TWI822696B - 光源裝置、曝光裝置、及光源裝置之判定方法 - Google Patents

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日商鳳凰電機股份有限公司
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Abstract

本發明之課題是在於提供一種光源裝置，其為使用於印刷配線基板等之曝光的曝光裝置，該裝置係具備有：以高精度、短時間且低成本之用以識別做為光源之放電燈是否為純正品、及識別是否為新品或中古品之判定用電路。 本發明之解決手段為以做為光源之放電燈110、判定用電路200、安裝有放電燈110及判定用電路200的反射鏡容器151來構成光源裝置100；又，以用以檢測出放電燈110是否為純正品的 RC 並聯電路210、以及串聯連接於 RC 並聯電路210的用以判別放電燈110是否為新品之保險絲220來構成判定用電路200。

Description

光源裝置、曝光裝置、及光源裝置之判定方法
本發明係關於一種光源裝置、使用它之光源裝置的曝光裝置、及光源裝置之判定方法，在印刷配線基板等之曝光所使用的曝光裝置中係具備有：用以檢測出做為光源之放電燈是否為純正品、及是否為新品或中古品之判定用電路。
自過往以來，為了將零件安裝於電子機器，一直是使用以銅等之金屬在樹脂或玻璃環氧樹脂材的基板上形成配線圖案的印刷配線基板。此等印刷配線基板之配線圖案的形成是可以使用一種光蝕刻技術。光蝕刻係將感光性藥劑之光阻劑塗布在全面形成有由配線構成的金屬層之基板上，再通過與配線圖案相同的光罩對於它照射一由曝光裝置而來的照射光。
光阻劑是包含有因照射光而致使光阻劑的溶解性減低之負型光阻劑、以及相反地因照射光而導致光阻劑的溶解性增大之正型光阻劑。藉由進行化學處理來去除因照射光而導致溶解性相對地增大之光阻劑部分；一旦露出的金屬層因蝕刻而被除去時，在殘留有光阻劑的部分之下方只殘留有某一金屬層而已；因除去光阻劑而使得配線圖案形成基板上。在照射光照射於正型、負型中之任一種的光阻劑的情況下，為了確保使照射 面全面保持均一的曝光量，則以均一的照度、一定的時間照射穩定的照射光也就有必要了。
因此，在印刷配線基板之製造上，為了使製造工序效率化，可以藉由製作形成有複數個電路的1片大型印刷配線基板，在完成基板後，再進行分割成一個一個的電路而使用於所期望的電子機器。
隨著諸如此類的印刷配線基板之大型化，曝光裝置製造業者一直期望能將光源的放電燈大型化並確保得到高照度、或者確保做為使用複數個低照度之小型放電燈的多燈之光源所需要的照度。例如，將使用1個8kW燈之高壓放電燈的光源，取代成使用4個2kW燈之高壓放電燈的光源。與高照度之放電燈相比之下，低照度之放電燈的製造難易度或製造成本是比較優異的，販售的多數是具有多個燈之光源之曝光裝置。
然而，由於隨著此類的光源之多燈化而必須確保均一的曝光量，因而複數個放電燈彼此間之均質性就愈發顯得更重要了。因此，為了製造信賴性高的印刷配線基板以使曝光裝置之性能安定化，則就必須只使用由同一製造業者、以同一材料、同一工法所製作的純正品之放電燈；也必須要用以判定放電燈是否為純正品之裝置及判定方法。
用於判定不限於曝光裝置或在光學裝置中所使用之放電燈或光源之方法已知者有許多種(例如，參照專利文獻1至3。)。例如，在專利文獻1所記載之燈異常檢出裝置中，將預定的電壓供給至鹵素燈等之使用燈絲的白熾電燈泡，對於燈絲切半狀態時之電流值、及燈絲正常時之電流值進行比較來檢測出具有異常的燈。然而，以此方式即便是能夠檢測出燈之壽命，要判定燈是否為純正品是有困難的。
又，例如，在專利文獻2中，與白熾燈或稱為螢光燈之光源並聯連接於接續有電阻及電容之電路，測定在該光源之兩端供給預定的電 壓之時的時定數(電阻值與容量值之積)而檢測出光源是白熾燈或是螢光燈。然而，以此方式，即便是能夠檢測出時定數之大的差異(白熾燈與螢光燈之時定數是大大不同的)，要在相同的白熾燈間判定是否為純正品卻是有困難的。
此外，例如，在專利文獻3中，封入同一白熾電燈泡之燈泡內的複數個燈絲一邊放射紫外線，一邊測定該等燈絲間之放電開始電壓而檢測出不良品。然而，以此方式，即使能夠檢測出不良品，對於判定燈是否為純正品則是有困難的。
〔先行技術文獻〕 〔專利文獻〕
〔專利文獻1〕特公平7-52677號公報
〔專利文獻2〕特表2010-527504號公報
〔專利文獻3〕特開昭62-43059號公報
為了判定純正品之光源裝置、或是其他的製造業者所製造的類似品之光源裝置，與如專利文獻1及3所述地識別光源是否為不良、或者如專利文獻2所述地識別是否為不同種的光源相比較之下，則需要更高精度的判定裝置。又，也需要同時地解決：複數個光源之檢査時間不大大地超過曝光裝置之起動時間，曝光裝置全體之成本不大大地增日之課題。
更進一步而言，從確保均一的曝光量之觀點來看，即便是同一製造業者之純正品的光源裝置，新品與中古品混雜使用也是不理想的。因此，要求一種能夠判定出是否為僅只使用一次的中古品之光源裝置。
本發明是有鑑於前述之課題而完成者，其目的是在於提供一種光源裝置、及使用它之光源裝置之曝光裝置、與其判定方法，其係高精度、短時間且低成本，並具備有：用以識別在印刷配線基板等之曝光上使用的曝光裝置中做為光源之放電燈是否為純正品、及識別新品或中古品之判定用電路。
根據本發明之一方面可以提供一種光源裝置，其係具備：做為光源之放電燈、判定用電路、及安裝有前述放電燈及前述判定用電路之反射鏡容器的光源裝置，其中前述判定用電路係具有：用以檢測出前述放電燈是否為純正品之RC並聯電路、與串聯連接於前述RC並聯電路之用以判別前述放電燈是否為新品的保險絲。
又，根據本發明之其他的方面可以提供一種光源裝置，其係具備有：做為光源之放電燈、判定用電路、及安裝有前述放電燈及前述判定用電路之反射鏡容器的光源裝置，其中前述判定用電路係具有：用以檢測出前述放電燈是否為純正品之RC並聯電路、及並聯連接於前述RC並聯電路之用以判別前述放電燈是否為新品的保險絲。
再者，根據本發明之其他的方面可以提供一種光源裝置，其係具備有：做為光源之放電燈、判定用電路、及安裝有前述放電燈及前述判定用電路之反射鏡容器的光源裝置，其中前述判定用電路係具有：用以檢測出前述放電燈是否為純正品之RC並聯電路、及串聯連接於前述RC並聯電路之用以判別前述放電燈是否為新品的二極體。
又，根據本發明之其他的方面可以提供一種光源裝置，其係具備有：做為光源之放電燈、判定用電路、及安裝有前述放電燈及前述判定用電路之反射鏡容器的光源裝置，其中前述判定用電路係具有：用以檢測出前述放電燈是否為純正品之RC並聯電路、及並聯連接於前述RC並聯電路之用以判別前述放電燈是否為新品的光源裝置。
較佳者是前述判定用電路為收容於前述反射鏡容器內。
較佳者是前述保險絲為溫度保險絲。
又，根據本發明之其他的方面可以提供一種曝光裝置，其係具備有：1個以上的上述之光源裝置、用於將前述光源裝置向著被照射物裝設的框體、用於將電流供給於前述判定用電路之定電流電源、用於讓前述定電流電源而來的前述電流ON‧OFF之開關、 於前述開關ON‧OFF後用於讓前述判定用電路通電達預定之時間的控制部、測定通電中之前述判定用電路的兩端電壓至少2次的測定部、用於比較第1次測定時之前述兩端電壓與第2次測定時之前述兩端電壓間之差、及判定放電燈之正否之預定的上限值及下限值之電壓範圍的比較部、接受由前述比較部而來的信號，在前述兩端電壓之差為在預定的電壓範圍內的情況下，則將檢査對象放電燈判定為純正品；在前述兩端電壓之差為預定之電壓範圍外的情況下，則將檢査對象放電燈判定為非純正品之判定部、在判定前述放電燈是否為純正品之後，用於將電流供給於前述判定用電路之中古判定用定電流電源、用於讓前述中古判定用定電流電源而來的前述電流ON‧OFF之中古判定用開關、用於在讓前述中古判定用開關ON‧OFF後再使前述判定用電路通電之中古判定用控制部、用於測定通電中之前述判定用電路的兩端電壓之中古判定用測定部、以所測定的兩端電壓是否為在預定之上限值及下限值的電壓範圍內來判定前述放電燈是否為中古品之中古判定部、以及顯示判定結果之顯示部。
一種光源裝置之判定方法，其係包括：讓上述之光源裝置的前述判定用電路通電達預定的時間；測定通電中之前述判定用電路的兩端電壓至少2次； 比較第1次測定時之前述兩端電壓與第2次測定時之前述兩端電壓間之差、與判定放電燈之正否的預定之上限值及下限值之電壓範圍；在前述兩端電壓之差為預定的電壓範圍內的情況下，則將判定對象的前述放電燈判定為純正品；在前述兩端電壓之差為預定之電壓範圍外的情況下，則將判定對象之前述放電燈判定為非純正品；更進一步地在判定前述放電燈是否為純正品之後，再使前述判定用電路通電；測定通電中之前述判定用電路的兩端電壓；在所測定的兩端電壓為在預定之上限值及下限值的電壓範圍內的情況下，則將判定對象之前述放電燈判定為新品；在預定之上限值及下限值的電壓範圍外的情況下，則將判定對象之前述放電燈判定為中古品。
根據本發明可以提供一種光源裝置、及使用它之光源裝置的曝光裝置、及其判定方法，其係在印刷配線基板等之曝光所用的曝光裝置中具備有：高精度、短時間且低成本，並用於識別做為光源之放電燈是否為純正品、及新品或中古品之判定用電路。
A:電源纜線
CL:中心軸
X:曝光對象物
10:曝光機
12:積算器
14:凹面鏡
16:照射面
18:入射面
20:出射面
21:複眼透鏡
22:反射凹面
50:曝光裝置
52:框體
54:點燈電路
55:開關
56:定電流電源
57:判定裝置
58:凹陷部
60:控制部
62:測定部
64:比較部
66:判定部
67:保險絲斷線動作部
68:中古判定用控制部
70:中古判定用測定部
71:中古判定用比較部
72:中古判定部
76:中古判定用定電流電源
78:中古判定用開關
80:逆電壓印加部
100:光源裝置
110:放電燈
112:發光管部
114:密封部
116:內部空間
118:箔
120:電極
122:鉛棒
124:水銀
150:反射鏡
151:反射鏡容器
152:反射面
154:開口
155:底頸部
156:密封部插設孔
170:絶緣基座
172:反射鏡插入穴
174:內側空間
176:電源纜線插通穴
200:判定用電路
210:RC並聯電路
212:電阻體
214:電容器
220:保險絲
230:二極體
圖1係顯示本發明所適用的曝光機10之一例的圖。
圖2係顯示本發明所適用的曝光裝置50之一例的圖。
圖3係顯示本發明所適用的曝光裝置50之一例的平面圖。
圖4係顯示本發明所適用的光源裝置100之一例的剖面圖。
圖5係顯示放電燈110之一例的剖面圖。
圖6係顯示本發明所適用的判定裝置57之一例的圖。
圖7係顯示本發明所適用的變形例1有關之光源裝置100之一例的剖面圖。
圖8係顯示本發明所適用的變形例2有關之光源裝置100之一例的剖面圖。
圖9係顯示本發明所適用的變形例3有關之光源裝置100之一例的剖面圖。
圖10係顯示判定用電路200之配設位置有關之其他的實施例之剖面圖。
圖11係顯示判定用電路200之配設位置有關之其他的實施例之剖面圖。
(實施例1) (曝光機10之構成)
圖1係顯示本發明所適用的實施例1有關之曝光機10。曝光機10為大略由曝光裝置50、積算器(integrator)12、凹面鏡14、以及照射面16所構成。
曝光裝置50係放射含有適用於曝光對象物X之曝光的波長之光。關於曝光裝置50之詳細內容係在說明曝光機10之構成以後再予以說明。
積算器12係具有接收由曝光裝置50而來的光射入的入射面18、及提高所接收光之均一性並讓該光射出的出射面20。入射面18及出射面20係分別由複數個複眼透鏡(fly-eye lens)21所形成。
凹面鏡14係在其內側具有反射凹面22。該凹面鏡14係以反射凹面22將由積算器12所射出的光反射成平行光。
照射面16係接收有由凹面鏡14而來的平行光之光；配置成約略垂直於該平行光的方向上。在此照射面16載置有曝光對象物X。在曝光對象物X之表面塗布有例如感光劑。藉由由凹面鏡14而來的平行光照射曝光對象物X中之所期望的區域，而在曝光對象物X之表面形成所期望的電路圖案等。
(曝光裝置50之構成)
圖2係顯示本發明所適用的實施例1有關之曝光裝置50的圖。又，圖3係曝光裝置50的平面圖。曝光裝置50係具備有：複數個光源裝置100、框體52、點燈電路54、開關55、定電流電源56、判定裝置57、中古判定用定電流電源76、以及中古判定用開關78。再者，開關55與中古判定用開關78、及、定電流電源56與中古判定用定電流電源76可以設定成分別物理性相同物質並共有機能，也可以分別準備物理性不同的物質。
光源裝置100係放射含有適用於曝光對象物X之曝光的波長之光。光源裝置100係如圖4所示大略地以放電燈110、反射鏡150、絶緣基座170、以及判定用電路200所構成。再者，有時也將反射鏡150與絶緣基座170整合而記載為反射鏡容器151。
放電燈110係如圖5所示地具有發光管部112、及由該發光管部112延伸出的一對密封部114。發光管部112及一對密封部114係以石英玻 璃一體地形成。此外，在發光管部112內係形成有以密封部114所密閉的內部空間116。
在放電燈110的各密封部114內係分別設置有：埋設的鉬製之箔118、一端為連接於箔118的一側邊端部並且他端為配置在內部空間116內的鎢製之一對的電極120、以及一端為連接於箔118的另一側邊端部並且他端為從密封部114往外部延伸出之一對的鉛棒122。又，內部空間116係封入有預定量的水銀124及鹵素(例如，溴)。
當對於被設置於放電燈110之一對的鉛棒122施加預定的高電壓時，於被設置在發光管部112的內部空間116之一對的電極120間開始的輝光放電轉移為電弧放電，經由此電弧而蒸發及激發的水銀124乃放射出光(主要是紫外線)。
回到圖4，在本實施例中之此光源裝置100中之一側的密封部114為插設於反射鏡150之密封部插設孔156。再者，放電燈110可以是交流點燈用，也可以是直流點燈用。
反射鏡150在其內側表面係具有碗狀的反射面152。該反射面152係反射由按照使發光管部112位於反射鏡150的內側的方式配置之放電燈110而來的光之一部分。在本實施例中，該反射面152係被旋轉放物面所規制。又，放電燈110中之發光點(概略地在內部空間116中之一對的電極120間形成之電弧的中央位置)係與該旋轉放物面之焦點一致。藉此，由放電燈110之發光點所放射、於反射面152反射之後，由反射鏡150之開口154射出的光係幾乎成為平行光。當然，反射面152的形狀並非限定於此等而已，也可以是旋轉橢圓面或其他的旋轉面、或者旋轉面以外的形狀。又，使發光點與焦點一致不一定是必要的，也可以是視需要而讓發光點偏離焦點的。
又，自反射鏡150中之開口154的反對側起突設有底頸部155。另外，在反射鏡150之反射面152係形成有：被放電燈110中之一側的密封部114所插設之密封部插設孔156。此密封部插設孔156係自反射面152的底部起形成於底頸部155之先端的上方。
如圖1所示，藉由將反射鏡150與放電燈110加以組合，因而由放電燈110放射的光乃以沿著反射面152的中心軸CL行進的光為中心，而成為在預定的角度(開角)之範圍內於反射鏡150的前方行進。
回到圖4，絶緣基座170係以陶瓷等之電性的絶緣體形成的；並形成有反射鏡150之底頸部155及被插設於密封部插設孔156的放電燈110中之可讓一側的密封部114插入之反射鏡插入穴172。藉由讓底頸部155及密封部114插入反射鏡插入穴172中，因而使得絶緣基座170成為由外側覆蓋密封部插設孔156。
又，絶緣基座170形成有：與上述的反射鏡插入穴172連通的內側空間174，並更進一步形成有：與該內側空間174和外側相互連通而可讓電源纜線A插通的電源纜線插通穴176。
此外，絶緣基座170及放電燈110(本實施例的情況，還包括判定用電路200)係以具有電絶緣性及高熱傳導性之無機接着劑C而相互固定在一起。具體說明時，在絶緣基座170的反射鏡插入穴172中插入反射鏡150之底頸部155的端部、及、放電燈110之一側的密封部114，並進一步地，在絶緣基座170的內側空間174中配置七判定用電路200及電源纜線A之狀態下，無機接着劑C被充填於該內側空間174。
判定用電路200在本實施例的情況係具有RC並聯電路210與保險絲220。RC並聯電路210係由電阻體212與電容器214相互並聯連接所構成的電路。
保險絲220係串聯連接於RC並聯電路210的器件。在本實施例的情況，保險絲220的容量係如後述設定成：在用以判定放電燈110是否為純正品之定電流流通之際不斷線，在純正品判定之後在比該定電流還大的電流流通時藉由保險絲斷線動作部67而斷線。再者，也可以使用如由點燈中之放電燈110而來的熱斷線之類的保險絲220來取代，；亦即，也可以使用「溫度保險絲」。
回到圖3，框體52係形成有可裝設複數個光源裝置100之複數個凹陷部58的約略直方體狀之構件。
回到圖2，點燈電路54係用於將所需要的電力供給至安裝在框體52的各光源裝置100之放電燈110的電路。又，定電流電源56及中古判定用定電流電源76係將直流的定電流供給至各光源裝置100的判定用電路200之電源，開關55及中古判定用開關78係用於讓供給至判定用電路200的直流之定電流ON‧OFF。
判定裝置57係用於：判定各光源裝置100(放電燈110)是否為純正品、及、各光源裝置100(放電燈110)是否為新品或中古品的裝置；圖6所示大略地具有控制部60、測定部62、比較部64、判定部66、保險絲斷線動作部67、中古判定用控制部68、中古判定用測定部70、以及中古判定部72。再者，控制部60與中古判定用控制部68、測定部62與中古判定用測定部70、及、判定部66與中古判定部72可以設定成分別物理性相同物質並共有機能，也可以分別準備物理性不同的物質。
控制部60係具有操作開關55而讓由定電流電源56供給至判定用電路200的電流ON‧OFF之機能。
測定部62係具有用於測定判定用電路200之兩端電壓的機能。再者，在本實施例的情況下，測定部62係構成為：對於通電中之判定用電路200的兩端電壓至少測定2次。
比較部64係具有：用於比較測定部62所測定的判定用電路200之第1次測定時的兩端電壓與第2次測定時的兩端電壓間之差、以及用於判定放電燈110是否為純正品之預定的上限值及下限值之電壓範圍的機能。比較部64預先記錄有：預定之條件所測定的複數個純正品檢出用之RC並聯電路的電壓分布範圍；比較部64將上述之比較結果的信號傳送到判定部66。
判定部66接收從比較部64所傳送來的結果之信號，當兩端電壓之差為在預定之電壓範圍內的情況下，則將檢査對象之放電燈110判定為純正品；相反地，當兩端電壓之差為在預定的電壓範圍外的情況下，則將檢査對象之放電燈110判定為非純正品。
在判定部66判定放電燈110是否為純正品之後，保險絲斷線動作部67乃對於判定用電路200流通比純正品判定用之定電流還大的電流。因此，保險絲220斷線而使判定用電路200成為開放，判定用電路200之兩端電阻值變成無限大。
中古判定用控制部68係具有：在保險絲斷線動作部67執行動作之後，操作中古判定用開關78再讓由中古判定用定電流電源76所供給至判定用電路200之電流ON‧OFF的機能。
中古判定用測定部70係具有：用於測定通電中之判定用電路200的兩端電壓之機能。
中古判定部72係具有：以中古判定用測定部70所測定的兩端電壓是否在預定之上限值及下限值的電壓範圍內來判定放電燈110是否 為新品或中古品之機能。亦即，當中古判定用測定部70所測定的兩端電壓為在預定之上限值及下限值的電壓範圍內之情況，中古判定部72將該放電燈110判定為新品。相反地，當中古判定用測定部70所測定的兩端電壓為在預定之上限值及下限值的電壓範圍外之情況，中古判定部72將該放電燈110判定為中古品。
(曝光裝置50之動作)
當曝光裝置50之電源開關(未圖示)為被輸入時，點燈電路54就將電力供給至被安裝於框體52上之全部的光源裝置100之放電燈110。通常，放電燈110完全升起需要花費數分鐘。
例如，在曝光裝置50之電源開關輸入之後，判定裝置57中之控制部60立刻讓與被安裝於框體52中之任意1個光源裝置100中之判定用電路200相連接的開關55成為ON，由定電流電源56而將定電流供給至該判定用電路200。當然，判定裝置57進行動作的時間點並非僅只限定於此而已。
在讓開關55第1次ON之後，測定部62立刻測定判定用電路200之兩端電壓，將該結果(第1次)傳送至比較部64。其次，第1次測定起預定時間後(例如，10秒後)再度對於相同的判定用電路200供給定電流，測定部62測定判定用電路200之兩端電壓，並將該結果(第2次)傳送至比較部64。
接收2次之兩端電壓測定結果的比較部64乃將2次的測定電壓之差是否在預先記錄的電壓差範圍內之結果信號傳送至判定部66。當兩端電壓之差為在預定之電壓範圍內的情況，判定部66將檢査對象之放電 燈110判定為純正品；相反地，當兩端電壓之差為在預定之電壓範圍外之情況，判定部66將檢査對象之放電燈110判定為非純正品。
當直流之定電流於RC並聯電路210流通時，在開始之初電容器214未貯存電荷的階段，由於電流於電容器214及電阻體212流動的緣故，因而RC並聯電路210的兩端電壓乃是基於電容器214及電阻體212之合成阻抗(Impedance)而決定的。測定部62對於第1次判定用電路200的兩端電壓之測定是在該時間點進行。
當直流之定電流於RC並聯電路210流動不久時，電容器214成充滿電狀態，電容器214中之電流變成不流動了。當電容器214中之電流成為不流動時，RC並聯電路210之兩端電壓為只基於電阻體212的電阻值來決定。測定部62之對於第2次判定用電路200的兩端電壓之測定係在時間點進行。一般而言，與上述之電容器214及電阻體212的合成阻抗相比之下，在只有電阻體212的電阻值的方面是比較大的。從而，由RC並聯電路210有定電流流動的事態來看，在成為只有電阻體212的電阻值之時的RC並聯電路210之兩端電壓(第2次測定值)係大於在電容器214及電阻體212的合成阻抗之時的RC並聯電路210之兩端電壓(第1次測定值)。
相反地，在不是純正品的情況下，第1次測定結果與第2次測定結果為相同或者成為幾乎相同。因此，能夠以上述的判定方法來光源裝置100(放電燈110)判定是否為純正品。再者，也可以藉由只在上述的第2次測定之時間點測定兩端電壓來判定是否為純正品。在此種情況下，以兩端電壓之測定值是否在預定之電壓範圍內來判定是否為純正品。
在完成第1個光源裝置100中之純正品判定以後，控制部60開始將定電流供給至其他的光源裝置100中之判定用電路200。從此以後，與上述的第1個情況同樣地進行純正品判定，直到全部的光源裝置100之判 定完成為止，或者直到預定之範圍的光源裝置100之檢査完成為止，並返回同樣的判定。
在必要的純正品判定完畢之後，判定裝置57中之保險絲斷線動作部67係對於判定用電路200流動比純正品判定用之定電流還大的電流(例如，30V、1.4A)。因此，保險絲220斷線後，判定用電路200成為打開而判定用電路200之兩端電阻值變成無限大。
然後，判定裝置57中之中古判定用控制部68讓連接於任意1個光源裝置100中之判定用電路200的中古判定用開關78ON，而將定電流由中古判定用定電流電源76供給至該判定用電路200。在中古判定用開關78ON之後，中古判定用測定部70立刻測定判定用電路200之兩端電壓，並將該結果傳送至中古判定部72。
中古判定部72係以測定電壓是否在預定之上限值及下限值的電壓範圍內來判定放電燈110是否為新品或中古品。
在本實施例的情況下，於中古判定用測定部70所測定的兩端電壓為在預定之上限值及下限值的電壓範圍內之情況，中古判定部72將該放電燈110判定為新品。相反地，於中古判定用測定部70所測定的兩端電壓為在預定之上限值及下限值的電壓範圍外之情況，中古判定部72將該放電燈110判定為中古品。在光源裝置100是純正品，且在使用1次的某物品(=中古品)之情況，如上所述，從判定用電路200中之保險絲220已經因保險絲斷線動作部67而斷線的事態來看，判定用電路200就成為打開(電阻值=無限大)狀態。因此，判定用電路200之兩端電壓施加中古判定用定電流電源76的最大電壓。藉由將預定之上限值事先設定為比該「中古判定用定電流電源76之最大電壓」還小，能夠將判定用電路200是打開的中古品判定為中古判定用測定部70。
至此為止，雖然已說明了在對於被安裝在曝光裝置50中之全部的光源裝置100進行純正品判定之後再開始進行中古品判定的例子，然而也可以是在對於一個光源裝置100繼續進行純正品判定及中古品判定以後，再繼續對於其他的光源裝置100進行純正品判定及中古品判定。當然，也可以是對於複數個光源裝置100一起依順序進純正品判定，然後，再依序進行中古品判定。此事在以下的變形例中亦是同樣的。另外，也可以是在進行純正品判定之後，於使用2000小時左右之後再進行中古品判定。
(曝光裝置50之特徵)
根據本實施例，能夠提供一種具備有以高精度、短時間且低成本之用以識別做為光源之放電燈110是否為純正品、及、新品或中古品之判定用電路200的光源裝置100；以及能夠提供一種使用該光源裝置100之曝光裝置50及其判定方法。
(變形例1)
在上述的實施例中之光源裝置100的判定用電路200中，雖然保險絲220是串聯連接於RC並聯電路210；然而也可以是如圖7所示使該保險絲220並聯連接於RC並聯電路210。
在此種情況下，光源裝置100之正規品判定就如以下所述。亦即，在控制部60操作開關55而自定電流電源56對於判定用電路200給電之後，測定部62再測定判定用電路200之兩端電壓。此時，若是正規品的話，因為電流主要是於保險絲220流動，因而兩端電壓變得足夠小(例如，0.4V左右)。
然後，再使保險絲斷線動作部67作動而於判定用電路200(主要是保險絲)流動大的電流及電壓(例如，30V，1.4A)。因此，保險絲220斷線而判定用電路200實質地成為只有RC並聯電路210。當然，與上述的實施例1同樣地，也可以是以由點燈中之放電燈110而來的熱而使保險絲220斷線。
其次，藉由控制部60再度使開關55ON而從定電流電源56將定電流供給於該判定用電路200。在開關55第1次ON之後，測定部62立刻測定判定用電路200之兩端電壓，並將該結果(第1次)傳送至比較部64。其次，自第1次測定起達預定時間之後(例如，10秒以後)再度對於相同的判定用電路200供給定電流，測定部62測定判定用電路200之兩端電壓，並將該結果(第2次)傳送至比較部64。
接收2次之兩端電壓測定結果的比較部64係將2次之測定電壓之差是否在預先記錄的電壓差範圍內的結果信號傳送至判定部66。當兩端電壓之差為在預定之電壓範圍內的情況，判定部66將檢査對象之放電燈110判定為純正品、相反地，當兩端電壓之差為在預定之電壓範圍外的情況，判定部66將檢査對象之放電燈110判定為非純正品。再者，也可以是藉由只在上述的第2次測定之時間點測定兩端電壓來判定是否為純正品。在此種情況下，就成為以兩端電壓之測定值是否在預定之電壓範圍內來判定是否為純正品。
中古品判定為如以下所述。亦即，藉由中古判定用控制部68使中古判定用開關78ON而自中古判定用定電流電源76將定電流供給至該判定用電路200。在中古判定用開關78第1次ON之後，中古判定用測定部70立刻測定判定用電路200之兩端電壓並將該結果(第1次)傳送至中古判定用比較部71。其次，在自第1次測定起達預定時間之後(例如，10秒以後) 再度對於相同的判定用電路200供給定電流，中古判定用測定部70再測定判定用電路200之兩端電壓，並將該結果(第2次)傳送至中古判定用比較部71。
接收2次之兩端電壓測定結果的中古判定用比較部71係將2次之測定電壓之差是否在預先記錄的電壓差範圍內的結果信號傳送至中古判定部72。當兩端電壓之差為在預定之電壓範圍內之情況，中古判定部72乃將檢査對象之放電燈110判定為中古品；相反地，當兩端電壓之差為在預定之電壓範圍外之情況，中古判定部72乃將檢査對象之放電燈110判定為新品。其理由是與在實施例1中之純正品判定之際所說明者相同。
在光源裝置100為純正品之新品的情況，如上述，因為判定用電路200中之保險絲220為並聯連接於RC並聯電路210，因而判定用電路200之兩端電壓即便是測定幾次也幾乎都是零。因此，第1次和第2次兩端電壓之測定值的差就成為在預定之電壓範圍外(幾乎相同=差為零)，因而能夠以中古判定用測定部70來判定：判定用電路200為實質地成為只有RC並聯電路210之中古品。再者，也可以是藉由只在上述的第2次測定之時間點測定兩端電壓來判定是新品或者是中古品。在此種情況下，以兩端電壓之測定值是否在預定之電壓範圍內(幾乎為零)來判定是新品或者是中古品。
(變形例2)
上述的實施例中之光源裝置100的判定用電路200是以RC並聯電路210及保險絲220來構成的，然而，也可以是如圖8所示將二極體230串聯連接於RC並聯電路210來取代保險絲220。
在此種情況下，因為光源裝置100之正規品判定是與實施例1相同(但，請注意由定電流電源56而來的於判定用電路200流動之電流是二極體230之順方向直流的點)，而沿用實施例1的正規品判定之順序並省略說明。
其次，在此種變形例2中，使用逆電壓印加部80來取代實施例1中之保險絲斷線動作部67。此種逆電壓印加部80係具有將二極體230為破損程度之逆方向電壓(直流)施加於該二極體230(判定用電路200)的機能。在完成光源裝置100之正規品判定以後，使該逆電壓印加部80作動以逆方向電壓而使二極體230破損。因此，二極體230乃在內部引起短路而失去其機能，因而判定用電路200成為與只有以RC並聯電路210所構成者相同。
如此在光源裝置100為正規品之情況，逆電壓印加部80作動以後之判定用電路200成為與只有以RC並聯電路210所構成者相同，所以變形例2有關之光源裝置100之中古品判定是以在上述的變形例1所說明者基本上相同的方法來進行。再者，自中古判定用定電流電源76供給至当該判定用電路200的直流之定電流有必要是在正常情況之二極體230的逆方向流動。
(變形例3)
又，也可以是如圖9所示讓二極體230並聯連接於RC並聯電路210。在此種情況下，光源裝置100之正規品判定是與實施例1相同(但，請注意自定電流電源56流動於判定用電路200的電流是二極體230之逆方向的直流之點)，所以沿用實施例1之正規品判定的順序並省略說明。
在確認光源裝置100為正規品之後，藉由逆電壓印加部80對於二極體230施加大的逆方向電壓(直流)，二極體230在內部引起短路而常去其機能，判定用電路200乃成為短路狀態。
然後，判定裝置57中之中古判定用控制部68使中古判定用開關78ON而自中古判定用定電流電源76將定電流供給至該判定用電路200(但，請注意：自中古判定用定電流電源76於判定用電路200流動的電流是二極體230之逆方向的直流之點)。在中古判定用開關78ON之後，中古判定用測定部70立刻測定判定用電路200之兩端電壓，並將該結果傳送至中古判定部72。
中古判定部72係以測定電壓是否在預定之上限值及下限值的電壓範圍內來判定放電燈110是否為新品或中古品。在本實施例的情況下，當中古判定用測定部70所測定的兩端電壓為在預定之上限值及下限值的電壓範圍內之情況，中古判定部72將該放電燈110判定為新品。相反地，當中古判定用測定部70所測定的兩端電壓為在預定之上限值及下限值的電壓範圍外之情況，中古判定部72將該放電燈110判定為中古品。
在光源裝置100為純正品之情況，如上述，因為判定用電路200中之二極體230係因逆電壓印加部80而成為已經短路的狀態，所以判定用電路200成為短路(電阻值是相當小的)狀態。因此，在中古品的情況下，判定用電路200之兩端電壓成為在1V以下。萬一，在光源裝置100為新品的情況下，因為二極體230不失去其機能，於逆方向不流動電流，所以電流只於RC並聯電路210流動。亦即，因為判定用電路200成為與只有RC並聯電路210相同的狀態，所以判定用電路200之兩端電壓成為大於1V(例如，2.0V至8.5V)。因此，能夠進行光源裝置100之中古判定。
(變形例4)
在上述的實施例、變形例中，雖然判定用電路200是收容於反射鏡容器151內，然而，判定用電路200之配設位置並未限定於此種而已；例如，可以是配設在反射鏡容器151之外部側方(圖10)；也可以是配設在反射鏡150之外側(背面側)(圖11)。
在此次所揭示的實施之形態，應該被理解為：全部的點皆是例示而不是限制。本發明之範圍不只是上述之說明，並意圖包含：申請專利範圍所示者、以及與申請專利範圍均等的意義及範圍內之全部的變更。
100‧‧‧光源裝置
110‧‧‧放電燈
112‧‧‧發光管部
114‧‧‧密封部
150‧‧‧反射鏡
151‧‧‧反射鏡容器
152‧‧‧反射面
154‧‧‧開口
155‧‧‧底頸部
156‧‧‧密封部插設孔
170‧‧‧絶緣基座
172‧‧‧反射鏡插入穴
174‧‧‧內側空間
176‧‧‧電源纜線插通穴
200‧‧‧判定用電路
210‧‧‧RC並聯電路
212‧‧‧電阻體
214‧‧‧電容器
220‧‧‧保險絲

Claims (8)

  1. 一種光源裝置，其為具備有： 做為光源之放電燈、 判定用電路、與 安裝有前述放電燈及前述判定用電路的反射鏡(reflector)容器之光源裝置；其中 前述判定用電路係具有：用以檢測出前述放電燈是否為純正品的 RC 並聯電路、及串聯連接於前述 RC 並聯電路之用以判別前述放電燈是否為新品的保險絲(fuse)。
  2. 一種光源裝置，其為具備有： 做為光源之放電燈、 判定用電路、與 安裝有前述放電燈及前述判定用電路之反射鏡容器的光源裝置；其中 前述判定用電路係具有：用以檢測出前述放電燈是否為純正品之 RC 並聯電路、及並聯連接於前述 RC 並聯電路之用以判別前述放電燈是否為新品的保險絲。
  3. 一種光源裝置，其為具備有： 做為光源之放電燈、 判定用電路、與 安裝有前述放電燈及前述判定用電路之反射鏡容器的光源裝置；其中 前述判定用電路係具有：用以檢測出前述放電燈是否為純正品之 RC 並聯電路、及串聯連接於前述 RC 並聯電路之用以判別前述放電燈是否為新品的二極體。
  4. 一種光源裝置，其為具備有： 做為光源之放電燈、 判定用電路、與 安裝有前述放電燈及前述判定用電路之反射鏡容器的光源裝置；其中 前述判定用電路係具有：用以檢測出前述放電燈是否為純正品之 RC 並聯電路、及並聯連接於前述 RC 並聯電路之用以判別前述放電燈是否為新品的二極體。
  5. 如請求項1至4中任一項所記載之光源裝置，其中前述判定用電路為被收容於前述反射鏡容器內。
  6. 如請求項1或2所記載之光源裝置，其中前述保險絲為溫度保險絲。
  7. 一種曝光裝置，其係具備： 如請求項1所記載之光源裝置、 用以讓前述光源裝置向著被照射物裝設的框體(frame)、 用以將電流供給至前述判定用電路之定電流電源、 用以讓由前述定電流電源而來的前述電流ON・OFF的開關、 使前述開關ON・OFF以讓前述判定用電路於預定的時間通電之控制部、 測定通電中之前述判定用電路的兩端電壓至少 2 次之測定部、 用於比較第1次測定時之前述兩端電壓與第 2 次測定時之前述兩端電壓的差、判定放電燈之正否的預定之上限值及下限值的電壓範圍之比較部、 接受由前述比較部而來的信號，在前述兩端電壓之差為在預定的電壓範圍內之情況下，則判定檢査對象放電燈為純正品；在前述兩端電壓之差為在預定的電壓範圍外之情況下，判定檢査對象放電燈為非純正品之判定部、 在判定前述放電燈是否為純正品以後，再將電流供給至前述判定用電路之中古判定用定電流電源、 用於讓由前述中古判定用定電流電源而來的前述電流ON・OFF之中古判定用開關、 用於讓前述中古判定用開關ON・OFF而使前述判定用電路通電之中古判定用控制部、 用於測定通電中之前述判定用電路的兩端電壓之中古判定用測定部、以及 以所測定的兩端電壓是否在預定的上限值及下限值之電壓範圍內來判定前述放電燈是新品或中古品之中古判定部。
  8. 一種光源裝置之判定方法，其係包括： 使如請求項1所記載之光源裝置的前述判定用電路通電歷預定的時間； 測定通電中之前述判定用電路的兩端電壓至少 2 次； 比較第1次測定時之前述兩端電壓與第 2 次測定時之前述兩端電壓的差、及判定放電燈之正否的預定之上限值及下限值的電壓範圍； 在前述兩端電壓之差為在預定之電壓範圍內的情況下，則將判定對象之前述放電燈判定為純正品；在前述兩端電壓的差為在預定的電壓範圍外的情況下，則將判定對象的前述放電燈判定為非純正品； 更進一步在判定前述放電燈是否為純正品以後，再 使前述判定用電路通電； 測定通電中之前述判定用電路的兩端電壓；以及 在所測定的兩端電壓為在預定的上限值及下限值之電壓範圍內的情況下，則將判定對象之前述放電燈判定為新品；在預定的上限值及下限值之電壓範圍外的情況下，則將判定對象之前述放電燈判定為中古品。
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