合。換言之，將燃料(諸如甲烷)添加至氬氣及氧氣混合物，使得燃料形成總量之約4.5% (即，CH4 /[CH4 + O2 + Ar] = 4.5%)。將瞭解，針對較高碳燃料(諸如丙烷)，燃料之比率將較低以達成類似燃燒條件。
在一項實施例中，該方法包括自該燃燒腔室之一排氣流回收該稀釋劑之至少一些。
在一項實施例中，該方法包括再循環該稀釋劑。
在一項實施例中，該方法包括將該稀釋劑以及該氧化劑及該燃料之至少一者作為一污染物一起再循環至該燃燒腔室。
在隨附獨立及附屬技術方案中闡述進一步特定及較佳態樣。附屬技術方案之特徵可視需要且以除技術方案中明確闡述之組合之外之組合與獨立技術方案之特徵組合。
在將一設備特徵描述為可操作以提供一功能之情況下，應瞭解，此包含提供該功能或經調適或經組態以提供該功能之一設備特徵。
實施例之描述
在以任何更多細節論述實施例之前，將首先提供一概述。實施例提供一配置，藉此將正常存在於對一廢氣流執行減量之一燃燒或反映腔室中且將在燃燒腔室內產生一或多個非所要副產物之氮氣或另一化合物代替性地由一惰性化合物替換，該惰性化合物用作一稀釋劑以保持燃燒腔室內之化學及熱條件以維持用於對廢氣流執行減量而不產生非所要副產物之適當條件。例如，在減量期間避免氮氣防止NOx之產生，此係因為減量將通常發生在其中氮氣將容易與氧氣反應以產生NOx之溫度下。藉由供應在操作條件下在燃燒腔室內通常為惰性或不反應之一稀釋劑，不形成非所要NOx。藉由調整稀釋劑之組合物，廢氣流中之化合物之破壞率效率(DRE)增加而NOx產生被減少、最小化或消除。特定言之，一惰性(通常稀有)氣體及二氧化碳之一混合物有助於減少NOx產生且最大化廢氣流中之化合物之破壞率效率。因此，自火焰前端移除氮氣。一惰性氣體(諸如氬氣或二氧化碳)用作一泵沖洗而非氮氣及/或氬氣/氧氣/CH4 及/或二氧化碳/氧氣/CH4 預混料用於燃燒器上而非空氣(其含有氮氣)。二氧化碳/氬氣及氧氣可自排氣分離且回收以重用。減量設備
圖1繪示根據一項實施例之一減量設備(通常10)。減量設備10包括處理通常藉由一真空泵抽系統(未展示)自一製造程序工具(諸如一半導體或平板顯示器程序工具)泵抽之一廢氣流(其含有一沖洗氣)之一輻射式燃燒器。在入口20處接收廢氣流。將廢氣流自入口20輸送至一噴嘴30，該噴嘴30將廢氣流注射至一圓柱形燃燒腔室40中。各噴嘴30定位於形成於界定燃燒腔室40之一上表面或入口表面之一陶瓷頂板50中之一各自孔內。氧化劑(在此實例中，氧氣)隨著其自入口20被輸送至噴嘴30而與廢氣流混合。將一燃料氣輸送至包圍噴嘴30之一同心導管以作為一包圍簾遞送至燃燒腔室40中。亦經由定位於噴嘴30內之一同心噴槍90輸送一燃料氣以作為一注射遞送至燃燒腔室40中。
燃燒腔室40具有由一多孔燃燒器元件60 (諸如EP 0 694 735中描述之多孔燃燒器元件)之一出口表面界定之側壁。燃燒器元件60係圓柱形的且被保持於一圓柱形外殼70內。一充氣室體積80經界定於燃燒器元件60之一入口表面與圓柱形外殼70之間。經由一或多個入口噴嘴(未展示)將燃料氣(諸如天然氣或碳氫化合物)以及氧化劑及沖洗氣之一混合物引入至充氣室體積80中。燃料氣以及氧化劑及沖洗氣之混合物自燃燒器元件之入口表面行進至燃燒器元件之出口表面以在燃燒腔室40內進行燃燒。
變動燃料氣以及氧化劑及沖洗氣之混合物之比率以將燃燒腔室40內之溫度變動至對於待處理之廢氣流適當之溫度。針對一些減量程序，燃燒腔室40內之操作溫度在約800°C至約900°C下開始。然而，針對其他減量程序，亦可將溫度設定為約1300°C至約1500°C。在此等溫度下，存在於燃燒腔室40中之氮氣可反應以產生NOx。又，調整將燃料氣以及氧化劑及沖洗氣之混合物引入至充氣室體積80中之速率，使得混合物將在燃燒器元件60之出口表面處燃燒而無可見火焰。將來自燃燒腔室之排氣排放至一下游冷卻腔室(未展示)中。
因此，透過入口20接收且由噴嘴30提供至燃燒腔室40之廢氣流在由燃料氣及氧化劑之混合物加熱之燃燒腔室內燃燒，該混合物在燃燒器元件60之出口表面附近燃燒且形成自噴嘴30延伸之一火焰。此燃燒引起燃燒腔室之加熱且提供燃燒產物，諸如氧氣(取決於經提供至混合腔室40之空氣/燃料混合物[CH4 、C3 H8 、C4 H10 ]，通常在7.5%至10.5%之一範圍內)。此加熱及燃燒產物與燃燒腔室40內之廢氣流反應以清潔廢氣流。例如，可在廢氣流內提供SiH4 及NH3 ，其與燃燒腔室40內之O2 反應以產生SiO2 、N2 、H2 O、NOx 。類似地，可在廢氣流內提供N2 、CH4 、C2 F6 ，其與燃燒腔室40內之O2 反應以產生CO2 、HF、H2 O。經燃燒廢氣流自減量設備10排出且包括經處理氣流。現有操作
在現有操作期間，供應給廢氣流之沖洗氣係氮氣。當操作減量設備10 (具有具備一6”直徑及3”長度之四個入口20)時，使用含有50 l/min之N2 之廢氣流導致43 ppm之NOx及94.2%之一CF4 DRE。用氬氣 替換
在一項實施例中，用氬氣(或其他稀有氣體)替換來取代氮氣作為沖洗氣。圖2至圖5展示在變動預混料O2 (圖2)、變動噴槍CH4 (圖3)、氬氣流(圖4)及簾CH4 (圖5)之情況下CF4 DRE及NOx產生之改變。特定言之，圖2展示預混料O2 流對CF4 破壞及NOx形成之影響，其中氬氣為50 l/min，CF4 為1 l/min，簾CH4 為3 l/min且噴槍CH4 為10 l/min；圖3展示噴槍CH4 流對CF4 破壞及NOx形成之影響，其中氬氣為50 l/min，CF4 為1 l/min，簾CH4 為3 l/min且預混料O2 為15 l/min；圖4展示氬氣沖洗流對CF4 破壞及NOx形成之影響，其中CF4 為1 l/min，簾CH4 為3 l/min，噴槍CH4 為6 l/min且預混料O2 為15 l/min；圖5展示簾CH4 對CF4 破壞及NOx形成之影響，其中氬氣為55 l/min，CF4 為1 l/min，CH4 為6 l/min且預混料O2 為15 l/min。如在圖4中尤其可見，當使用氬氣(或其他稀有氣體)時，最佳化減量設備10之操作條件導致NOx之高達75%之一減少。若全部流(泵沖洗、CF4 、注射CH4 、簾CH4 、注射02 )保持恆定，則當使用氬氣(或其他稀有氣體)時之NOx產生稍微高於使用氮氣作為沖洗氣之情況，但CF4 破壞效率實質上改良，從而指示在火焰前端處之NOx之產生在上游氮氣(來自程序氣體或廢氣流)與下游氮氣(在輻射式燃燒器燃燒副產物中)之間無區別。當使用氬氣(或其他稀有氣體)而非氮氣時，維持在使用氮氣時達成之DRE (藉由維持一類似火焰溫度)所需之注射CH4 流速之改變通常與氬氣(或其他稀有氣體)相對於氮氣之Cp (恆定壓力下之熱容量)之比率成比例地變動。因此，若假定CF4 之DRE提供火焰溫度之一指示，則針對一類似火焰溫度，用氬氣替換氮氣且調整注射流速導致NOx排放之約75%之一減少。因此，辨識氬氣及氮氣之比熱容之比率係0.72，注射CH4 及02 流以一逐步方式減少，以95%之CF4 DRE為目標。全部其他流保持恆定。結果係相較於現有操作條件，NOx的近似5倍減少。因此，已證實，雖然未完全消除NOx，但使用氬氣作為一惰性氣體沖洗給出NOx排放之一實質減少以及燃料及氧氣之消耗之一適度減少。
當操作減量設備10 (具有具備一6”直徑及3”長度之四個入口20)時，使用含有50 l/min之Ar之廢氣流導致61 ppm之NOx及98.3%之一CF4 DRE。因此，可見，氬氣之存在改良DRE，但導致NOx之量之一增加。此係因為氬氣之比熱容不同於氮氣之比熱容。Ar之Cp (J.mol-1.K-1)係0.71x N2 之Cp，此改良減量。相較於N2 之1.4，Ar之Cp/Cv = γ係1.67，此對於真空泵不利。然而，相較於上文描述之使用N2 之現有操作，藉由最佳化Ar之注射條件導致NOx排放之80%之一減少。用二氧化碳替換
另一所關註惰性氣體係二氧化碳。CO2 容易可用且比氬氣更便宜。例如，每m3 之典型當前散裝氣體價格係：N2 $0.16；CO2 $0.72；Ar $1.09。此外，二氧化碳應在真空泵中表現更佳，此係因為針對單原子氣體(諸如氬氣)，比率Cp/Cv或γ高，從而導致泵抽機構內之顯著壓縮熱。因此，使用氬氣可導致泵之過熱但此在使用二氧化碳之情況下將較不可能。在實施例中，用二氧化碳替換來取代氮氣作為沖洗氣。
在一項實施例中，在標準注射條件(針對50 l/min氮氣沖洗)下，當操作減量設備10 (具有具備一6”直徑及3”長度之四個入口20)時，使用含有50 l/min之CO2 之廢氣流導致19 ppm之NOx及12%之一CF4 DRE。
在一項實施例中，使用25 l/min之CO2 導致38 ppm之NOx及90%之一CF4 DRE。在另一實施例中，按比例調整注射條件以給出使用含有40 l/min之CO2 以及40 l/min之O2 及22 l/min之CH4 (此導致40 ppm之NOx及98%之一CF4 DRE)之一等效燃燒速度。在一進一步實施例中，O2 保持為40 l/min，但CH4 減少至20 l/min，此導致25 ppm之NOx及95%之CF4 DRE。按照比熱容及燃燒速度考量，此等可使用約為氮氣之流速之2倍及氬氣之流速之3.6倍之流速進一步最佳化。因此，可見，用CO2 替換亦導致減少之NOx形成，但以增加之CH4 及O2 使用為代價，廣泛地與N2 、Ar及CO2 之比熱容成比例。
當使用CO2 取代泵沖洗時，獲得類似結果(高CF4 DRE及低NOx排放)，但需要經注射甲烷及氧氣之顯著更高流(氮氣所需之流速之至少兩倍)。此等較高流與包含CO2 之比熱容與CH4 /CO2 /O2 混合物之峰值燃燒速度之參數之間存在一相關性。
因此，可見，氬氣給出最佳減量效率及最低NOx，但作為一泵沖洗並不較佳。又，二氧化碳雖然適合用作一泵沖洗，但其需要氮氣所需之近似兩倍之經注射甲烷及氧氣。用經組合氬氣及二氧化碳替換
如上文提及，一高γ可導致過熱且特定言之，可建立γ之一臨限值，高於該臨限值，泵可能過熱且卡住。可成功地泵抽高達75%之氬氣(其餘為氮氣)之混合物。可針對此混合物計算γ之值作為組分之比率。自此，可計算氬氣及二氧化碳之比例，其等一旦經摻合，將具有相同γ且可被成功地泵抽。該等計算展示81%之氬氣/19%之二氧化碳之一混合物將以一類似方式表現。
因此，CF4 減量及NOx產生量測亦使用此混合Ar/CO2 沖洗氣執行。在一項實施例中，在標準注射條件下(針對50 l/min之氮氣沖洗)，當操作減量設備10 (具有具備一6”直徑及3”長度之四個入口20)時，使用含有50 l/min之Ar及CO2 混合物(81%:19%)之廢氣流導致12 ppm之NOx及97.5%之一CF4 DRE。再次，結果係高CF4 DRE及低NOx。注射流與使用標準氮氣沖洗之注射流相當。燃燒腔室操作
當使用氮氣操作燃燒腔室40時，當達成以下項時達成可燃下限：N2 /O2 (79%/21%)/CH4 (5.2%)。峰值燃燒速度(21% O2 )係36 cm.s-1。
當使用二氧化碳操作燃燒腔室40時，當達成以下項時達成可燃下限：CO2 /O2 (79%/21%)/CH4 (7%)。峰值燃燒速度(21% O2 )係1.4 cm.s-1。
經預測穩定操作條件係預混合物中8%之CH4 (1.2x可燃下限)及35% O2 之O2 / O2 + CO2 之一比率，此係峰值燃燒速度對總流量之一類似比率。
經預測排氣組合物(乾式)燃燒器僅係18.7%之O2 ，其餘為CO2 。
在經最佳化高火與氬氣沖洗中之具有四個入口之經預測排氣組合物(乾式)燃燒器係7%之O2 、50%之Ar，其餘為CO2 。
在一項實施例中，基於Ar/O2 /CH4 而非N2 /O2 /CH4 (燃燒-空氣預混料)操作燃燒器。
在另一實施例中，基於CO2 /O2 /CH4 操作燃燒器。在一項實施例中，在標準注射條件下(針對50 l/min之氮氣沖洗)，當操作減量設備10 (具有具備一6”直徑及3”長度之四個入口20)時，使用含有130 l/min之CO2 以及給出35% O2 之O2 / (O2 + CO2 )之一比率之70 l/min之O2 及給出9% CH4 之CH4 / (CH4 + O2 + CO2 )之一比率之20 l/min之CH4 之廢氣流導致98 ppm之NOx及98.7%之一CF4 DRE。
在一項實施例中，17 l/min之經預混合O2 與13 l/min之CH4 (10 l/min提供於噴槍上且3 l/min提供於簾上)導致32 ppm之NOx及93.5%之一CF4 DRE (相較於上文提及之現有操作之43 ppm之NOx及94.2%之一CF4 DRE)。
如圖6 (其展示甲烷在氮氣-氧氣(上曲線)及二氧化碳-氧氣(下曲線)混合物中之燃燒速度)中繪示，計算展示，藉由針對N2 /O2 /CH4 及CO2 /O2 /CH4 系統繪製峰值(化學計量)燃燒速度，CO2 中之37.5%之O2 與N2 (空氣)中21%之O2 具有相同峰值燃燒速度。燃燒器通常在約6%之CH4 (其係空氣中之CH4 之可燃下限(5.2%)之1.15倍)下操作。因此，使用CO2 /O2 系統，理想CH4 濃度係約8%(其係可燃下限(其係7%)之1.15倍)。一進一步考量係通過燃燒器之總體積流量。使用上圖作為一導引，經修正條件設法維持兩個系統之間之燃燒速度對體積流量之比率，從而建議CO2 中35% O2 之一值將更適當。氣體回收
下游冷卻腔室可饋給一回收裝置(未展示)。回收裝置可係不同數目個裝置之任何者，諸如一低溫蒸餾裝置、一壓力(真空)吸附裝置、一陶瓷或聚合物膜分離裝置，其分離氣體且產生來自泵沖洗之一純流及用於燃燒器之一富氧流之至少一者。
在濕式洗滌之後，燃燒器之排氣流將主要含有100%相對濕度(在填充塔之溫度下)之CO2 及O2 ，通常具有微量之CO及其他污染物。一項實施例將此回收回至燃燒器作為一稀釋劑，其與O2 及CH4 「組合」至所需比例。可燃燒污染物可經由一燃燒催化劑(諸如「Hopcalite」(英國Thaxted之分子產品基於一CuO/MnO2 混合物供應一室溫燃燒催化劑；產品被稱為Moleculite))完全氧化。
在一項實施例中，將來自燃燒器之排氣傳遞至經組態以產生用於沖洗真空泵之一純CO2 流以及包括待用於如上文之輻射式燃燒器中之CO2 及O2 之一不純流之一分離單元。應辨識，CO2 係燃燒碳氫化合物燃料之一副產物，系統係獨立的；一旦經灌注，便不需要額外CO2 。
若泵沖洗含有一高比例之氬氣，則可將來自燃燒器之排氣傳遞至經組態以產生純CO2 之一第一流、純氬氣之一第二流及主要包括O2 與殘餘氬氣之一第三不純流之一分離單元。一些CO2 將與氬氣摻合以用作泵沖洗而富O2 流可用於如上文之輻射式燃燒器中。藉由如上文描述般使富O2 流返回，殘餘氬氣未自系統損失。
雖然已參考隨附圖示在本文中詳細揭示本發明之闡釋性實施例，但應理解，本發明不限於精確實施例且熟習此項技術者可在其中實現各種改變及修改而不脫離如由隨附發明申請專利範圍及其等等效物定義之本發明之範疇。
10:減量設備 20:入口 30:噴嘴 40:燃燒腔室 50:頂板 60:燃燒器元件 70:外殼 80:充氣室體積 90:噴槍
現將參考附圖進一步描述本發明之實施例，其中：
圖1繪示根據一項實施例之一減量設備；
圖2至圖5展示在不同條件下CF4 DRE及NOx產生之改變；及
圖6展示在不同條件下峰值(化學計量)燃燒速度對O2 之改變。
10:減量設備
20:入口
30:噴嘴
40:燃燒腔室
50:頂板
60:燃燒器元件
70:外殼
80:充氣室體積
90:噴槍

Claims (17)

  1. 一種操作一減量設備之方法，其包括：將含有一全氟化合物之一廢氣流以及燃燒試劑及一稀釋劑一起供應給一減量設備之一燃燒腔室；藉由使該等燃燒試劑反應而加熱該燃燒腔室之一燃燒區以執行該全氟化合物至穩定副產物之減量，該稀釋劑經選擇以在該減量期間保持惰性；及其中該稀釋劑包括一稀有氣體及二氧化碳之一混合物，較佳係氬氣及二氧化碳之一混合物。
  2. 如請求項1之方法，其中該稀釋劑經選擇以在該減量期間在該燃燒區中不改變。
  3. 如請求項1或2之方法，其中該加熱使該燃燒區之一溫度升高至大於1000℃，較佳大於1300℃。
  4. 如請求項1或2之方法，其中該減量設備包括用於將一氣流注射至該燃燒腔室中之一噴嘴且該供應包括將該廢氣流供應給該噴嘴，較佳其中該供應包括將該等燃燒試劑及該稀釋劑供應給該噴嘴。
  5. 如請求項4之方法，其中該減量設備包括供應該噴嘴之一泵且該供應包括供應該稀釋劑作為一泵沖洗氣。
  6. 如請求項1或2之方法，其中該減量設備包括至少部分界定該燃燒腔室用於將一氣體輸送至該燃燒腔室中之一多孔套筒且該供應包括將該等燃燒試劑及該稀釋劑供應給該多孔套筒。
  7. 如請求項1或2之方法，其包括調整該稀釋劑對該等燃燒試劑之流速之一比率以提供該廢氣流中之至少一個化合物之一選定最小破壞率效率。
  8. 如請求項1或2之方法，其中該等燃燒試劑包括一燃料及氧化劑。
  9. 如請求項8之方法，其中該燃料包括碳氫化合物、甲烷、丙烷、丁烷及類似者之至少一者。
  10. 如請求項8之方法，其中該氧化劑包括氧氣、臭氧及類似者。
  11. 如請求項1或2之方法，其中該稀釋劑包括呈約80體積%之氬氣對約20體積%之二氧化碳之一比率之氬氣及二氧化碳之一混合物。
  12. 如請求項8之方法，其中該氧化劑以約35體積%之氧化劑對約65體積%之二氧化碳之一比率與二氧化碳混合。
  13. 如請求項8之方法，其中該氧化劑以約37.5體積%之氧化劑對約63.5體積%之二氧化碳之一比率與二氧化碳混合。
  14. 如請求項8之方法，其中該氧化劑以約20體積%對約80體積%之氬氣之一比率與氬氣混合。
  15. 如請求項8之方法，其中該燃料以約8體積%之燃料對約92體積%之二氧化碳之一比率與二氧化碳混合。
  16. 如請求項8之方法，其中該燃料以約4.5體積%之燃料對約95.5體積%之經組合氧化劑及氬氣之一比率與經組合氧化劑及氬氣混合。
  17. 如請求項1或2之方法，其包括自該燃燒腔室之一排氣流回收及/或再循環該稀釋劑之至少一些及/或包括將該稀釋劑與該氧化劑及該燃料之至少一者作為一污染物一起再循環至該燃燒腔室。
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